JP4909249B2 - 移載装置 - Google Patents
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Images
Description
110 テーブル部
111 装置ベース
112 ベーステーブル
113 下テーブル
114 上テーブル
120 チップ保持部
121 フィンガー部
130 突き上げ部
140 カメラ
150 タッチパネル付き液晶ディスプレイ
161 横板
162 チップ保持部駆動用モータ
163 側板
164 カメラ駆動用モータ
301〜306 リニアガイド
307,308 ボールネジ
309 下テーブル駆動用モータ
310 上テーブル駆動用モータ
311 ボールネジ
312 ナット部
313 ベーステーブル駆動用モータ
401 天板
402 側板
403,404 ナット部
501 長孔
502,503 孔
601 突き上げベース
603 突き上げピン
607 直進ガイド
609 偏心カム
610 垂下部
611 偏心カム駆動用モータ
612 突き上げピン通過孔
613 真空吸着用孔
614 圧縮コイルばね
615 ボールベアリング
616,620 リニアガイド
631,641 可動ブロック
632,642 引っ張りコイルばね
633,643 調整ネジ
650 ストッパ部材
801 ウェーハリング
1111〜1113 領域
Claims (7)
- 移載対象物が載置されるテーブル部と、
前記テーブル部の上方に配置され、上下動可能な移載対象物保持部と
を備えた移載装置であって、
前記テーブル部は、
第一の方向に水平移動可能なベーステーブルと、
前記ベーステーブル上に配置され、前記ベーステーブルに対して、前記第一の方向と垂直な第二の方向に水平移動可能な下テーブルと、
前記ベーステーブル上に配置され、前記ベーステーブルに対して、前記第二の方向に水平移動可能な上テーブルと
を備え、
前記上テーブルは、前記下テーブルの上方に、間隔を開けて重なることが可能であり、
前記移載対象物保持部は、前記下テーブル及び前記上テーブルのいずれか一方から、前記移載対象物を拾い上げ、他方へ載置する
ことを特徴とする移載装置。 - 前記ベーステーブル並びに前記上テーブル及び前記下テーブルのいずれか一方を移動させることによって、移載対象物の位置決めを行い、
前記移載対象物保持部を下降及び上昇させることによって、位置決めされた移載対象物を拾い上げ、
前記ベーステーブル並びに前記上テーブル及び前記下テーブルのいずれか一方を移動させることによって、前記移載対象物の載置位置の位置決めを行い、
前記移載対象物保持部を下降させることによって、位置決めされた載置位置に、移載対象物を載置する
ことを特徴とする請求項1に記載の移載装置。 - 前記下テーブルに載置された移載対象物を下方から突き上げる突き上げ部を更に備える
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の移載装置。 - 前記突き上げ部は、前記第一の方向に移動可能である
ことを特徴とする請求項3に記載の移載装置。 - 前記突き上げ部は、前記第一の方向に外力が加わると、当該外力の方向に移動し、当該外力が作用しなくなると、原点位置に戻る
ことを特徴とする請求項4に記載の移載装置。 - 前記第一の方向に長い長孔が形成された装置ベースを更に備え、
前記突き上げ部は、前記長孔を介して、前記装置ベースの底面から突出する垂下部を備え、
前記装置ベースの底面に、
ストッパ部材と、
前記垂下部及び前記ストッパ部材を挟むように配置され、前記第一の方向に移動可能な一対の可動ブロックと、
前記一対の可動ブロックが、前記ストッパ部材に当接するように各可動ブロックを付勢する付勢手段と
を備えたことを特徴とする請求項5に記載の移載装置。 - 前記移載対象物保持部の上方に配置され、移載対象物及びその移載先の撮像を行う撮像手段を更に備えた
ことを特徴とする請求項1〜6のいずれか一項に記載の移載装置。
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