CN107611070B - 搬送单元 - Google Patents

Abstract

提供搬送单元，当使吸引垫与板状工件接触时，确保吸引垫的重量不施加在板状工件上而防止板状工件产生破损。搬送单元(1)对板状工件进行搬送，该搬送单元(1)具有：构件(2)，其对工件进行吸引保持；以及构件(4)，其使吸引保持构件(2)移动，吸引保持构件(2)具有：垫(20)，其对工件进行吸引保持；导轴(21)，其按照能够在接近和离开工件的方向上移动的方式对吸引垫(20)进行支承；板(23)，其具有供导轴(21)贯穿插入的贯通孔(230)并对导轴(21)进行支承；以及弹簧(27)，其维持导轴(21)对吸引垫(20)进行支承的状态并对吸引垫(20)施力，当吸引垫(20)对工件进行保持时，通过弹簧(27)来减弱吸引垫(20)对工件进行按压的力。

Description

搬送单元

技术领域

本发明涉及对板状工件进行搬送的搬送单元。

背景技术

在加工装置等所具有的利用吸引垫对半导体晶片等板状工件进行吸引保持并搬送的搬送单元中，例如有使吸引垫与板状工件接触而进行吸引保持的类型的单元以及通过吸引垫按照非接触的方式对板状工件进行吸引保持的类型的单元。在接触式的搬送单元(例如，参照专利文献1)中，吸引垫由作为多孔质材料的多孔板等构成，使吸引源与该多孔板连通，吸引源吸引而产生的吸引力传递给与板状工件接触的状态下的多孔板的吸引面，从而能够对板状工件进行吸引保持。与此相对，非接触式的搬送单元(例如，参照专利文献2)利用伯努利的原理，向吸引垫所具有的吸引生成部提供高压气体。即，沿着吸引垫的内表面提供高压气体，使该高压气体在吸引生成部与板状工件之间通过而释放至大气中。所释放的高压气体喷流由于扩径而减速，成为大气压，因此在吸引生成部与板状工件之间的间隙中发挥伯努利效应，以吸引生成部为中心在其周围产生压力下降。通过如此产生的负压，吸引垫按照非接触的方式对板状工件进行吸引。

专利文献1：日本特开2006-344778号公报

专利文献2：日本特开2015-070002号公报

在使吸引垫与板状工件接触并进行吸引保持的类型的搬送单元中，当对板状工件进行吸引保持时，在确保板状工件与吸引垫之间没有位置偏移并使吸引垫的整个吸引面与板状工件的被吸引面接触之后，使吸引源工作而进行吸引保持。另外，在通过吸引垫按照非接触的方式对板状工件进行吸引保持的类型的搬送单元中，在使板状工件与吸引垫对准并例如使吸引垫所具有的限制板状工件在水平方向上的移动的接触部与板状工件的外周区域接触之后，将高压气体提供给吸引垫，从而利用产生在吸引生成部的周围的负压进行对板状工件的吸引保持。因此，在接触式或非接触式的任意搬送单元中，当对板状工件进行吸引保持时，有时吸引垫的重量会施加在板状工件上。

另外，存在下述情况：加工装置所具备的对板状工件进行保持的保持工作台的保持面的倾斜与搬送单元的吸引垫的吸引面的倾斜不同，即保持工作台的保持面与吸引垫的吸引面不平行。另外，还存在下述情况：加工装置所具有的清洗单元的清洗工作台的保持面的倾斜与搬送单元的吸引垫的吸引面的倾斜不同。在这些情况下，特别是当为了对板状工件进行吸引保持而使吸引垫与板状工件接触时，吸引垫的重量更多地施加在板状工件上，因此有时板状工件由于从吸引垫受到的按压力而发生破损。

发明内容

因此，本发明的目的在于提供一种搬送单元，在利用搬送单元对板状工件进行搬送的情况下，当使吸引垫与板状工件接触时，抑制吸引垫的重量施加在板状工件上，来防止板状工件产生破损。

用于解决上述课题的本发明是一种搬送单元，其对板状工件进行搬送，其特征在于，该搬送单元具有：吸引保持构件，其对板状工件进行吸引保持；以及移动构件，其使该吸引保持构件移动，该吸引保持构件具有：吸引垫，其对板状工件进行吸引保持；导轴，其按照能够在接近和离开该板状工件的方向上移动的方式对该吸引垫进行支承；支承板，其具有供该导轴贯穿插入的贯通孔，该支承板对该导轴进行支承；以及弹簧，其维持该导轴对该吸引垫进行支承的状态，对该吸引垫向接近该支承板的方向施力，当该吸引垫对板状工件进行保持时，通过该弹簧来减弱该吸引垫对板状工件进行按压的力。

优选所述导轴在上端侧具有朝向径向外侧延伸的头部，所述弹簧在该头部的下表面与所述支承板之间配设成当该头部向离开该支承板的方向移动时该弹簧扩张。

或者优选所述导轴在上端侧具有朝向该导轴的径向外侧延伸的头部，所述弹簧在所述支承板与所述吸引垫之间配设成当该吸引垫向接近该支承板的方向移动时该弹簧收缩。

也可以是，所述吸引垫具有：吸引生成部，其通过从空气喷出口喷出空气而生成负压，按照非接触的方式对板状工件进行吸引；以及接触部，其与该吸引生成部所吸引的板状工件的外周区域接触而限制板状工件在水平方向上移动。

本发明的对板状工件进行搬送的搬送单元的吸引保持构件具有：吸引垫，其对板状工件进行吸引保持；导轴，其按照能够在接近和离开该板状工件的方向上移动的方式对该吸引垫进行支承；支承板，其具有供该导轴贯穿插入的贯通孔，该支承板对该导轴进行支承；以及弹簧，其维持该导轴对该吸引垫进行支承的状态，对该吸引垫向接近该支承板的方向施力，因此当吸引垫对板状工件进行保持时，通过弹簧来减弱吸引垫对板状工件进行按压的力，从而能够不使板状工件发生破损地进行吸引保持并搬送。

另外，通过使吸引垫为下述所谓的伯努利型的吸引垫，该吸引垫具有：吸引生成部，其通过从空气喷出口喷出空气而生成负压，按照非接触的方式对板状工件进行吸引；以及接触部，其与该吸引生成部所吸引的板状工件的外周区域接触而限制板状工件在水平方向上移动，从而例如即使吸引对象为存在翘曲的板状工件，当吸引垫对板状工件进行保持时，也能够通过弹簧来减弱吸引垫对板状工件进行按压的力，从而能够不使板状工件发生破损地进行搬送。

附图说明

图1是示出具有接触式的吸引垫的实施方式1的搬送单元的构造的一例的剖视图。

图2是示出弹簧配设在导轴的头部的下表面与支承板之间的状态的一例的说明图。

图3的(A)是示出弹簧未沉入支承板内部而配设在导轴的头部的下表面与支承板之间的状态的一例的分解剖视图。图3的(B)是示出弹簧未沉入支承板内部而配设在导轴的头部的下表面与支承板之间的状态的一例的剖视图。

图4是示出在实施方式1的搬送单元中使吸引垫与板状工件接触的状态的剖视图。

图5是示出在实施方式1的搬送单元中使对板状工件进行吸引保持的吸引垫上升的状态的剖视图。

图6是示出具有非接触式的吸引垫的实施方式2的搬送单元的构造的一例的剖视图。

图7是示出在实施方式2的搬送单元中使吸引垫的接触部与板状工件接触而对板状工件进行吸引保持的状态的剖视图。

图8是示出在实施方式2的搬送单元中使对板状工件进行吸引保持的吸引垫上升的状态的剖视图。

图9是示出具有非接触式的吸引垫以及配设在支承板与吸引垫之间的弹簧的搬送单元的构造的一例的剖视图。

标号说明

1：搬送单元；2：吸引保持构件；20：吸引垫；200：吸附部；200a：保持面；201：框体；21：导轴；210：基轴部；211：头部；211b：头部的下表面；23：支承板；230：贯通孔；230a：弹簧收纳孔；25：臂部；250：连结部件；27：弹簧；29：吸引源；290：连通路；4：移动构件；3：保持工作台；3a：保持工作台的保持面；W：板状工件；1A：搬送单元；2A：吸引保持构件；26：伯努利型的吸引垫；260：吸引生成部；260b：空气提供路径；260c：空气喷出口；261：接触部；264：基板部；28：空气提供源；280：空气提供路径；1B：搬送单元；2B：吸引保持构件；24：弹簧。

具体实施方式

(实施方式1)

图1所示的对板状工件W进行搬送的搬送单元1至少具有：吸引保持构件2，其对板状工件W进行吸引保持；以及移动构件4，其使吸引保持构件2移动。搬送单元1主要组装至下述装置中进行使用：对板状工件W进行切削的切削装置、对板状工件W进行磨削的磨削装置、或具有这些装置的所有功能的集群型装置等。例如在图1中，吸引保持构件2位于磨削装置等加工装置所具有的保持工作台3的上方。

保持工作台3例如其外形为圆形状，由多孔部件等构成，具有对板状工件W进行吸附的保持面3a。保持面3a例如与未图示的吸引源连通。吸引源进行吸引而产生的吸引力传递给保持面3a，从而保持工作台3能够在保持面3a上对板状工件W进行吸引保持。板状工件W例如是外形为圆形状的半导体晶片，在图1所示的例子中，在工件的背面Wb朝向上侧的状态下被吸引保持在保持工作台3的保持面3a上。在图1中在朝向下侧的状态的工件W的正面Wa上例如形成有多个器件，并粘贴有未图示的保护带来进行保护。

搬送单元1的吸引保持构件2具有：吸引垫20，其对板状工件W进行吸引保持；导轴21，其以能够在接近和离开板状工件W的方向(Z轴方向)上移动的方式对吸引垫20进行支承；以及支承板23，其具有供导轴21贯穿插入的贯通孔230，支承板23对导轴21进行支承。吸引垫20例如具有：吸附部200，其外形为圆形状，由多孔部件构成，对板状工件W进行吸附；以及框体201，其对吸附部200进行支承。连通路290的一端与吸附部200连通，连通路290的另一端与由真空发生装置和压缩机等构成的吸引源29连接。并且，因吸引源29进行吸引而产生的吸引力借助连通路290传递给保持面200a，该保持面200a是吸附部200的露出面，与框体201的下表面形成为同一平面，从而吸引垫20能够利用保持面200a对板状工件W进行吸引保持。

吸引垫20固定于图1、2所示的导轴21的下端210b，通过导轴21进行支承。例如导轴21具有：基轴部210，其具有铅垂方向(Z轴方向)的轴向；以及头部211，其在基轴部210的上端210a侧朝向导轴21的径向(基轴部210的轴向与水平方向垂直的方向)外侧延伸。即，导轴21的纵剖面为大致T字状。

图1所示的支承板23例如外形形成为圆形的平板状，在其外周部设置有贯通孔230，该贯通孔230在厚度方向(Z轴方向)上贯通而形成，供导轴21贯穿插入。贯通孔230例如在支承板23的外周部在周向上隔开一定的间隔形成有多处(例如以90度间隔形成四处，在图1中仅图示了两处)。各导轴21(在本实施方式中共计为四个，在图1中仅图示了两个)的基轴部210分别以隔开间隙的方式嵌合于各贯通孔230，导轴21能够相对于支承板23在Z轴方向上移动。导轴21的头部211与贯通孔230的直径相比形成为大径，以便不在形成于支承板23的贯通孔230中贯通。如图1所示，导轴21的基轴部210具有至少为支承板23的厚度以上的长度，在吸引垫20不与板状工件W接触的状态下，在贯穿插入有导轴21的状态的支承板23的下表面23b与固定于导轴21的下端210b的状态的吸引垫20的上表面201b之间形成有规定的宽度的间隙。

吸引保持构件2具有弹簧27，该弹簧27维持导轴21对吸引垫20进行支承的状态并对吸引垫20向接近支承板23的方向施力。弹簧27例如是从自然长度伸长而欲复原的扭力螺旋弹簧，其配设在头部211的下表面211b与支承板23之间，对吸引垫20向接近支承板21的方向施力。例如如图2所示，弹簧27的内径大于导轴21的基轴部210的外径，且弹簧27的外径与导轴21的头部211的外径大致相同，导轴21的基轴部210贯穿插入至弹簧27的中央的开口部分，从而成为弹簧27的上端与头部211的下表面211b抵接的状态。

如图2所示，与形成于支承板23的外周部的贯通孔230同轴地形成有弹簧收纳孔230a，该弹簧收纳孔230a具有能够将弹簧27嵌入的程度的孔径。即，弹簧收纳孔230a通过从支承板23的厚度方向(Z轴方向)的中间部到支承板23的上表面23a对贯通孔230的外径进行扩径而形成。弹簧收纳孔230a距支承板23的上表面23a的深度例如是与弹簧27的自然长度大致相同的深度。如图2所示，在使弹簧27沉入弹簧收纳孔230a之后，从支承板23的上方将导轴21贯穿插入到弹簧27的中央的开口部分和贯通孔230中。另外，分别使用适当的粘接剂等将弹簧27的下端侧固定于弹簧收纳孔230a的环状的底面，将弹簧27的上端侧固定于头部211的下表面211b，进而将导轴21的下端210b固定于吸引垫20的上表面201b，从而如图1所示，弹簧27在导轴21的头部211的下表面211b与支承板23之间配设成当头部211向相对于支承板23在Z轴方向上离开的方向移动时该弹簧27扩张。

弹簧27的配设方式并不限于上述方式，例如也可以是，将弹簧27如图3的(A)、(B)所示配设在导轴21的头部211的下表面211b与支承板23之间。即，如图3的(A)所示，使弹簧27的中央的开口部分与支承板23的贯通孔230重合，利用适当的粘接剂等将弹簧27固定于支承板23的上表面23a上，从支承板23的上方将导轴21贯穿插入到弹簧27的中央的开口部分和贯通孔230中。并且，使用适当的粘接剂等将弹簧27的上端侧固定于头部211的下表面211b，进而将导轴21的下端210b固定于吸引垫20的上表面201b，从而如图3的(B)所示，成为弹簧27在未沉入支承板23的内部的状态下进行配设的状态。

如图1所示，例如在支承板23的上表面23a的中央区域固定有连结部件250，支承板23借助连结部件250固定于吸引保持构件2所具有的臂部25的一端的下表面侧。移动构件4与臂部25连接，使臂部25能够在水平面上平行移动或旋转移动且能够在Z轴方向上上下移动。移动构件4例如由气缸或滚珠丝杠机构等构成，其中，所述气缸利用空气压使臂部25在Z轴方向上上下移动，所述滚珠丝杠机构通过利用电动机使滚珠丝杠转动而使臂部25平行移动。

以下，使用图1、图4～5，对通过搬送单元1从保持工作台3搬出板状工件W的情况下的搬送单元1的动作进行说明。如图1所示，板状工件W在背面Wb朝向上侧的状态下被吸引保持在保持工作台3的保持面3a上。首先，利用移动构件4使吸引保持构件2在水平面上移动以使吸引垫20的中心与板状工件W的中心大致一致，将吸引垫20定位在板状工件W的上方。进而，如图4所示，使臂部25向-Z方向下降，使吸引垫20的保持面200a与板状工件W的背面Wb接触。

当吸引垫20的保持面200a与板状工件W的背面Wb接触时，板状工件W被吸引垫20向-Z方向按压。同时，以隔开间隙的方式嵌合于支承板23的导轴21因从板状工件W经由吸引垫20而作用的+Z方向的垂直阻力而向+Z方向移动。因此，对吸引垫20进行支承的导轴21的头部211的下表面211b向离开支承板23的上表面23a的+Z方向移动。伴随着导轴21向+Z方向的移动，处于自然长度的弹簧27的上端侧被导轴21的头部211拉伸，弹簧27向+Z方向扩张，从而在弹簧27中蓄积使弹簧27恢复到自然长度的弹性能量。

通过上述那样的弹簧27的动作，当吸引垫20对板状工件W进行保持时，能够通过弹簧27来减弱吸引垫20对板状工件W进行按压的力、并且能够通过吸引垫20可靠地对板状工件W进行保持。即，为了在吸引垫20的中心与板状工件W的中心大致一致的状态下进行吸引保持，需要防止板状工件W向水平方向移动而产生位置偏移并且需要使吸引垫20与板状工件W接触。因此，需要在吸引垫20的保持面200a与板状工件W的背面Wb之间产生规定的大小的摩擦力。越是用较强的力将吸引垫20的保持面200a按压至板状工件W的背面Wb，摩擦力越大，但板状工件W产生破损的可能性也提高。这里，在本发明的搬送单元1中，通过弹簧27来确保从吸引垫20对板状工件W施加平衡良好地进行按压的力，能够在吸引垫20的保持面200a与板状工件W的背面Wb之间仅产生防止板状工件W的位置偏移的摩擦力，并且确保不会从吸引垫20对板状工件W施加导致板状工件W破损的程度的按压力。即，通过使弹簧27扩张来抵消而减弱从吸引垫20对板状工件W过度施加的按压力，从而能够从吸引垫20向板状工件W施加适度的按压力。另外，例如在吸引保持构件2不具有弹簧27的情况下，无法产生能够在吸引垫20的保持面200a与板状工件W的背面Wb之间仅产生防止板状工件W的位置偏移的摩擦力的程度的按压力，因此板状工件W容易向水平方向移动而产生位置偏移。

当吸引垫20与板状工件W接触之后，吸引源29进行吸引而产生的吸引力传递给保持面200a，从而吸引垫20对板状工件W进行吸引保持。同时解除保持工作台3对板状工件W的吸引保持。进而，如图5所示，臂部25向+Z方向上升，从而通过搬送单元1将板状工件W从保持工作台3搬出。当板状工件W从保持工作台3的保持面3a离开时，因蓄积在弹簧27中的弹性能量而扩张的弹簧27恢复到自然长度，与其相伴在与板状工件W接触的状态下进行吸引保持的吸引垫20按照接近支承板23的方式向+Z方向移动。

(实施方式2)

图6所示的本发明的搬送单元1A是具有吸引保持构件2A的装置，该吸引保持构件2A将图1所示的作为搬送单元的吸引保持构件2的结构的一部分的吸引垫20变更为图6所示的伯努利型的吸引垫26。除了吸引保持构件2的吸引垫20与吸引保持构件2A的吸引垫26的结构不同以外，搬送单元1与搬送单元1A同样地构成。

吸引垫26固定于导轴21的下端210b，通过导轴21进行支承。吸引垫26例如具有：吸引生成部260，其通过从空气喷出口260c喷出空气而生成负压，按照非接触的方式对板状工件W进行吸引；接触部261，其与吸引生成部260所吸引的板状工件W的外周区域接触，限制板状工件W在水平方向上移动；以及基板部264，其供吸引生成部260和接触部261进行配设。

外形为圆形的板状的基板部264从其中心朝向外周部逐渐向-Z方向翘曲，从而稍微呈碗状弯曲。即，当对板状工件W进行吸引保持时，按照非接触的方式与板状工件W相对的基板部264的吸引面264a呈中间凹陷地弯曲。另外，基板部264的形状和结构并不限于本实施方式中的形状。例如基板部264的外形可以形成为圆形平板状或圆环状，另外，也可以由圆环状部件或直线部件等多个部件构成。

例如在基板部264的吸引面264a的中央区域配设有一个吸引生成部260，该吸引生成部260按照非接触的方式对板状工件W进行吸引。例如在外形为圆盘状的吸引生成部260的内部形成有空气提供路径260b，空气提供路径260b与形成于吸引生成部260的底面的圆环形的空气喷出口260c连通。另外，与由压缩机等构成的空气提供源28连通的连通路280的一端与空气提供路径260b连接。另外，例如可以在空气提供路径260b中形成使从空气提供源28向吸引生成部260提供的空气加速的环状节流孔等。

对板状工件W在水平方向上移动进行限制的接触部261例如是将橡胶或海绵等形成为柱状而得到的，在基板部264的吸引面264a的外周部，在周向上隔开一定的间隔而固定有多个(例如以90度间隔固定四个，在图6中仅图示了两个)。各接触部261的下端面位于比吸引生成部260靠下方的高度位置。

以下，使用图6～8，对通过搬送单元1A从保持工作台3搬出板状工件W的情况下的搬送单元1A的动作进行说明。

如图6所示，板状工件W在背面Wb朝向上侧的状态下被吸引保持在保持工作台3的保持面3a上。首先，利用移动构件4使吸引保持构件2A在水平面上移动以使得吸引垫26的中心与板状工件W的中心大致一致，将吸引垫26定位在板状工件W的上方。进而，如图7所示，臂部25向-Z方向下降，使吸引垫26向-Z方向下降至接触部261与板状工件W的外周区域接触且吸引生成部260与板状工件W的背面Wb不接触的程度的位置。

当吸引垫26的接触部261与板状工件W的背面Wb接触时，板状工件W被吸引垫26向-Z方向按压。同时，以隔开间隙的方式嵌入在支承板23中的导轴21因从板状工件W经由吸引垫26而作用的垂直阻力向+Z方向移动。因此，对吸引垫26进行支承的导轴21的头部211的下表面211b向离开支承板23的上表面23a的+Z方向移动。伴随着导轴21向+Z方向的移动，处于自然长度的弹簧27的上端侧被导轴21的头部211拉伸，向+Z方向扩张，从而在弹簧27中蓄积使弹簧27恢复到自然长度的弹性能量。

通过上述那样的弹簧27的动作，当吸引垫26对板状工件W进行保持时，能够通过弹簧27来减弱吸引垫26的接触部261对板状工件W进行按压的力、并且能够通过吸引垫26可靠地对板状工件W进行保持。即，为了在吸引垫26的中心与板状工件W的中心大致一致的状态下进行吸引保持，需要防止板状工件W向水平方向移动而产生位置偏移、并且需要使吸引垫26的接触部261与板状工件W的背面Wb接触。因此，需要在吸引垫26的接触部261与板状工件W的背面Wb之间产生规定的大小的摩擦力。越是用较强的力将吸引垫26的接触部261按压至板状工件W的背面Wb，摩擦力越大，但板状工件W产生破损的可能性也提高。这里，在本发明的搬送单元1A中，通过弹簧27来确保从吸引垫26的接触部261对板状工件W施加平衡良好地进行按压的力，能够在吸引垫26的接触部261与板状工件W的背面Wb之间仅产生防止板状工件W的位置偏移的摩擦力、并且确保不会从吸引垫26对板状工件W施加使板状工件W发生破损的程度的按压力。即，通过使弹簧27扩张来使从吸引垫26对板状工件W过度施加的按压力抵消而减弱，从而能够从吸引垫26向板状工件W施加适度的按压力。另外，例如在吸引保持构件2A不具有弹簧27的情况下，无法产生能够在吸引垫26的接触部261与板状工件W的背面Wb之间仅产生防止板状工件W的位置偏移的摩擦力的程度的按压力，因此板状工件W容易向水平方向移动而产生位置偏移。

当吸引垫26下降至Z轴方向的规定的位置之后，空气提供源28借助连通路280将高压空气提供给吸引垫26内部的空气提供路径260b。提供给吸引垫26的空气在空气提供路径260b内例如通过未图示的环状节流孔而加速，从空气喷出口260c向板状工件W的背面Wb上喷出。从空气喷出口260c喷出的高压空气在吸引垫26与板状工件W之间从板状工件W的中心向放射方向流动而释放至大气中。因此，通过在吸引垫26的吸引面264a与板状工件W的背面Wb之间的间隙中使高压空气以高速朝向放射方向流动，从而以吸引生成部260为中心生成基于伯努利效应的负压，吸引垫26在非接触状态下对板状工件W进行吸引保持。另外，在本实施方式2中，例如在基板部264的吸引面264a的中央区域配设有一个吸引生成部260，也可以在基板部264的吸引面264a的外周部在周向上隔开一定的间隔配设多个吸引生成部260。在该情况下，各接触部261与吸引生成部260在吸引面264a的外周部在周向上交替配设。另外，吸引生成部260可以构成为在与板状工件W之间利用从空气提供源28提供的高压空气形成回旋流，从而能够生成对板状工件W进行吸引的负压。

当吸引垫26按照非接触的方式对板状工件W进行了吸引保持之后，解除保持工作台3对板状工件W的吸引保持。进而，如图8所示，臂部25向+Z方向上升，从而通过搬送单元1A将板状工件W从保持工作台3搬出。当板状工件W离开保持工作台3的保持面3a时，因蓄积在弹簧27中的弹性能量而扩张的弹簧27恢复到自然长度，与此相伴按照非接触的方式对板状工件W进行吸引保持的吸引垫26以接近支承板23的方式向+Z方向移动。

另外，本发明的搬送单元并不限于上述实施方式1和实施方式2，另外，附图所图示的各实施方式的搬送单元的各结构的大小、形状等也不限于此，可以在能够发挥本发明的效果的范围内适当变更。

例如，图9所示的本发明的搬送单元1B是具有下述吸引保持构件2B的装置，该吸引保持构件2B将图6所示的作为搬送单元1A的吸引保持构件2A的结构的一部分的弹簧27变更为弹簧24且对弹簧的配设部位进行了变更。除了将弹簧27变更为弹簧24这方面和弹簧的配设部位不同以外，搬送单元1B与搬送单元1A同样地构成。弹簧24例如是从自然长度收缩而欲复原的弹簧，对吸引垫26向远离支承板21的方向施力，使弹簧24的上端侧与支承板23的下表面23b粘接而固定、且使弹簧24的下端侧与基板部264的上表面264b粘接而固定，从而弹簧24在支承板23与吸引垫26之间配设成当头部21向离开支承板23的方向移动时收缩。

当图9所示的吸引垫26的接触部261与板状工件W的背面Wb接触时，板状工件W被吸引垫26向-Z方向按压。同时，以隔开间隙的方式嵌入在支承板23中的导轴21因从板状工件W经由吸引垫26作用的垂直阻力向+Z方向移动。因此，对吸引垫26进行支承的导轴21的头部211向离开支承板23的上表面23a的+Z方向移动。伴随着导轴21向+Z方向的移动，处于自然长度的弹簧24收缩。在本发明的搬送单元1B中，利用如上述那样进行动作的弹簧24来确保从吸引垫26的接触部261向板状工件W施加平衡良好地按压的力，能够在吸引垫26的接触部261与板状工件W的背面Wb之间仅产生防止板状工件W的位置偏移的摩擦力、并且确保不会从吸引垫26对板状工件W施加导致板状工件W发生破损的程度的按压力。

Claims (4)

1.一种搬送单元，其对板状工件进行搬送，其特征在于，

该搬送单元具有：

吸引保持构件，其对板状工件进行吸引保持；以及

移动构件，其使该吸引保持构件移动，

该吸引保持构件具有：

吸引垫，其对板状工件进行吸引保持；

导轴，其按照能够在接近和离开该板状工件的方向上移动的方式对该吸引垫进行支承；

支承板，其具有供该导轴贯穿插入的贯通孔，该支承板对该导轴进行支承；以及

弹簧，其维持该导轴对该吸引垫进行支承的状态，对该吸引垫向接近该支承板的方向施力，

当该吸引垫对板状工件进行保持时，通过该弹簧来减弱该吸引垫对板状工件进行按压的力，

所述导轴在上端侧具有朝向径向外侧延伸的头部，

所述弹簧的上端与该头部的下表面直接抵接并且所述弹簧在该头部的下表面与所述支承板之间配设成当该头部向离开该支承板的方向移动时该弹簧扩张。

2.根据权利要求1所述的搬送单元，其特征在于，

所述吸引垫具有：

吸引生成部，其通过从空气喷出口喷出空气而生成负压，按照非接触的方式对板状工件进行吸引；以及

接触部，其与该吸引生成部所吸引的板状工件的外周区域接触而限制板状工件在水平方向上移动，

当利用该吸引垫对板状工件进行保持时，通过所述弹簧来减弱该吸引垫的该接触部对板状工件进行按压的力。

3.一种搬送单元，其对板状工件进行搬送，其特征在于，

该搬送单元具有：

吸引保持构件，其对板状工件进行吸引保持；以及

移动构件，其使该吸引保持构件移动，

该吸引保持构件具有：

吸引垫，其对板状工件进行吸引保持；

导轴，其按照能够在接近和离开该板状工件的方向上移动的方式对该吸引垫进行支承；

支承板，其具有供该导轴贯穿插入的贯通孔，该支承板对该导轴进行支承；以及

弹簧，其维持该导轴对该吸引垫进行支承的状态，对该吸引垫向接近该支承板的方向施力，

当该吸引垫对板状工件进行保持时，通过该弹簧来减弱该吸引垫对板状工件进行按压的力，

所述弹簧在所述支承板与所述吸引垫之间配设成当该吸引垫向接近该支承板的方向移动时该弹簧收缩，并且所述弹簧配置在该支承板的比所述导轴靠径向外侧的位置。

4.根据权利要求3所述的搬送单元，其特征在于，

所述吸引垫具有：

吸引生成部，其通过从空气喷出口喷出空气而生成负压，按照非接触的方式对板状工件进行吸引；以及

接触部，其与该吸引生成部所吸引的板状工件的外周区域接触而限制板状工件在水平方向上移动，

当利用该吸引垫对板状工件进行保持时，通过所述弹簧来减弱该吸引垫的该接触部对板状工件进行按压的力。

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