JP2015213996A - チャックテーブル - Google Patents
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- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims abstract description 110
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims abstract description 73
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims abstract description 31
- 238000009966 trimming Methods 0.000 abstract description 27
- 238000000034 method Methods 0.000 description 16
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 15
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 15
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 14
- 230000008569 process Effects 0.000 description 13
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 11
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 11
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 4
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N AsGa Chemical compound [As]#[Ga] JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
【解決手段】チャックテーブル(51)は、切削ブレード(38)によるウェーハ(W)の周縁部のエッジトリミング時に使用されるものであり、ウェーハの外径よりも大径な平坦面(58)に円環形状の逃げ溝(61)が形成されており、平坦面における逃げ溝の外側にチャックテーブルに対する切削ブレードの切り込み方向の原点位置検出用のブレード接触面(66)が設けられ、平坦面における逃げ溝の内側にウェーハの外径よりも小径な保持面(63)が設けられる構成にした。
【選択図】図5
Description
38 切削ブレード
39 刃先
51 チャックテーブル
52 テーブル本体
53 回転手段
57 外周部
58 平坦面
61 逃げ溝
62 保持部
63 保持面
65 ブレード接触部
66 ブレード接触面
67 切りかけ
W ウェーハ
Claims (2)
- ウェーハの周縁部に切削ブレードを切り込ませつつウェーハを回転させることで、ウェーハの周縁部を除去する加工装置においてウェーハを保持するチャックテーブルであって、
ウェーハの外径よりも大径に形成された平坦面を有し円板形状に形成されたテーブル本体と、該テーブル本体を回転させる回転手段とからなり、
該テーブル本体の該平坦面には、ウェーハ中心を該テーブル本体の回転中心に位置付けた際のウェーハの該周縁部に対応した位置に該切削ブレードが切削時に逃げる円環形状の逃げ溝が形成され、
該逃げ溝の外周側の該平坦面は、該切削ブレードと接触させて電気的導通により該チャックテーブルに対する該切削ブレードの切り込み方向の原点位置を検出するためのブレード接触面として機能し、
該逃げ溝の内周側の該平坦面は、ウェーハの外径よりも小径に形成されウェーハの該周縁部を該逃げ溝内に突出させた状態でウェーハを保持する保持面として機能すること、を特徴とするチャックテーブル。 - 該ブレード接触面を有する該逃げ溝を囲繞して形成されたブレード接触部は、該切削ブレードがウェーハの該周縁部の接線方向に沿って相対的に移動してウェーハの該周縁部に進入可能に、一部に該逃げ溝に連続した切りかけを備えることを特徴とする、請求項1記載のチャックテーブル。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014098481A JP6371579B2 (ja) | 2014-05-12 | 2014-05-12 | チャックテーブル |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014098481A JP6371579B2 (ja) | 2014-05-12 | 2014-05-12 | チャックテーブル |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015213996A true JP2015213996A (ja) | 2015-12-03 |
JP6371579B2 JP6371579B2 (ja) | 2018-08-08 |
Family
ID=54751402
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014098481A Active JP6371579B2 (ja) | 2014-05-12 | 2014-05-12 | チャックテーブル |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6371579B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7463032B2 (ja) | 2020-05-22 | 2024-04-08 | 株式会社ディスコ | 被加工物の保持機構及び加工装置 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2015147231A (ja) * | 2014-02-05 | 2015-08-20 | 株式会社ディスコ | 保持テーブル |
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- 2014-05-12 JP JP2014098481A patent/JP6371579B2/ja active Active
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JP6371579B2 (ja) | 2018-08-08 |
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