JP3301353B2 - 導電性ボールの移載方法 - Google Patents
導電性ボールの移載方法Info
- Publication number
- JP3301353B2 JP3301353B2 JP18481897A JP18481897A JP3301353B2 JP 3301353 B2 JP3301353 B2 JP 3301353B2 JP 18481897 A JP18481897 A JP 18481897A JP 18481897 A JP18481897 A JP 18481897A JP 3301353 B2 JP3301353 B2 JP 3301353B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- conductive
- suction head
- conductive balls
- suction
- ball
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/30—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
- H05K3/32—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
- H05K3/34—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by soldering
- H05K3/3457—Solder materials or compositions; Methods of application thereof
- H05K3/3478—Applying solder preforms; Transferring prefabricated solder patterns
Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
- Specific Conveyance Elements (AREA)
- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、導電性ボールをワ
ークに移載する導電性ボールの移載方法に関するもので
ある。
ークに移載する導電性ボールの移載方法に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】フリップチップやＢＧＡ（Ｂａｌｌ Ｇ
ｒｉｄ Ａｒｒａｙ）などのバンプ付きの電子部品を製
造する方法として、半田ボールなどの導電性ボールを用
いる方法が知られている。また導電性ボールをチップや
基板などのワークに移載する方法として、吸着ヘッドを
用いる方法が知られている。
ｒｉｄ Ａｒｒａｙ）などのバンプ付きの電子部品を製
造する方法として、半田ボールなどの導電性ボールを用
いる方法が知られている。また導電性ボールをチップや
基板などのワークに移載する方法として、吸着ヘッドを
用いる方法が知られている。
【０００３】この方法は、容器などに貯留された導電性
ボールを、吸着ヘッドの下面に多数形成された吸着孔に
真空吸着してピックアップし、吸着ヘッドをワークの上
方に移動させてこれらの導電性ボールをワークの電極上
に移載するものであり、多数の導電性ボールを一括して
ワークに移載できるので作業性がよいという利点があ
る。
ボールを、吸着ヘッドの下面に多数形成された吸着孔に
真空吸着してピックアップし、吸着ヘッドをワークの上
方に移動させてこれらの導電性ボールをワークの電極上
に移載するものであり、多数の導電性ボールを一括して
ワークに移載できるので作業性がよいという利点があ
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところが、吸着ヘッド
を用いて導電性ボールをワークに移載する方法では、導
電性ボールを真空吸着する際に、以下に説明するような
ピックアップミスが発生しやすい。すなわち、吸着ヘッ
ドに導電性ボールを真空吸着させるに際しては、多数の
導電性ボールが積層して貯溜された導電性ボールの供給
部内に吸着ツールを下降させるが、このときに吸着ヘッ
ドの各吸着孔に対して１つの導電性ボールが確実に真空
吸着されるとは限らない。例えば、吸着孔に導電性ボー
ルが真空吸着されるのに時間がかかり、吸着孔によって
は導電性ボールを真空吸着しないまま吸着ヘッドが上昇
することがある。またこれと反対に１つの吸着孔に複数
の導電性ボールが真空吸着され、吸着ツールの下面に多
数個の導電性ボールが連なって付着することもある。こ
のように吸着ツールを用いる方法では、ピックアップミ
スが発生しやすく、ワークの電極上に導電性ボールが１
個づつ正しく移載されないことがあるという問題点があ
った。
を用いて導電性ボールをワークに移載する方法では、導
電性ボールを真空吸着する際に、以下に説明するような
ピックアップミスが発生しやすい。すなわち、吸着ヘッ
ドに導電性ボールを真空吸着させるに際しては、多数の
導電性ボールが積層して貯溜された導電性ボールの供給
部内に吸着ツールを下降させるが、このときに吸着ヘッ
ドの各吸着孔に対して１つの導電性ボールが確実に真空
吸着されるとは限らない。例えば、吸着孔に導電性ボー
ルが真空吸着されるのに時間がかかり、吸着孔によって
は導電性ボールを真空吸着しないまま吸着ヘッドが上昇
することがある。またこれと反対に１つの吸着孔に複数
の導電性ボールが真空吸着され、吸着ツールの下面に多
数個の導電性ボールが連なって付着することもある。こ
のように吸着ツールを用いる方法では、ピックアップミ
スが発生しやすく、ワークの電極上に導電性ボールが１
個づつ正しく移載されないことがあるという問題点があ
った。
【０００５】そこで本発明は、導電性ボールのピックア
ップミスを解消し、確実に導電性ボールをワークの電極
上に移載することができる導電性ボールの移載方法を提
供することを目的とする。
ップミスを解消し、確実に導電性ボールをワークの電極
上に移載することができる導電性ボールの移載方法を提
供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の導電性ボールの
移載方法は、吸着ヘッドに導電性ボールの供給部に対し
て上下動作を行わせてこの吸着ヘッドの下面に形成され
た複数個の吸着孔に導電性ボールを真空吸着してピック
アップし、次いで吸着ヘッドをワークの上方に相対的に
移動させそこで吸着ヘッドに再度上下動作を行わせると
ともに、真空吸着状態を解除することにより、前記吸引
孔に真空吸着された導電性ボールをワークに移載するよ
うにした導電性ボールの移載方法であって、吸着ヘッド
が上下動作を行って供給部の導電性ボールを真空吸着し
てピックアップする際に供給部内にガスを噴出させるこ
とにより導電性ボールを流動化させて吸着ヘッドに真空
吸着させ、ガスの噴出量を調整して導電性ボールの流動
化の度合いを下げて導電性ボールの流動を沈静化させた
状態で吸着ヘッドを水平方向に往復動させながら下降さ
せることにより吸着ヘッドの下面に余分に付着した導電
性ボールを脱落させるようにした。
移載方法は、吸着ヘッドに導電性ボールの供給部に対し
て上下動作を行わせてこの吸着ヘッドの下面に形成され
た複数個の吸着孔に導電性ボールを真空吸着してピック
アップし、次いで吸着ヘッドをワークの上方に相対的に
移動させそこで吸着ヘッドに再度上下動作を行わせると
ともに、真空吸着状態を解除することにより、前記吸引
孔に真空吸着された導電性ボールをワークに移載するよ
うにした導電性ボールの移載方法であって、吸着ヘッド
が上下動作を行って供給部の導電性ボールを真空吸着し
てピックアップする際に供給部内にガスを噴出させるこ
とにより導電性ボールを流動化させて吸着ヘッドに真空
吸着させ、ガスの噴出量を調整して導電性ボールの流動
化の度合いを下げて導電性ボールの流動を沈静化させた
状態で吸着ヘッドを水平方向に往復動させながら下降さ
せることにより吸着ヘッドの下面に余分に付着した導電
性ボールを脱落させるようにした。
【０００７】
【発明の実施の形態】上記構成の本発明によれば、吸着
ヘッドが導電性ボールを真空吸着してピックアップする
際に供給部内にガスを噴出させることにより導電性ボー
ルを流動化させて吸着ヘッドに真空吸着させ、その後に
ガスの噴出量を調整して導電性ボールの流動化の度合い
を下げて導電性ボールの流動を沈静化させた状態で吸着
ヘッドを水平方向に往復動させながら下降させることに
より吸着ヘッドの下面に余分に付着した導電性ボールを
脱落させ、導電性ボールを確実に１個づつワークの電極
上に移載することができる。
ヘッドが導電性ボールを真空吸着してピックアップする
際に供給部内にガスを噴出させることにより導電性ボー
ルを流動化させて吸着ヘッドに真空吸着させ、その後に
ガスの噴出量を調整して導電性ボールの流動化の度合い
を下げて導電性ボールの流動を沈静化させた状態で吸着
ヘッドを水平方向に往復動させながら下降させることに
より吸着ヘッドの下面に余分に付着した導電性ボールを
脱落させ、導電性ボールを確実に１個づつワークの電極
上に移載することができる。
【０００８】次に、本発明の実施の形態を図面を参照し
て説明する。図１は本発明の一実施の形態の導電性ボー
ルの移載装置の正面図、図２は同導電性ボールの移載装
置の導電性ボールの供給部の部分断面図、図３、図４、
図５、図６、図７は同導電性ボールの移載装置の吸着ヘ
ッドの部分断面図、図８は同導電性ボールの移載装置の
導電性ボールの供給部の部分断面図、図９は同導電性ボ
ールの移載装置の導電性ボールの位置決めテーブルの部
分正面図である。
て説明する。図１は本発明の一実施の形態の導電性ボー
ルの移載装置の正面図、図２は同導電性ボールの移載装
置の導電性ボールの供給部の部分断面図、図３、図４、
図５、図６、図７は同導電性ボールの移載装置の吸着ヘ
ッドの部分断面図、図８は同導電性ボールの移載装置の
導電性ボールの供給部の部分断面図、図９は同導電性ボ
ールの移載装置の導電性ボールの位置決めテーブルの部
分正面図である。
【０００９】まず、図１を参照して導電性ボールの移載
装置の全体構造を説明する。図１において、基台１１上
には位置決めテーブルＡが設けられている。位置決めテ
ーブルＡはＹテーブル１２、Ｘテーブル１４から構成さ
れる。Ｘテーブル１４上にはホルダ１６が設けられてお
り、ホルダ１６はワーク１７を保持する。したがって、
位置決めテーブルＡを駆動することにより、ワーク１７
が所定位置に位置決めされる。
装置の全体構造を説明する。図１において、基台１１上
には位置決めテーブルＡが設けられている。位置決めテ
ーブルＡはＹテーブル１２、Ｘテーブル１４から構成さ
れる。Ｘテーブル１４上にはホルダ１６が設けられてお
り、ホルダ１６はワーク１７を保持する。したがって、
位置決めテーブルＡを駆動することにより、ワーク１７
が所定位置に位置決めされる。
【００１０】また基台１１上で位置決めテーブルＡの側
方には、導電性ボール１の供給部Ｂが配設されている。
供給部Ｂは、ボールケース１８及びボールケース１８を
外側から囲む外筒２０から構成される。ボールケース１
８は、上部が開口された容器でありその内部に導電性ボ
ール１を大量に収納する。またボールケース１８の下面
には導電性ボール１よりも小径の通気孔１８ａが設けら
れており、通気孔１８ａは外筒２０の内部空間Ｓに連通
している。外筒２０は基台２３上に載置されており、基
台２３の内部には、ガス供給手段Ｅが配設されている。
ガス供給手段Ｅは、不活性ガスまたは乾燥空気を噴出す
るブロワ２２であり、ブロワ２２が噴出するガスの通路
を開閉するバルブ２１を介して内部空間Ｓに接続されて
いる。
方には、導電性ボール１の供給部Ｂが配設されている。
供給部Ｂは、ボールケース１８及びボールケース１８を
外側から囲む外筒２０から構成される。ボールケース１
８は、上部が開口された容器でありその内部に導電性ボ
ール１を大量に収納する。またボールケース１８の下面
には導電性ボール１よりも小径の通気孔１８ａが設けら
れており、通気孔１８ａは外筒２０の内部空間Ｓに連通
している。外筒２０は基台２３上に載置されており、基
台２３の内部には、ガス供給手段Ｅが配設されている。
ガス供給手段Ｅは、不活性ガスまたは乾燥空気を噴出す
るブロワ２２であり、ブロワ２２が噴出するガスの通路
を開閉するバルブ２１を介して内部空間Ｓに接続されて
いる。
【００１１】ここでブロア２２を作動してバルブ２１を
開くと、内部空間Ｓ、通気孔１８ａを介してガスが導電
性ボール１の層を通過して上方へ噴出される。このよう
に、導電性ボール１の層へガスを噴出することによっ
て、導電性ボール１を流動化させた状態を生成し、導電
性ボール１同士が凝集しないようにすることができる。
すなわち、導電性ボール１を１個１個完全にばらばらに
した状態で取り扱うことができ、導電性ボール１を吸着
ヘッドの吸着孔に１対１対応させやすくなっている。ま
た、バルブ２１の開度を調整することにより、ガスの噴
出量を調整することができ、導電性ボール１の流動化の
度合いを調整することができる。
開くと、内部空間Ｓ、通気孔１８ａを介してガスが導電
性ボール１の層を通過して上方へ噴出される。このよう
に、導電性ボール１の層へガスを噴出することによっ
て、導電性ボール１を流動化させた状態を生成し、導電
性ボール１同士が凝集しないようにすることができる。
すなわち、導電性ボール１を１個１個完全にばらばらに
した状態で取り扱うことができ、導電性ボール１を吸着
ヘッドの吸着孔に１対１対応させやすくなっている。ま
た、バルブ２１の開度を調整することにより、ガスの噴
出量を調整することができ、導電性ボール１の流動化の
度合いを調整することができる。
【００１２】次に導電性ボール１を移載する吸着ヘッド
２６について図１を参照して説明する。図１において、
Ｄは吸着ヘッド２６を供給部Ｂとワーク１７との間を往
復移動させる移動手段である。吸着ヘッド２６はブロッ
ク３０に保持されている。ブロック３０はブラケット３
４の前面に設けられた垂直なガイドレール３５に上下動
自在に装着されている。ブロック３０には、ナット３８
が一体的に設けられており、ナット３８には垂直の送り
ねじ３６が螺合している。したがって、Ｚ軸モータ３７
が正逆駆動して送りねじ３６が正逆回転すると、吸着ヘ
ッド２６はガイドレール３５に案内されて上下動する。
２６について図１を参照して説明する。図１において、
Ｄは吸着ヘッド２６を供給部Ｂとワーク１７との間を往
復移動させる移動手段である。吸着ヘッド２６はブロッ
ク３０に保持されている。ブロック３０はブラケット３
４の前面に設けられた垂直なガイドレール３５に上下動
自在に装着されている。ブロック３０には、ナット３８
が一体的に設けられており、ナット３８には垂直の送り
ねじ３６が螺合している。したがって、Ｚ軸モータ３７
が正逆駆動して送りねじ３６が正逆回転すると、吸着ヘ
ッド２６はガイドレール３５に案内されて上下動する。
【００１３】ブラケット３４の背面に設けられたナット
（図示せず）は、水平な送りねじ３２に螺合している。
３１は送りねじ３２の保持テーブルである。したがっ
て、Ｘ軸モータ３３が正逆回転すると、送りねじ３２は
正逆回転し、ブラケット３４に保持された吸着ヘッド２
６は位置決めテーブルＡと供給部Ｂの間を横方向に水平
移動する。
（図示せず）は、水平な送りねじ３２に螺合している。
３１は送りねじ３２の保持テーブルである。したがっ
て、Ｘ軸モータ３３が正逆回転すると、送りねじ３２は
正逆回転し、ブラケット３４に保持された吸着ヘッド２
６は位置決めテーブルＡと供給部Ｂの間を横方向に水平
移動する。
【００１４】この導電性ボールの移載装置は上記のよう
な構成より成り、以下その動作を各図を参照して説明す
る。まず図１において、Ｘ軸モータ３３を駆動して吸着
ヘッド２６を供給部Ｂの上方へ移動させる。そこでＺ軸
モータ３７を駆動して吸着ヘッド２６をボールケース１
８の内部に向かって下降させ、図２に示すように、吸着
ヘッド２６の下面をボールケース１８内の導電性ボール
１の層中に若干沈み込ませる。
な構成より成り、以下その動作を各図を参照して説明す
る。まず図１において、Ｘ軸モータ３３を駆動して吸着
ヘッド２６を供給部Ｂの上方へ移動させる。そこでＺ軸
モータ３７を駆動して吸着ヘッド２６をボールケース１
８の内部に向かって下降させ、図２に示すように、吸着
ヘッド２６の下面をボールケース１８内の導電性ボール
１の層中に若干沈み込ませる。
【００１５】このとき、バルブ２１を開いてガスを通気
孔１８ａよりボールケース１８内に噴出させ（矢印
ａ）、ボールケース１８内の導電性ボール１を流動化
し、ばらばらの状態にすると同時に、Ｘ軸モータ３３を
駆動して吸着ヘッド２６を水平方向に小刻みに往復動さ
せる（矢印ｂ参照）。これにより、導電性ボール１は１
個づつ吸着孔２６ａに真空吸着されやすくなる。以下、
真空吸着時の各吸着孔２６ａの周辺での導電性ボール１
の挙動について、図３〜図７を参照して説明する。
孔１８ａよりボールケース１８内に噴出させ（矢印
ａ）、ボールケース１８内の導電性ボール１を流動化
し、ばらばらの状態にすると同時に、Ｘ軸モータ３３を
駆動して吸着ヘッド２６を水平方向に小刻みに往復動さ
せる（矢印ｂ参照）。これにより、導電性ボール１は１
個づつ吸着孔２６ａに真空吸着されやすくなる。以下、
真空吸着時の各吸着孔２６ａの周辺での導電性ボール１
の挙動について、図３〜図７を参照して説明する。
【００１６】図３に示すように、正常に吸着孔２６ａに
嵌合して真空吸着された導電性ボール１の周囲には、複
数の余分の導電性ボール１ａが連なって吸着されること
がある。これは、１つの吸着孔２６ａに１つの導電性ボ
ール１が正常に吸着されていても、正常に吸着された導
電性ボール１と吸着孔２６ａの内壁面の隙間から空気が
リークして吸着ヘッド２６内に吸引され（矢印ｃ参
照）、周囲の導電性ボール１ａを吸引する吸引力が発生
するからである。なお、図中では余分に吸着された導電
性ボールには符号１ａを付し、またハッチングを施し
て、他の導電性ボール１と区別している。
嵌合して真空吸着された導電性ボール１の周囲には、複
数の余分の導電性ボール１ａが連なって吸着されること
がある。これは、１つの吸着孔２６ａに１つの導電性ボ
ール１が正常に吸着されていても、正常に吸着された導
電性ボール１と吸着孔２６ａの内壁面の隙間から空気が
リークして吸着ヘッド２６内に吸引され（矢印ｃ参
照）、周囲の導電性ボール１ａを吸引する吸引力が発生
するからである。なお、図中では余分に吸着された導電
性ボールには符号１ａを付し、またハッチングを施し
て、他の導電性ボール１と区別している。
【００１７】この状態で吸着ヘッド２６を水平方向に小
刻みに往復移動させると、余分に吸着された導電性ボー
ル１ａは流動状態の導電性ボール（符号１ｂを付す）と
接触する。しかし、このときに余分に吸着された導電性
ボール１ａが導電性ボール１ｂから受ける反力は、導電
性ボール１ｂが流動状態にあるため小さく、導電性ボー
ル１ａは脱落せず吸着されたまま残留する。
刻みに往復移動させると、余分に吸着された導電性ボー
ル１ａは流動状態の導電性ボール（符号１ｂを付す）と
接触する。しかし、このときに余分に吸着された導電性
ボール１ａが導電性ボール１ｂから受ける反力は、導電
性ボール１ｂが流動状態にあるため小さく、導電性ボー
ル１ａは脱落せず吸着されたまま残留する。
【００１８】そこで、導電性ボール１ａを脱落させるた
め、Ｘ軸モータ３３を駆動して吸着ヘッド２６を水平方
向に小刻みに往復動させる（矢印ｂ参照）とともに、バ
ルブ２１の開度を絞り、または閉じてガスの噴出量を調
整して減少、または停止させ、導電性ボール１ｂの流動
化の度合いを下げる。図４は、導電性ボール１ｂが流動
化の度合いが下がったため沈静化し、ボールケース１８
内で密に凝集し層状となった状態を示している。
め、Ｘ軸モータ３３を駆動して吸着ヘッド２６を水平方
向に小刻みに往復動させる（矢印ｂ参照）とともに、バ
ルブ２１の開度を絞り、または閉じてガスの噴出量を調
整して減少、または停止させ、導電性ボール１ｂの流動
化の度合いを下げる。図４は、導電性ボール１ｂが流動
化の度合いが下がったため沈静化し、ボールケース１８
内で密に凝集し層状となった状態を示している。
【００１９】次に、この状態で図５に示すように、水平
方向への小刻みな往復動を継続しながら吸着ヘッド２６
をわずかに下降させると（矢印ｄ参照）、導電性ボール
１ａのうち、最下方に吸着されたものが密に凝集した導
電性ボール（符号１ｂ’を付す）と接触する。上述のよ
うに、ガスの噴出を減少または停止させることにより、
導電性ボール１ａが接触する導電性ボール１ｂ’は密に
凝集しているので、導電性ボール同士の接触によって導
電性ボール１ａが受ける反力は大きく、その結果、最下
方に吸着された導電性ボール１ａは吸着状態から脱落す
る（矢印ｅ参照）。
方向への小刻みな往復動を継続しながら吸着ヘッド２６
をわずかに下降させると（矢印ｄ参照）、導電性ボール
１ａのうち、最下方に吸着されたものが密に凝集した導
電性ボール（符号１ｂ’を付す）と接触する。上述のよ
うに、ガスの噴出を減少または停止させることにより、
導電性ボール１ａが接触する導電性ボール１ｂ’は密に
凝集しているので、導電性ボール同士の接触によって導
電性ボール１ａが受ける反力は大きく、その結果、最下
方に吸着された導電性ボール１ａは吸着状態から脱落す
る（矢印ｅ参照）。
【００２０】吸着ヘッド２６をさらに下降させると、図
６に示すようにその他の導電性ボール１ａも水平方向の
往復動により導電性ボール１ｂ’と接触するようにな
り、前記と同様に吸着状態から脱落する（矢印ｆ参
照）。その結果、最終的には図７に示すように余分な導
電性ボール１ａはすべて脱落し、吸着孔２６ａには正常
に吸着された導電性ボール１のみが残留する。このよう
に、吸着ヘッド２６の下面に多量に付着する余分な導電
性ボール１ａは徐々に脱落し、ついには吸着孔２６ａに
直接しっかり吸着された導電性ボール１ａのみが残留す
る。図８は、このようにして吸着孔２６ａにのみ導電性
ボール１を正常に真空吸着した吸着ヘッド２６がボール
ケースから上昇する状態を示している。
６に示すようにその他の導電性ボール１ａも水平方向の
往復動により導電性ボール１ｂ’と接触するようにな
り、前記と同様に吸着状態から脱落する（矢印ｆ参
照）。その結果、最終的には図７に示すように余分な導
電性ボール１ａはすべて脱落し、吸着孔２６ａには正常
に吸着された導電性ボール１のみが残留する。このよう
に、吸着ヘッド２６の下面に多量に付着する余分な導電
性ボール１ａは徐々に脱落し、ついには吸着孔２６ａに
直接しっかり吸着された導電性ボール１ａのみが残留す
る。図８は、このようにして吸着孔２６ａにのみ導電性
ボール１を正常に真空吸着した吸着ヘッド２６がボール
ケースから上昇する状態を示している。
【００２１】その後、吸着ヘッド２６は、図９に示すよ
うに、ワーク１７の上方に移動する。そこで吸着ヘッド
２６は下降してその下面に真空吸着した導電性ボール１
をワーク１７の電極１７ａ上に着地させ、次いで導電性
ボール１の真空吸着状態を解除して上昇することによ
り、導電性ボール１を電極１７ａ上に移載する。
うに、ワーク１７の上方に移動する。そこで吸着ヘッド
２６は下降してその下面に真空吸着した導電性ボール１
をワーク１７の電極１７ａ上に着地させ、次いで導電性
ボール１の真空吸着状態を解除して上昇することによ
り、導電性ボール１を電極１７ａ上に移載する。
【００２２】
【発明の効果】本発明によれば、吸着ヘッドが導電性ボ
ールを真空吸着してピックアップする際に供給部内にガ
スを噴出させることにより導電性ボールを流動化させて
吸着ヘッドに真空吸着させ、その後にガスの噴出量を調
整して導電性ボールの流動化の度合いを下げて導電性ボ
ールの流動を沈静化させた状態で吸着ヘッドを水平方向
に往復動させながら下降させることにより吸着ヘッドの
下面に余分に付着した導電性ボールをより確実に脱落さ
せ、導電性ボールを確実に１個づつワークの電極上に移
載することができる。
ールを真空吸着してピックアップする際に供給部内にガ
スを噴出させることにより導電性ボールを流動化させて
吸着ヘッドに真空吸着させ、その後にガスの噴出量を調
整して導電性ボールの流動化の度合いを下げて導電性ボ
ールの流動を沈静化させた状態で吸着ヘッドを水平方向
に往復動させながら下降させることにより吸着ヘッドの
下面に余分に付着した導電性ボールをより確実に脱落さ
せ、導電性ボールを確実に１個づつワークの電極上に移
載することができる。
【図１】本発明の一実施の形態の導電性ボールの移載装
置の正面図
置の正面図
【図２】本発明の一実施の形態の導電性ボールの移載装
置の導電性ボールの供給部の部分断面図
置の導電性ボールの供給部の部分断面図
【図３】本発明の一実施の形態の導電性ボールの移載装
置の吸着ヘッドの部分断面図
置の吸着ヘッドの部分断面図
【図４】本発明の一実施の形態の導電性ボールの移載装
置の吸着ヘッドの部分断面図
置の吸着ヘッドの部分断面図
【図５】本発明の一実施の形態の導電性ボールの移載装
置の吸着ヘッドの部分断面図
置の吸着ヘッドの部分断面図
【図６】本発明の一実施の形態の導電性ボールの移載装
置の吸着ヘッドの部分断面図
置の吸着ヘッドの部分断面図
【図７】本発明の一実施の形態の導電性ボールの移載装
置の吸着ヘッドの部分断面図
置の吸着ヘッドの部分断面図
【図８】本発明の一実施の形態の導電性ボールの移載装
置の導電性ボールの供給部の部分断面図
置の導電性ボールの供給部の部分断面図
【図９】本発明の一実施の形態の導電性ボールの移載装
置の導電性ボールの位置決めテーブルの部分正面図
置の導電性ボールの位置決めテーブルの部分正面図
１、１ａ、１ｂ、１ｂ’ 導電性ボール １１ 基台 １２ Ｙテーブル １４ Ｘテーブル １６ ホルダ １７ ワーク １８ ボールケース ２１ バルブ ２６ 吸着ヘッド Ａ 位置決めテーブル Ｂ 供給部 Ｄ 移動手段 Ｅ ガス供給手段
Claims (1)
- 【請求項１】吸着ヘッドに導電性ボールの供給部に対し
て上下動作を行わせてこの吸着ヘッドの下面に形成され
た複数個の吸着孔に導電性ボールを真空吸着してピック
アップし、次いで吸着ヘッドをワークの上方に相対的に
移動させそこで吸着ヘッドに再度上下動作を行わせると
ともに、真空吸着状態を解除することにより、前記吸引
孔に真空吸着された導電性ボールをワークに移載するよ
うにした導電性ボールの移載方法であって、吸着ヘッド
が上下動作を行って供給部の導電性ボールを真空吸着し
てピックアップする際に、供給部内にガスを噴出させる
ことにより導電性ボールを流動化させて吸着ヘッドに真
空吸着させ、次にガスの噴出量を調整して導電性ボール
の流動化の度合いを下げて導電性ボールの流動を沈静化
させた状態で吸着ヘッドを水平方向に往復動させながら
下降させることにより、吸着ヘッドの下面に余分に付着
した導電性ボールを脱落させることを特徴とする導電性
ボールの移載方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18481897A JP3301353B2 (ja) | 1997-07-10 | 1997-07-10 | 導電性ボールの移載方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18481897A JP3301353B2 (ja) | 1997-07-10 | 1997-07-10 | 導電性ボールの移載方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1131714A JPH1131714A (ja) | 1999-02-02 |
| JP3301353B2 true JP3301353B2 (ja) | 2002-07-15 |
Family
ID=16159832
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18481897A Expired - Fee Related JP3301353B2 (ja) | 1997-07-10 | 1997-07-10 | 導電性ボールの移載方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3301353B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100326524B1 (ko) * | 1999-05-13 | 2002-03-12 | 김종기 | 볼그리드어레이 반도체칩 제조용 볼 공급장치 |
-
1997
- 1997-07-10 JP JP18481897A patent/JP3301353B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH1131714A (ja) | 1999-02-02 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5657528A (en) | Method of transferring conductive balls | |
| JP3211613B2 (ja) | 半田ボールの移載方法 | |
| JP3301353B2 (ja) | 導電性ボールの移載方法 | |
| JP3376875B2 (ja) | 導電性ボールの移載装置および移載方法 | |
| JP3371759B2 (ja) | 導電性ボールの搭載方法 | |
| JP3475744B2 (ja) | 導電性ボールの移載装置および移載方法 | |
| JP3397094B2 (ja) | 導電性ボールの移載方法 | |
| JP3365272B2 (ja) | 導電性ボールの移載装置および移載方法 | |
| JP3173471B2 (ja) | 半田ボールの移載装置および移載方法 | |
| JP3178241B2 (ja) | 半田ボールのボンディング装置およびボンディング方法 | |
| JP3397093B2 (ja) | 導電性ボールの移載装置および移載方法 | |
| JP3211783B2 (ja) | 半田ボールの移載方法 | |
| JP3449193B2 (ja) | 導電性ボールの移載装置および移載方法 | |
| JP3211781B2 (ja) | 半田ボールの移載方法 | |
| JP3134686B2 (ja) | 半田ボールの搭載装置および搭載方法 | |
| JP3211782B2 (ja) | 半田ボールの移載方法 | |
| JP3356050B2 (ja) | 導電性ボールの移載装置 | |
| JP3079922B2 (ja) | 半田ボールの搭載装置 | |
| JP3351246B2 (ja) | 導電性ボールの搭載装置 | |
| JP3412489B2 (ja) | 導電性ボールの移載方法 | |
| JP3397123B2 (ja) | 導電性ボールの移載装置および移載方法 | |
| JP3493984B2 (ja) | 導電性ボールの移載方法 | |
| JP3082741B2 (ja) | 半田ボールの搭載方法 | |
| JP3127712B2 (ja) | 半田ボールのボンディング装置 | |
| JP3528617B2 (ja) | 微小ボールの吸着方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080426 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090426 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100426 Year of fee payment: 8 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |