JP3449193B2 - 導電性ボールの移載装置および移載方法 - Google Patents
導電性ボールの移載装置および移載方法Info
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- JP3449193B2 JP3449193B2 JP24381697A JP24381697A JP3449193B2 JP 3449193 B2 JP3449193 B2 JP 3449193B2 JP 24381697 A JP24381697 A JP 24381697A JP 24381697 A JP24381697 A JP 24381697A JP 3449193 B2 JP3449193 B2 JP 3449193B2
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- conductive
- conductive balls
- head
- suction head
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- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/30—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
- H05K3/32—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
- H05K3/34—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by soldering
- H05K3/3457—Solder materials or compositions; Methods of application thereof
- H05K3/3478—Applying solder preforms; Transferring prefabricated solder patterns
Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、導電性ボールをワ
ークに移載する導電性ボールの移載装置および移載方法
に関するものである。
ークに移載する導電性ボールの移載装置および移載方法
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】フリップチップやＢＧＡ（Ｂａｌｌ Ｇ
ｒｉｄ Ａｒｒａｙ）などのバンプ付きの電子部品を製
造する方法として、半田ボールなどの導電性ボールを用
いる方法が知られている。また導電性ボールをチップや
基板などのワークに移載する方法として、吸着ヘッドを
用いる方法が実施されている。
ｒｉｄ Ａｒｒａｙ）などのバンプ付きの電子部品を製
造する方法として、半田ボールなどの導電性ボールを用
いる方法が知られている。また導電性ボールをチップや
基板などのワークに移載する方法として、吸着ヘッドを
用いる方法が実施されている。
【０００３】この方法は、容器などに貯溜された導電性
ボールを、吸着ヘッドの下面に多数形成された吸着孔に
真空吸着してピックアップし、吸着ヘッドをワークの上
方に移動させてこれらの導電性ボールをワークの電極上
に移載するものであり、多数の導電性ボールを一括して
ワークに移載できるので作業性がよいという利点があ
る。
ボールを、吸着ヘッドの下面に多数形成された吸着孔に
真空吸着してピックアップし、吸着ヘッドをワークの上
方に移動させてこれらの導電性ボールをワークの電極上
に移載するものであり、多数の導電性ボールを一括して
ワークに移載できるので作業性がよいという利点があ
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところが、吸着ヘッド
を用いて導電性ボールをワークに移載する方法では、導
電性ボールを真空吸着する際に、以下に説明するような
ピックアップミスが発生しやすい。すなわち、吸着ヘッ
ドに導電性ボールを真空吸着させるに際しては、多数の
導電性ボールが積層して貯溜された導電性ボールの供給
部内に吸着ヘッドを下降させるが、このときに吸着ヘッ
ドの各吸着孔に対して１つの導電性ボールが確実に真空
吸着されるとは限らない。例えば、１つの吸着孔に複数
の導電性ボールが真空吸着され、吸着ヘッドの下面に多
数個の導電性ボールが連なって付着する場合や、吸着孔
以外の位置に導電性ボールが付着したままで吸着ヘッド
が上昇することもある。このように吸着ヘッドを用いる
方法では、吸着ヘッドの下面に余分な導電性ボールが付
着するピックアップミスが発生しやすく、ワークの電極
上に導電性ボールが１個づつ正しく移載されないことが
あるという問題点があった。
を用いて導電性ボールをワークに移載する方法では、導
電性ボールを真空吸着する際に、以下に説明するような
ピックアップミスが発生しやすい。すなわち、吸着ヘッ
ドに導電性ボールを真空吸着させるに際しては、多数の
導電性ボールが積層して貯溜された導電性ボールの供給
部内に吸着ヘッドを下降させるが、このときに吸着ヘッ
ドの各吸着孔に対して１つの導電性ボールが確実に真空
吸着されるとは限らない。例えば、１つの吸着孔に複数
の導電性ボールが真空吸着され、吸着ヘッドの下面に多
数個の導電性ボールが連なって付着する場合や、吸着孔
以外の位置に導電性ボールが付着したままで吸着ヘッド
が上昇することもある。このように吸着ヘッドを用いる
方法では、吸着ヘッドの下面に余分な導電性ボールが付
着するピックアップミスが発生しやすく、ワークの電極
上に導電性ボールが１個づつ正しく移載されないことが
あるという問題点があった。
【０００５】そこで本発明は、ピックアップミスにより
吸着ヘッドの下面に余分に付着した導電性ボールを除去
し、導電性ボールをワークの電極上に正しく移載するこ
とができる導電性ボールの移載装置および移載方法を提
供することを目的とする。
吸着ヘッドの下面に余分に付着した導電性ボールを除去
し、導電性ボールをワークの電極上に正しく移載するこ
とができる導電性ボールの移載装置および移載方法を提
供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の導電性ボ
ールの移載装置は、下面に導電性ボールを吸着する複数
の吸着孔が形成された吸着ヘッドと、導電性ボールを供
給するボール供給部と、ワークを位置決めする位置決め
部と、前記吸着ヘッドを上下動させる上下動手段と、前
記吸着ヘッドをボール供給部と位置決め部の間を移動さ
せる移動手段と、前記吸着ヘッドの下面の吸着孔以外に
余分に付着した導電性ボールを除去する除去部とを備
え、この除去部に、前記吸着孔のピッチに対応し且つ導
電性ボールの直径より小さな複数の吸引孔を有し、この
吸引孔からの空気の吸引によって発生する流体力によっ
て吸着ヘッドの下面に余分に付着した導電性ボールを除
去する吸引器を設けた。
ールの移載装置は、下面に導電性ボールを吸着する複数
の吸着孔が形成された吸着ヘッドと、導電性ボールを供
給するボール供給部と、ワークを位置決めする位置決め
部と、前記吸着ヘッドを上下動させる上下動手段と、前
記吸着ヘッドをボール供給部と位置決め部の間を移動さ
せる移動手段と、前記吸着ヘッドの下面の吸着孔以外に
余分に付着した導電性ボールを除去する除去部とを備
え、この除去部に、前記吸着孔のピッチに対応し且つ導
電性ボールの直径より小さな複数の吸引孔を有し、この
吸引孔からの空気の吸引によって発生する流体力によっ
て吸着ヘッドの下面に余分に付着した導電性ボールを除
去する吸引器を設けた。
【０００７】請求項２記載の導電性ボールの移載方法
は、下面に導電性ボールを吸着する複数の吸着孔が形成
された吸着ヘッドによりボール供給部の導電性ボールを
ワークに移載する導電性ボールの移載方法であって、下
面に導電性ボールを吸着した前記吸着ヘッドを前記吸着
孔のピッチに対応し且つ導電性ボールの直径より小さな
複数の吸引孔が形成された吸引器上であって前記吸着孔
と前記吸引孔の位置が相互に半ピッチだけずれた位置関
係となるように相対的に位置させ、前記吸引器の吸引孔
より真空吸引し、真空吸引により発生した流体力で前記
吸着ヘッドの下面に余分に付着した導電性ボールを除去
するようにした。
は、下面に導電性ボールを吸着する複数の吸着孔が形成
された吸着ヘッドによりボール供給部の導電性ボールを
ワークに移載する導電性ボールの移載方法であって、下
面に導電性ボールを吸着した前記吸着ヘッドを前記吸着
孔のピッチに対応し且つ導電性ボールの直径より小さな
複数の吸引孔が形成された吸引器上であって前記吸着孔
と前記吸引孔の位置が相互に半ピッチだけずれた位置関
係となるように相対的に位置させ、前記吸引器の吸引孔
より真空吸引し、真空吸引により発生した流体力で前記
吸着ヘッドの下面に余分に付着した導電性ボールを除去
するようにした。
【０００８】上記構成の本発明によれば、下面に導電性
ボールを真空吸着した吸着ヘッドを吸引孔が形成された
吸引器に対して所定の間隔を保って位置させ、この吸引
孔から真空吸引することにより、吸着ヘッドの下面に余
分に付着した導電性ボールを真空吸引によって発生した
流体力によって除去することができる。
ボールを真空吸着した吸着ヘッドを吸引孔が形成された
吸引器に対して所定の間隔を保って位置させ、この吸引
孔から真空吸引することにより、吸着ヘッドの下面に余
分に付着した導電性ボールを真空吸引によって発生した
流体力によって除去することができる。
【０００９】
（実施の形態１）図１は、本発明の実施の形態１の導電
性ボールの移載装置の正面図、図２は同導電性ボールの
移載装置の導電性ボールの除去部の部分断面図、図３、
図４は同導電性ボールの移載装置のボール供給部の部分
断面図、図５は同導電性ボールの移載装置の導電性ボー
ルの除去部の部分断面図、図６は同導電性ボールの移載
装置の位置決めテーブルの部分正面図である。
性ボールの移載装置の正面図、図２は同導電性ボールの
移載装置の導電性ボールの除去部の部分断面図、図３、
図４は同導電性ボールの移載装置のボール供給部の部分
断面図、図５は同導電性ボールの移載装置の導電性ボー
ルの除去部の部分断面図、図６は同導電性ボールの移載
装置の位置決めテーブルの部分正面図である。
【００１０】まず、図１を参照して導電性ボールの移載
装置の全体構造を説明する。図１において、基台１上に
は位置決めテーブル２が設けられている。位置決めテー
ブル２はＹテーブル３、Ｘテーブル４から構成される。
Ｘテーブル４上にはホルダ５が設けられており、ホルダ
５はワーク６を保持する。したがって位置決めテーブル
２を駆動することにより、ワーク６が所定位置に位置決
めされる。
装置の全体構造を説明する。図１において、基台１上に
は位置決めテーブル２が設けられている。位置決めテー
ブル２はＹテーブル３、Ｘテーブル４から構成される。
Ｘテーブル４上にはホルダ５が設けられており、ホルダ
５はワーク６を保持する。したがって位置決めテーブル
２を駆動することにより、ワーク６が所定位置に位置決
めされる。
【００１１】また基台１上の位置決めテーブル２の反対
側の端部には、導電性ボール７の供給部１０が配設され
ている。ボール供給部１０はボール槽１１より成り、ボ
ール槽１１の内部には複数層のメッシュプレート１２が
水平に展張されている。メッシュプレート１２は導電性
ボール７が通過できない大きさの開孔を無数に設けたも
のである。最上層のメッシュプレート１２上には導電性
ボール７が貯溜される。ボール槽１１の底部にはノズル
１４が配設されており、ノズル１４はガス供給源（図
外）に接続されている。ノズル１４にガスを供給するこ
とにより、ノズル１４から上方に吹き出されたガスはメ
ッシュプレート１２の開孔を通過して導電性ボール７の
層に吹き込まれ、導電性ボール７を流動化させる。
側の端部には、導電性ボール７の供給部１０が配設され
ている。ボール供給部１０はボール槽１１より成り、ボ
ール槽１１の内部には複数層のメッシュプレート１２が
水平に展張されている。メッシュプレート１２は導電性
ボール７が通過できない大きさの開孔を無数に設けたも
のである。最上層のメッシュプレート１２上には導電性
ボール７が貯溜される。ボール槽１１の底部にはノズル
１４が配設されており、ノズル１４はガス供給源（図
外）に接続されている。ノズル１４にガスを供給するこ
とにより、ノズル１４から上方に吹き出されたガスはメ
ッシュプレート１２の開孔を通過して導電性ボール７の
層に吹き込まれ、導電性ボール７を流動化させる。
【００１２】次に導電性ボール７を移載する吸着ヘッド
３１について説明する。図１に示す２０は、吸着ヘッド
３１をボール供給部１０と位置決めテープル２との間を
移動させる移動手段である。吸着ヘッド３１は、ブロッ
ク３０に保持されており、吸着ヘッド３１の下面には複
数の吸着孔３１ａが設けられている。ブロック３０はブ
ラケット２４の前面に設けられた垂直なガイドレール２
５に上下動自在に装着されている。ブロック３０には、
ナット２８が一体的に設けられており、ナット２８には
垂直の送りねじ２６が螺合している。したがってＺ軸モ
ータ２７が正逆駆動して送りねじ２６が正逆回転する
と、吸着ヘッド３１はガイドレール２５に案内されて上
下動する。したがって、Ｚ軸モータ２７および送りねじ
２６は吸着ヘッド３１を上下させる上下動手段となって
いる。
３１について説明する。図１に示す２０は、吸着ヘッド
３１をボール供給部１０と位置決めテープル２との間を
移動させる移動手段である。吸着ヘッド３１は、ブロッ
ク３０に保持されており、吸着ヘッド３１の下面には複
数の吸着孔３１ａが設けられている。ブロック３０はブ
ラケット２４の前面に設けられた垂直なガイドレール２
５に上下動自在に装着されている。ブロック３０には、
ナット２８が一体的に設けられており、ナット２８には
垂直の送りねじ２６が螺合している。したがってＺ軸モ
ータ２７が正逆駆動して送りねじ２６が正逆回転する
と、吸着ヘッド３１はガイドレール２５に案内されて上
下動する。したがって、Ｚ軸モータ２７および送りねじ
２６は吸着ヘッド３１を上下させる上下動手段となって
いる。
【００１３】ブラケット２４の背面に設けられたナット
（図示せず）は、水平な送りねじ２２に螺合している。
２１は送りねじ２２の保持テーブルである。したがって
Ｘ軸モータ２３が正逆回転すると、送りねじ２２は正逆
回転し、ブラケット２４に保持された吸着ヘッド３１は
位置決めテーブル２とボール供給部１０の間を水平移動
する。
（図示せず）は、水平な送りねじ２２に螺合している。
２１は送りねじ２２の保持テーブルである。したがって
Ｘ軸モータ２３が正逆回転すると、送りねじ２２は正逆
回転し、ブラケット２４に保持された吸着ヘッド３１は
位置決めテーブル２とボール供給部１０の間を水平移動
する。
【００１４】図１において、基台１上のボール供給部１
０の側方には、導電性ボール７の除去部４０が配設され
ている。除去部４０は、吸着ヘッド３１の下面に余分に
付着した導電性ボール７を除去する。図１に示すよう
に、ボックス４１上には吸引器４２が配設されている。
吸引器４２は中空の箱であり、吸引器４２の上面には複
数の吸引孔４２ａが形成されている。吸引孔４２ａは導
電性ボール７が通過可能な大きさとなっている。吸引器
４２の底面には吸引ダクト４４が接続されており、吸引
ダクト４４の開口部にはフィルター４３が展設されてい
る。フィルター４３は、導電性ボール７の通過を阻止す
るような大きさのメッシュとなっている。
０の側方には、導電性ボール７の除去部４０が配設され
ている。除去部４０は、吸着ヘッド３１の下面に余分に
付着した導電性ボール７を除去する。図１に示すよう
に、ボックス４１上には吸引器４２が配設されている。
吸引器４２は中空の箱であり、吸引器４２の上面には複
数の吸引孔４２ａが形成されている。吸引孔４２ａは導
電性ボール７が通過可能な大きさとなっている。吸引器
４２の底面には吸引ダクト４４が接続されており、吸引
ダクト４４の開口部にはフィルター４３が展設されてい
る。フィルター４３は、導電性ボール７の通過を阻止す
るような大きさのメッシュとなっている。
【００１５】また、吸引ダクト４４は吸引源（図外）に
接続されている。吸引源を駆動することにより、吸引器
４２は吸引孔４２ａの周囲の空気を吸引し、図２に示す
ように吸引器４２上に位置する吸着ヘッド３１の下面の
吸着孔３１ａ以外に余分に付着した導電性ボール７を吸
引により発生する流体力によって除去する。吸引されて
吸引器４２内に落下した導電性ボール７は、フィルター
４３により吸引ダクト４４内に落下することなく保持さ
れて吸引器４２内に回収される。
接続されている。吸引源を駆動することにより、吸引器
４２は吸引孔４２ａの周囲の空気を吸引し、図２に示す
ように吸引器４２上に位置する吸着ヘッド３１の下面の
吸着孔３１ａ以外に余分に付着した導電性ボール７を吸
引により発生する流体力によって除去する。吸引されて
吸引器４２内に落下した導電性ボール７は、フィルター
４３により吸引ダクト４４内に落下することなく保持さ
れて吸引器４２内に回収される。
【００１６】この導電性ボールの移載装置は上記のよう
な構成より成り、次に動作を説明する。まず、図１にお
いて、Ｘ軸モータ２３を駆動して吸着ヘッド３１をボー
ル供給部１０の上方へ移動させる。そこで、Ｚ軸モータ
２７を駆動して吸着ヘッド３１を下降させ、図３に示す
ように吸着ヘッド３１の下面を導電性ボール７の層に幾
分沈み込ませる。このとき、ボール槽１１のノズル１４
よりガスが上方に向って吹き出されており（矢印ａ参
照）、導電性ボール７はこのガスの流れによって流動化
している。このため導電性ボール７は上方に吹き上げら
れ、吸着ヘッド３１の下面に突き当って吸着孔３１ａに
真空吸着される。
な構成より成り、次に動作を説明する。まず、図１にお
いて、Ｘ軸モータ２３を駆動して吸着ヘッド３１をボー
ル供給部１０の上方へ移動させる。そこで、Ｚ軸モータ
２７を駆動して吸着ヘッド３１を下降させ、図３に示す
ように吸着ヘッド３１の下面を導電性ボール７の層に幾
分沈み込ませる。このとき、ボール槽１１のノズル１４
よりガスが上方に向って吹き出されており（矢印ａ参
照）、導電性ボール７はこのガスの流れによって流動化
している。このため導電性ボール７は上方に吹き上げら
れ、吸着ヘッド３１の下面に突き当って吸着孔３１ａに
真空吸着される。
【００１７】このとき、図４に示すように、吸着ヘッド
３１の下面の吸着孔３１ａ以外の位置に余分な導電性ボ
ール７が付着したまま吸着ヘッド３１が上昇することが
ある。図４では余分な導電性ボール７が１個付着した例
を示しているが、この例以外にも、複数の導電性ボール
７が連なって付着する場合など、余分な導電性ボール７
の付着には様々な態様がある。
３１の下面の吸着孔３１ａ以外の位置に余分な導電性ボ
ール７が付着したまま吸着ヘッド３１が上昇することが
ある。図４では余分な導電性ボール７が１個付着した例
を示しているが、この例以外にも、複数の導電性ボール
７が連なって付着する場合など、余分な導電性ボール７
の付着には様々な態様がある。
【００１８】このような余分に付着した導電性ボール７
は、除去部４０にて除去される。まず導電性ボール７を
吸着した吸着ヘッド３１を除去部４０の上方に移動さ
せ、次いで吸着ヘッド３１を吸引器４２に対して下降さ
せる。そして図５に示すように、吸着ヘッド３１を吸引
器４２上に所定の間隔Ｓを保って位置させる。そして、
吸着ヘッド３１を小刻みに水平移動させながら（矢印ｃ
参照）、吸引ダクト４４より吸引すると、吸引器４２の
吸引孔４２ａの周囲の空気が勢いよく吸引される。この
空気の吸引時に発生する流体力（吸引による空気の流れ
方向に導電性ボール７を引き寄せる力）により、吸着ヘ
ッド３１の下面に余分に吸着された導電性ボール７は吸
着ヘッド３１から除去され、吸引孔４２ａより吸引器４
２内に落下して回収される。
は、除去部４０にて除去される。まず導電性ボール７を
吸着した吸着ヘッド３１を除去部４０の上方に移動さ
せ、次いで吸着ヘッド３１を吸引器４２に対して下降さ
せる。そして図５に示すように、吸着ヘッド３１を吸引
器４２上に所定の間隔Ｓを保って位置させる。そして、
吸着ヘッド３１を小刻みに水平移動させながら（矢印ｃ
参照）、吸引ダクト４４より吸引すると、吸引器４２の
吸引孔４２ａの周囲の空気が勢いよく吸引される。この
空気の吸引時に発生する流体力（吸引による空気の流れ
方向に導電性ボール７を引き寄せる力）により、吸着ヘ
ッド３１の下面に余分に吸着された導電性ボール７は吸
着ヘッド３１から除去され、吸引孔４２ａより吸引器４
２内に落下して回収される。
【００１９】このように、全ての吸着孔３１ａに１個づ
つ正しく導電性ボール７を真空吸着してピックアップし
た吸着ヘッド３１は除去部４０から上昇し、次いで位置
決めテーブル２の上方に水平移動する。次に吸着ヘッド
３１はホルダ５に保持されたワーク６上に下降し、真空
吸着を解除することにより図６に示すように電極６ａ上
に導電性ボール７を移載した後上昇し、導電性ボール７
の移載を完了する。
つ正しく導電性ボール７を真空吸着してピックアップし
た吸着ヘッド３１は除去部４０から上昇し、次いで位置
決めテーブル２の上方に水平移動する。次に吸着ヘッド
３１はホルダ５に保持されたワーク６上に下降し、真空
吸着を解除することにより図６に示すように電極６ａ上
に導電性ボール７を移載した後上昇し、導電性ボール７
の移載を完了する。
【００２０】（実施の形態２）図７、図８は、本発明の
実施の形態２の導電性ボールの移載装置の導電性ボール
の除去部の断面図である。図７において、ボックス４５
上には吸引器４６が配設されている。吸引器４６には、
吸着ヘッド３１の吸着孔３１ａのピッチに対応して吸引
孔４６ａが設けられている。吸引孔４６ａの大きさは、
導電性ボール７の直径よりも小さく、導電性ボール７が
通過できない大きさとなっている。吸引器４６には配管
４７が設けられ、吸引源（図外）と接続されている。ま
た、吸引器４６には、導電性ボール７の受け部材４８が
付設されている。
実施の形態２の導電性ボールの移載装置の導電性ボール
の除去部の断面図である。図７において、ボックス４５
上には吸引器４６が配設されている。吸引器４６には、
吸着ヘッド３１の吸着孔３１ａのピッチに対応して吸引
孔４６ａが設けられている。吸引孔４６ａの大きさは、
導電性ボール７の直径よりも小さく、導電性ボール７が
通過できない大きさとなっている。吸引器４６には配管
４７が設けられ、吸引源（図外）と接続されている。ま
た、吸引器４６には、導電性ボール７の受け部材４８が
付設されている。
【００２１】図７に示すように、吸引孔３１ａ以外の位
置に余分な導電性ボール７が付着した吸着ヘッド３１
を、吸着孔３１ａと吸引孔４６ａの位置が相互に半ピッ
チだけずれた位置関係となるよう、すなわち吸着孔３１
ａの中間に付着した導電性ボール７の直下に吸引孔４６
ａが位置するように位置合わせして、吸引器４６に対し
て下降させる。すると、吸着ヘッド３１の下面の吸着孔
３１ａ以外に付着した余分な導電性ボール７は、吸引孔
４６ａの位置と略一致し、この状態で吸引源を駆動し吸
引孔４６ａから空気を吸引すると、吸引によって発生し
た流体力（吸引によって発生した吸引器４６内外の静圧
差による力）により、当該導電性ボール７は吸引孔４６
ａに真空吸着される（矢印ｆ参照）。
置に余分な導電性ボール７が付着した吸着ヘッド３１
を、吸着孔３１ａと吸引孔４６ａの位置が相互に半ピッ
チだけずれた位置関係となるよう、すなわち吸着孔３１
ａの中間に付着した導電性ボール７の直下に吸引孔４６
ａが位置するように位置合わせして、吸引器４６に対し
て下降させる。すると、吸着ヘッド３１の下面の吸着孔
３１ａ以外に付着した余分な導電性ボール７は、吸引孔
４６ａの位置と略一致し、この状態で吸引源を駆動し吸
引孔４６ａから空気を吸引すると、吸引によって発生し
た流体力（吸引によって発生した吸引器４６内外の静圧
差による力）により、当該導電性ボール７は吸引孔４６
ａに真空吸着される（矢印ｆ参照）。
【００２２】このようにして、下面の余分な導電性ボー
ル７を除去した後、吸着ヘッド３１は除去部４０から上
昇する。この後、除去部４０では吸引器４６に真空吸着
された導電性ボール７が回収される。まず、駆動源を停
止して吸引孔４６ａの真空吸着を解除した後、図８に示
すようにノズル４９から矢印ｇ方向に空気を噴出させ
る。これにより、吸引器４６上の導電性ボール７は、噴
出された空気に吹き飛ばされて受け部材４８上に落下
し、回収される。これ以降の動作に関しては、実施の形
態１と同様である。
ル７を除去した後、吸着ヘッド３１は除去部４０から上
昇する。この後、除去部４０では吸引器４６に真空吸着
された導電性ボール７が回収される。まず、駆動源を停
止して吸引孔４６ａの真空吸着を解除した後、図８に示
すようにノズル４９から矢印ｇ方向に空気を噴出させ
る。これにより、吸引器４６上の導電性ボール７は、噴
出された空気に吹き飛ばされて受け部材４８上に落下
し、回収される。これ以降の動作に関しては、実施の形
態１と同様である。
【００２３】本発明は、上記実施の形態に限定されない
のであって、例えば上記実施の形態では導電性ボールの
除去部４０を固定し、除去部４０に対して吸着ヘッド３
１を下降させるようにしているが、除去部４０を可動な
ものとし、ボール供給部１０上で静止した吸着ヘッド３
１に対して除去部４０を移動させて、余分な導電性ボー
ルを除去するようにしてもよいものである。
のであって、例えば上記実施の形態では導電性ボールの
除去部４０を固定し、除去部４０に対して吸着ヘッド３
１を下降させるようにしているが、除去部４０を可動な
ものとし、ボール供給部１０上で静止した吸着ヘッド３
１に対して除去部４０を移動させて、余分な導電性ボー
ルを除去するようにしてもよいものである。
【００２４】
【発明の効果】本発明によれば、吸着ヘッドの下面に余
分に付着した導電性ボールを、吸引により発生する流体
力によって速やかに吸着ヘッド下面から除去することが
でき、従ってワークの電極上に確実に１個づつの導電性
ボールを移載することができる。
分に付着した導電性ボールを、吸引により発生する流体
力によって速やかに吸着ヘッド下面から除去することが
でき、従ってワークの電極上に確実に１個づつの導電性
ボールを移載することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態１の導電性ボールの移載装
置の正面図
置の正面図
【図２】本発明の実施の形態１の導電性ボールの移載装
置の導電性ボールの除去部の部分断面図
置の導電性ボールの除去部の部分断面図
【図３】本発明の実施の形態１の導電性ボールの移載装
置のボール供給部の部分断面図
置のボール供給部の部分断面図
【図４】本発明の実施の形態１の導電性ボールの移載装
置のボール供給部の部分断面図
置のボール供給部の部分断面図
【図５】本発明の実施の形態１の導電性ボールの移載装
置の導電性ボールの除去部の部分断面図
置の導電性ボールの除去部の部分断面図
【図６】本発明の実施の形態１の導電性ボールの移載装
置の位置決めテーブルの部分正面図
置の位置決めテーブルの部分正面図
【図７】本発明の実施の形態２の導電性ボールの移載装
置の導電性ボールの除去部の断面図
置の導電性ボールの除去部の断面図
【図８】本発明の実施の形態２の導電性ボールの移載装
置の導電性ボールの除去部の断面図
置の導電性ボールの除去部の断面図
１ 基台
２ 位置決めテーブル
６ ワーク
７ 導電性ボール
１０ ボール供給部
１１ ボール槽
２３ Ｘ軸モータ
２７ Ｚ軸モータ
３１ 吸着ヘッド
３１ａ 吸着孔
４０ 除去部
４２、４６ 吸引器
４２ａ、４６ａ 吸引孔
４３ メッシュプレート
４４ 吸引ダクト
Claims (2)
- 【請求項１】下面に導電性ボールを吸着する複数の吸着
孔が形成された吸着ヘッドと、導電性ボールを供給する
ボール供給部と、ワークを位置決めする位置決め部と、
前記吸着ヘッドを上下動させる上下動手段と、前記吸着
ヘッドをボール供給部と位置決め部の間を移動させる移
動手段と、前記吸着ヘッドの下面の吸着孔以外に余分に
付着した導電性ボールを除去する除去部とを備え、この
除去部に、前記吸着孔のピッチに対応し且つ導電性ボー
ルの直径より小さな複数の吸引孔を有し、この吸引孔か
らの空気の吸引によって発生する流体力によって吸着ヘ
ッドの下面に余分に付着した導電性ボールを除去する吸
引器を設けたことを特徴とする導電性ボールの移載装
置。 - 【請求項２】下面に導電性ボールを吸着する複数の吸着
孔が形成された吸着ヘッドによりボール供給部の導電性
ボールをワークに移載する導電性ボールの移載方法であ
って、下面に導電性ボールを吸着した前記吸着ヘッドを
前記吸着孔のピッチに対応し且つ導電性ボールの直径よ
り小さな複数の吸引孔が形成された吸引器上であって前
記吸着孔と前記吸引孔の位置が相互に半ピッチだけずれ
た位置関係となるように相対的に位置させ、前記吸引器
の吸引孔より真空吸引し、真空吸引により発生した流体
力で前記吸着ヘッドの下面に余分に付着した導電性ボー
ルを除去することを特徴とする導電性ボールの移載方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24381697A JP3449193B2 (ja) | 1997-09-09 | 1997-09-09 | 導電性ボールの移載装置および移載方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24381697A JP3449193B2 (ja) | 1997-09-09 | 1997-09-09 | 導電性ボールの移載装置および移載方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1187393A JPH1187393A (ja) | 1999-03-30 |
| JP3449193B2 true JP3449193B2 (ja) | 2003-09-22 |
Family
ID=17109362
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24381697A Expired - Lifetime JP3449193B2 (ja) | 1997-09-09 | 1997-09-09 | 導電性ボールの移載装置および移載方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3449193B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3981498B2 (ja) * | 1998-04-24 | 2007-09-26 | 新日本製鐵株式会社 | ボール転写方法および装置 |
-
1997
- 1997-09-09 JP JP24381697A patent/JP3449193B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH1187393A (ja) | 1999-03-30 |
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