JP3235459B2 - 導電性ボール搭載装置及び導電性ボール搭載方法 - Google Patents
導電性ボール搭載装置及び導電性ボール搭載方法Info
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- JP3235459B2 JP3235459B2 JP10507196A JP10507196A JP3235459B2 JP 3235459 B2 JP3235459 B2 JP 3235459B2 JP 10507196 A JP10507196 A JP 10507196A JP 10507196 A JP10507196 A JP 10507196A JP 3235459 B2 JP3235459 B2 JP 3235459B2
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ワークにバンプを
形成するため、導電性ボールを基板などのワークに搭載
する導電性ボール搭載装置及び導電性ボール搭載方法に
関するものである。
形成するため、導電性ボールを基板などのワークに搭載
する導電性ボール搭載装置及び導電性ボール搭載方法に
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】基板やチップなどのワークの電極にバン
プ（突出電極）を形成する手段として、導電性ボールを
ワークに搭載した後、導電性ボールを加熱して溶融固化
させる方法が知られている。一般に、ワークには多数個
のバンプが形成されるものであり、したがって導電性ボ
ールはワークに多数個搭載される。以下、導電性ボール
をワークに一括して多数個搭載するための従来の導電性
ボール搭載装置について説明する。
プ（突出電極）を形成する手段として、導電性ボールを
ワークに搭載した後、導電性ボールを加熱して溶融固化
させる方法が知られている。一般に、ワークには多数個
のバンプが形成されるものであり、したがって導電性ボ
ールはワークに多数個搭載される。以下、導電性ボール
をワークに一括して多数個搭載するための従来の導電性
ボール搭載装置について説明する。
【０００３】図４は従来の導電性ボール搭載装置の側面
図、図５は従来の導電性ボール搭載装置のヘッドの部分
断面図である。図４において、１は導電性ボールの供給
部であって、以下のように構成されている。２は容器で
あって、導電性ボール３が貯留されている。４は容器２
の支柱である。容器２の下面には振動器５が装着されて
いる。振動器５が駆動すると容器２は振動し、内部の導
電性ボール３は流動化する。
図、図５は従来の導電性ボール搭載装置のヘッドの部分
断面図である。図４において、１は導電性ボールの供給
部であって、以下のように構成されている。２は容器で
あって、導電性ボール３が貯留されている。４は容器２
の支柱である。容器２の下面には振動器５が装着されて
いる。振動器５が駆動すると容器２は振動し、内部の導
電性ボール３は流動化する。
【０００４】６は基板の位置決め部であって、以下のよ
うに構成されている。７は可動テーブルであって、ポー
ル８が立設されている。ポール８の上端部にはクランパ
９が設けられておりクランパ９で基板１０をクランプし
ている。可動テーブル７を駆動して基板１０を水平方向
に移動させることにより、基板１０の位置調整を行う。
うに構成されている。７は可動テーブルであって、ポー
ル８が立設されている。ポール８の上端部にはクランパ
９が設けられておりクランパ９で基板１０をクランプし
ている。可動テーブル７を駆動して基板１０を水平方向
に移動させることにより、基板１０の位置調整を行う。
【０００５】１１はヘッドであって、シャフト１２の下
端部に保持されている。シャフト１２はブロック１３に
保持されている。ブロック１３にはシャフト１２を上下
動させる上下動手段（図示せず）が組み込まれており、
上下動手段が駆動するとヘッド１１は上下動する。１４
は横長の移動テーブルであって、供給部１と位置決め部
６の間に架設されている。移動テーブル１４には水平な
送りねじ１５が備えられている。ブロック１３の背面に
設けられたナット１６は送りねじ１５に螺合している。
したがってモータ１７が駆動して送りねじ１５が回転す
ると、ブロック１３やヘッド１１は移動テーブル１４に
沿って横方向に移動する。１８は吸引装置であって、チ
ューブ１９を介してヘッド１１に接続されている。ヘッ
ド１１の下面には導電性ボール３の吸着孔１１ａが複数
個開孔されており（図５参照）、吸引装置１８が駆動さ
れることにより、吸着孔１１ａに導電性ボール３が真空
吸着される。
端部に保持されている。シャフト１２はブロック１３に
保持されている。ブロック１３にはシャフト１２を上下
動させる上下動手段（図示せず）が組み込まれており、
上下動手段が駆動するとヘッド１１は上下動する。１４
は横長の移動テーブルであって、供給部１と位置決め部
６の間に架設されている。移動テーブル１４には水平な
送りねじ１５が備えられている。ブロック１３の背面に
設けられたナット１６は送りねじ１５に螺合している。
したがってモータ１７が駆動して送りねじ１５が回転す
ると、ブロック１３やヘッド１１は移動テーブル１４に
沿って横方向に移動する。１８は吸引装置であって、チ
ューブ１９を介してヘッド１１に接続されている。ヘッ
ド１１の下面には導電性ボール３の吸着孔１１ａが複数
個開孔されており（図５参照）、吸引装置１８が駆動さ
れることにより、吸着孔１１ａに導電性ボール３が真空
吸着される。
【０００６】従来の導電性ボール搭載装置は、上記のよ
うに構成されており、次に動作を説明する。モータ１７
を駆動してヘッド１１を容器２の上方へ移動させ、そこ
でブロック１３に備えられた上下動手段を駆動してヘッ
ド１１を下降・上昇させ、ヘッド１１の下面に導電性ボ
ール３を真空吸着する。このとき、振動器５を駆動して
容器２を振動させることにより、容器２内の導電性ボー
ル３を全体的に流動化させれば、ヘッド１１の下面の吸
着孔１１ａに導電性ボール３を真空吸着しやすい。
うに構成されており、次に動作を説明する。モータ１７
を駆動してヘッド１１を容器２の上方へ移動させ、そこ
でブロック１３に備えられた上下動手段を駆動してヘッ
ド１１を下降・上昇させ、ヘッド１１の下面に導電性ボ
ール３を真空吸着する。このとき、振動器５を駆動して
容器２を振動させることにより、容器２内の導電性ボー
ル３を全体的に流動化させれば、ヘッド１１の下面の吸
着孔１１ａに導電性ボール３を真空吸着しやすい。
【０００７】ヘッド１１が導電性ボール３を真空吸着し
てピックアップしたならば、モータ１７を駆動してヘッ
ド１１を基板１０の上方へ移動させる。次にヘッド１１
を下降させてその下面の導電性ボール３を基板１０の上
面に着地させ、そこで、吸引装置１８による導電性ボー
ル３の真空吸着状態を解除する。次にヘッド１１を上昇
させれば、導電性ボール３は吸着孔１１ａから脱落して
基板１０に搭載される。次にヘッド１１は容器２の上方
へ移動し、上述した動作が繰り返される。
てピックアップしたならば、モータ１７を駆動してヘッ
ド１１を基板１０の上方へ移動させる。次にヘッド１１
を下降させてその下面の導電性ボール３を基板１０の上
面に着地させ、そこで、吸引装置１８による導電性ボー
ル３の真空吸着状態を解除する。次にヘッド１１を上昇
させれば、導電性ボール３は吸着孔１１ａから脱落して
基板１０に搭載される。次にヘッド１１は容器２の上方
へ移動し、上述した動作が繰り返される。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
導電性ボール搭載装置には、次のような問題点があっ
た。すなわち、ヘッド１１は容器２に対して下降・上昇
することにより吸着孔１１ａに導電性ボール３を真空吸
着してピックアップするものであり、１つの吸着孔１１
ａには導電性ボール３が１つだけ吸着されねばならな
い。ところが、この場合、図５に示すように１つの吸着
孔１１ａに対して複数個の導電性ボール３が真空吸着
（吸着ミス）されやすく、これらの複数個の導電性ボー
ル３がそのまま基板１０に搭載されてしまうという問題
点があった。
導電性ボール搭載装置には、次のような問題点があっ
た。すなわち、ヘッド１１は容器２に対して下降・上昇
することにより吸着孔１１ａに導電性ボール３を真空吸
着してピックアップするものであり、１つの吸着孔１１
ａには導電性ボール３が１つだけ吸着されねばならな
い。ところが、この場合、図５に示すように１つの吸着
孔１１ａに対して複数個の導電性ボール３が真空吸着
（吸着ミス）されやすく、これらの複数個の導電性ボー
ル３がそのまま基板１０に搭載されてしまうという問題
点があった。
【０００９】したがって本発明は、１つの吸着孔に導電
性ボールが１個のみ真空吸着できる導電性ボールの搭載
装置を提供することを目的とする。
性ボールが１個のみ真空吸着できる導電性ボールの搭載
装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明の導電性ボールの
搭載装置は、導電性ボールの供給部と、ワークの位置決
め部と、下面に１個の導電性ボールの上部を収納する凹
部とこの凹部に連通する吸着孔が下面に形成されたヘッ
ドと、ヘッドを供給部と位置決め部との間を移動させる
移動手段と、凹部以外に位置し、かつヘッドの下面に付
着するエキストラボールを取り除く除去治具とを備え、
エキストラボールを取除くべく、移動手段によって除去
治具に対してヘッドを相対的に移動させる際、除去治具
の上端縁の位置が、ヘッドの下面から導電性ボールの直
径だけ下方にある下限位置と、下限位置よりも凹部の高
さだけ上方にある上限位置との間にあるようにしてあ
る。
搭載装置は、導電性ボールの供給部と、ワークの位置決
め部と、下面に１個の導電性ボールの上部を収納する凹
部とこの凹部に連通する吸着孔が下面に形成されたヘッ
ドと、ヘッドを供給部と位置決め部との間を移動させる
移動手段と、凹部以外に位置し、かつヘッドの下面に付
着するエキストラボールを取り除く除去治具とを備え、
エキストラボールを取除くべく、移動手段によって除去
治具に対してヘッドを相対的に移動させる際、除去治具
の上端縁の位置が、ヘッドの下面から導電性ボールの直
径だけ下方にある下限位置と、下限位置よりも凹部の高
さだけ上方にある上限位置との間にあるようにしてあ
る。
【００１１】
【発明の実施の形態】請求項１記載の導電性ボール搭載
装置は、導電性ボールの供給部と、ワークの位置決め部
と、下面に１個の導電性ボールの上部を収納する凹部と
この凹部に連通する吸着孔が下面に形成されたヘッド
と、ヘッドを供給部と位置決め部との間を移動させる移
動手段と、凹部以外に位置し、かつヘッドの下面に付着
するエキストラボールを取り除く除去治具とを備え、エ
キストラボールを取除くべく、移動手段によって除去治
具に対してヘッドを相対的に移動させる際、除去治具の
上端縁の位置が、ヘッドの下面から導電性ボールの直径
だけ下方にある下限位置と、下限位置よりも凹部の高さ
だけ上方にある上限位置との間にあるようにしてある。
したがって、吸着孔に正しく吸着されている導電性ボー
ルは、その上部が凹部に収納されており、その下部は必
ず除去治具の上端縁よりも上方にあり、除去治具に当接
しない。一方、エキストラボールは、凹部に収納されて
おらず、除去治具に当接し、ヘッドの移動に伴なってか
き寄せられ、ヘッドから取除かれる。その結果、１つの
吸着孔には１つの導電性ボールのみが吸着されることと
なり、正しい移載動作を行うことができる。
装置は、導電性ボールの供給部と、ワークの位置決め部
と、下面に１個の導電性ボールの上部を収納する凹部と
この凹部に連通する吸着孔が下面に形成されたヘッド
と、ヘッドを供給部と位置決め部との間を移動させる移
動手段と、凹部以外に位置し、かつヘッドの下面に付着
するエキストラボールを取り除く除去治具とを備え、エ
キストラボールを取除くべく、移動手段によって除去治
具に対してヘッドを相対的に移動させる際、除去治具の
上端縁の位置が、ヘッドの下面から導電性ボールの直径
だけ下方にある下限位置と、下限位置よりも凹部の高さ
だけ上方にある上限位置との間にあるようにしてある。
したがって、吸着孔に正しく吸着されている導電性ボー
ルは、その上部が凹部に収納されており、その下部は必
ず除去治具の上端縁よりも上方にあり、除去治具に当接
しない。一方、エキストラボールは、凹部に収納されて
おらず、除去治具に当接し、ヘッドの移動に伴なってか
き寄せられ、ヘッドから取除かれる。その結果、１つの
吸着孔には１つの導電性ボールのみが吸着されることと
なり、正しい移載動作を行うことができる。
【００１２】次に、図面を参照しながら本発明の実施の
形態について説明する。図１は、本発明の一実施の形態
における導電性ボール搭載装置の側面図である。図１に
おいて、２０は基台である。２１は導電性ボールの供給
部であり、このうち、２２は導電性ボール２３を多数収
納する容器である。２４は、基台２０上に配設され容器
２２を支持する台部である。また、２５は台部２４の脇
に立設される支柱、２６は支柱２５の上部に取付けられ
る弾性体、２７はその下部が弾性体２６の上部に固定さ
れる除去治具である。除去治具２７は、後に詳述する位
置関係を有しており、所定の位置以外に余剰に付着した
エキストラボールをかき寄せて取除くためのものであ
る。また、２８は取除かれたエキストラボールを容器２
２に戻すために、除去治具２７側から容器２２へ向けて
下向きに傾斜している傾斜板である。
形態について説明する。図１は、本発明の一実施の形態
における導電性ボール搭載装置の側面図である。図１に
おいて、２０は基台である。２１は導電性ボールの供給
部であり、このうち、２２は導電性ボール２３を多数収
納する容器である。２４は、基台２０上に配設され容器
２２を支持する台部である。また、２５は台部２４の脇
に立設される支柱、２６は支柱２５の上部に取付けられ
る弾性体、２７はその下部が弾性体２６の上部に固定さ
れる除去治具である。除去治具２７は、後に詳述する位
置関係を有しており、所定の位置以外に余剰に付着した
エキストラボールをかき寄せて取除くためのものであ
る。また、２８は取除かれたエキストラボールを容器２
２に戻すために、除去治具２７側から容器２２へ向けて
下向きに傾斜している傾斜板である。
【００１３】また２９は基台２０上において供給部２１
から離れた位置に配置される位置決め部である。このう
ち３１は基板３０を水平に保持するホルダ、３２は基台
２０上に設けられホルダ３１をＸＹ方向に移動させるこ
とにより、基板３０を所定位置へ位置決めする可動テー
ブルである。また３３は、除去治具２７と位置決め部２
９との間に配置され、上向き（矢印Ｎ１）に光を照射す
る光源である。この光源３３の光は、後述するように、
吸着の良否を認識する際に利用される。
から離れた位置に配置される位置決め部である。このう
ち３１は基板３０を水平に保持するホルダ、３２は基台
２０上に設けられホルダ３１をＸＹ方向に移動させるこ
とにより、基板３０を所定位置へ位置決めする可動テー
ブルである。また３３は、除去治具２７と位置決め部２
９との間に配置され、上向き（矢印Ｎ１）に光を照射す
る光源である。この光源３３の光は、後述するように、
吸着の良否を認識する際に利用される。
【００１４】３７は供給部２１や位置決め部２９よりも
上方にかつ横向きに配置されるフレーム、３８はフレー
ム３７に回転自在に軸支される送りねじ、３９は送りね
じ３８を回転させる移動手段としてのモータである。４
０は図示していない送りナットが背部に設けられ、この
送りナットが送りねじ３８に螺合している移動板であ
る。したがって、モータ３９を駆動すると、送りねじ３
８を回転させ移動板４０を横方向に移動させることがで
きる。
上方にかつ横向きに配置されるフレーム、３８はフレー
ム３７に回転自在に軸支される送りねじ、３９は送りね
じ３８を回転させる移動手段としてのモータである。４
０は図示していない送りナットが背部に設けられ、この
送りナットが送りねじ３８に螺合している移動板であ
る。したがって、モータ３９を駆動すると、送りねじ３
８を回転させ移動板４０を横方向に移動させることがで
きる。
【００１５】また４１は移動板４０の前面に昇降可能に
装着されたブロック、４３はブロック４１を昇降させる
昇降モータである。ブロック４１の下端部には、下面４
２ａに複数の吸着孔４２ｂ（図２）が形成されたヘッド
４２が固定されている。
装着されたブロック、４３はブロック４１を昇降させる
昇降モータである。ブロック４１の下端部には、下面４
２ａに複数の吸着孔４２ｂ（図２）が形成されたヘッド
４２が固定されている。
【００１６】次に図２を参照しながら、除去治具２７の
位置関係について説明する。さて上述したように、ヘッ
ド４２はその下面４２ａ側に、吸着孔４２ｂを有してお
り、この吸着孔４２ｂの下部には、吸着孔４２ｂと同軸
的に形成され、かつ円錐状をなす凹部４２ｃが形成され
ている。そして、導電性ボール２３が吸着孔４２ｂに正
しく吸着されると、導電性ボール２３の上部は凹部４２
ｃ内に収納され、導電性ボール２３は吸着孔４２ｂと同
心的な位置に位置決めされる。このとき、導電性ボール
２３の上端部は、ヘッド４２の下面４２ａよりも凹部４
２ｃの高さｈだけ上方にある。そして、このときの導電
性ボール２３の下端部の位置を上限位置Ｌ１とする。
位置関係について説明する。さて上述したように、ヘッ
ド４２はその下面４２ａ側に、吸着孔４２ｂを有してお
り、この吸着孔４２ｂの下部には、吸着孔４２ｂと同軸
的に形成され、かつ円錐状をなす凹部４２ｃが形成され
ている。そして、導電性ボール２３が吸着孔４２ｂに正
しく吸着されると、導電性ボール２３の上部は凹部４２
ｃ内に収納され、導電性ボール２３は吸着孔４２ｂと同
心的な位置に位置決めされる。このとき、導電性ボール
２３の上端部は、ヘッド４２の下面４２ａよりも凹部４
２ｃの高さｈだけ上方にある。そして、このときの導電
性ボール２３の下端部の位置を上限位置Ｌ１とする。
【００１７】ところで、上述したように、ヘッド４２で
導電性ボール２３を吸着する際、吸着孔４２ｂから外れ
た位置に余剰のボールが吸着されてしまうことがある。
ここで、本明細書では、この余剰のボールをエキストラ
ボールという。
導電性ボール２３を吸着する際、吸着孔４２ｂから外れ
た位置に余剰のボールが吸着されてしまうことがある。
ここで、本明細書では、この余剰のボールをエキストラ
ボールという。
【００１８】さて図２に示すように、エキストラボール
２３ｘ（斜線部）は、吸着孔４２ｂから外れているか
ら、当然エキストラボール２３ｘの上部は、凹部４２ｃ
に入ることはない。したがって、エキストラボール２３
ｘの下端部は、ヘッド４２の下面４２ａより導電性ボー
ルの直径Ｄだけ下方の下限位置Ｌ２又はこの下限位置Ｌ
２より下方にあることになる。
２３ｘ（斜線部）は、吸着孔４２ｂから外れているか
ら、当然エキストラボール２３ｘの上部は、凹部４２ｃ
に入ることはない。したがって、エキストラボール２３
ｘの下端部は、ヘッド４２の下面４２ａより導電性ボー
ルの直径Ｄだけ下方の下限位置Ｌ２又はこの下限位置Ｌ
２より下方にあることになる。
【００１９】そこで、本形態では、除去治具２７の上端
縁２７ａの位置を、上限位置Ｌ１と下限位置Ｌ２との間
においている。このようにすれば、上端縁２７ａは、正
しく吸着孔４２ｂに吸着されている導電性ボール２３に
接触することはなく、凹部４２ｃに入っていないエキス
トラボール２３ｘにのみ当接することになる。
縁２７ａの位置を、上限位置Ｌ１と下限位置Ｌ２との間
においている。このようにすれば、上端縁２７ａは、正
しく吸着孔４２ｂに吸着されている導電性ボール２３に
接触することはなく、凹部４２ｃに入っていないエキス
トラボール２３ｘにのみ当接することになる。
【００２０】したがって、容器２２からヘッド４２によ
り導電性ボール２３をピックアップし、上述した位置関
係となるように、昇降モータ４３でヘッド４２を位置さ
せ、モータ３９を駆動し、図２の矢印Ｎ２で示すよう
に、除去治具２７に対してヘッド４２を相対的に水平方
向へ移動させると、エキストラボール２３ｘのみが除去
治具２７の上端縁２７ａで取り除かれる。なお取り除か
れたエキストラボール２３ｘは、図２の鎖線で示すよう
に、傾斜板２８上へ落下し、傾斜板２８上を滑下して容
器２２に回収される。
り導電性ボール２３をピックアップし、上述した位置関
係となるように、昇降モータ４３でヘッド４２を位置さ
せ、モータ３９を駆動し、図２の矢印Ｎ２で示すよう
に、除去治具２７に対してヘッド４２を相対的に水平方
向へ移動させると、エキストラボール２３ｘのみが除去
治具２７の上端縁２７ａで取り除かれる。なお取り除か
れたエキストラボール２３ｘは、図２の鎖線で示すよう
に、傾斜板２８上へ落下し、傾斜板２８上を滑下して容
器２２に回収される。
【００２１】次に図３を参照しながら、認識ユニット４
４等について説明する。図３に示すように、認識ユニッ
ト４４の下部とヘッド４２の上部との間には、透明板４
５が入れてある。これは、ヘッド４２の上部を閉鎖し、
吸引装置による負圧をヘッド４２内に作用させると共
に、ヘッド４２内の上向きの光を認識ユニット４４へ透
過できるようにするためのものである。
４等について説明する。図３に示すように、認識ユニッ
ト４４の下部とヘッド４２の上部との間には、透明板４
５が入れてある。これは、ヘッド４２の上部を閉鎖し、
吸引装置による負圧をヘッド４２内に作用させると共
に、ヘッド４２内の上向きの光を認識ユニット４４へ透
過できるようにするためのものである。
【００２２】また認識ユニット４４内には、レンズ４６
と光を検知するセンサ４７が配置されている。ここで、
吸着孔４２ｂの全てに導電性ボール２３が吸着されてい
るときには、導電性ボール２３の上部が凹部４２ｃを塞
いでいるから、ヘッド４２が光源３３上に到来しても図
３の破線矢印で示すように、センサ４７に光が達しな
い。
と光を検知するセンサ４７が配置されている。ここで、
吸着孔４２ｂの全てに導電性ボール２３が吸着されてい
るときには、導電性ボール２３の上部が凹部４２ｃを塞
いでいるから、ヘッド４２が光源３３上に到来しても図
３の破線矢印で示すように、センサ４７に光が達しな
い。
【００２３】しかしながら、図３の実線矢印で示すよう
に、吸着孔４２ｂのうち１つでも導電性ボール２３を吸
着していないものがあるとき（吸着不足）、センサ４７
は光を検出する。
に、吸着孔４２ｂのうち１つでも導電性ボール２３を吸
着していないものがあるとき（吸着不足）、センサ４７
は光を検出する。
【００２４】したがって、本形態の導電性ボール搭載装
置では、センサ４７が光を全く検知しなければ吸着成功
と判定し、１つでもセンサ４７が光を検出すれば吸着不
足と判定することとしている。
置では、センサ４７が光を全く検知しなければ吸着成功
と判定し、１つでもセンサ４７が光を検出すれば吸着不
足と判定することとしている。
【００２５】ここで全体の動作を簡単に説明する。まず
ヘッド４２に導電性ボール２３を吸着し、除去治具２７
によりエキストラボールがあればこれを取除く。次に、
この除去動作によって正しく吸着された導電性ボール２
３まで除去されてしまう可能性があるので、吸着不足が
ないかどうか検査し、なければ基板３０へ搭載を行い、
あれば再度吸着動作を行う。
ヘッド４２に導電性ボール２３を吸着し、除去治具２７
によりエキストラボールがあればこれを取除く。次に、
この除去動作によって正しく吸着された導電性ボール２
３まで除去されてしまう可能性があるので、吸着不足が
ないかどうか検査し、なければ基板３０へ搭載を行い、
あれば再度吸着動作を行う。
【００２６】
【発明の効果】本発明の導電性ボール搭載装置は、導電
性ボールの供給部と、ワークの位置決め部と、導電性ボ
ールを真空吸着する吸着孔が下面に形成されたヘッド
と、供給部と位置決め部との間を移動させる移動手段
と、吸着孔以外に位置し、かつヘッドの下面に付着する
エキストラボールを取り除く除去治具とを備え、吸着孔
の周囲には導電性ボールの上部を収納する凹部が形成さ
れており、エキストラボールを取除くべく、移動手段に
よって除去治具に対してヘッドを相対的に移動させる
際、除去治具の上端縁の位置が、ヘッドの下面から導電
性ボールの直径だけ下方にある下限位置と、下限位置よ
りも凹部の高さだけ上方にある上限位置との間にあるよ
うにしてあるので、エキストラボールを確実に取除い
て、正しい移載を行うことができる。
性ボールの供給部と、ワークの位置決め部と、導電性ボ
ールを真空吸着する吸着孔が下面に形成されたヘッド
と、供給部と位置決め部との間を移動させる移動手段
と、吸着孔以外に位置し、かつヘッドの下面に付着する
エキストラボールを取り除く除去治具とを備え、吸着孔
の周囲には導電性ボールの上部を収納する凹部が形成さ
れており、エキストラボールを取除くべく、移動手段に
よって除去治具に対してヘッドを相対的に移動させる
際、除去治具の上端縁の位置が、ヘッドの下面から導電
性ボールの直径だけ下方にある下限位置と、下限位置よ
りも凹部の高さだけ上方にある上限位置との間にあるよ
うにしてあるので、エキストラボールを確実に取除い
て、正しい移載を行うことができる。
【図１】本発明の一実施の形態における導電性ボール搭
載装置の側面図
載装置の側面図
【図２】本発明の一実施の形態における導電性ボール搭
載装置の動作説明図
載装置の動作説明図
【図３】本発明の一実施の形態における導電性ボール搭
載装置の部分拡大図
載装置の部分拡大図
【図４】従来の導電性ボール搭載装置の側面図
【図５】従来の導電性ボール搭載装置のヘッドの部分断
面図
面図
２１ 供給部 ２３ 導電性ボール ２７ 除去治具 ２９ 位置決め部 ４２ ヘッド
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 21/60 H05K 3/34 B23K 3/06 B23P 21/00
Claims (2)
- 【請求項１】導電性ボールの供給部と、ワークの位置決
め部と、下面に１個の導電性ボールの上部を収納する凹
部とこの凹部に連通する吸着孔が下面に形成されたヘッ
ドと、前記ヘッドを前記供給部と前記位置決め部との間
を移動させる移動手段と、前記凹部以外に位置し、かつ
前記ヘッドの下面に付着するエキストラボールを取り除
く除去治具とを備え、エキストラボールを取除くべく、
前記移動手段によって前記除去治具に対して前記ヘッド
を相対的に移動させる際、前記除去治具の上端縁の位置
が、前記ヘッドの下面から導電性ボールの直径だけ下方
にある下限位置と、前記下限位置よりも前記凹部の高さ
だけ上方にある上限位置との間にあるようにしてあるこ
とを特徴とする導電性ボール搭載装置。 - 【請求項２】ヘッドを導電性ボールの供給部へ入れて、
前記ヘッドの吸着孔に導電性ボールを吸着させ、前記吸
着孔の周囲に形成された凹部に導電性ボールの上部を収
納するステップと、 前記ヘッドを除去治具に対して相対的に移動させ、この
移動中に、前記除去治具の上端縁を、前記ヘッドの下面
から導電性ボールの直径だけ下方にある下限位置と前記
下限位置よりも前記凹部の高さだけ上方にある上限位置
との間に位置させ、前記吸着孔以外に位置しかつ前記ヘ
ッドの下面に付着するエキストラボールを取除くステッ
プと、 次いで前記吸着孔に吸着させた導電性ボールをワークへ
移載するステップとを含むことを特徴とする導電性ボー
ル搭載方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10507196A JP3235459B2 (ja) | 1996-04-25 | 1996-04-25 | 導電性ボール搭載装置及び導電性ボール搭載方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10507196A JP3235459B2 (ja) | 1996-04-25 | 1996-04-25 | 導電性ボール搭載装置及び導電性ボール搭載方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09293756A JPH09293756A (ja) | 1997-11-11 |
| JP3235459B2 true JP3235459B2 (ja) | 2001-12-04 |
Family
ID=14397724
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10507196A Expired - Fee Related JP3235459B2 (ja) | 1996-04-25 | 1996-04-25 | 導電性ボール搭載装置及び導電性ボール搭載方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3235459B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4598240B2 (ja) | 1999-06-24 | 2010-12-15 | アスリートＦａ株式会社 | ボール搭載装置及びボール搭載方法 |
| KR100394415B1 (ko) * | 2001-01-11 | 2003-08-09 | 조수제 | 미세 볼 배열 기판 및 이의 제조방법 |
| JP4040366B2 (ja) * | 2002-05-28 | 2008-01-30 | 富士機械製造株式会社 | 電子部品実装装置 |
-
1996
- 1996-04-25 JP JP10507196A patent/JP3235459B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH09293756A (ja) | 1997-11-11 |
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