JP2009059763A - ウエーハ搬送方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】凹部を囲繞する外周余剰領域にリング状補強部を有するウエーハを、少なくとも上下移動及び旋回運動可能な作動アームと、作動アームの先端に弾性部材を介して取り付けられた吸着パッドとを有する搬送装置により、チャックテーブルから他のチャックテーブル若しくは他のウエーハ搬送装置に受け渡すウエーハ搬送方法において、ウエーハのリング状補強部の厚さと該ウエーハに貼付された保護テープの厚さを合わせた総厚を算出する工程と、チャックテーブルの高さに該総厚を加算して吸着パッド押し込み開始点を算出する工程と、吸着パッドでチャックテーブル上のウエーハを吸着する際、吸着パッドがウエーハのリング状補強部に接してから作動アームを所定距離押し込む押し込み工程と、を具備した。
【選択図】図10
Description
8 デバイス領域
8b 凹部
10 余剰領域
10b リング状補強部
14 保護テープ
16 研削装置
50 ターンテーブル
52 チャックテーブル
58 ウエーハ搬送手段
60 吸着パッド
62 作動アーム
64 回動軸
65 第1の環状保持部
66 第2の環状保持部
84 吸引源
90 第1の電磁開閉弁
92 第2の電磁開閉弁
102 圧縮コイルばね
Claims (2)
- 表面に形成されたデバイス領域の裏面側に凹部が形成され、該凹部を囲繞する外周余剰領域にリング状補強部を有するウエーハを、少なくとも上下移動及び旋回運動可能な作動アームと、該作動アームの先端に弾性部材を介して取り付けられた吸着パッドとを有する搬送装置により、チャックテーブルから他のチャックテーブル若しくは他のウエーハ搬送装置に受け渡すウエーハ搬送方法において、
前記ウエーハの前記リング状補強部の厚さと該ウエーハに貼付された保護テープの厚さを合わせた総厚を算出する工程と、
前記チャックテーブルの高さに該総厚を加算して吸着パッド押し込み開始点を算出する工程と、
前記吸着パッドで前記チャックテーブル上の前記ウエーハを吸着する際、該吸着パッドが該ウエーハの前記リング状補強部に接してから前記作動アームを所定距離押し込む押し込み工程と、
を具備したことを特徴とするウエーハ搬送方法。 - 前記ウエーハを前記吸着パッドから搬送先の他のチャックテーブル若しくは他のウエーハ搬送装置に載置する際に、前記押し込み工程を実施することを特徴とする請求項1記載のウエーハ搬送方法。
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