JP6371579B2 - チャックテーブル - Google Patents
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Description
38 切削ブレード
39 刃先
51 チャックテーブル
52 テーブル本体
53 回転手段
57 外周部
58 平坦面
61 逃げ溝
62 保持部
63 保持面
65 ブレード接触部
66 ブレード接触面
67 切りかけ
W ウェーハ
Claims (1)
- ウェーハの周縁部に切削ブレードを切り込ませつつウェーハを回転させることで、ウェーハの周縁部を除去する加工装置においてウェーハを保持するチャックテーブルであって、
ウェーハの外径よりも大径に形成された平坦面を有し円板形状に形成されたテーブル本体と、該テーブル本体を回転させる回転手段とからなり、
該テーブル本体の該平坦面には、ウェーハ中心を該テーブル本体の回転中心に位置付けた際のウェーハの該周縁部に対応した位置に該切削ブレードが切削時に逃げる円環形状の逃げ溝が形成され、
該逃げ溝の外周側の該平坦面は、該切削ブレードと接触させて電気的導通により該チャックテーブルに対する該切削ブレードの切り込み方向の原点位置を検出するためのブレード接触面として機能し、
該逃げ溝の内周側の該平坦面は、ウェーハの外径よりも小径に形成されウェーハの該周縁部を該逃げ溝内に突出させた状態でウェーハを保持する保持面として機能し、
該ブレード接触面を有する該逃げ溝を囲繞して形成されたブレード接触部は、該切削ブレードがウェーハの該周縁部の接線方向に沿って相対的に移動してウェーハの該周縁部に進入可能に、一部に該逃げ溝に連続した切りかけを備えること、を特徴とするチャックテーブル。
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