JP2007000972A - 電子部品の吸着装置および電子部品の搭載装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】電子部品7の吸着ノズル40aと吸排気源43を接続する吸気経路54と排気経路53とを並列に設け、吸気経路54に吸着ノズル40aに電子部品7を真空吸着させる吸気を許容する吸気弁62とフィルタ63とを直列に設け、排気経路53に電子部品7の真空吸着を破壊する排気を許容する排気弁61を設けたので、吸気の際にフィルタ64に捕集された異物等が真空破壊の際の排気に混入することがない。
【選択図】図4
Description
ケット23には電子部品の姿勢変更機構30が装着されており、上方の電子部品搭載部17と下方の電子部品供給部2の間に配設されている。
真空吸着してピックアップする(ST2)。転送ヘッド41、42についても上記ST1〜ST3の動作を繰り返し、位置合わせされた電子部品7を吸着ノズル41a、42aに真空吸着してピックアップする。
14 基板
18 搭載ヘッド
30 姿勢変更機構
40、41、42 転送ヘッド
40a、41a、42a 吸着ノズル
43、44、45 吸排気源
47a、47b、47c 吸排気管
51 排気孔
52 吸気孔
53 排気管
54 吸気管
61 排気弁
62 吸気弁
63 フィルタ
Claims (4)
- 電子部品の吸着ノズルと吸排気源を接続する吸気経路と排気経路とを並列に設け、前記吸気経路に前記吸着ノズルに電子部品を真空吸着させる吸気を許容する吸気弁とフィルタとを直列に設け、前記排気経路に電子部品の真空吸着を破壊する排気を許容する排気弁を設けたことを特徴とする電子部品の吸着装置。
- 前記吸着ノズルが、電子部品を真空吸着する吸気孔と真空破壊する排気孔とを独立して別個に備え、前記吸気孔が前記吸気経路と連通するとともに前記排気孔が前記排気経路と連通することを特徴とする請求項1記載の電子部品の吸着装置。
- 電子部品を真空吸着してピックアップする吸着ノズルを備えた転送ヘッドと、前記転送ヘッドから電子部品を受け取って基板に搭載する搭載ヘッドと、前記転送ヘッドを、電子部品をピックアップする姿勢とピックアップした電子部品を前記搭載ヘッドに受け渡す姿勢とに姿勢変更させる姿勢変更手段と、前記吸着ノズルに吸排気する吸排気源と、前記吸着ノズルと前記吸排気源を接続する吸排経路とを備え、
前記吸排経路が吸気経路と排気経路に分岐され、前記吸気経路に前記吸着ノズルに電子部品を真空吸着させる吸気を許容する吸気弁とフィルタとを直列に設け、前記排気経路に電子部品の真空吸着を破壊する排気を許容する排気弁を設けたことを特徴とする電子部品の搭載装置。 - 前記吸着ノズルが、電子部品を真空吸着する吸気孔と真空破壊する排気孔とを独立して別個に備え、前記吸気孔が前記吸気経路と連通するとともに前記排気孔が前記排気経路と連通することを特徴とする請求項3記載の電子部品の搭載装置。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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- 2005-06-24 JP JP2005184312A patent/JP4251157B2/ja active Active
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