JP2018029152A - 保持テーブル - Google Patents
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Abstract
Description
以下、実験例について説明する。実験例では、コーティング膜を形成した試験片とコーティング膜を形成しない試験片とを用意して、試験片からウエーハを垂直方向に離間させ、保持テーブルからウエーハが剥離した時の静電気を測定した。コーティング剤としてAμcoatまたはフッ素樹脂コートを使用してコーティング膜を形成し、ワークとしてはリングフレームにダイシングテープを貼着し、リングフレームの開口のダイシングテープにウエーハを貼着したものを使用した。より詳細には、コーティング膜が形成された試験片(Aμcoatまたはフッ素樹脂コートされたステンレスプレート100mm×50mm)またはコーティング膜が形成されない試験片(ステンレスプレート100mm×50mm)を保持テーブルに保持させ、試験片の上にワークのダイシングテープ側を接触させ押付けたのち、ワークを垂直方向に上昇(例えば、10mmm)させ試験片から剥離させ剥離帯電を測定した。この結果、表1に示すような測定値が得られた。コーティング膜が形成された試験片では−1.4から−1.6Vの測定結果が得られ、コーティング膜が形成されていない試験片では−60Vの測定結果が得られた。これにより、保持テーブル上のコーティング膜によって剥離帯電が大幅に低減されることが確認された。
10、51 ポーラス板
11、52 保持面
20、53 枠体
L コーティング膜
Td ダイシングテープ
Tp 保護テープ
W ウエーハ
Claims (1)
- ウエーハを保持する保持面を有する保持テーブルであって、該保持面には剥離帯電を防止するコーティングが施された保持テーブル。
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