JP3436234B2 - 半田ボールの移載装置及び半田ボールの移載方法 - Google Patents

半田ボールの移載装置及び半田ボールの移載方法

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JP3436234B2 JP2000125762A JP2000125762A JP3436234B2 JP 3436234 B2 JP3436234 B2 JP 3436234B2 JP 2000125762 A JP2000125762 A JP 2000125762A JP 2000125762 A JP2000125762 A JP 2000125762A JP 3436234 B2 JP3436234 B2 JP 3436234B2
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    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/11Manufacturing methods

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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、半田ボールをワー
ク(基板又はボールグリッドアレイなどの電子部品)に
移載する半田ボールの移載装置及び半田ボールの移載方
法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】近年電子部品や基板などのワークに、複
数の半田ボールを一括して吸着し移載する半田ボールの
移載装置が実用化されている。図6は従来の半田ボール
の移載装置の動作説明図である。
【0003】図6中、1は多数の半田ボール2を収納す
るボール溜りであり、その上部は吸着ヘッド3が出入り
できるように開口されている。ここで、吸着ヘッド3は
一度に複数個の半田ボール2を吸着してワークに移載で
きるように下面に複数個の吸引孔3aを有している。そ
して1つの吸引孔3aは本来1ケの半田ボール2を吸着
することを前提に設計される。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、実際に
は吸着ヘッド3が半田ボール2を押しながらボール溜り
内へ下降するため図6に示すように、吸着ヘッド3の底
面に半田ボール2が付着したり、1つの吸引孔に複数の
半田ボール2が凝集して房状に吸着されることがあり、
このままワークに半田ボール2を移載すると、不要な箇
所に半田ボール2を搭載してしまうという問題点があっ
た。
【0005】そこで本発明は、必要な個数の半田ボール
を確実にワークに移載できる半田ボールの移載装置及び
半田ボールの移載方法を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明の半田ボールの移
載装置は、ワークを位置決めする位置決めテーブルと、
多数の半田ボールを収納するボール溜りと、ボール溜り
から半田ボールを吸着して保持する吸引孔を複数個備
え、半田ボールを脱着してワークに半田ボールを搭載す
る吸着ヘッドと、吸着ヘッドをボール溜りとワークとの
間において移動させ、また吸着ヘッドがボール溜りの
田ボールを吸着する際、吸着ヘッドボール溜りに対し
水平方向に往復移動させる相対移動手段とを備える。
【0007】上記構成により、吸着ヘッドがボール溜り
から半田ボールを吸着する際、相対移動手段を作動さ
せ、吸着ヘッドボール溜りに対して水平方向に往復
動させる。ここで、吸引孔に最も強く吸着されている半
田ボールは吸着ヘッドと共に往復移動するが、吸引孔の
周囲に房状に凝集している半田ボールや吸着ヘッドの底
面に付着している半田ボールはボール溜り内のボールと
共に吸着ヘッドに対して水平方向に相対的に移動して吸
着ヘッドの底面から離れる。その後吸着ヘッドを上昇さ
せ、吸引孔に吸引された半田ボールのみボール溜りより
取り出してワークに移載する。
【0008】
【発明の実施の形態】次に図面を参照しながら本発明の
実施の形態を説明する。図1は本発明の一実施の形態に
おける半田ボールの移載装置の正面図、図2〜図5は本
発明の一実施の形態における半田ボールの移載装置の動
作説明図である。
【0009】図1において、基台11上には位置決めテ
ーブルAが設けられている。このうち、12はYモータ
13により駆動されるYテーブル、14はXモータ15
により駆動されるXテーブル、16はXテーブル14上
に設けられワーク17を保持するホルダである。即ちX
モータ15、Yモータ13を作動することにより、ワー
ク17が所定位置に位置決めされる。
【0010】また位置決めテーブルAの横にはボール溜
りBが配設されている。このうち、18は上部が開口さ
れ、内部に複数の半田ボール19を多層状に収納するボ
ールケースであり、ボールケース18の下面には半田ボ
ール19よりも小径の通気孔18aが開けられている。
20はボールケース18を外側から囲み、内部空間Sが
通気孔18aに連通する外筒である。
【0011】外筒20の内部空間Sの下部には吹上手段
Eが接続されている。このうち、22は不活性ガス(例
えばN2ガス)又は乾燥空気を吹出すブロワ、21はブ
ロワ22が吹出すガスの通路を開閉するバルブである。
ここでブロワ22を作動しバルブ21を開くと、内部空
間S、通気孔18aを介してガスが半田ボール19の層
を通過して上方へ放出される。
【0012】本実施の形態では、吹上手段Eを設けたの
で、半田ボール19の層へガスを送り込むことにより、
半田ボール19間にガスを介在させ、半田ボール19が
微視的に浮いた状態を生成できる。このことによって、
後述するようにヘッド本体26を半田ボール19内に挿
入させる際、半田ボール19はヘッド本体26の周囲に
無理な力が作用することなく逃げることができる。その
結果、ヘッド本体26を挿入しても半田ボール19の変
形しない。また、隣接する半田ボール19が凝集しない
ようにすることができるので、半田ボール19を複数の
半田ボール19からなる塊としてでなく1個1個分離し
た状態で取扱うことができ、半田ボール19を吸引孔1
8aに1対1に対応させ易くなっている。なおバルブ2
1を設けたので、ガスを必要な時のみ吹出すことがで
き、ガスの消費量の無駄を排除して効率良く半田ボール
19の層を流動化させることができる。
【0013】Cは半田ボール19を移載する吸着ヘッド
であり、このうち26は内部が空洞になっており、吸引
装置24に配管25を介して接続されたヘッド本体であ
る。ヘッド本体26の下面にはワーク17に移載すべき
半田ボール19の配置、個数に対応した吸引孔26a
(図2参照)が開けられている。30はヘッド本体26
が下部に固着された支持ブロックである。
【0014】Dは吸着ヘッドCをボール溜りBとワーク
17との間を往復移動させる移動手段である。このう
ち、31はY方向に延びる支持フレーム、32は支持フ
レーム31に軸架される送りねじ、33は送りねじ32
を回転させるYモータである。34は図示していないが
裏面に送りねじ32に螺合するナット部を備えた移動
板、35は移動板34に設けられた垂直なガイドレール
であり、上記支持ブロック30がガイドレール35にス
ライド自在に係合している。
【0015】36は移動板34に軸支された垂直な送り
ねじ、37は送りねじ36を回転させるZモータ、38
は送りねじ36に螺合し、かつ支持ブロック30に固定
された送りナット部である。即ち、Zモータ37を駆動
して支持ブロック30をガイドレール35に沿って昇降
させることにより、吸着ヘッドCを昇降させることがで
き、Yモータ33を駆動することにより、吸着ヘッドC
を送りねじ32に沿って図1の左右方向に移動させるこ
とができる。
【0016】また本実施の形態では、Yモータ33、送
りねじ32及び上記ナット部に、相対移動手段としての
役割を兼務させている。即ちヘッド本体26が半田ボー
ル19の層内にあるとき、Yモータ33を正逆交互に作
動させることにより、ヘッド本体26をボール溜りBに
対して相対移動させている。
【0017】次に図2〜図5を参照しながら本実施の形
態の半田ボールの移載方法の各工程を説明する。まず図
2に示すように、ヘッド本体26を矢印N1で示すよう
に下降させる際、バルブ21を開とし、空間S、通気孔
18aを介して半田ボール19の層内にガスを吹上げ
る。これにより、半田ボール19は流動化し上下左右に
自由に移動できる状態となる。
【0018】次に図3に示すように、ヘッド本体26を
さらに下降させ、流動化した半田ボール19の層内に挿
入する。このとき、ほとんどの半田ボール19は、矢印
N2で示すようにヘッド本体26の周囲へ逃げる。また
ヘッド本体26の真下の半田ボール19はヘッド本体2
6の下面により若干押し下げられることになる。この
時、いくつかの半田ボール19は吸着ヘッド26の底面
に付着する。ヘッド本体26の挿入動作が終了したら、
バルブ21を閉じて、無駄なガス消費を極力抑制するよ
うにしている。
【0019】次に図4の矢印N3で示すように、Yモー
タ33を作動してヘッド本体26をボール溜りBのボー
ルケース18に対して水平方向に相対移動させる。する
と、1つの吸引孔26aに凝集していた半田ボール19
のうち吸引孔に最も強く吸着された半田ボール19のみ
が吸引孔の中央部に1つだけ吸着され、吸引孔26aを
閉鎖する。その結果、その他の半田ボール19は吸引を
解除される。また吸引孔26aに吸着されている半田ボ
ール19は、吸着ヘッド26と共に水平方向に移動する
が、吸着ヘッド26の下面に付着している半田ボール1
9は、ボール溜り内の他の半田ボール19により水平方
向の移動が妨げられ、吸着ヘッド26の底面に付着して
いる箇所から離れる。その結果付着していた半田ボール
19は、付着しない状態となる。
【0020】次いで、図5の矢印N4で示すように、ヘ
ッド本体26を上昇させ、吸引孔26aに吸着された半
田ボール19のみをボール溜りより取り出して吸着動作
を完了する。この後例えば半田ボール19の吸着具合の
認識動作をした上で、ワーク17に移載することにな
る。
【0021】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、吸
着ヘッドの底面に半田ボールが付着することを防止し、
吸引孔に吸着された必要な個数の半田ボールのみ確実に
ワークに移載することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態における半田ボールの移
載装置の正面図
【図2】本発明の一実施の形態における半田ボールの移
載装置の動作説明図
【図3】本発明の一実施の形態における半田ボールの移
載装置の動作説明図
【図4】本発明の一実施の形態における半田ボールの移
載装置の動作説明図
【図5】本発明の一実施の形態における半田ボールの移
載装置の動作説明図
【図6】従来の半田ボールの移載装置の動作説明図
【符号の説明】
17 ワーク 19 半田ボール 26 ヘッド本体 30 支持ブロック 35 ガイドレール 37 Zモータ A 位置決めテーブル B ボール溜り C 吸着ヘッド D 移動手段(相対移動手段)
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI H01L 23/12 H01L 23/12 L (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H05K 3/34 B23K 1/00 B23K 3/06 B25J 15/06 H01L 21/60 H01L 23/12

Claims (7)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】ワークを位置決めする位置決めテーブル
    と、多数の半田ボールを収納するボール溜りと、前記ボ
    ール溜りから半田ボールを吸着して保持する吸引孔を複
    数個備え、半田ボールを脱着してワークに半田ボールを
    搭載する吸着ヘッドと、前記吸着ヘッドを前記ボール溜
    りとワークとの間において移動させ、また前記吸着ヘッ
    ドが前記ボール溜りの半田ボールを吸着する際、前記吸
    着ヘッド前記ボール溜りに対して水平方向に往復移動
    させる相対移動手段とを備えることを特徴とする半田ボ
    ールの移載装置。
  2. 【請求項2】前記吸着ヘッドは、前記相対移動手段によ
    り前記ボール溜りと前記ワークの間を往復移動する支持
    ブロックの下部に固着されており、また支持ブロックは
    垂直なガイドレールにスライド自在に係合しており、Z
    モータを駆動して支持ブロックを昇降させることにより
    前記吸着ヘッドを昇降させることを特徴とする請求項
    載の半田ボールの移載装置。
  3. 【請求項3】前記相対移動手段がYテーブルであること
    を特徴とする請求項1または2記載の半田ボールの移載
    装置。
  4. 【請求項4】前記ボール溜りが、下方からガスを供給し
    て半田ボールを流動化させる吹上手段を有することを特
    徴とする請求項1記載の半田ボールの移載装置。
  5. 【請求項5】多数の半田ボールを収納するボール溜りの
    半田ボールを吸着ヘッドの吸引孔に吸着して保持する半
    田ボールの移載方法であって、 前記ボール溜り内の半田ボールを浮遊状態にした状態で
    前記吸着ヘッドを前記ボール溜り内へ下降させる工程
    と、前記吸着ヘッドをボール溜りとワークの間を往復移
    動させる相対移動手段によって前記吸着ヘッドを前記ボ
    ール溜りに対して水平方向に往復移動させながら前記吸
    引孔に半田ボールを吸着する工程と、前記吸着ヘッドを
    前記ボール溜りから上昇させる工程と、前記吸着ヘッド
    に吸着された半田ボールをワークに移載する工程とを含
    むことを特徴とする半田ボールの移載方法。
  6. 【請求項6】前記相対移動手段がYモータを備えたYテ
    ーブルであり、このYモータを正逆交互に作動させて前
    記吸着ヘッドを前記ボール溜りに対して水平方 向に往復
    移動させることを特徴とする請求項5記載の半田ボール
    の移載方法。
  7. 【請求項7】ボール溜りの下方からガスを供給する吹上
    手段によって前記半田ボールを流動化させることを特徴
    とする請求項5記載の半田ボールの移載方法。
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