JP4842085B2 - 部品実装装置 - Google Patents
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Description
2…X軸ガントリ
3…Y軸ガントリ
8…ボイスコイルモータ(VCM)
11…Z軸モータ
15…垂直Z駆動部
15a…下側ストッパ部
19…吸着ノズル
21a…上側ストッパ
21b…下側ストッパ
30…基板搭載テーブル
31…ロードセル
40…CPU
45…VCMドライバ(制御手段)
Claims (3)
- X軸駆動手段及びY軸駆動手段により平面方向に移動可能な搭載ヘッドと、部品が加圧搭載される基板を支持する基板搭載テーブルと、を備え、前記搭載ヘッドが、前記部品を吸着保持する吸着ノズルと、該吸着ノズルを上下方向に付勢可能である加圧駆動手段と、該加圧駆動手段を支持すると共に前記吸着ノズルを上下方向の一定範囲で移動可能であるように支持する支持フレームと、該支持フレームをZ軸方向に進退動させ前記加圧駆動手段及び前記吸着ノズルを同方向に移動させるZ軸駆動手段と、を備えた部品実装装置において、
前記基板搭載テーブルに支持される基板に加わる荷重を検出可能であるように前記基板搭載テーブルに付設された荷重検出手段と、前記加圧駆動手段及び前記Z軸駆動手段を制御する制御手段と、を備え、
前記制御手段は、前記部品の前記基板上への加圧搭載時において、まず前記Z軸駆動手段により前記吸着ノズルを前記基板の上方から下降させて前記吸着ノズルに吸着保持される前記部品が前記基板の上面の直前の高さに達したところで前記吸着ノズルの下降を一旦停止させ、次に前記加圧駆動手段により前記吸着ノズルを上方に付勢しつつ前記荷重検出手段により前記基板にかかる荷重を検出しながら前記Z軸駆動手段により前記吸着ノズルを前記下降の速度よりも低速で更に下降させ、前記荷重検出手段により前記部品が前記基板に接触したことを検出すると前記加圧駆動手段により前記吸着ノズルを下方に付勢して所定の荷重で前記部品を前記基板に加圧するように前記加圧駆動手段及び前記Z軸駆動手段を制御することを特徴とする部品実装装置。 - 前記荷重検出手段が、前記基板搭載テーブルの下に設置された複数のロードセルであり、各ロードセルの下方には、たわみ過ぎを防止するストッパが配設されていることを特徴とする請求項1に記載の部品実装装置。
- 前記吸着ノズルには該吸着ノズルの前記支持フレームにおける前記上下方向の移動の範囲の下限を位置決めするための下側ストッパが連結され、前記支持フレームには前記下側ストッパが上方から当接する下側ストッパ部が設けられ、
前記制御手段は、部品吸着時には、前記下側ストッパを前記支持フレームの前記下側ストッパ部に前記加圧駆動手段により目標加圧量に当接させた状態で、前記Z軸駆動手段により前記吸着ノズルの先端を所定位置の部品に接触させることを特徴とする請求項1又は2に記載の部品実装装置。
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