JP3211802B2 - エキストラボールの検出方法 - Google Patents
エキストラボールの検出方法Info
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- JP3211802B2 JP3211802B2 JP3402499A JP3402499A JP3211802B2 JP 3211802 B2 JP3211802 B2 JP 3211802B2 JP 3402499 A JP3402499 A JP 3402499A JP 3402499 A JP3402499 A JP 3402499A JP 3211802 B2 JP3211802 B2 JP 3211802B2
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies
- H01L24/75—Apparatus for connecting with bump connectors or layer connectors
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、チップや基板など
のワークの電極上にバンプを形成するための導電性ボー
ルを搭載する際のエキストラボールの検出方法に関する
ものである。
のワークの電極上にバンプを形成するための導電性ボー
ルを搭載する際のエキストラボールの検出方法に関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】フリップチップなどのバンプ付きワーク
の製造工程において、ワークの電極にバンプ（突出電
極）を形成する方法として、半田ボールなどの導電性ボ
ールを用いる方法が知られている。また導電性ボールを
用いる方法として、搭載ヘッドを導電性ボールの供給部
の上方で上下動作を行わせることにより、搭載ヘッドで
多数個の導電性ボールをピックアップし、次いでこの搭
載ヘッドをワークの上方で上下動作を行わせて、多数個
の導電性ボールをワークの電極に一括して搭載する方法
が知られている。
の製造工程において、ワークの電極にバンプ（突出電
極）を形成する方法として、半田ボールなどの導電性ボ
ールを用いる方法が知られている。また導電性ボールを
用いる方法として、搭載ヘッドを導電性ボールの供給部
の上方で上下動作を行わせることにより、搭載ヘッドで
多数個の導電性ボールをピックアップし、次いでこの搭
載ヘッドをワークの上方で上下動作を行わせて、多数個
の導電性ボールをワークの電極に一括して搭載する方法
が知られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の方法では、搭載ヘッドは、導電性ボールの供給部にお
いて余分な導電性ボール（本発明では、この余分なボー
ルのことを「エキストラボール」と称する）をピックア
ップしやすく、ワークにはこのエキストラボールも誤っ
て搭載されることとなって、不良ワークが生産されてし
まうという問題点があった。
の方法では、搭載ヘッドは、導電性ボールの供給部にお
いて余分な導電性ボール（本発明では、この余分なボー
ルのことを「エキストラボール」と称する）をピックア
ップしやすく、ワークにはこのエキストラボールも誤っ
て搭載されることとなって、不良ワークが生産されてし
まうという問題点があった。
【０００４】したがって本発明は、エキストラボールが
誤ってワークに搭載されるのを解消できるエキストラボ
ールの検出方法を提供することを目的とする。
誤ってワークに搭載されるのを解消できるエキストラボ
ールの検出方法を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、導電性ボール
の供給部に備えられた導電性ボールを搭載ヘッドの下面
に形成された吸着孔に吸着してピックアップした後、前
記吸着孔に正常に吸着されてこの吸着孔の凹部に収容さ
れた導電性ボールと前記凹部に収容されずに前記下面に
付着するエキストラボールの高低差を利用し、レーザユ
ニットにより前記搭載ヘッドの下面のレベル分布をスキ
ャンニングしてエキストラボールを検出するようにし
た。
の供給部に備えられた導電性ボールを搭載ヘッドの下面
に形成された吸着孔に吸着してピックアップした後、前
記吸着孔に正常に吸着されてこの吸着孔の凹部に収容さ
れた導電性ボールと前記凹部に収容されずに前記下面に
付着するエキストラボールの高低差を利用し、レーザユ
ニットにより前記搭載ヘッドの下面のレベル分布をスキ
ャンニングしてエキストラボールを検出するようにし
た。
【０００６】また好ましくは、前記凹部は吸着孔に正常
に吸着された導電性ボールを１個だけ収容可能であり、
前記凹部によって正常に吸着された導電性ボールとエキ
ストラボールの高低差を確保するようにした。
に吸着された導電性ボールを１個だけ収容可能であり、
前記凹部によって正常に吸着された導電性ボールとエキ
ストラボールの高低差を確保するようにした。
【０００７】本発明によれば、レーザユニットにより搭
載ヘッドの下面のレベル分布をスキャンニングすること
により、搭載ヘッドに誤って余分に付着したエキストラ
ボールを検出し、エキストラボールが検出されなかった
搭載ヘッドの導電性ボールのみをワークに搭載できる。
この場合、吸着孔に導電性ボールを１個だけ吸着可能な
凹部を形成することにより、正常に吸着された導電性ボ
ールとエキストラボールの高低差を確保することによ
り、エキストラボールを確実に検出できる。
載ヘッドの下面のレベル分布をスキャンニングすること
により、搭載ヘッドに誤って余分に付着したエキストラ
ボールを検出し、エキストラボールが検出されなかった
搭載ヘッドの導電性ボールのみをワークに搭載できる。
この場合、吸着孔に導電性ボールを１個だけ吸着可能な
凹部を形成することにより、正常に吸着された導電性ボ
ールとエキストラボールの高低差を確保することによ
り、エキストラボールを確実に検出できる。
【０００８】
【発明の実施の形態】図１は本発明の一実施の形態の導
電性ボールの搭載装置の側面図、図２は同部分側面図、
図３は同搭載ヘッドの下部の部分拡大断面図である。
電性ボールの搭載装置の側面図、図２は同部分側面図、
図３は同搭載ヘッドの下部の部分拡大断面図である。
【０００９】図１において、１は導電性ボールとしての
半田ボールであり、容器２に貯溜されている。３は容器
２を載置する基台である。基台３の内部には、容器２内
の半田ボール１を流動化させるために、容器２を振動さ
せる振動手段や、容器２の内部へガスを送り込むガス供
給手段が内蔵されている。容器２や基台３は、半田ボー
ル１の供給部を構成している。
半田ボールであり、容器２に貯溜されている。３は容器
２を載置する基台である。基台３の内部には、容器２内
の半田ボール１を流動化させるために、容器２を振動さ
せる振動手段や、容器２の内部へガスを送り込むガス供
給手段が内蔵されている。容器２や基台３は、半田ボー
ル１の供給部を構成している。
【００１０】図１において、１０はワークであり、クラ
ンパ１１にクランプして位置決めされている。クランパ
１１は台部１２に立設された支柱１３に支持されてい
る。クランパ１１と台部１２と支柱１３は、ワーク１０
の位置決め部となっている。容器２とワーク１０の間に
は、レーザユニット３２が設けられている。レーザユニ
ット３２からレーザスポット光を照射し、このレーザス
ポット光を搭載ヘッド２２の下面全面にスキャンニング
させてその反射光を受光すれば、搭載ヘッド２２の下面
のレベル分布を検出できる。エキストラボール１Ａは正
常な半田ボール１よりも下方へ突出しているので、この
レベル分布を周知解析技術で解析することにより、エキ
ストラボール１Ａの有無を簡単に確認できる。
ンパ１１にクランプして位置決めされている。クランパ
１１は台部１２に立設された支柱１３に支持されてい
る。クランパ１１と台部１２と支柱１３は、ワーク１０
の位置決め部となっている。容器２とワーク１０の間に
は、レーザユニット３２が設けられている。レーザユニ
ット３２からレーザスポット光を照射し、このレーザス
ポット光を搭載ヘッド２２の下面全面にスキャンニング
させてその反射光を受光すれば、搭載ヘッド２２の下面
のレベル分布を検出できる。エキストラボール１Ａは正
常な半田ボール１よりも下方へ突出しているので、この
レベル分布を周知解析技術で解析することにより、エキ
ストラボール１Ａの有無を簡単に確認できる。
【００１１】図１において、２２は搭載ヘッドである。
搭載ヘッド２２はボックス２３の下部に保持されてい
る。ボックス２３の上部にはモータ２４が設けられてい
る。ボックス２３の内部には、モータ２４に駆動される
送りねじなどの上下動手段が内蔵されており、モータ２
４が駆動すると、搭載ヘッド２２は上下動作を行う。図
３に示すように、搭載ヘッド２２の下部には吸着孔２５
が多数開孔されている。搭載ヘッド２２は空気圧ユニッ
ト（図外）に接続されており、空気圧ユニットが駆動す
ることにより、吸着孔２５に半田ボール１を真空吸着し
て保持し、また真空吸着状態を解除することにより半田
ボール１を落下させる。
搭載ヘッド２２はボックス２３の下部に保持されてい
る。ボックス２３の上部にはモータ２４が設けられてい
る。ボックス２３の内部には、モータ２４に駆動される
送りねじなどの上下動手段が内蔵されており、モータ２
４が駆動すると、搭載ヘッド２２は上下動作を行う。図
３に示すように、搭載ヘッド２２の下部には吸着孔２５
が多数開孔されている。搭載ヘッド２２は空気圧ユニッ
ト（図外）に接続されており、空気圧ユニットが駆動す
ることにより、吸着孔２５に半田ボール１を真空吸着し
て保持し、また真空吸着状態を解除することにより半田
ボール１を落下させる。
【００１２】図３において、吸着孔２５には、半田ボー
ル１を１個だけ吸着可能なテーパ状の凹部２５ａが形成
されており、半田ボール１が正常に吸着されるとこの凹
部２５ａに収容される。一方、エキストラボール１Ａは
凹部に収容されずに搭載ヘッド２２の下面２２ａに付着
するので、正常に吸着された半田ボール１との間に高低
差が確保される。この実施の形態では、正常な半田ボー
ル１とエキストラボール１Ａとの高低差を利用すること
により、レーザユニット３２で搭載ヘッド２２の下面の
レベル分布をスキャンニングして、エキストラボール１
Ａを正常に吸着された半田ボール１と区別して検出する
ようにしている。
ル１を１個だけ吸着可能なテーパ状の凹部２５ａが形成
されており、半田ボール１が正常に吸着されるとこの凹
部２５ａに収容される。一方、エキストラボール１Ａは
凹部に収容されずに搭載ヘッド２２の下面２２ａに付着
するので、正常に吸着された半田ボール１との間に高低
差が確保される。この実施の形態では、正常な半田ボー
ル１とエキストラボール１Ａとの高低差を利用すること
により、レーザユニット３２で搭載ヘッド２２の下面の
レベル分布をスキャンニングして、エキストラボール１
Ａを正常に吸着された半田ボール１と区別して検出する
ようにしている。
【００１３】図１において、ボックス２３は移動手段と
しての横長の移動テーブル２６に保持されている。移動
テーブル２６には送りねじ機構が内蔵されており、モー
タ２７が駆動して送りねじ機構が作動すると、搭載ヘッ
ド２２は容器２、レーザユニット３２、ワーク１０の間
を水平方向へ移動する。
しての横長の移動テーブル２６に保持されている。移動
テーブル２６には送りねじ機構が内蔵されており、モー
タ２７が駆動して送りねじ機構が作動すると、搭載ヘッ
ド２２は容器２、レーザユニット３２、ワーク１０の間
を水平方向へ移動する。
【００１４】この導電性ボールの搭載装置は上記のよう
に構成されており、次に動作を説明する。図１におい
て、搭載ヘッド２２は容器２の上方へ移動し、そこで下
降・上昇動作を行うことにより、その下部の吸着孔２５
に半田ボール１を真空吸着してピックアップする。図３
は、半田ボール１をピックアップした搭載ヘッド２２の
下部を示している。図示するように、各吸着孔２５に
は、それぞれ１個の半田ボール１が真空吸着されている
が、この図３では、１個の余分な導電性ボール（エキス
トラボール）１Ａが付着している。このエキストラボー
ル１Ａをワーク１０に搭載すると、ワーク１０は不良品
になるので、エキストラボール１Ａはワーク１０に搭載
してはならない。なおエキストラボール１Ａの発生原因
は、静電気による半田ボール同士の付着や吸着孔２５の
真空漏れなどである。
に構成されており、次に動作を説明する。図１におい
て、搭載ヘッド２２は容器２の上方へ移動し、そこで下
降・上昇動作を行うことにより、その下部の吸着孔２５
に半田ボール１を真空吸着してピックアップする。図３
は、半田ボール１をピックアップした搭載ヘッド２２の
下部を示している。図示するように、各吸着孔２５に
は、それぞれ１個の半田ボール１が真空吸着されている
が、この図３では、１個の余分な導電性ボール（エキス
トラボール）１Ａが付着している。このエキストラボー
ル１Ａをワーク１０に搭載すると、ワーク１０は不良品
になるので、エキストラボール１Ａはワーク１０に搭載
してはならない。なおエキストラボール１Ａの発生原因
は、静電気による半田ボール同士の付着や吸着孔２５の
真空漏れなどである。
【００１５】さて、図１において、半田ボール１をピッ
クアップした搭載ヘッド２２は、ワーク１０へ向って右
方へ移動するが、その途中で、図２に示すようにレーザ
ユニット３２で搭載ヘッド２２の下面をスキャンニング
し、正常な半田ボール１よりも下方へ突出するエキスト
ラボール１Ａを検出する。エキストラボール１Ａが検出
された場合には、様々な対応方法があり、次にそのいく
つかを説明する。まず第１の方法は、空気圧ユニット
（図外）を逆方向に作動させることにより、吸着孔２５
からエアを吹き出すか、あるいは真空吸着状態を解除す
ることにより、搭載ヘッド２２が保持するすべての半田
ボール１とエキストラボール１Ａを落下させて回収す
る。そして搭載ヘッド２２を容器２の上方へ復帰させ、
ピックアップ動作をやり直す。
クアップした搭載ヘッド２２は、ワーク１０へ向って右
方へ移動するが、その途中で、図２に示すようにレーザ
ユニット３２で搭載ヘッド２２の下面をスキャンニング
し、正常な半田ボール１よりも下方へ突出するエキスト
ラボール１Ａを検出する。エキストラボール１Ａが検出
された場合には、様々な対応方法があり、次にそのいく
つかを説明する。まず第１の方法は、空気圧ユニット
（図外）を逆方向に作動させることにより、吸着孔２５
からエアを吹き出すか、あるいは真空吸着状態を解除す
ることにより、搭載ヘッド２２が保持するすべての半田
ボール１とエキストラボール１Ａを落下させて回収す
る。そして搭載ヘッド２２を容器２の上方へ復帰させ、
ピックアップ動作をやり直す。
【００１６】第２の方法は、搭載ヘッド２２を容器２の
上方へ戻し、そこで搭載ヘッド２２を下降させて搭載ヘ
ッド２２の下面を容器２に大量に貯溜された半田ボール
１の層中に突入させ、その状態でモータ２７を正逆駆動
することにより搭載ヘッド２２を横方向にスクラブ動作
させることにより、エキストラボール１Ａを強制的に振
り落す。以上のように、エキストラボール１Ａは様々な
方法で除去できる。
上方へ戻し、そこで搭載ヘッド２２を下降させて搭載ヘ
ッド２２の下面を容器２に大量に貯溜された半田ボール
１の層中に突入させ、その状態でモータ２７を正逆駆動
することにより搭載ヘッド２２を横方向にスクラブ動作
させることにより、エキストラボール１Ａを強制的に振
り落す。以上のように、エキストラボール１Ａは様々な
方法で除去できる。
【００１７】さて、エキストラボール１Ａが除去された
搭載ヘッド２２は、図１においてワーク１０の上方へ移
動する。そこで搭載ヘッド２２は下降して半田ボール１
をワーク１０の電極上に着地させる。次に半田ボール１
の真空吸着状態を解除して搭載ヘッド２２を上昇させれ
ば、半田ボール１はワーク１０の電極上に搭載される。
半田ボール１が搭載されたワーク１０は、加熱炉（図
外）へ送られ、半田ボール１を加熱溶融固化させてバン
プが形成される。なお半田ボール１を加熱溶融するため
には、フラックスが必要である。フラックスは図示しな
い手段により、搭載ヘッド２２の下面に保持された半田
ボール１の下面若しくはワーク１０の電極上に塗布され
る。以上のようにして搭載ヘッド２２はワーク１０に半
田ボール１を搭載したならば、搭載ヘッド２２は容器２
の上方へ復帰する。
搭載ヘッド２２は、図１においてワーク１０の上方へ移
動する。そこで搭載ヘッド２２は下降して半田ボール１
をワーク１０の電極上に着地させる。次に半田ボール１
の真空吸着状態を解除して搭載ヘッド２２を上昇させれ
ば、半田ボール１はワーク１０の電極上に搭載される。
半田ボール１が搭載されたワーク１０は、加熱炉（図
外）へ送られ、半田ボール１を加熱溶融固化させてバン
プが形成される。なお半田ボール１を加熱溶融するため
には、フラックスが必要である。フラックスは図示しな
い手段により、搭載ヘッド２２の下面に保持された半田
ボール１の下面若しくはワーク１０の電極上に塗布され
る。以上のようにして搭載ヘッド２２はワーク１０に半
田ボール１を搭載したならば、搭載ヘッド２２は容器２
の上方へ復帰する。
【００１８】本発明は様々な設計変更が可能であって、
導電性ボールとしては、半田ボール以外にも、金ボール
なども使用できる。
導電性ボールとしては、半田ボール以外にも、金ボール
なども使用できる。
【００１９】
【発明の効果】本発明によれば、搭載ヘッドに誤って付
着したエキストラボールを検出し、正常な導電性ボール
のみをワークに搭載できる。また導電性ボールをワーク
に搭載することができる。
着したエキストラボールを検出し、正常な導電性ボール
のみをワークに搭載できる。また導電性ボールをワーク
に搭載することができる。
【図１】本発明の一実施の形態の導電性ボールの搭載装
置の側面図
置の側面図
【図２】本発明の一実施の形態の導電性ボールの搭載装
置の部分側面図
置の部分側面図
【図３】本発明の一実施の形態の導電性ボールの搭載装
置の導電性ボールの搭載ヘッドの下部の部分拡大断面図
置の導電性ボールの搭載ヘッドの下部の部分拡大断面図
１ 半田ボール １Ａ エキストラボール １Ｂ 残存ボール ２ 容器 ３ 基台 １０ ワーク １１ クランパ ２２ 搭載ヘッド ２５ 吸着孔 ２６ 移動テーブル ３２ レーザユニット
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 21/60 H01L 21/66
Claims (2)
- 【請求項１】導電性ボールの供給部に備えられた導電性
ボールを搭載ヘッドの下面に形成された吸着孔に吸着し
てピックアップした後、前記吸着孔に正常に吸着されて
この吸着孔の凹部に収容された導電性ボールと前記凹部
に収容されずに前記下面に付着するエキストラボールの
高低差を利用し、レーザユニットにより前記搭載ヘッド
の下面のレベル分布をスキャンニングしてエキストラボ
ールを検出することを特徴とするエキストラボールの検
出方法。 - 【請求項２】前記凹部は吸着孔に正常に吸着された導電
性ボールを１個だけ収容可能であり、前記凹部によって
正常に吸着された導電性ボールとエキストラボールの高
低差を確保することを特徴とする請求項１記載のエキス
トラボールの検出方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3402499A JP3211802B2 (ja) | 1999-02-12 | 1999-02-12 | エキストラボールの検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3402499A JP3211802B2 (ja) | 1999-02-12 | 1999-02-12 | エキストラボールの検出方法 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03029996A Division JP3147765B2 (ja) | 1996-02-19 | 1996-02-19 | 導電性ボールの搭載装置および搭載方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11274211A JPH11274211A (ja) | 1999-10-08 |
| JP3211802B2 true JP3211802B2 (ja) | 2001-09-25 |
Family
ID=12402819
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3402499A Expired - Fee Related JP3211802B2 (ja) | 1999-02-12 | 1999-02-12 | エキストラボールの検出方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3211802B2 (ja) |
-
1999
- 1999-02-12 JP JP3402499A patent/JP3211802B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH11274211A (ja) | 1999-10-08 |
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