TW201802014A

TW201802014A - 搬送單元

Info

Publication number: TW201802014A
Application number: TW106118508A
Authority: TW
Inventors: 增田幸容; 小野留美子
Original assignee: 迪思科股份有限公司
Priority date: 2016-07-12
Filing date: 2017-06-05
Publication date: 2018-01-16
Also published as: CN107611070A; JP2018010919A; JP6695225B2; TWI713751B; CN107611070B

Abstract

[課題]形成為在搬送單元中，於已使吸引墊接觸於板狀工件時，不使吸引墊的重量施加在板狀工件上，以防止產生板狀工件的破損。 [解決手段]一種搬送單元，為搬送板狀工件的搬送單元，其具備吸引保持工件的設備、及使吸引保持設備移動的設備，吸引保持設備具備吸引保持工件的吸引墊、可朝接近及遠離工件的方向移動地支撐吸引墊的導引軸、具有可供導引軸插通之貫通孔而支撐導引軸之板、及維持導引軸支撐有吸引墊之狀態而將吸引墊賦與勢能的彈簧，當吸引墊保持工件時，可藉由彈簧將吸引墊按壓工件之力減弱。

Description

搬送單元

發明領域本發明是有關於一種搬送板狀工件的搬送單元。

發明背景在加工裝置等所具備並且可將半導體晶圓等之板狀工件以吸引墊吸引保持而搬送的搬送單元中，具有例如使吸引墊接觸於板狀工件來吸引保持之類型的單元、及藉由吸引墊以非接觸方式吸引保持板狀工件之類型的單元。在接觸式的搬送單元(參照例如專利文獻1)中，是將吸引墊以作為多孔質材料的多孔板等來構成，並且可以藉由使吸引源連通於此多孔板，使吸引源進行吸引而將所產生的吸引力傳達至為已接觸於板狀工件之狀態的多孔板的吸引面，藉此吸引保持板狀工件。相對於此，非接觸式的搬送單元(參照例如專利文獻2)，是利用白努利(Bernoulli)之原理，對吸引墊所具備之吸引生成部供給高壓氣體。亦即，沿著吸引墊的內表面供給高壓氣體，並且使其通過吸引生成部及板狀工件之間而往大氣排出。由於被排出之高壓氣體噴流會因為擴徑而逐漸減速，並成為大氣壓，所以在吸引生成部及板狀工件之間的間隙會有白努利效果作用，而以吸引生成部為中心朝向其周圍發生壓力下降。藉由像這樣使其產生負壓，吸引墊會以非接觸方式吸引板狀工件。先前技術文獻專利文獻

專利文獻1：日本專利特開2006-344778號公報專利文獻2：日本專利特開2015-070002號公報

發明概要發明欲解決之課題在使吸引墊接觸於板狀工件來吸引保持之類型的搬送單元中，於吸引保持板狀工件時，為了避免發生板狀工件和吸引墊的位置偏離，是在使吸引墊的吸引面整個面接觸於板狀工件的被吸引面之後，使吸引源作動來進行吸引保持。又，在藉由吸引墊以非接觸方式吸引保持板狀工件之類型的搬送單元中，是對板狀工件和吸引墊進行對位，而在例如使吸引墊所具備之限制板狀工件往水平方向的移動的接觸部接觸於板狀工件的外周區域之後，利用對吸引墊供給高壓氣體之作法並藉由使其於吸引生成部的周圍產生的負壓，來進行板狀工件的吸引保持。因此，無論是接觸式或非接觸式中任一種的搬送單元中，在吸引保持板狀工件時吸引墊的重量皆會施加在板狀工件上。

又，會有下述情形：配備在加工裝置並且保持板狀工件的保持台之保持面的傾斜度、和搬送單元之吸引墊的吸引面的傾斜度是相異的、亦即保持台的保持面和吸引墊的吸引面並未成為平行。又，也有下述情形：配備於加工裝置的洗淨單元的洗淨台之保持面的傾斜度、和搬送單元的吸引墊的吸引面的傾斜度是相異的。這些形式的情形下，尤其是在為了吸引保持板狀工件而使吸引墊接觸於板狀工件之時，由於會成為吸引墊的重量更加地施加在板狀工件上之情形，所以會有板狀工件因受到來自吸引墊之按壓力而破損的情形。

因此，會有下述的課題：在藉由搬送單元搬送板狀工件的情況下，在使吸引墊接觸於板狀工件之時，要抑制吸引墊的重量施加於板狀工件之量，以防止發生板狀工件的破損之情形。用以解決課題之手段

用於解決上述課題的本發明，是一種搬送板狀工件的搬送單元，該搬送單元的特徵在於具備：吸引保持板狀工件的吸引保持設備、及使該吸引保持設備移動的移動設備，該吸引保持設備具備吸引保持板狀工件的吸引墊、可朝接近及遠離該板狀工件的方向移動地支撐該吸引墊的導引軸、具有供該導引軸插通之貫通孔且支撐該導引軸的支撐板、及維持該導引軸支撐有該吸引墊之狀態而將該吸引墊朝接近該支撐板的方向賦與勢能的彈簧，當該吸引墊保持板狀工件時，可藉由該彈簧將該吸引墊按壓板狀工件之力減弱。

較理想的是，前述導引軸具備於上端側朝徑方向向外延伸的頭部，前述彈簧是配設成在該頭部的下表面和前述支撐板之間，於該頭部朝與該支撐板相遠離的方向移動時會進行擴張。

又，較理想的是，在前述導引軸的上端側具備於該導引軸的徑方向向外延伸的頭部，前述彈簧是配設成在前述支撐板和前述吸引墊之間，於該吸引墊朝遠離該支撐板的方向移動時會進行收縮。

前述吸引墊亦可為具備吸引生成部及接觸部之所謂的白努利型的吸引墊，其中該吸引生成部是藉由從氣體噴出口噴出氣體以生成負壓而以非接觸方式吸引板狀工件，該接觸部是接觸於被該吸引生成部所吸引之板狀工件的外周區域並限制板狀工件在水平方向上移動。發明效果

本發明之搬送板狀工件的搬送單元，由於吸引保持設備具備有：吸引保持板狀工件的吸引墊、可朝接近及遠離板狀工件的方向移動地支撐吸引墊的導引軸、具有供導引軸插通的貫通孔且支撐導引軸的支撐板、及維持導引軸支撐有吸引墊之狀態而將吸引墊朝接近支撐板的方向賦與勢能的彈簧，所以當吸引墊保持板狀工件時，可藉由彈簧將吸引墊按壓板狀工件之力減弱，藉此能夠將板狀工件在不使其破損的情形下吸引保持並搬送。

又，將吸引墊設成具備吸引生成部及接觸部之所謂的白努利型的吸引墊，其中該吸引生成部是藉由從氣體噴出口噴出氣體以生成負壓而以非接觸方式吸引板狀工件，該接觸部是接觸於被吸引生成部所吸引之板狀工件的外周區域並限制板狀工件在水平方向上移動，因此，即使是例如吸引對象為具有翹曲之板狀工件，仍可在吸引墊保持板狀工件時，藉由彈簧將吸引墊按壓板狀工件之力減弱，藉此可以將板狀工件在不使其破損的情形下搬送。

用以實施發明之形態 (實施形態1) 圖1所示之搬送板狀工件W的搬送單元1至少具備有吸引保持板狀工件W之吸引保持設備2、及使吸引保持設備2移動的移動設備4。搬送單元1主要是組裝在切削板狀工件W的切削裝置、磨削板狀工件W的磨削裝置、或是具備所有這些裝置之功能的群集(cluster)型裝置等而使用。例如，在圖1中，是使吸引保持設備2位於磨削裝置等加工裝置所具備的保持台3之上方。

保持台3具備有例如其外形為圓形，且由多孔構件等所形成以吸附板狀工件W的保持面3a。於保持面3a上是與例如圖未示之吸引源相連通。將藉由吸引源進行吸引而產生出的吸引力傳達至保持面3a，藉此保持台3就能夠將板狀工件W吸引保持在保持面3a上。板狀工件W是例如外形為圓形之半導體晶圓，並且在圖1所示之例中，是以工件的背面Wb朝向上側的狀態被吸引保持在保持台3的保持面3a上。在圖1中，於朝向下側的狀態之工件W的正面Wa上形成有例如複數個元件並且貼附有圖未示之保護膠帶來保護。

搬送單元1的吸引保持設備2具備有吸引保持板狀工件W的吸引墊20、可朝接近及遠離板狀工件W的方向(Z軸方向)移動地支撐吸引墊20的導引軸21、及具有可供導引軸21插通的貫通孔230而支撐導引軸21的支撐板23。吸引墊20，為例如其外形為圓形，並且具備有由多孔構件所形成且吸附板狀工件W的吸附部200、及支撐吸附部200的框體201。於吸附部200連通有連通路290之一端，並且連通路290之另一端是連接於由真空產生裝置及壓縮機(compressor)等所形成之吸引源29。並且，將藉由吸引源29進行吸引而產生出的吸引力透過連通路290傳達到作為吸附部200之露出面且與框體201之下表面形成為齊平面之保持面200a，藉此吸引墊20就能夠將板狀工件W吸引保持在保持面200a上。

吸引墊20是固定在圖1、2所示之導引軸21的下端210b而被導引軸21所支撐。例如，導引軸21具備有具有鉛直方向(Z軸方向)的軸方向之基軸部210、及於基軸部210的上端210a側朝向導引軸21的徑方向(與基軸部210的軸方向於水平方向上正交之方向)向外延伸的頭部211。亦即，導引軸21是使其縱截面形成為大致T字形。

圖1所示之支撐板23是形成為例如外形為圓形之平板狀，並且於其外周部設置有貫通孔230，該貫通孔230是在厚度方向(Z軸方向)上貫通而形成並且可供導引軸21插通。貫通孔230是例如在支撐板23的外周部於圓周方向上隔著一定的間隔而形成有複數個(例如在90度間隔下為4個位置，在圖1中只圖示2個位置)位置。各導引軸21(本實施形態中共計4個，圖1中只圖示2個)的基軸部210，是各自有間隙地嵌合於各貫通孔230中，而使導引軸21變得可相對於支撐板23在Z軸方向上移動。導引軸21的頭部211，是以不貫通於已形成在支撐板23上之貫通孔230的形式，形成比貫通孔230的直徑還要大的直徑。如圖1所示，導引軸21的基軸部210具有至少為支撐板23之厚度以上的長度，並且在吸引墊20未接觸於板狀工件W的狀態下，插通有導引軸21之狀態的支撐板23的下表面23b、和已固定在導引軸21之下端210b之狀態的吸引墊20的上表面201b之間會形成預定寬度的間隙。

吸引保持設備2具備有彈簧27，該彈簧27是使導引軸21維持支撐有吸引墊20之狀態而使吸引墊20往接近支撐板23的方向賦與勢能。彈簧27是例如比自然長度更伸長後會欲回復之螺旋扭力彈簧，且是配設在頭部211的下表面211b和支撐板23之間，而在使吸引墊20接近支撐板21的方向上進行賦與勢能。例如，如圖2所示，彈簧27的內徑比導引軸21的基軸部210的外徑更大，又，彈簧27的外徑形成為與導引軸21的頭部211的外徑大致相同，且將導引軸21的基軸部210插通於彈簧27的中央的開口部分，藉此成為彈簧27的上端抵接於頭部211的下表面211b之狀態。

如圖2所示，形成有彈簧收納孔230a，該彈簧收納孔230a是與形成在支撐板23之外周部的貫通孔230位於同軸上，並且具有可將彈簧27嵌入之程度的孔徑。亦即，彈簧收納孔230a是藉由從支撐板23的厚度方向(Z軸方向)之中間部至支撐板23的上表面23a將貫通孔230的外徑擴徑而形成的。彈簧收納孔230a從支撐板23的上表面23a起算之深度，是例如與彈簧27的自然長度大致相同的深度。如圖2所示，使彈簧27沒入於彈簧收納孔230a之後，將導引軸21從支撐板23的上方插通於彈簧27的中央的開口部分及貫通孔230。又，使用適當的接著劑來各自將彈簧27的下端側固定在彈簧收納孔230a之環狀的底面，並將彈簧27的上端側固定在頭部211的下表面211b，且更將導引軸21的下端210b固定在吸引墊20的上表面201b，藉此，就能如圖1所示，將彈簧27配設成當在導引軸21的頭部211的下表面211b與支撐板23之間，頭部211朝與支撐板23於Z軸方向相遠離的方向移動時，會進行擴張。

彈簧27的配設態樣並非限定於上述之態樣，例如，也可以將彈簧27設成如圖3(A)、(B)所示，配設在導引軸21的頭部211的下表面211b與支撐板23之間。亦即，如圖3(A)所示，設成彈簧27的中央的開口部分與支撐板23的貫通孔230重疊，並且以適當的接著劑等將彈簧27固定在支撐板23的上表面23a上，且將導引軸21從支撐板23的上方插通於彈簧27的中央的開口部分及貫通孔230。然後，使用適當的接著劑等將彈簧27的上端側固定在頭部211的下表面211b，且更將導引軸21的下端210b固定在吸引墊20的上表面201b，藉此以如圖3(B)所示，成為將彈簧27以不沒入支撐板23的內部之狀態來配設之狀態。

如圖1所示，例如，支撐板23的上表面23a的中央區域固定有連結構件250，且將支撐板23透過連結構件250而固定在吸引保持設備2所具備之臂部25之一端的下表面側。移動設備4是連接在臂部25上，並且形成為使臂部25可在水平面上平行移動或旋繞移動且可朝Z軸方向上下活動。移動設備4是由例如藉由空氣壓力使臂部25朝Z軸方向上下活動的氣缸、及藉由以馬達使滾珠螺桿旋動以使臂部25平行移動的滾珠螺桿機構等所構成。

以下，利用圖1、圖4~5說明藉由搬送單元1從保持台3搬出板狀工件W的情況下之搬送單元1的動作。如圖1所示，板狀工件W是以背面Wb朝向上側之狀態被吸引保持在保持台3的保持面3a上。首先，藉由移動設備4，使吸引保持設備2於水平面上移動成吸引墊20的中心與板狀工件W的中心大致一致，而將吸引墊20定位在板狀工件W的上方。進一步地，如圖4所示，使臂部25往-Z方向下降，而使吸引墊20的保持面200a與板狀工件W的背面Wb相接觸。

當吸引墊20的保持面200a與板狀工件W的背面Wb相接觸時，板狀工件W是被吸引墊20朝-Z方向按壓。同時，有間隙地嵌合於支撐板23的導引軸21，會藉由從板狀工件W透過吸引墊20作用之+Z方向的垂直阻力，而朝+Z方向移動。因此，使支撐吸引墊20之導引軸21的頭部211的下表面211b朝遠離支撐板23的上表面23a之+Z方向移動。隨著導引軸21往+Z方向的移動，為自然長度的彈簧27的上端側會受到導引軸21的頭部211拉伸而使彈簧27朝+Z方向擴張，藉此可於彈簧27上蓄積使彈簧27回復到自然長度的彈性能量。

藉由如上述之彈簧27的動作行為，可以在吸引墊20保持板狀工件W時，藉由彈簧27將吸引墊20按壓板狀工件W之力減弱，並且藉由吸引墊20確實地保持板狀工件W。亦即，為了在吸引墊20的中心與板狀工件W的中心為大致一致的狀態下進行吸引保持，必須防止板狀工件W往水平方向移動而產生位置偏移，並且使吸引墊20接觸於板狀工件W。因此，必須在吸引墊20的保持面200a與板狀工件W的背面Wb之間產生預定大小的摩擦力。雖然越以強力的方式將吸引墊20的保持面200a按壓在板狀工件W的背面Wb摩擦力會變得越大，但發生板狀工件W之破損的可能性也會變高。於此，在本發明的搬送單元1中，是形成為藉由彈簧27從吸引墊20將進行按壓之力相當平衡(balance)地施加在板狀工件W上，而變得可做到於吸引墊20的保持面200a與板狀工件W的背面Wb之間使其產生相當於可防止板狀工件W的位置偏移的摩擦力，並且形成為不讓會發生板狀工件W的破損的程度之按壓力從吸引墊20施加到板狀工件W上。亦即，可以藉由使彈簧27擴張而將從吸引墊20對板狀工件W過度地施加的按壓力相抵消而減弱，形成將適當的按壓力從吸引墊20施加於板狀工件W。再者，例如，在吸引保持設備2中未具備有彈簧27的情形下，由於無法產生出下述程度的按壓力：在吸引墊20的保持面200a與板狀工件W的背面Wb之間能夠使其產生相當於可防止板狀工件W的位置偏移的摩擦力；所以會使板狀工件W變得易於往水平方向移動而產生位置偏移。

吸引墊20接觸板狀工件W之後，可將藉由使吸引源29進行吸引所產生出的吸引力往保持面200a傳達，藉此使吸引墊20吸引保持板狀工件W。同時，解除由保持台3所進行之板狀工件W的吸引保持。此外，如圖5所示，藉由使臂部25往+Z方向上升，即可藉由搬送單元1將板狀工件W從保持台3搬出。當板狀工件W從保持台3的保持面3a遠離時，會藉由已蓄積在彈簧27的彈性能量使已擴張之彈簧27回復至自然長度，並且伴隨於此而使在已接觸於板狀工件W的狀態下進行吸引保持的吸引墊20如朝支撐板23靠近地朝+Z方向移動。

(實施形態2) 如圖6所示之本發明的搬送單元1A是具備將圖1所示之搬送單元的吸引保持設備2之構成的一部分之吸引墊20，變更成圖6所示之白努利類型的吸引墊26的吸引保持設備2A之裝置。關於吸引保持設備2的吸引墊20和吸引保持設備2A的吸引墊26的構成之相異以外的部分，搬送單元1和搬送單元1A是同樣地被構成。

吸引墊26是固定在導引軸21的下端210b，而被導引軸21所支撐。吸引墊26具備有例如藉由從氣體噴出口260c噴出氣體以生成負壓並且以非接觸方式吸引板狀工件W的吸引生成部260、接觸於被吸引生成部260所吸引之板狀工件W的外周區域並且限制板狀工件W在水平方向上移動的接觸部261、及配設有吸引生成部260和接觸部261的基板部264。

外形為圓形的板狀的基板部264，是藉由從其中心朝向外周部逐漸地朝+Z方向翹曲，而呈稍微碗狀地彎曲。亦即，在進行板狀工件W的吸引保持時，以非接觸方式相對於板狀工件W之基板部264的吸引面264a是呈中央內凹地彎曲。再者，基板部264的形狀及構成並不受限於本實施形態中的形狀。也可以例如將基板部264形成為其外形為圓形平板狀或圓環狀，又，也可以由圓環狀構件或線性構件等的複數個構件來構成。

以非接觸方式吸引板狀工件W的吸引生成部260，是例如在基板部264之吸引面264a的中央區域配設有1個。例如，於外形為圓盤狀的吸引生成部260的內部中，形成有氣體供給路260b，並且氣體供給路260b是連通於形成在吸引生成部260之底面的圓環形之氣體噴出口260c。又，於氣體供給路260b上連接有與由壓縮機等所形成之氣體供給源28連通之連通路280的一端。再者，也可以例如在氣體供給路260b上形成有使從氣體供給源28供給至吸引生成部260之氣體加速的環狀孔口(orifice)等。

限制板狀工件W在水平方向上移動的接觸部261是例如將橡膠或海棉(sponge)等形成為柱狀之構成，並且在基板部264之吸引面264a的外周部上，於圓周方向上隔著一定的間隔而固定有複數個(例如在90度間隔下為4個，圖6中只圖示2個)。各個接觸部261的下端面是位於比吸引生成部260更下方的高度位置上。

以下，利用圖6~8說明藉由搬送單元1A從保持台3搬出板狀工件W的情況下之搬送單元1A的動作。

如圖6所示，板狀工件W是以背面Wb朝向上側之狀態被吸引保持在保持台3的保持面3a上。首先，藉由移動設備4，使吸引保持設備2A於水平面上移動成吸引墊26的中心與板狀工件W的中心大致一致，而將吸引墊26定位在板狀工件W的上方。此外，如圖7所示，使臂部25往-Z方向下降，而使吸引墊26往-Z方向下降到接觸部261接觸於板狀工件W的外周區域且吸引生成部260和板狀工件W的背面Wb為不接觸的程度之位置。

當吸引墊26的接觸部261與板狀工件W的背面Wb相接觸時，板狀工件W會被吸引墊26朝-Z方向按壓。同時，有間隙地嵌合於支撐板23的導引軸21，會藉由從板狀工件W透過吸引墊26作用的垂直阻力，而朝+Z方向移動。因此，使支撐吸引墊26的導引軸21的頭部211的下表面211b朝與支撐板23的上表面23a之間相遠離之+Z方向移動。隨著導引軸21往+Z方向的移動，為自然長度的彈簧27的上端側會受到導引軸21的頭部211拉伸而朝+Z方向擴張，藉此可於彈簧27上蓄積使彈簧27回復到自然長度的彈性能量。

藉由如上述之彈簧27的動作行為，可以在吸引墊26保持板狀工件W時，藉由彈簧27將吸引墊26的接觸部261按壓板狀工件W之力減弱，並且藉由吸引墊26確實地保持板狀工件W。亦即，為了在吸引墊26的中心與板狀工件W的中心為大致一致的狀態下進行吸引保持，必須防止板狀工件W往水平方向移動而產生位置偏移，並且使吸引墊26的接觸部261接觸於板狀工件W的背面Wb。因此，必須在吸引墊26的接觸部261與板狀工件W的背面Wb之間產生預定大小的摩擦力。雖然越以強力的方式將吸引墊26的接觸部261按壓在板狀工件W的背面Wb摩擦力會變得越大，但發生板狀工件W之破損的可能性也會變高。於此，本發明的搬送單元1A中，是形成為藉由彈簧27從吸引墊26的接觸部261相當平衡地將進行按壓之力施加在板狀工件W上，而變得可做到於吸引墊26的接觸部261與板狀工件W的背面Wb之間使其產生相當於可防止板狀工件W的位置偏移的摩擦力，並且形成為不讓會發生板狀工件W的破損的程度之按壓力從吸引墊26施加到板狀工件W上。亦即，可以藉由使彈簧27擴張而將從吸引墊26對板狀工件W過度地施加的按壓力相抵消而減弱，形成將適當的按壓力從吸引墊26施加於板狀工件W。再者，例如，在吸引保持設備2A中未具備有彈簧27的情形下，由於無法產生出下述程度的按壓力：在吸引墊26的接觸部261與板狀工件W的背面Wb之間能夠使其產生相當於可防止板狀工件W的位置偏移的摩擦力；所以會使板狀工件W變得易於往水平方向移動而產生位置偏移。

吸引墊26下降至Z軸方向的預定位置之後，氣體供給源28透過連通路280將高壓氣體供給至吸引墊26內部的氣體供給路260b。被供給至吸引墊26的氣體，是在氣體供給路260b內通過例如圖未示的環狀孔口而被加速，並且從氣體噴出口260c噴出至板狀工件W的背面Wb上。從氣體噴出口260c噴出的高壓氣體是於吸引墊26和板狀工件W之間從板狀工件W的中心朝放射方向流去而排出至大氣中。因此，藉由於吸引墊26的吸引面264a和板狀工件W的背面Wb之間的間隙使高壓氣體以高速朝向放射方向流動，就能以吸引生成部260作為中心而生成源自白努利效果之負壓，並使吸引墊26以非接觸狀態吸引保持板狀工件W。再者，在本實施形態2中，雖然是將吸引生成部260例如在基板部264之吸引面264a的中央區域配設有1個，但是也可以設成是在基板部264之吸引面264a的外周部於圓周方向上隔著一定的間隔而配設複數個。在此情形下，各個接觸部261和吸引生成部260是形成為在吸引面264a的外周部於圓周方向上交互地配設。又，亦可將吸引生成部260構成為：可以藉由形成從氣體供給源28供給至與板狀工件W之間的由高壓氣體所進行之旋繞流，來生成吸引板狀工件W的負壓。

在吸引墊26以非接觸方式吸引保持板狀工件W之後，解除由保持台3所進行之板狀工件W的吸引保持。此外，如圖8所示，藉由使臂部25往+Z方向上升，即可藉由搬送單元1A將板狀工件W從保持台3搬出。當板狀工件W遠離保持台3的保持面3a時，會藉由已蓄積在彈簧27的彈性能量使已擴張之彈簧27回復至自然長度，並且伴隨於此而使以非接觸方式吸引保持板狀工件W的吸引墊26如朝支撐板23靠近地朝+Z方向移動。

再者，本發明的搬送單元並非受限於上述實施形態1及實施形態2之單元，又，關於在附圖中所圖示的各實施形態的搬送單元的各個構成之大小與形狀等也不受限於此，且可在能夠發揮本發明的效果之範圍內作適宜變更。

例如，圖9所示之本發明的搬送單元1B是具備吸引保持設備2B之裝置，且該吸引保持設備2B是將圖6所示之搬送單元1A的吸引保持設備2A之構成的一部分之彈簧27變更成彈簧24並且變更彈簧的配設位置的吸引保持設備。關於將彈簧27變更成彈簧24之點及彈簧的配設位置不同以外的構成，搬送單元1A和搬送單元1B是同樣地被構成。彈簧24是例如比自然長度更收縮後會在欲回復之方向上、亦即在使吸引墊26靠近支撐板21之方向上賦與勢能之彈簧，並配設成藉由將彈簧24的上端側接著並固定在支撐板23的下表面23b，且進一步將彈簧24的下端側接著並固定在基板部264的上表面264b，而在支撐板23和吸引墊26之間，使頭部21朝與支撐板23相遠離的方向移動時，會進行收縮。

當圖9所示之吸引墊26的接觸部261與板狀工件W的背面Wb相接觸時，板狀工件W會被吸引墊26朝-Z方向按壓。同時，有間隙地嵌合於支撐板23的導引軸21，會藉由從板狀工件W透過吸引墊26作用的垂直阻力，而朝+Z方向移動。因此，使支撐吸引墊26的導引軸21的頭部211朝遠離支撐板23的上表面23a之+Z方向移動。隨著導引軸21往+Z方向的移動，為自然長度的彈簧24會收縮。在本發明的搬送單元1B中，是形成為藉由如上述地進行動作行為的彈簧24，從吸引墊26的接觸部261相當平衡地將進行按壓之力施加在板狀工件W上，而變得可做到於吸引墊26的接觸部261與板狀工件W的背面Wb之間使其產生相當於可防止板狀工件W的位置偏移的摩擦力，並且形成為不讓會發生板狀工件W的破損的程度之按壓力從吸引墊26施加到板狀工件W上。

1、1A、1B‧‧‧搬送單元
2、2A、2B‧‧‧吸引保持設備
20、26‧‧‧吸引墊
200‧‧‧吸附部
200a、3a‧‧‧保持面
201‧‧‧框體
201b、23a、264b‧‧‧上表面
21‧‧‧導引軸
210‧‧‧基軸部
210a‧‧‧上端
210b‧‧‧下端
211‧‧‧頭部
211b、23b‧‧‧下表面
23‧‧‧支撐板
230‧‧‧貫通孔
230a‧‧‧彈簧收納孔
24、27‧‧‧彈簧
25‧‧‧臂部
250‧‧‧連結構件
260‧‧‧吸引生成部
260b‧‧‧氣體供給路
260c‧‧‧氣體噴出口
261‧‧‧接觸部
264‧‧‧基板部
264a‧‧‧吸引面
28‧‧‧氣體供給源
29‧‧‧吸引源
280、290‧‧‧連通路
3‧‧‧保持台
4‧‧‧移動設備
W‧‧‧板狀工件
Wa‧‧‧正面
Wb‧‧‧背面
+X、-X、Y、+Z、-Z‧‧‧方向

圖1是顯示具備接觸式的吸引墊之實施形態1的搬送單元的構造之一例的截面圖。圖2是顯示將彈簧配設在導引軸之頭部的下表面和支撐板之間的狀態之一例的說明圖。圖3(A)是顯示彈簧在導引軸之頭部的下表面和支撐板之間不使其沒入支撐板內部地被配設的狀態之一例的分解截面圖。圖3(B)是顯示彈簧在導引軸之頭部的下表面和支撐板之間不使其沒入支撐板內部地配設的狀態之一例的截面圖。圖4是顯示在實施形態1之搬送單元中，使吸引墊接觸於板狀工件之狀態的截面圖。圖5是顯示在實施形態1之搬送單元中，使已吸引保持板狀工件的吸引墊上升之狀態的截面圖。圖6是顯示具備非接觸式的吸引墊之實施形態2的搬送單元的構造之一例的截面圖。圖7是顯示在實施形態2之搬送單元中，使吸引墊的接觸部接觸於板狀工件並吸引保持板狀工件之狀態的截面圖。圖8是顯示在實施形態2之搬送單元中，使已吸引保持板狀工件的吸引墊上升之狀態的截面圖。圖9是顯示具備非接觸式的吸引墊、及配設在支撐板和吸引墊之間的彈簧的搬送單元的構造之一例的截面圖。

1‧‧‧搬送單元

2‧‧‧吸引保持設備

20‧‧‧吸引墊

200‧‧‧吸附部

200a、3a‧‧‧保持面

201‧‧‧框體

201b、23a‧‧‧上表面

21‧‧‧導引軸

210‧‧‧基軸部

210a‧‧‧上端

210b‧‧‧下端

211‧‧‧頭部

211b、23b‧‧‧下表面

23‧‧‧支撐板

230‧‧‧貫通孔

25‧‧‧臂部

250‧‧‧連結構件

27‧‧‧彈簧

29‧‧‧吸引源

290‧‧‧連通路

3‧‧‧保持台

4‧‧‧移動設備

W‧‧‧板狀工件

Wa‧‧‧正面

Wb‧‧‧背面

+X、-X、Y、+Z、-Z‧‧‧方向

Claims

一種搬送單元，是搬送板狀工件的搬送單元，其特徵在於具備：吸引保持板狀工件的吸引保持設備、及使該吸引保持設備移動的移動設備，該吸引保持設備具備吸引保持板狀工件的吸引墊、可朝接近及遠離該板狀工件的方向移動地支撐該吸引墊的導引軸、具有供該導引軸插通的貫通孔且支撐該導引軸的支撐板、及維持該導引軸支撐有該吸引墊之狀態而將該吸引墊朝接近該支撐板的方向賦與勢能的彈簧，當該吸引墊保持板狀工件時，可藉由該彈簧將該吸引墊按壓板狀工件之力減弱。
如請求項1的搬送單元，其中前述導引軸具備在上端側朝徑方向向外延伸的頭部，前述彈簧是配設成在該頭部的下表面和前述支撐板之間，於該頭部朝與該支撐板相遠離的方向移動時會進行擴張。
如請求項1的搬送單元，其中前述彈簧是配設成在前述支撐板和前述吸引墊之間，於該吸引墊朝遠離該支撐板的方向移動時會進行收縮。
如請求項1至3中任一項的搬送單元，其中前述吸引墊具備藉由從氣體噴出口噴出氣體以生成負壓而以非接觸方式吸引板狀工件的吸引生成部、及接觸於被該吸引生成部所吸引之板狀工件的外周區域並且限制板狀工件在水平方向上移動的接觸部，在以該吸引墊保持板狀工件時，可藉由前述彈簧將該吸引墊的該接觸部按壓板狀工件之力減弱。