JPH08153961A - 半田ボールの搭載装置 - Google Patents
半田ボールの搭載装置Info
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- JPH08153961A JPH08153961A JP6292938A JP29293894A JPH08153961A JP H08153961 A JPH08153961 A JP H08153961A JP 6292938 A JP6292938 A JP 6292938A JP 29293894 A JP29293894 A JP 29293894A JP H08153961 A JPH08153961 A JP H08153961A
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- solder ball
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- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/30—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
- H05K3/32—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
- H05K3/34—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by soldering
- H05K3/3457—Solder materials or compositions; Methods of application thereof
- H05K3/3478—Applying solder preforms; Transferring prefabricated solder patterns
Landscapes
- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 基板やチップなどのワークにバンプとなる半
田ボールを搭載するにあたり、半田ボールをヘッドのす
べての吸着孔に確実に真空吸着してピックアップできる
半田ボールの搭載装置を提供することを目的とする。 【構成】 半田ボール１の貯溜部１２の容器１４の内部
に、伸縮性を有する通風シート１５と、その下方に配設
された整流用シート１６，１７を設け、通風シート１５
上に半田ボール１を貯溜する。容器１４の下部空間１８
に吐出部１３からガスを吹き出すと、ガスは整流用シー
ト１６，１７に整流され、通風シート１５を通って半田
ボール１の層中を風量のばらつきなく均一に吹き上が
り、半田ボール１を流動化させる。そこでヘッド３０は
下降して半田ボール１を吸着孔３５に真空吸着してピッ
クアップし、基板に移送搭載する。
田ボールを搭載するにあたり、半田ボールをヘッドのす
べての吸着孔に確実に真空吸着してピックアップできる
半田ボールの搭載装置を提供することを目的とする。 【構成】 半田ボール１の貯溜部１２の容器１４の内部
に、伸縮性を有する通風シート１５と、その下方に配設
された整流用シート１６，１７を設け、通風シート１５
上に半田ボール１を貯溜する。容器１４の下部空間１８
に吐出部１３からガスを吹き出すと、ガスは整流用シー
ト１６，１７に整流され、通風シート１５を通って半田
ボール１の層中を風量のばらつきなく均一に吹き上が
り、半田ボール１を流動化させる。そこでヘッド３０は
下降して半田ボール１を吸着孔３５に真空吸着してピッ
クアップし、基板に移送搭載する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半田ボールを基板など
のワークに搭載するための半田ボールの搭載装置に関す
るものである。
のワークに搭載するための半田ボールの搭載装置に関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】基板やチップなどのワークにバンプ（突
出電極）を形成する手段として、半田材料により形成さ
れた半田ボールをワークに搭載し、この半田ボールを加
熱して溶融固化させることにより、バンプを形成するこ
とが知られている。半田ボールをワークに搭載する半田
ボールの搭載装置は、半田ボールをヘッドの吸着孔に真
空吸着してピックアップし、次いでヘッドをワークの上
方へ移動させて、半田ボールをワークに移載するように
なっている。
出電極）を形成する手段として、半田材料により形成さ
れた半田ボールをワークに搭載し、この半田ボールを加
熱して溶融固化させることにより、バンプを形成するこ
とが知られている。半田ボールをワークに搭載する半田
ボールの搭載装置は、半田ボールをヘッドの吸着孔に真
空吸着してピックアップし、次いでヘッドをワークの上
方へ移動させて、半田ボールをワークに移載するように
なっている。
【０００３】図４は、従来の半田ボールの搭載装置のピ
ックアップ時の要部断面図である。１は半田ボールであ
り、容器２に大量に貯溜されている。３は容器２の受台
であり、コンプレッサ４からエアが圧送される。容器２
の下面には孔部５が開孔されており、受台３内に圧送さ
れたエアがこの孔部５から容器２内に吹き上がることに
より、容器２内の半田ボール１は流動化する。６はヘッ
ドであって、その下面には半田ボール１を真空吸着する
吸着孔７が多数個形成されている。ヘッド６はバキュー
ム装置（図外）に接続されており、バキューム装置が駆
動することにより、吸着孔７に半田ボール１を真空吸着
する。またヘッド６は移動手段（図示せず）に保持され
ており、移動手段が駆動することにより、半田ボール１
の貯溜部である容器２と、位置決め部（図外）に位置決
めされたワークである基板の間を往復移動する。
ックアップ時の要部断面図である。１は半田ボールであ
り、容器２に大量に貯溜されている。３は容器２の受台
であり、コンプレッサ４からエアが圧送される。容器２
の下面には孔部５が開孔されており、受台３内に圧送さ
れたエアがこの孔部５から容器２内に吹き上がることに
より、容器２内の半田ボール１は流動化する。６はヘッ
ドであって、その下面には半田ボール１を真空吸着する
吸着孔７が多数個形成されている。ヘッド６はバキュー
ム装置（図外）に接続されており、バキューム装置が駆
動することにより、吸着孔７に半田ボール１を真空吸着
する。またヘッド６は移動手段（図示せず）に保持され
ており、移動手段が駆動することにより、半田ボール１
の貯溜部である容器２と、位置決め部（図外）に位置決
めされたワークである基板の間を往復移動する。
【０００４】上記構成において、容器２内にエアを吹き
上げることにより、半田ボール１を容器２内で流動化さ
せる。そこでヘッド６を下降・上昇させることにより、
吸着孔７に半田ボール１を真空吸着してピックアップ
し、続いてヘッド６はワークの上方へ移動し、そこで再
度下降・上昇動作をすることにより、吸着孔７に真空吸
着した半田ボール１をワークに搭載する。
上げることにより、半田ボール１を容器２内で流動化さ
せる。そこでヘッド６を下降・上昇させることにより、
吸着孔７に半田ボール１を真空吸着してピックアップ
し、続いてヘッド６はワークの上方へ移動し、そこで再
度下降・上昇動作をすることにより、吸着孔７に真空吸
着した半田ボール１をワークに搭載する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記従来装置では、容
器２の下部空間にエアを送り込み、このエアを孔部５か
ら上方へ吹き上げさせて半田ボール１を流動化させるこ
とにより、多数個の吸着孔７に半田ボール１を真空吸着
しやすくしている。ところが上記従来装置では、吸着孔
５から容器２内に送り込まれたエアは容器２内を均一に
は吹き上げず、場所的に風量がばらつきやすい。このた
め、図示するように容器２に貯溜された半田ボール１の
層の上面は水平にはならず、凹凸を生じやすい。このよ
うに半田ボール１の層の上面に凹凸が生じると、ヘッド
６のすべての吸着孔７に半田ボール１を真空吸着でき
ず、半田ボール１が欠落した吸着孔７が生じやすいとい
う問題点があった。
器２の下部空間にエアを送り込み、このエアを孔部５か
ら上方へ吹き上げさせて半田ボール１を流動化させるこ
とにより、多数個の吸着孔７に半田ボール１を真空吸着
しやすくしている。ところが上記従来装置では、吸着孔
５から容器２内に送り込まれたエアは容器２内を均一に
は吹き上げず、場所的に風量がばらつきやすい。このた
め、図示するように容器２に貯溜された半田ボール１の
層の上面は水平にはならず、凹凸を生じやすい。このよ
うに半田ボール１の層の上面に凹凸が生じると、ヘッド
６のすべての吸着孔７に半田ボール１を真空吸着でき
ず、半田ボール１が欠落した吸着孔７が生じやすいとい
う問題点があった。
【０００６】そこで本発明は、ヘッドのすべての吸着孔
に半田ボールを真空吸着してピックアップできる半田ボ
ールの搭載装置を提供することを目的とする。
に半田ボールを真空吸着してピックアップできる半田ボ
ールの搭載装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】このために本発明は、半
田ボールの貯溜部を、容器と、この容器の上部に配設さ
れて半田ボールが載置される通風シートと、この通風シ
ートの下方に配設された整流手段と、この整流手段の下
部空間にガスを送り込むガス供給手段とから構成した。
田ボールの貯溜部を、容器と、この容器の上部に配設さ
れて半田ボールが載置される通風シートと、この通風シ
ートの下方に配設された整流手段と、この整流手段の下
部空間にガスを送り込むガス供給手段とから構成した。
【０００８】また望ましくは、半田ボールが載置される
通風シートを伸縮性を有するシートとしたものである。
通風シートを伸縮性を有するシートとしたものである。
【０００９】
【作用】上記構成において、整流手段の下部空間に送り
込まれたガスは、整流手段によって整流された後、通風
シートを通って容器内を均一に吹き上げるので、容器内
を通過するガスの風量が場所的にばらつくことはない。
したがって通風シート上の半田ボールの層の上面は水平
面を保つので、ヘッドのすべての吸着孔に半田ボールを
確実に真空吸着してピックアップできる。
込まれたガスは、整流手段によって整流された後、通風
シートを通って容器内を均一に吹き上げるので、容器内
を通過するガスの風量が場所的にばらつくことはない。
したがって通風シート上の半田ボールの層の上面は水平
面を保つので、ヘッドのすべての吸着孔に半田ボールを
確実に真空吸着してピックアップできる。
【００１０】またヘッドの下面を半田ボールの層の上面
レベル以下まで下降させてこの下面をこの層にまで埋入
させた方が、すべての吸着孔に半田ボールを真空吸着し
やすいが、この場合、ヘッドから半田ボールの層に加え
られる圧力は流動化した半田ボールで吸収され、さらに
通風シートが下方へ伸びることにより吸収される。した
がってヘッドの下面が半田ボールに強く当って半田ボー
ルを痛めるのを解消できる。
レベル以下まで下降させてこの下面をこの層にまで埋入
させた方が、すべての吸着孔に半田ボールを真空吸着し
やすいが、この場合、ヘッドから半田ボールの層に加え
られる圧力は流動化した半田ボールで吸収され、さらに
通風シートが下方へ伸びることにより吸収される。した
がってヘッドの下面が半田ボールに強く当って半田ボー
ルを痛めるのを解消できる。
【００１１】
【実施例】次に、本発明の実施例を図面を参照して説明
する。図１は本発明の一実施例の半田ボールの搭載装置
の側面図、図２は同半田ボールの搭載装置の貯溜部の断
面図、図３は同半田ボールの搭載装置のピックアップ時
の要部断面図である。図１において、１１は基台であ
り、半田ボール１の貯溜部１２が設けられている。２０
は基板の位置決め部であって、Ｘテーブル２１、Ｙテー
ブル２２を段積して構成されている。２３，２４はＸテ
ーブル２１とＹテーブル２２の駆動用モータである。Ｙ
テーブル２２上にはクランパ２５が設けられている。ク
ランパ２５は基板２６を左右からクランプして固定して
いる。したがってＸテーブル２１とＹテーブル２２が駆
動すると、基板２６はＸ方向やＹ方向へ水平移動し、そ
の位置が調整される。
する。図１は本発明の一実施例の半田ボールの搭載装置
の側面図、図２は同半田ボールの搭載装置の貯溜部の断
面図、図３は同半田ボールの搭載装置のピックアップ時
の要部断面図である。図１において、１１は基台であ
り、半田ボール１の貯溜部１２が設けられている。２０
は基板の位置決め部であって、Ｘテーブル２１、Ｙテー
ブル２２を段積して構成されている。２３，２４はＸテ
ーブル２１とＹテーブル２２の駆動用モータである。Ｙ
テーブル２２上にはクランパ２５が設けられている。ク
ランパ２５は基板２６を左右からクランプして固定して
いる。したがってＸテーブル２１とＹテーブル２２が駆
動すると、基板２６はＸ方向やＹ方向へ水平移動し、そ
の位置が調整される。
【００１２】３０はヘッドであって、上ケース３１と下
ケース３２から成っている。図１において、ヘッド３０
はシャフト３６を介してブロック３７に保持されてい
る。３８は支持フレームであって、その前面には垂直な
ガイドレール３９が設けられている。ブロック３７はガ
イドレール３９に昇降自在に装着されている。ブロック
３７にはナット４０が結合されている。ナット４０には
垂直な送りねじ４１が螺合している。モータ４２が駆動
して送りねじ４１が回転すると、ブロック３７はガイド
レール３９に沿って昇降し、ヘッド３０も昇降する。４
３はバキューム装置であって、チューブ４４を介してヘ
ッド３０に接続されている。バキューム装置４３が駆動
することにより、下ケース３２の下面に多数形成された
吸着孔３５（図２）に半田ボール１を真空吸着する。
ケース３２から成っている。図１において、ヘッド３０
はシャフト３６を介してブロック３７に保持されてい
る。３８は支持フレームであって、その前面には垂直な
ガイドレール３９が設けられている。ブロック３７はガ
イドレール３９に昇降自在に装着されている。ブロック
３７にはナット４０が結合されている。ナット４０には
垂直な送りねじ４１が螺合している。モータ４２が駆動
して送りねじ４１が回転すると、ブロック３７はガイド
レール３９に沿って昇降し、ヘッド３０も昇降する。４
３はバキューム装置であって、チューブ４４を介してヘ
ッド３０に接続されている。バキューム装置４３が駆動
することにより、下ケース３２の下面に多数形成された
吸着孔３５（図２）に半田ボール１を真空吸着する。
【００１３】５０は横長のフレームであって、その前面
には水平なボールねじ５１が設けられている。支持フレ
ーム３８の背面に設けられたナット（図示せず）はこの
ボールねじ５１に螺合している。モータ５２が駆動して
ボールねじ５１が回転すると、支持フレーム３８はボー
ルねじ５１に沿ってＸ方向に水平移動し、これによりヘ
ッド３０は貯溜部１２と基板２６の間を往復移動する。
すなわち、ボールねじ５１やモータ５２はヘッド３０を
水平移動させる移動手段を構成している。
には水平なボールねじ５１が設けられている。支持フレ
ーム３８の背面に設けられたナット（図示せず）はこの
ボールねじ５１に螺合している。モータ５２が駆動して
ボールねじ５１が回転すると、支持フレーム３８はボー
ルねじ５１に沿ってＸ方向に水平移動し、これによりヘ
ッド３０は貯溜部１２と基板２６の間を往復移動する。
すなわち、ボールねじ５１やモータ５２はヘッド３０を
水平移動させる移動手段を構成している。
【００１４】次に図２を参照して半田ボール１の貯溜部
１２について説明する。１４は容器であり、その内部の
上部には通風シート１５が水平に配設されている。本実
施例の通風シート１５は伸縮性を有するメッシュであ
る。また通風シート１５の下方には整流用シート１６，
１７が上下に間隔をおいて２枚水平に配設されている。
この整流用シート１６，１７も通風性を有するメッシュ
である。通気シート１５や整流用シート１６，１７とし
ては、メッシュ以外にも、多孔板でもよいが、その場
合、孔はできるだけ高密度で細かく形成されていること
が望ましい。また整流用シート１６，１７の枚数は任意
であるが、２枚以上配設することが整流効果上望まし
い。
１２について説明する。１４は容器であり、その内部の
上部には通風シート１５が水平に配設されている。本実
施例の通風シート１５は伸縮性を有するメッシュであ
る。また通風シート１５の下方には整流用シート１６，
１７が上下に間隔をおいて２枚水平に配設されている。
この整流用シート１６，１７も通風性を有するメッシュ
である。通気シート１５や整流用シート１６，１７とし
ては、メッシュ以外にも、多孔板でもよいが、その場
合、孔はできるだけ高密度で細かく形成されていること
が望ましい。また整流用シート１６，１７の枚数は任意
であるが、２枚以上配設することが整流効果上望まし
い。
【００１５】上記基台１１の内部には空気または窒素ガ
ス等のガスを吐き出すガスの吐出部１３が設けられてい
る。この吐出部１３は、図１に示すようにチューブ２７
を通してガス供給部２８に接続されている。ガス供給部
２８から供給されるガスは、チューブ２７を通って吐出
部１３から容器１４の下部空間１８に吹き出す。吹き出
されたガスは、整流用シート１６，１７を通過しながら
容器１４内でその風量は均一化され（破線矢印参照）、
通風シート１５を通って半田ボール１の層中に送り込ま
れ、上方へ吹き上げる。これにより半田ボール１は流動
化されるが、ガスは均一に吹き上げるので、半田ボール
１の上面は水平面を保つ。本実施例では、整流用シート
１６，１７が吐出部１３から吐出されたガスを整流する
整流手段を構成している。
ス等のガスを吐き出すガスの吐出部１３が設けられてい
る。この吐出部１３は、図１に示すようにチューブ２７
を通してガス供給部２８に接続されている。ガス供給部
２８から供給されるガスは、チューブ２７を通って吐出
部１３から容器１４の下部空間１８に吹き出す。吹き出
されたガスは、整流用シート１６，１７を通過しながら
容器１４内でその風量は均一化され（破線矢印参照）、
通風シート１５を通って半田ボール１の層中に送り込ま
れ、上方へ吹き上げる。これにより半田ボール１は流動
化されるが、ガスは均一に吹き上げるので、半田ボール
１の上面は水平面を保つ。本実施例では、整流用シート
１６，１７が吐出部１３から吐出されたガスを整流する
整流手段を構成している。
【００１６】この半田ボールの搭載装置は上記のような
構成より成り、次に全体の動作を説明する。図１に示す
ように、ヘッド３０を貯溜部１２の上方に位置させ、モ
ータ４２を正駆動する。すると送りねじ４１は正回転
し、ヘッド３０は下降する。図３は、ヘッド３０が、そ
の下ケース３２の下面が半田ボール１の層の上面レベル
以下まで下降して、半田ボール１の層の内部にまで若干
埋入した状態を示している。このように、ヘッド３０は
その下面が半田ボール１の層の上面以下になるまで下降
させた方が、半田ボール１を吸着孔３５に真空吸着しや
すい。さてこのとき、ガスが吹き上げて半田ボール１は
流動化しており、したがってすべての吸着孔３５に半田
ボール１が真空吸着される。またヘッド３０が上記埋入
位置まで下降することにより、半田ボール１の層には圧
力が加えられるが、この圧力は流動化した半田ボール１
で吸収され、さらに図において鎖線で示すように通風シ
ート１５が下方へたわむように伸びることにより吸収さ
れる。したがって半田ボール１がヘッド３０の下面に強
くこすられて半田ボール１が痛むことはない。
構成より成り、次に全体の動作を説明する。図１に示す
ように、ヘッド３０を貯溜部１２の上方に位置させ、モ
ータ４２を正駆動する。すると送りねじ４１は正回転
し、ヘッド３０は下降する。図３は、ヘッド３０が、そ
の下ケース３２の下面が半田ボール１の層の上面レベル
以下まで下降して、半田ボール１の層の内部にまで若干
埋入した状態を示している。このように、ヘッド３０は
その下面が半田ボール１の層の上面以下になるまで下降
させた方が、半田ボール１を吸着孔３５に真空吸着しや
すい。さてこのとき、ガスが吹き上げて半田ボール１は
流動化しており、したがってすべての吸着孔３５に半田
ボール１が真空吸着される。またヘッド３０が上記埋入
位置まで下降することにより、半田ボール１の層には圧
力が加えられるが、この圧力は流動化した半田ボール１
で吸収され、さらに図において鎖線で示すように通風シ
ート１５が下方へたわむように伸びることにより吸収さ
れる。したがって半田ボール１がヘッド３０の下面に強
くこすられて半田ボール１が痛むことはない。
【００１７】次にモータ４２は逆駆動してヘッド３０は
上昇し、半田ボール１をピックアップする。次に図１に
おいて、モータ５２は正回転し、ボールねじ５１は正回
転して、ヘッド３０は基板２６に上方へ移動する。そこ
でモータ４２を正駆動してヘッド３０を下降させ、半田
ボール１を基板２６の電極上に着地させた後、バキュー
ム装置４３による半田ボール１の真空吸着状態を解除
し、続いてモータ４２を逆駆動してヘッド３０を上昇さ
せ、半田ボール１を基板２６に搭載する。このようにし
て半田ボール１を基板２６に搭載したならば、ヘッド３
０を図１に示す貯溜部１２の上方へ復帰させ、上述した
動作を繰り返す。
上昇し、半田ボール１をピックアップする。次に図１に
おいて、モータ５２は正回転し、ボールねじ５１は正回
転して、ヘッド３０は基板２６に上方へ移動する。そこ
でモータ４２を正駆動してヘッド３０を下降させ、半田
ボール１を基板２６の電極上に着地させた後、バキュー
ム装置４３による半田ボール１の真空吸着状態を解除
し、続いてモータ４２を逆駆動してヘッド３０を上昇さ
せ、半田ボール１を基板２６に搭載する。このようにし
て半田ボール１を基板２６に搭載したならば、ヘッド３
０を図１に示す貯溜部１２の上方へ復帰させ、上述した
動作を繰り返す。
【００１８】なお、本発明は種々の変更を加えて実施し
てもよく、例えば整流手段は整流用シート１６，１７に
代えて、複数枚の羽根板を使用して構成してもよく、要
は吐出部１３から吹き出したガスの流れをほぼ均一に整
流できるものであればよい。
てもよく、例えば整流手段は整流用シート１６，１７に
代えて、複数枚の羽根板を使用して構成してもよく、要
は吐出部１３から吹き出したガスの流れをほぼ均一に整
流できるものであればよい。
【００１９】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、整
流用シートの下部空間に送り込まれたガスは、整流用シ
ートによって整流された後、通風シートを通って容器内
を均一に吹き上げるので、容器内を通過するガスの風量
が場所的にばらつくことはなく、したがって通風シート
上の半田ボールの層の上面は水平面を保つので、ヘッド
のすべての吸着孔に半田ボールを確実に真空吸着してピ
ックアップできる。
流用シートの下部空間に送り込まれたガスは、整流用シ
ートによって整流された後、通風シートを通って容器内
を均一に吹き上げるので、容器内を通過するガスの風量
が場所的にばらつくことはなく、したがって通風シート
上の半田ボールの層の上面は水平面を保つので、ヘッド
のすべての吸着孔に半田ボールを確実に真空吸着してピ
ックアップできる。
【００２０】またヘッドの下面を半田ボールの層の上面
レベル以下まで下降させてこの下面をこの層にまで埋入
させた方が、すべての吸着孔に半田ボールを真空吸着し
やすいが、この場合、ヘッドから半田ボールの層に加え
られる圧力は流動化した半田ボールで吸収され、さらに
通風シートが下方へ伸びることにより吸収され、したが
ってヘッドの下面が半田ボールに強く当って半田ボール
を痛めるのを解消できる。
レベル以下まで下降させてこの下面をこの層にまで埋入
させた方が、すべての吸着孔に半田ボールを真空吸着し
やすいが、この場合、ヘッドから半田ボールの層に加え
られる圧力は流動化した半田ボールで吸収され、さらに
通風シートが下方へ伸びることにより吸収され、したが
ってヘッドの下面が半田ボールに強く当って半田ボール
を痛めるのを解消できる。
【図１】本発明の一実施例の半田ボールの搭載装置の側
面図
面図
【図２】本発明の一実施例の半田ボールの搭載装置の貯
溜部の断面図
溜部の断面図
【図３】本発明の一実施例の半田ボールの搭載装置のピ
ックアップ時の要部断面図
ックアップ時の要部断面図
【図４】従来の半田ボールの搭載装置のピックアップ時
の要部断面図
の要部断面図
１ 半田ボール １２ 貯溜部 １３ 吐出部 １４ 容器 １５ 通風シート １６，１７ 整流用シート １８ 下部空間 ２０ 位置決め部 ２６ 基板 ３０ ヘッド ３５ 吸着孔 ５１ ボールねじ ５２ モータ
Claims (3)
- 【請求項１】半田ボールを貯溜する貯溜部と、ワークの
位置決め部と、半田ボールを真空吸着する吸着孔が下面
に複数個形成されたヘッドと、このヘッドを前記貯溜部
と前記位置決め部の間を往復移動させる移動手段とを備
えた半田ボールの搭載装置であって、前記貯溜部が、容
器と、この容器の上部に配設されて半田ボールが載置さ
れる通風シートと、この通風シートの下方に配設された
整流手段と、この整流手段の下部空間にガスを送り込む
ガス供給手段とを備えたことを特徴とする半田ボールの
搭載装置。 - 【請求項２】前記半田ボールが載置される通風シートが
伸縮性を有することを特徴とする請求項１記載の半田ボ
ールの搭載装置。 - 【請求項３】前記整流手段は、少なくとも１枚の通気性
の整流シートであることを特徴とする請求項１記載の半
田ボールの搭載装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06292938A JP3079922B2 (ja) | 1994-11-28 | 1994-11-28 | 半田ボールの搭載装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06292938A JP3079922B2 (ja) | 1994-11-28 | 1994-11-28 | 半田ボールの搭載装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08153961A true JPH08153961A (ja) | 1996-06-11 |
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