JP3104631B2 - 導電性ボールの搭載装置 - Google Patents
導電性ボールの搭載装置Info
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- JP3104631B2 JP3104631B2 JP09000070A JP7097A JP3104631B2 JP 3104631 B2 JP3104631 B2 JP 3104631B2 JP 09000070 A JP09000070 A JP 09000070A JP 7097 A JP7097 A JP 7097A JP 3104631 B2 JP3104631 B2 JP 3104631B2
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- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/30—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
- H05K3/32—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
- H05K3/34—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by soldering
- H05K3/3457—Solder materials or compositions; Methods of application thereof
- H05K3/3478—Applying solder preforms; Transferring prefabricated solder patterns
Landscapes
- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半田ボールなどの
導電性ボールをワークに搭載する導電性ボールの搭載装
置に関するものである。
導電性ボールをワークに搭載する導電性ボールの搭載装
置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】フリップチップなどのバンプ付きワーク
を製造する方法として、半田ボールなどの導電性ボール
を用いる方法が知られている。一般に、導電性ボール
は、吸着ヘッドの下面に多数形成された吸着孔に真空吸
着され、チップや基板などのワークのパッド上に搭載さ
れる。
を製造する方法として、半田ボールなどの導電性ボール
を用いる方法が知られている。一般に、導電性ボール
は、吸着ヘッドの下面に多数形成された吸着孔に真空吸
着され、チップや基板などのワークのパッド上に搭載さ
れる。
【０００３】図３は、従来の導電性ボールの搭載装置の
吸着ヘッドの部分断面図である。吸着ヘッド１の下面に
は垂直孔２が形成され、垂直孔２の下部に連続して緩角
度Ａで拡開する末広がり状の吸着孔３が形成されてお
り、導電性ボール４は吸着孔３に真空吸着される。
吸着ヘッドの部分断面図である。吸着ヘッド１の下面に
は垂直孔２が形成され、垂直孔２の下部に連続して緩角
度Ａで拡開する末広がり状の吸着孔３が形成されてお
り、導電性ボール４は吸着孔３に真空吸着される。
【０００４】図４は、他の従来の導電性ボールの搭載装
置の吸着ヘッドの部分断面図である。吸着ヘッド１に形
成された垂直孔２の下部には、図３よりも鋭角度Ｂで拡
開する末広がり状の吸着孔５が形成されており、導電性
ボール４は吸着孔５に真空吸着される。
置の吸着ヘッドの部分断面図である。吸着ヘッド１に形
成された垂直孔２の下部には、図３よりも鋭角度Ｂで拡
開する末広がり状の吸着孔５が形成されており、導電性
ボール４は吸着孔５に真空吸着される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】図３に示す吸着孔３
は、緩角度Ａで下方へ向って末広がり状に大きく開孔し
ており、その開孔径Ｌ１は大きいので、容器などの導電
性ボールの供給部に貯溜された導電性ボールを真空吸着
してピックアップしやすく、また吸着孔３からの導電性
ボール４の離脱性がよいのでワークに搭載しやすいとい
う長所がある。
は、緩角度Ａで下方へ向って末広がり状に大きく開孔し
ており、その開孔径Ｌ１は大きいので、容器などの導電
性ボールの供給部に貯溜された導電性ボールを真空吸着
してピックアップしやすく、また吸着孔３からの導電性
ボール４の離脱性がよいのでワークに搭載しやすいとい
う長所がある。
【０００６】しかしながら開孔径Ｌ１が大きいので、余
分な導電性ボール（ハッチングを付した導電性ボール）
４を真空吸着してピックアップしやすく、その結果、ワ
ークのパッド上に２個あるいは２個以上の導電性ボール
４を誤って搭載してしまいやすいという問題点があっ
た。また開孔径Ｌ１が大きいので、吸着孔３を狭ピッチ
で形成することはできず、相隣る吸着孔３のピッチＰ１
は大きくなり、したがってワークのファイン化したパッ
ド上に導電性ボール４を高密度搭載することはできない
という問題点があった。
分な導電性ボール（ハッチングを付した導電性ボール）
４を真空吸着してピックアップしやすく、その結果、ワ
ークのパッド上に２個あるいは２個以上の導電性ボール
４を誤って搭載してしまいやすいという問題点があっ
た。また開孔径Ｌ１が大きいので、吸着孔３を狭ピッチ
で形成することはできず、相隣る吸着孔３のピッチＰ１
は大きくなり、したがってワークのファイン化したパッ
ド上に導電性ボール４を高密度搭載することはできない
という問題点があった。
【０００７】一方、図４に示す吸着孔５は、鋭角度Ｂで
小さく開孔しているので、その開孔径Ｌ２は小さく、し
たがって余分な導電性ボール４を真空吸着しにくく、ま
た吸着孔５のピッチＰ２は小さくなり、導電性ボール４
を高密度搭載するのに有利という長所を有している。
小さく開孔しているので、その開孔径Ｌ２は小さく、し
たがって余分な導電性ボール４を真空吸着しにくく、ま
た吸着孔５のピッチＰ２は小さくなり、導電性ボール４
を高密度搭載するのに有利という長所を有している。
【０００８】しかしながらこのものは、吸着孔５は鋭角
度Ｂであるため、導電性ボール４は強く真空吸着され、
吸着孔５からの離脱性が悪いので、図４において鎖線で
示すように吸着ヘッド１を下降させて導電性ボール４を
ワーク６のパッド７上に着地させ、次いで真空吸着状態
を解除して吸着ヘッド１を上昇させても、導電性ボール
４は吸着孔５に付着したまま上昇し、搭載ミスを生じや
すいという問題点があった。
度Ｂであるため、導電性ボール４は強く真空吸着され、
吸着孔５からの離脱性が悪いので、図４において鎖線で
示すように吸着ヘッド１を下降させて導電性ボール４を
ワーク６のパッド７上に着地させ、次いで真空吸着状態
を解除して吸着ヘッド１を上昇させても、導電性ボール
４は吸着孔５に付着したまま上昇し、搭載ミスを生じや
すいという問題点があった。
【０００９】したがって本発明は、上記従来の問題点を
解消できる吸着ヘッドを備えた導電性ボールの搭載装置
を提供することを目的とする。
解消できる吸着ヘッドを備えた導電性ボールの搭載装置
を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明の導電性ボールの
搭載装置は、導電性ボールの供給部と、ワークの位置決
め部と、吸着ヘッドとを備え、吸着ヘッドの下面に形成
された複数個の吸着孔に導電性ボールの供給部に備えら
れた導電性ボールを真空吸着してピックアップし、位置
決め部に位置決めされたワークに搭載するようにした導
電性ボールの搭載装置であって、前記吸着孔が、導電性
ボールが当接する下方へ向って末広がり状の緩角面と、
この緩角面の下部に連続する鋭角面とを有するものであ
る。
搭載装置は、導電性ボールの供給部と、ワークの位置決
め部と、吸着ヘッドとを備え、吸着ヘッドの下面に形成
された複数個の吸着孔に導電性ボールの供給部に備えら
れた導電性ボールを真空吸着してピックアップし、位置
決め部に位置決めされたワークに搭載するようにした導
電性ボールの搭載装置であって、前記吸着孔が、導電性
ボールが当接する下方へ向って末広がり状の緩角面と、
この緩角面の下部に連続する鋭角面とを有するものであ
る。
【００１１】
【発明の実施の形態】上記構成の本発明は、吸着孔に確
実に１個の導電性ボールを真空吸着してピックアップ
し、ワークに搭載することができる。
実に１個の導電性ボールを真空吸着してピックアップ
し、ワークに搭載することができる。
【００１２】以下、本発明の一実施の形態を図面を参照
して説明する。図１は、本発明の一実施の形態の導電性
ボールの搭載装置の側面図、図２は同吸着ヘッドの部分
断面図である。
して説明する。図１は、本発明の一実施の形態の導電性
ボールの搭載装置の側面図、図２は同吸着ヘッドの部分
断面図である。
【００１３】図１において、基台１０の上面には箱台１
１が設置されている。箱台１１上には受台１２が設置さ
れており、受台１２には導電性ボールの供給部である容
器１３が装着されている。容器１３には導電性ボール１
４が大量に貯溜されている。箱台１１の内部にはガス供
給部１５が設けられている。ガス供給部１５から吹き出
されたガスは、受台１２へ吹き上げ（矢印参照）、さら
に容器１３内へ吹き上げて容器１３内の導電性ボール１
４を流動させる。
１が設置されている。箱台１１上には受台１２が設置さ
れており、受台１２には導電性ボールの供給部である容
器１３が装着されている。容器１３には導電性ボール１
４が大量に貯溜されている。箱台１１の内部にはガス供
給部１５が設けられている。ガス供給部１５から吹き出
されたガスは、受台１２へ吹き上げ（矢印参照）、さら
に容器１３内へ吹き上げて容器１３内の導電性ボール１
４を流動させる。
【００１４】基台１０の上面には、Ｘテーブル２１、Ｙ
テーブル２２、保持テーブル２３が設置されており、ワ
ーク２５は保持テーブル２３上のクランパ２４にクラン
プして固定されている。ワーク２５の上面には、パッド
２６が形成されている（図２を参照）。Ｘ軸モータ２７
とＹ軸モータ２８が駆動すると、ワーク２５はＸ方向や
Ｙ方向へ水平移動し、所定の位置に位置決めされる。す
なわち、Ｘテーブル２１やＹテーブル２２は、ワーク２
５を所定の位置に位置決めする位置決め部となってい
る。
テーブル２２、保持テーブル２３が設置されており、ワ
ーク２５は保持テーブル２３上のクランパ２４にクラン
プして固定されている。ワーク２５の上面には、パッド
２６が形成されている（図２を参照）。Ｘ軸モータ２７
とＹ軸モータ２８が駆動すると、ワーク２５はＸ方向や
Ｙ方向へ水平移動し、所定の位置に位置決めされる。す
なわち、Ｘテーブル２１やＹテーブル２２は、ワーク２
５を所定の位置に位置決めする位置決め部となってい
る。
【００１５】３０は箱型の吸着ヘッドであり、その下面
には垂直孔２９に連続する吸着孔３１が多数開孔されて
いる（図２も参照）。吸着ヘッド３０はブロック３２に
結合されている。ブロック３２は、プレート３３の前面
に設けられた垂直なガイドレール３４に昇降自在に装着
されている。ブロック３２にはナット３５が結合されて
おり、ナット３５には垂直な送りねじ３６が螺合してい
る。モータ３７が駆動して送りねじ３６が正逆回転する
と、ナット３５は送りねじ３６に沿って昇降し、これに
より吸着ヘッド３０も昇降する。
には垂直孔２９に連続する吸着孔３１が多数開孔されて
いる（図２も参照）。吸着ヘッド３０はブロック３２に
結合されている。ブロック３２は、プレート３３の前面
に設けられた垂直なガイドレール３４に昇降自在に装着
されている。ブロック３２にはナット３５が結合されて
おり、ナット３５には垂直な送りねじ３６が螺合してい
る。モータ３７が駆動して送りねじ３６が正逆回転する
と、ナット３５は送りねじ３６に沿って昇降し、これに
より吸着ヘッド３０も昇降する。
【００１６】３８は横長のブラケットであり、水平な送
りねじ３９が保持されている。プレート３３の背面に設
けられたナット（図示せず）は送りねじ３９に螺合して
いる。したがってモータ４０が正逆駆動すると、プレー
ト３３は送りねじ３９に沿って横方向へ水平移動し、こ
れにより吸着ヘッド３０は容器１３とワーク２５の間を
往復移動する。吸着ヘッド３０は、空気圧手段４１にチ
ューブ４２を介して連結されており、空気圧手段４１の
真空吸引力により、導電性ボール１４を吸着孔３１に真
空吸着する。
りねじ３９が保持されている。プレート３３の背面に設
けられたナット（図示せず）は送りねじ３９に螺合して
いる。したがってモータ４０が正逆駆動すると、プレー
ト３３は送りねじ３９に沿って横方向へ水平移動し、こ
れにより吸着ヘッド３０は容器１３とワーク２５の間を
往復移動する。吸着ヘッド３０は、空気圧手段４１にチ
ューブ４２を介して連結されており、空気圧手段４１の
真空吸引力により、導電性ボール１４を吸着孔３１に真
空吸着する。
【００１７】次に、図２を参照して吸着孔３１の断面形
状を説明する。吸着孔３１は垂直孔２９の下部に形成さ
れており、緩角度で末広がり状に拡開する緩角面ａと、
この緩角面ａの下部に連続する鋭角面ｂを有している。
この鋭角面ｂは、垂直面もしくは略垂直面である。
状を説明する。吸着孔３１は垂直孔２９の下部に形成さ
れており、緩角度で末広がり状に拡開する緩角面ａと、
この緩角面ａの下部に連続する鋭角面ｂを有している。
この鋭角面ｂは、垂直面もしくは略垂直面である。
【００１８】吸着孔３１をこのような断面形状にするこ
とにより、吸着孔３１の開孔径Ｌ３を小さくし、これに
より図３に示す従来例のように余分な導電性ボール１４
を真空吸着する問題点を解消し、また吸着孔３１のピッ
チＰ３を小さくして吸着孔３１を吸着ヘッド３０の下面
に狭ピッチで形成し、導電性ボール１４の高密度搭載を
可能にしている。また吸着孔の深さが浅いと、ワークへ
向って移送する途中において、真空吸着した導電性ボー
ルが落下しやすいことから、吸着孔はなるべく深くする
ことが望ましいのであるが、この吸着孔３１は上記断面
形状としたことにより、その深さＤをより深くして、導
電性ボール１４の落下を解消できる。
とにより、吸着孔３１の開孔径Ｌ３を小さくし、これに
より図３に示す従来例のように余分な導電性ボール１４
を真空吸着する問題点を解消し、また吸着孔３１のピッ
チＰ３を小さくして吸着孔３１を吸着ヘッド３０の下面
に狭ピッチで形成し、導電性ボール１４の高密度搭載を
可能にしている。また吸着孔の深さが浅いと、ワークへ
向って移送する途中において、真空吸着した導電性ボー
ルが落下しやすいことから、吸着孔はなるべく深くする
ことが望ましいのであるが、この吸着孔３１は上記断面
形状としたことにより、その深さＤをより深くして、導
電性ボール１４の落下を解消できる。
【００１９】また吸着ヘッド３０を下降させて導電性ボ
ール１４をワーク２５のパッド２６上に着地させ（図２
において鎖線で示す導電性ボール１４を参照）、そこで
空気圧手段４１の動作を切り替えて吸着孔３１からエア
を吹き出しながら（図２の矢印イ参照）、吸着ヘッド３
０を上昇させれば、導電性ボール１４をパッド２６上に
より確実に搭載できるのであるが、この場合、エアは矢
印イで示すように鋭角面ｂに沿って垂直方向へ吹き出さ
れるので、導電性ボール１４はこのエアにより横方向の
位置規制がなされ、導電性ボール１４はパッド２６の中
央に正しく搭載される。なお図３や図４の従来例におい
て、これと同様の動作を行うと、エアは矢印ロ、ハで示
すように斜下方へ吹き出されるので、その風圧により導
電性ボール４は横方向へ位置ずれしやすく、パッド７の
中央に正しく搭載されにくい。
ール１４をワーク２５のパッド２６上に着地させ（図２
において鎖線で示す導電性ボール１４を参照）、そこで
空気圧手段４１の動作を切り替えて吸着孔３１からエア
を吹き出しながら（図２の矢印イ参照）、吸着ヘッド３
０を上昇させれば、導電性ボール１４をパッド２６上に
より確実に搭載できるのであるが、この場合、エアは矢
印イで示すように鋭角面ｂに沿って垂直方向へ吹き出さ
れるので、導電性ボール１４はこのエアにより横方向の
位置規制がなされ、導電性ボール１４はパッド２６の中
央に正しく搭載される。なお図３や図４の従来例におい
て、これと同様の動作を行うと、エアは矢印ロ、ハで示
すように斜下方へ吹き出されるので、その風圧により導
電性ボール４は横方向へ位置ずれしやすく、パッド７の
中央に正しく搭載されにくい。
【００２０】この導電性ボールの搭載装置は上記のよう
な構成より成り、次に全体の動作を説明する。図１にお
いて、吸着ヘッド３０は容器１３の上方で下降・上昇動
作を行い、吸着孔３１に導電性ボール１４を真空吸着し
てピックアップする。このとき、吸着孔３１に導電性ボ
ール１４を真空吸着しやすいように、容器１３内へはガ
ス供給部１５から吹出されたガスが吹き上げて導電性ボ
ール１４は流動している。
な構成より成り、次に全体の動作を説明する。図１にお
いて、吸着ヘッド３０は容器１３の上方で下降・上昇動
作を行い、吸着孔３１に導電性ボール１４を真空吸着し
てピックアップする。このとき、吸着孔３１に導電性ボ
ール１４を真空吸着しやすいように、容器１３内へはガ
ス供給部１５から吹出されたガスが吹き上げて導電性ボ
ール１４は流動している。
【００２１】次に吸着ヘッド３０はワーク２５の上方へ
移動し、そこで下降して導電性ボール１４をワーク２５
のパッド２６上に着地させ、望ましくは空気圧手段４１
の動作を真空吸引からエア吹出しに切り替えて、吸着孔
３１からエアを吹き出しながら（図２の矢印イ参照）、
吸着ヘッド３０を上昇させることにより、導電性ボール
１４をワーク２５のパッド２６上に搭載する。以上の動
作を繰り返すことにより、ワーク２５のパッド２６上に
導電性ボール１４は次々に搭載される。そして導電性ボ
ール１４が搭載されたワーク２５は、次の加熱工程（図
外）へ送られ、ワーク２５は加熱処理されて導電性ボー
ル１４はパッド２６上に固着される。
移動し、そこで下降して導電性ボール１４をワーク２５
のパッド２６上に着地させ、望ましくは空気圧手段４１
の動作を真空吸引からエア吹出しに切り替えて、吸着孔
３１からエアを吹き出しながら（図２の矢印イ参照）、
吸着ヘッド３０を上昇させることにより、導電性ボール
１４をワーク２５のパッド２６上に搭載する。以上の動
作を繰り返すことにより、ワーク２５のパッド２６上に
導電性ボール１４は次々に搭載される。そして導電性ボ
ール１４が搭載されたワーク２５は、次の加熱工程（図
外）へ送られ、ワーク２５は加熱処理されて導電性ボー
ル１４はパッド２６上に固着される。
【００２２】
【発明の効果】本発明の吸着ヘッドの吸着孔は、導電性
ボールが当接する下方へ向って末広がり状の緩角面と、
この緩角面の下部に連続する鋭角面とを有するので、吸
着孔に確実に１個の導電性ボールを真空吸着してピック
アップし、ワークに搭載することができる。また吸着孔
は狭ピッチで吸着ヘッドに形成できるので、導電性ボー
ルの高密度搭載も可能となる。
ボールが当接する下方へ向って末広がり状の緩角面と、
この緩角面の下部に連続する鋭角面とを有するので、吸
着孔に確実に１個の導電性ボールを真空吸着してピック
アップし、ワークに搭載することができる。また吸着孔
は狭ピッチで吸着ヘッドに形成できるので、導電性ボー
ルの高密度搭載も可能となる。
【図１】本発明の一実施の形態の導電性ボールの搭載装
置の側面図
置の側面図
【図２】本発明の一実施の形態の導電性ボールの搭載装
置の吸着ヘッドの部分断面図
置の吸着ヘッドの部分断面図
【図３】従来の導電性ボールの搭載装置の吸着ヘッドの
部分断面図
部分断面図
【図４】他の従来の導電性ボールの搭載装置の吸着ヘッ
ドの部分断面図
ドの部分断面図
１３ 容器 １４ 導電性ボール ２１ Ｘテーブル ２２ Ｙテーブル ２５ ワーク ２６ パッド ３０ 吸着ヘッド ３９ 送りねじ ４０ モータ ４１ 空気圧手段 ａ 緩角面 ｂ 鋭角面
Claims (1)
- 【請求項１】導電性ボールの供給部と、ワークの位置決
め部と、吸着ヘッドとを備え、吸着ヘッドの下面に形成
された複数個の吸着孔に導電性ボールの供給部に備えら
れた導電性ボールを真空吸着してピックアップし、位置
決め部に位置決めされたワークに搭載するようにした導
電性ボールの搭載装置であって、前記吸着孔が、導電性
ボールが当接する下方へ向って末広がり状の緩角面と、
この緩角面の下部に連続する鋭角面とを有することを特
徴とする導電性ボールの搭載装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09000070A JP3104631B2 (ja) | 1997-01-06 | 1997-01-06 | 導電性ボールの搭載装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09000070A JP3104631B2 (ja) | 1997-01-06 | 1997-01-06 | 導電性ボールの搭載装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10200249A JPH10200249A (ja) | 1998-07-31 |
| JP3104631B2 true JP3104631B2 (ja) | 2000-10-30 |
Family
ID=11463930
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP09000070A Expired - Fee Related JP3104631B2 (ja) | 1997-01-06 | 1997-01-06 | 導電性ボールの搭載装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3104631B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4598240B2 (ja) | 1999-06-24 | 2010-12-15 | アスリートＦａ株式会社 | ボール搭載装置及びボール搭載方法 |
| KR101393334B1 (ko) * | 2013-08-26 | 2014-05-12 | 주식회사 포스텔 | 솔더볼 안착용 지그 |
-
1997
- 1997-01-06 JP JP09000070A patent/JP3104631B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH10200249A (ja) | 1998-07-31 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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