JP5254832B2 - ウェーハ保持機構 - Google Patents
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Description
昇降動手段によって可動支持台を上昇させると保持テーブルが静止支持手段から上方に離隔されて保持テーブルは弾性手段を介して可動支持台に支持され、昇降動手段によって可動支持台を降下させると保持テーブルの下面が静止支持手段に当接し保持テーブルが静止支持手段によって支持されることを特徴とするウェーハ保持機構が提供される。
4 ウェーハ
10 保持テーブル
12 可動支持台
14 弾性手段
16 昇降動手段
18 静止支持手段
20 フレーム保持台
32 係止孔
34 支持支柱
50 係止ピン
52 搬送パッド
Claims (5)
- 平坦な上面にウェーハが載置される保持テーブルを備えたウェーハ保持機構において、
該保持テーブルの下方に配設された可動支持台と、該保持テーブルと該可動支持台との間に介在された弾性手段と、該可動支持台を昇降動させる昇降動手段と、該保持テーブルの下面に当接し該保持テーブルを支持する静止支持手段と、を具備し、
該昇降動手段によって該可動支持台を上昇させると該保持テーブルが該静止支持手段から上方に離隔されて該保持テーブルは該弾性手段を介して該可動支持台に支持され、該昇降動手段によって該可動支持台を降下させると該保持テーブルの下面が該静止支持手段に当接し該保持テーブルが該静止支持手段によって支持される、ことを特徴とするウェーハ保持機構。 - 該可動支持台は該保持テーブルの中央領域の下方に配設され、該静止支持手段は該保持テーブルの外周領域の下面に当接し該保持テーブルを支持する、請求項1に記載のウェーハ保持機構。
- 該弾性手段は等角度間隔をおいて配設された3個の圧縮ばねから構成されている、請求項1又は2に記載のウェーハ保持機構。
- 該静止支持手段は、該静止支持手段に該保持テーブルが支持された際の該保持テーブルの該上面の傾斜を調整可能に構成されている、請求項1から3のいずれかに記載のウェーハ保持機構。
- 該静止支持手段は、等角度間隔をおいて配設され且つ上下方向位置が調整可能である3個の部材から形成されている、請求項4に記載のウェーハ保持機構。
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