JP5109552B2

JP5109552B2 - ロボット用ハンドおよびこれを備えた水平多関節ロボット

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Publication number: JP5109552B2
Application number: JP2007247618A
Authority: JP
Inventors: 繁樹田中
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2007-09-25
Filing date: 2007-09-25
Publication date: 2012-12-26
Anticipated expiration: 2027-09-25
Also published as: JP2009078311A

Description

本発明は、水平多関節ロボットの出力端に装着されるロボット用ハンドおよびこれを備えた水平多関節ロボットに関する。

ワークの自動組立工程において、当該自動組立工程に搬入されるワークは、通常バラ積み状態であるので、作業台上に搬入されるワークの姿勢は様々である。このため、ワークの自動組立では、様々な姿勢のワークを持ち替えるロボットが重要である。このようなロボットにおいて、ワークを画像で捕らえて位置や形状で認識し、認識した情報に基づいてワークを持ち替える等の機能を備えたり、様々なワークの姿勢に対応するためには、６軸ロボットが有効であるが、６軸ロボットは高価であるのみならず、ワークをつかむハンド部分が大きいために小さなワークをつかみにくい等の問題がある。

また、作業台に搬入されたワークの姿勢を所定の姿勢に持ち替えるためには、通常スカラ（ＳＣＡＲＡ）と称される水平多関節ロボットが知られている。この水平多関節ロボットは、水平方向に移動自在な多関節アームの先端部にＺ軸が保持され、Ｚ軸の下端部の取付部にはワークを把持するエアーチャックあるいはワークを吸着する吸引パッド等を備えたハンド部が設けられている。

また、下記の特許文献１及び特許文献２のロボットハンドの場合、ロボットアームの先端部に昇降可能なエアシリンダを取り付け、このエアシリンダの下端部に垂直方向に延びる一対の平板部を設け、この一対の平板部間に部品吸着ノズルを設けたものであり、一対の平板部間にエアシリンダを設けている。部品吸着ノズルの上端部は、リンクを介してエアシリンダのシリンダロッドに結合されている。

このロボットハンドでは、シリンダロッドを延ばすと、リンクを介して部品吸着ノズルが斜めに回転し、リンクの下端部がストッパ等の部材に当たると、シリンダロッドの伸張が停止して部品吸着ノズルの傾斜角度が固定される。また、シリンダロッドを収縮させると、リンクを介して部品吸着ノズルが鉛直方向に向き始め、最終的には部品吸着ノズルは鉛直方向真下に向くように構成されている。

特許文献２に開示されるものでは、上記特許文献１のスカラには、Ｚ軸方向に伸縮可能なハンド軸が取り付けられ、このハンド軸の下端部にハンド支持部が螺着されている。ハンド軸はＺ軸周り方向に回転可能とされており、ハンド軸を収縮させてハンド支持部を上昇させてアーム側に回転不能に拘束させ、更にハンド軸を回転させると、ハンド軸がハンド支持部にねじ込まれ、ハンド支持部を貫通するピンを介して部品吸着ノズルのリンクを止めるストッパの高さを調整できるようになっている。
特開平７−１０８４８２号公報特開平７−１１６９８４号公報

しかしながら、従来の水平多関節ロボットでは、水平面内でのワークのハンドリングを得意とするものであるために、複数のアームを有しているが、ワークの多様な姿勢に対応するように、アームやハンド部に更に軸や関節を増やすと、高価になるという問題がある。また、任意の姿勢変更を可能となるようにアームやハンド部等を有する構成としても、ワーク毎にそれぞれ姿勢が異なるために、Ｚ軸に用いられるエアシリンダのシリンダロッドのストロークが毎回異なり、ストロークを変えるために所定位置までシリンダロッドを戻さなければならないので、迅速なストローク変更が困難である。

さらに、上記の特許文献１、２に開示されるものの場合、エアシリンダの下端部に設けた一対の平板部の間に、部品吸着ノズルを回転可能に設け、一対の平板部間に配備されたエアシリンダのシリンダロッドが、リンクを介して部品吸着ノズルに結合されている構成であるために、ハンドの先端部の形状が大きくなっている。このため、把持目的のワークに接近したときに、目的となるワークの周辺にあるワークに接触して動かしてしまい、対象となるワークをも動かしてなかなかワークを把持できなくなるという問題がある。

更に、先端のチャックの角度が任意の角度に変更できるものであっても、水平多関節ロボットのアームあるいはＺ軸の伸張量とチャックの角度変更との調節が行われないと、任意の姿勢のワークに合わせたチャックの姿勢制御が難しい問題がある。すなわち、ハンド部の姿勢角度に対し、水平多関節ロボットの協調動作がないと、ワークを把持したり、ワークを組み込んだりするための傾斜動作や複雑な動作ができないという問題がある。

また、ワークの把持作業とワークの組み込み作業とにおいて、ワークを掴む姿勢は基本的に同じか、水平面内で補正するか、水平／垂直間のいずれかの姿勢に限られていて、表裏が逆であったり、傾きが異なって高さ方向或いは上下方向において姿勢の違いがある場合、ワークの姿勢変換は自由ではなかった。

いずれの場合であっても、作業台上に任意にばら蒔かれたワークの姿勢は多様であるので、特定の姿勢のワークしか掴み取ることができない場合には、ワークの搬送効率が低くなる。また、ワークに対して特定の姿勢をとらせるためにベルトコンベア等でワークの循環を繰り返すと、サイクルタイムが長くなるのみならず、電力消費等も多くなり生産効率が悪化する問題がある。

本発明は上記課題に着目してなされたものであり、自動組立その他の作業工程において、不特定で多様な姿勢をとるワークを所定の姿勢で効率的に掴み取ることができ、安価で作業効率が高いロボット用ハンドおよびこれを備えた水平多関節ロボットを提供することを目的とする。

本発明のロボット用ハンドは、少なくとも鉛直方向に往復動する軸を持つ多関節ロボットの、出力部に着脱されるロボット用ハンドであって、出力部に装着され、鉛直方向に延在すると共に下端部が幅狭に形成されたハンドベースと、ハンドベースから鉛直方向に対して直交方向に延在する回転軸と、回転軸に軸支されて回転軸を中心に回転動するワークチャックと、水平方向に往復動するスライダを備えたリニアモータと、一端部をスライダに連結されると共に他端部をワークチャックに連結され、スライダの往復動をワークチャックの回動動作に変換するリンク機構と、を有するチャック回動手段と、スライダの移動方向および移動量を検出信号として出力するリニアエンコーダと、リニアエンコーダの検出信号に基づいて、ワークチャックの回転角度制御および回転方向制御を行う制御手段と、を備えたことを特徴とする。

また、本発明のロボット用ハンドは、少なくとも鉛直方向に往復動する軸を持つ多関節ロボットの、出力部に着脱されるロボット用ハンドであって、出力部に装着され、鉛直方向に延在すると共に下端部が幅狭に形成されたハンドベースと、ハンドベースから鉛直方向に対して直交方向に延在する回転軸と、回転軸に軸支されて回転軸を中心に回転動するワークチャックと、正逆回転可能な回転モータと、水平方向に往復動するスライドブロックと、一端部を回転モータの主軸に連結されると共に他端部をスライドブロックに連結され、回転モータの正逆回転をスライドブロックの往復動に変換する第１リンク機構と、一端部をスライドブロックに連結されると共に他端部をワークチャックに連結され、スライドブロックの往復動をワークチャックの回動動作に変換する第２リンク機構と、を有するチャック回動手段と、回転モータの回転角度および回転方向を検出信号として出力するロータリーエンコーダと、ロータリーエンコーダの検出信号に基づいて、ワークチャックの回転角度制御および回転方向制御を行う制御手段と、を備えたことを特徴とする。

また、ワークチャックは、真空チャックで構成されており、回転軸の軸心には、回転軸の上流側を真空チャックに連通すると共に、下流側を回転軸の軸受部に形成した真空通路を介して真空吸引手段に連通した軸内真空通路が形成されていることが好ましい。

真空吸引手段が、ワークチャックの支軸内の軸内真空通路を介してワークチャックの内部の空気吸引用の通路とが連通していることによって、ベースの外部にはチャック部の周囲におけるエア吸引用の配管がなくなり、これらの配管がワークに当たってワークの姿勢を変えてしまうことが防止され、迅速にワークを把持できる。

また、本発明の水平多関節ロボットは、上記のロボット用ハンドを、出力部に装着したことを特徴とする。

以下に、本発明を実施するための最良の形態にかかる多関節ロボット用ハンドについて説明する。図１は第１の実施の形態にかかる水平多関節ロボット用ハンドを示したものであり、符号１はロボット用ハンドである。このロボット用ハンド１は、平板状のハンドベース２を備えている。ハンドベース２の上端部には略円筒状の取付部３が取り付けられている。取付部３は、図４に示す水平多関節ロボット４のＺ軸５の下端部（水平多関節ロボットの出力端）に取り付けられる取付穴６を備えており、円筒軸方向に割溝７を有している。取付部３は、割溝７の側方のボルト穴８に図示しないボルトを挿入し、ナットを締結することによりて、Ｚ軸５に取り付けられる。

ハンドベース２は、Ｚ軸５の軸方向に延びる大略五角形の平板形状を有しており、ハンドベース２の上部が幅広部９とされ、ハンドベース２の下部が幅狭部１０とされている。幅広部９の上端部には前述の取付部３が取り付けられ、取付部３の下方にリニアモータ１１のスクリュー１２が配備されている。リニアモータ１１はハンドベース２に取り付けられ、リニアモータ１１のスクリュー１２の一端部はハンドベース２に設けられた軸受け部１３に保持されている。スクリュー１２にはリニアエンコーダ１４が螺着されている。リニアエンコーダ１４は、スクリュー１２の回転に伴ってスクリュー１２の軸方向に移動すると共に、リニアエンコーダ１２の移動方向及び移動量を検出信号として出力する。リニアエンコーダ１４の検出したリニアエンコーダ１４が取り付けられたスライダ１５の移動方向と移動距離は、多関節ロボット４の図示しないコンピュータを備えた制御手段によって、ワークチャック２２の回動方向および回動角度として演算され、その制御手段によってワークチャック２２の傾斜方向および傾斜角度の制御が行われる。

リニアエンコーダ１４にはスライダ１５が取り付けられている。ハンドベース２の中間部にはスクリュー１２と平行に延びるガイド軸１６が取り付けられている。スライダ１５は、ハンドベース２から離反することなくガイド軸１６に対してその軸方向にスライド自在に嵌合している。スライダ１５の下端部にはハンドベース２の縦方向に延びるガイド溝１７が形成されている。

ハンドベース２の幅狭部１０は略三角形の角部形状を有しており、幅狭部１０の下端部にはハンドベース２の下端部から下方に突出する突出部１８が形成されている。突出部１８には図２に示す取付穴１９が貫通して形成され、この取付穴１９に、回転軸２０が回転可能に装着されている。回転軸２０は、幅狭部１０においてＺ軸５とスライダ１５のスライド方向の両者に直交する方向に延びており、ハンドベース２の下端部から直交方向に延びる支軸を構成している。回転軸２０にはワーク２１（図１ｂ参照）を把持する片持ち型のワークチャック２２が回転可能に装着されている。このワーク２１には、円板部２１ａの片面に円柱状の突起２１ｂが形成されている。ワークチャック２２はエア吸引によりワーク２１を把持する吸引型のチャックとされている。ワークチャック２２は、ワーク２１の突起部２１ｂを挿入することによりワーク２１の姿勢を決めて把持する円筒部２３と、スライダ１５の直線運動をワークチャック２２の回転運動に変換するアーム部２４とを備えている。

図２の断面図に示すように、ワークチャック２２の内部には、円筒部２３のエアを吸引するための通路２４が形成されており、この通路２５は回転軸２０の軸中心に形成された軸内真空通路２６と通じている。軸内真空通路２６は分岐通路２６ａにより通路２５に接続している。回転軸２０の頭部の反対側にはねじ部が形成されており、このねじ部には突出部１８に回転軸２０を回転自在に装着するナット部２７が締結されている。軸内真空通路２６の頭部反対側の端部の開口部は栓によって閉塞されている。回転軸２０の頭部の反対側には軸内真空通路２６から外部に通じる通路２６ｂが形成されている。この通路２６ｂは回転軸２０の外周面全面に形成されたリング状の溝部２８と連なっている。突出部１８内部には溝部２８と連なる通路２９が形成されており、通路２９は突出部１８のワークチャック２２と反対側の面に開口している。通路２９の溝部２８の反対側の端部にはチューブ固定用のリング３０が固定されており、このリング３０にエア吸引用のチューブ３１の端部が固定されている。エア吸引用のチューブ３１には真空吸引手段としての図示しない真空ポンプが制御バルブを介して接続されている。

図１に示すように、ワークチャック２２のアーム部２４と、スライダ１５には、スライダ１５の直線運動をワークチャック２２の回転運動に変えるリンク機構３２が、形成されている。この実施形態の多関節ロボット用ハンドおいては、ワークチャック２２を回動させるチャック回動手段は、水平方向に往復動するリニアモータ１１と、一端部をリニアモータ１１のスライダ１５に連結されると共に他端部をワークチャック２２に連結され、スライダ１５の往復動をワークチャック２２の回動動作に変換するリンク機構３２とで構成されている。このリンク機構３２は、具体的には、スライダ１５のガイド溝１７と、アーム部２４の先端部に取り付けられたローラ３３とで構成されている。ローラ３３はガイド溝１７に対して緩く挟まれており、ローラ３３はガイド溝１７に沿ってスライド可能とされている。

これによって、リニアモータ１１によりスクリュー１２が回転して、スライダ１５がスクリュー１２の軸方向に移動すると、ガイド溝１７が横移動しつつローラ３３をガイド軸１６に沿って移動させ、アーム２４を回転させる。リニアモータ１１は回転方向の制御により円筒部２３を鉛直方向に向けたり、水平方向に向けたりするように、ワークチャック２２を回転させてワーク２１を把持できる。

上述のハンド１は、直交するＸ軸・Ｙ軸で形成される水平面に沿って先端部が平行移動可能とされる水平多関節ロボット４の先端部に設けられる軸周り方向に回転可能なＺ軸５（出力端）に取り付けられるハンドである。ハンド１は、Ｚ軸５に装着されてＺ軸５の軸方向に延びるハンドベース２を備えており、ハンドベース２はＺ軸５に取付られる部位から遠い部位が幅狭部１０とされている。ハンドベース２には、ガイド軸１６とリニアモータ１１によってＺ軸５に対して直交方向に直線運動可能なスライダ１５が配備され、スライダ１５とワークチャック２２は、スライダ１５の直線運動をワークチャック２２の回転運動に変換するチャック回動手段を備えており、チャック回動手段は、リニアモータ１１と、スライダ１５の往復動をワークチャック２２の回動動作に回動角度制御可能に変換するリンク機構３２とで構成されている。チャック回動手段の回転角度制御および回転方向制御はリニアエンコーダ１４の出力信号に基づいて多関節ロボット４の制御手段により行われる。

従って、上記ハンド１によれば、ハンドベース２のワークチャック２２は、水平多関節ロボット４による水平方向及び高さ方向並びにＺ軸５の軸周り方向の制御の他に、ワークチャック２２の回転角度の制御によって、把持目標のワーク２１の突起２１ｂの姿勢に合わせて突起２１ｂを挿入する姿勢をとることができる。

その際、ハンドベース２のＺ軸５との取付部３から遠い部位すなわちワーク２１に接近する部位（ハンドベース２の下端部）は幅狭部１０とされ、この幅狭部１０にワークチャック２２が片持ち型で回動可能に設けられているので、ワーク２１に接近する部位全体が小さく構成される。このため、小さなワーク２１が作業面上に多数搬入されても、ハンドベース２自体にワーク２１が当たり難い。そして、ハンドベース２やワークチャック２２が目標周辺のワークに当たって目標のワーク２１を移動させたり、ワーク２１の姿勢を変えたりすることが少なくなるので、目標のワーク２１を把持しやすい。

さらに、ワークチャック２２により多様な姿勢のワーク２１に対応して、ワークチャック２２の姿勢そのものを変えるためのチャック回動手段が、スライダ１５と、片持ち型のワークチャック２２と、リンク機構３２により構成されているので、ワーク２１の掴み変えの際にＺ軸５の上下移動をすることなく、ワークチャック２２の傾斜動作により、他のワークの上を通過できる。このため、６軸型の高価な多関節ロボットを用いなくても、安価に構成できる。

また、上記のワークチャック２２は片持ちであり、しかも回転軸２０内部に軸方向に伸びる軸内真空通路２６が形成され、この軸内真空通路２６がワークチャック２２に形成された空気吸引用の通路２５と通じて空気吸引用の流路を形成しており、真空ポンプおよび制御バルブ等の真空吸引手段に接続されているので、ワークチャック２２のエア吸引用のエアチューブをハンドベース２の先端部周りに配備しなくて良く、ワーク把持の邪魔とならない。次に、スライダ１５を直線運動させる駆動部は、ハンドベース２に設けられたリニアモータ１１により構成されているので、安価である。

図３は本発明の第２の実施形態にかかる多関節ロボット用ハンド５０を示す。この多関節ロボット用ハンド５０において、ベース５１の上部にはＺ軸５に取り付けられる円筒状の取付部５２がボルト等により取り付けられている。取付部５２は内側の取付穴５３にＺ軸５（水平多関節ロボットの出力端）が挿入され、図持しないボルトをボルト穴５４に挿入して螺着すると、ベース５１がＺ軸５に固定されるようになっている。ベース５１の上端部は幅広部５５とされ、ベース５１の下端部はＺ軸５に取り付ける部位から遠方部位の幅狭部５６とされる。

幅広部５５の裏面側には、ＡＣサーボモータからなると共に減速機構とロータリーエンコーダを備えたギアードモータ５７が取り付けられており、ギアードモータ５７の回転軸はベース５１の表側に突出している。ギアードモータ５７の回転軸にはアーム５８が固定されている。アーム５８の自由端部にはピン５９が取り付けられ、このピン５９の先端部に図示しないローラが装着されている。ギアードモータ５７の回転角度および回転方向は、ロータリーエンコーダで検出され、ロータリーエンコーダの検出信号は多関節ロボット４の図示しないコンピュータを備えた制御手段により処理される。その制御手段はロータリーエンコーダの検出信号によりギアードモータ５７の回転方向および回転角度からワークチャック６６の傾斜方向および傾斜角度を演算し、ワークチャック６６の傾斜方向および傾斜角度を制御する。

ベース５１の上部には、Ｚ軸５に対して直交方向に延びるガイド軸６０が取り付けられており、このガイド軸６０にスライダ６１がガイド軸６０から離脱することなくスライド自在に装着されている。スライダ６１の上部にはＺ軸方向に延びるガイド溝６２が形成されている。上部のガイド溝６２にはアーム５８のピン５９に装着された上記ローラが緩く挟まれており、アーム５８のローラとガイド溝６１によりギアードモータ５７の回転運動をスライダ６１の直線運動に変換する変換機構６７（第１リンク機構）を構成している。ギアードモータ５７の回転軸が回転すると、アーム５８のローラがガイド溝６２の壁面をガイド軸６０の延びる方向に押して、スライダ６１がガイド軸６０に沿ってスライドする。

スライダ６１の下部には第１の実施形態のスライダ１５のガイド溝３４と同様なガイド溝６３が形成されている。ベース５１の幅狭部５６の下端部はワーク６４（図３ｂ参照）側に突出する突出部６５とされており、突出部６５にワークチャック６６が回転自在に装着されている。ワークチャック６６は回転軸６８により突出部６５に回転自在に取り付けられ、ワークチャック６６のアーム部６９のローラ７０はスライダ６１のガイド溝６３に緩く入っている。ワークチャック６６のアーム部６９の反対側にはエアを吸引してワーク６４を把持する円筒部７１とされている。

スライダ６１の直線運動をワークチャック６６の回転運動に変える変換機構７２（第２リンク機構）は、ガイド溝６３とアーム６９のローラ７０で構成されている。変換機構７２の詳しい構成並びにワークチャック６６と突出部６５の通路の詳しい構成は第１の実施形態の構成と同一であるので、その説明を援用し、詳細な説明を省略する。

図３に示すハンド５０では、第１リンク機構である変換機構６７と第２リンク機構である変換機構７２は、ワークチャック６６のチャック回動手段を構成している。スライダ６１をスライド自在に駆動する駆動部は、ベース５１に取り付けられたギアードモータ５７により回転駆動されるアーム５８と、アーム５８の回転運動をスライダ６１の直線運動に変換する変換機構６７を備えているので、駆動源であるギアードモータ５７が回転すると、アーム５８とガイド溝６２によって、アーム５８の回転運動がスライダ６１の直線運動に変えられ、さらにスライダ６１の直線運動が下部の変換機構７２によりワークチャック６６の回転運動に変換される。図３のハンド５０のように、駆動部がギアードモータ５７により駆動されるアーム５８とアーム５８の回転運動をスライダ６１の直線運動に変える変換機構６７で構成されるので、ワークの掴み変えの際にワークチャック６６の傾斜動作により、Ｚ軸５の上下移動をすることなく他のワークの上を通過できる。これによって、安価で且つワーク把持動作の迅速なハンドを提供できる。

更に、上記のハンド１若しくはハンド５０を備えた水平多関節ロボットによれば、安価な構成で様々なワーク２１、６２の姿勢に応じて容易にワークチャック２２或いはワークチャック６６の向きを変えてワーク２１、６４を把持することができる。

本発明の多関節ロボット用ハンド及びこれを用いた多関節ロボットは、作業台等に搬入される様々な姿勢のワークに応じてチャックの姿勢を速やかにとることができ、ワークの把持工程及び組込み工程の迅速化を促進でき、低コスト化に貢献できる。

図１（ａ）は本発明の第１の実施形態にかかる多関節ロボット用ハンドの斜視図、図１（ｂ）はチャック部の斜視図である。図２はチャック部の通路の構成を示す断面図である。図３（ａ）は本発明の第２の実施形態にかかる多関節ロボット用ハンドの斜視図、図３（ｂ）はチャック部の斜視図である。図４は水平多関節ロボットの概略を示す概略図である。

符号の説明

１：ハンド、２：ハンドベース、４：水平多関節ロボット、５：Ｚ軸、１０：ベースの幅狭部、１１：リニアモータ、１４：リニアエンコーダ、１５：スライダ、１６：ガイド軸、１７：ガイド溝、１８：突出部、２０回転軸、２１：ワーク、２２：ワークチャック、２５：チャック部の通路、２６：軸内真空通路、３２：変換機構（リンク機構：チャック回動手段）

Claims

少なくとも鉛直方向に往復動する軸を持つ多関節ロボットの、出力部に着脱されるロボット用ハンドであって、
前記出力部に装着され、前記鉛直方向に延在すると共に下端部が幅狭に形成されたハンドベースと、
前記ハンドベースから前記鉛直方向に対して直交方向に延在する回転軸と、
前記回転軸に軸支されて前記回転軸を中心に回転動するワークチャックと、
水平方向に往復動するスライダを備えたリニアモータと、一端部を前記スライダに連結されると共に他端部を前記ワークチャックに連結され、前記スライダの往復動を前記ワークチャックの回動動作に変換するリンク機構と、を有するチャック回動手段と、
前記スライダの移動方向および移動量を検出信号として出力するリニアエンコーダと、
前記リニアエンコーダの検出信号に基づいて、前記ワークチャックの回転角度制御および回転方向制御を行う制御手段と、を備えたことを特徴とするロボット用ハンド。
少なくとも鉛直方向に往復動する軸を持つ多関節ロボットの、出力部に着脱されるロボット用ハンドであって、
前記出力部に装着され、前記鉛直方向に延在すると共に下端部が幅狭に形成されたハンドベースと、
前記ハンドベースから前記鉛直方向に対して直交方向に延在する回転軸と、
前記回転軸に軸支されて前記回転軸を中心に回転動するワークチャックと、
正逆回転可能な回転モータと、水平方向に往復動するスライドブロックと、一端部を前記回転モータの主軸に連結されると共に他端部を前記スライドブロックに連結され、前記回転モータの正逆回転を前記スライドブロックの往復動に変換する第１リンク機構と、一端部を前記スライドブロックに連結されると共に他端部を前記ワークチャックに連結され、前記スライドブロックの往復動を前記ワークチャックの回動動作に変換する第２リンク機構と、を有するチャック回動手段と、
前記回転モータの回転角度および回転方向を検出信号として出力するロータリーエンコーダと、
前記ロータリーエンコーダの検出信号に基づいて、前記ワークチャックの回転角度制御および回転方向制御を行う制御手段と、を備えたことを特徴とするロボット用ハンド。
前記ワークチャックは、真空チャックで構成されており、
前記回転軸の軸心には、前記回転軸の上流側を前記真空チャックに連通すると共に、下流側を前記回転軸の軸受部に形成した真空通路を介して真空吸引手段に連通した軸内真空通路が形成されていることを特徴とする請求項１または２に記載のロボット用ハンド。
請求項１ないし３のいずれかに記載のロボット用ハンドを、出力部に装着したことを特徴とする水平多関節ロボット。