JP2009032981A - 非接触搬送装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】保持ハンドの小型化及び非接触搬送装置の構成の簡略化を図りつつ、ワークの搬送中におけるワークの損傷の発生を十分に抑制することができる非接触搬送装置を提供する。
【解決手段】移動部材3にハンド本体7が設けられ、ハンド本体7の中央側に作動流体が流入可能な流入口11を有し、ハンド本体7の保持面9における流入口11の周辺に、ベルヌーイ効果を利用してハンド本体7の保持面9とワークWの表面と間に負圧を発生させる複数のベルヌーイチャック13が配設され、各ベルヌーイチャック13は、作動流体をハンド中心5c側へ噴出可能かつ作動流体を供給する作動流体供給源17に接続した噴出孔15をそれぞれ有したこと。
【選択図】図1
【解決手段】移動部材3にハンド本体7が設けられ、ハンド本体7の中央側に作動流体が流入可能な流入口11を有し、ハンド本体7の保持面9における流入口11の周辺に、ベルヌーイ効果を利用してハンド本体7の保持面9とワークWの表面と間に負圧を発生させる複数のベルヌーイチャック13が配設され、各ベルヌーイチャック13は、作動流体をハンド中心5c側へ噴出可能かつ作動流体を供給する作動流体供給源17に接続した噴出孔15をそれぞれ有したこと。
【選択図】図1
Description
本発明は、例えばウェハ、ガラス基板等の板状のワークを上方向から非接触で保持した状態の下で搬送方向へ搬送する非接触搬送装置に関する。
例えばクリーン搬送の分野に用いられている一般的な非接触搬送装置の構成等について簡単に説明する。
一般的な非接触搬送装置は、搬送方向へ移動可能な移動部材としての搬送アームと、この搬送アームの先端部に設けられかつ例えばウェハ、ガラス基板等の板状のワークを上方向から非接触で保持する保持ハンドとを具備している。そして、保持ハンドの具体的な構成は、次のようになる。
搬送アームの先端部には、ハンド本体が設けられており、このハンド本体は、一側に、ワークを保持可能な保持面を有している。また、ハンド本体の保持面には、ベルヌーイ効果を利用してハンド本体の保持面とワークの表面と間に負圧を発生させるベルヌーイチャックが設けられている。更に、ベルヌーイチャックは、作動流体としてのエアを噴出可能な噴出孔を有してあって、ベルヌーイチャックの噴出孔は、エアを供給するエア供給源に接続してある。
従って、保持ハンドを上方向からワークに対して相対的に接近させる。そして、エア供給源からベルヌーイチャックの噴出孔へエアを供給して、ベルヌーイチャックからエアを噴出することにより、ハンド本体の保持面とワークの表面との間において高速のエアを流通させる。これによって、ベルヌーイチャックによりハンド本体の保持面とワークの表面と間に負圧を発生させて、保持ハンドによりワークを上方向から非接触で保持することができる。
保持ハンドによりワークを上方向から非接触で保持した後に、搬送アームを搬送方向へ移動させる。これによって、ワークを上方向から非接触で保持した状態の下で搬送方向へ搬送することができる。
なお、本発明に関連する先行技術として特許文献1に示すものがある。
特開平4−282850号公報
ところで、保持ハンドによりワークを上方向から非接触で保持しても、保持ハンドによるワークの拘束力がハンド本体の保持面に対して平行な方向(平行方向)には十分に働かず、ワークの搬送中に保持ハンドからワークが脱落してしまうおそれがある。そのため、通常、ハンド本体の保持面の周縁部に配設しかつワークの端面が突当たり可能な複数のストッパピンにより、ワークの前記平行方向の移動を規制することによって、保持ハンドからのワークの脱落を防止している。なお、特許文献1に示す保持ハンドにあっては、ワークをいずれかのストッパピンに予め接触させた状態で保持するようになっている。
しかしながら、ハンド本体の保持面の周縁部に複数のストッパピンを配設すると、ハンド本体の保持面に複数のストッパピン分の設置スペースが増えて、保持ハンドの大型化を招くと共に、保持ハンドの構成要素(換言すれば、非接触搬送装置の構成要素)が増えて、非接触搬送装置の構成が複雑化する。また、ワークの搬送中にストッパピンとワークとの間に衝突が繰り返されることによって、ワークの搬送中におけるワークの損傷が発生し易くなる。
そこで、本発明は、前述の問題を解決するため、保持ハンドによりワークを上方向から非接触で保持している間、保持ハンドによるワークの拘束力をハンド本体の保持面に対して平行な方向においても十分に発揮できる、新規な構成の非接触搬送装置を提供することを目的とする。
本発明の特徴は、板状のワークを上方向から非接触で保持した状態の下で搬送方向へ搬送する非接触搬送装置において、搬送方向へ移動可能な移動部材と、該移動部材に設けられかつワークを上方向から非接触で保持する保持ハンドとを具備し、前記保持ハンドは、前記移動部材に設けられ、一側にワークを保持可能な保持面を有し、中央側に作動流体が流入可能な流入口を有したハンド本体と、前記ハンド本体の前記保持面における前記流入口の周辺に配設され、作動流体をハンド中心側へ噴出可能かつ作動流体を供給する作動流体供給源に接続した噴出孔をそれぞれ有し、ベルヌーイ効果を利用して前記ハンド本体の前記保持面とワークの表面と間に負圧を発生させる複数のベルヌーイチャックと備えたことを要旨とする。
なお、本願の特許請求の範囲及び明細書中において、「設けられ」とは、中間部材を介して間接的に設けられたこと、及び形成されたことを含む意である。
本発明の特徴によると、前記保持ハンドを上方向からワークに対して相対的に接近させる。そして、前記作動流体供給源から複数の前記ベルヌーイチャックの前記噴出孔へ作動流体を供給して、複数の前記ベルヌーイチャックの前記噴出孔から前記ハンド中心側へ作動流体を噴出することにより、前記ハンド本体の前記流入口へ作動流体を流入させつつ、前記ハンド本体の前記保持面とワークの表面との間において高速の作動流体を前記ハンド中心側へ流通させる。これによって、複数の前記ベルヌーイチャックにより前記ハンド本体の前記保持面とワークの表面と間にセンタリング力(中央揃え力)を伴った負圧を発生させて、前記保持ハンドによりワークを上方向から非接触で保持することができる。
ここで、前述のように、複数の前記ベルヌーイチャックにより前記ハンド本体の前記保持面とワークの表面と間にセンタリング力を伴った負圧を発生させているため、前記保持ハンドによりワークを上方向から非接触で保持している間、前記保持ハンドによるワークの拘束力を前記ハンド本体の前記保持面に対して平行な方向においても十分に発揮できる。
前記保持ハンドによりワークを上方向から非接触で保持した後に、前記移動部材を搬送方向へ移動させる。これによって、ワークを上方向から非接触で保持した状態の下で搬送方向へ搬送することができる。
本発明によれば、前記保持ハンドによりワークを上方向から非接触で保持している間、前記保持ハンドによるワークの拘束力を前記ハンド本体の前記保持面に対して平行な方向においても十分に発揮できるため、前記ハンド本体の前記保持面の周縁部にワークの端面が突当たり可能なストッパピンを配設することなく、ワークの搬送中における前記保持ハンドからのワークの脱落を防止することができる。よって、前記保持ハンドの小型化及び前記非接触搬送装置の構成の簡略化を図りつつ、ワークの搬送中におけるワークの損傷の発生を十分に抑制することができる。
本発明の実施形態について図1及び図2を参照して説明する。
ここで、図1は、本発明の実施形態に係る非接触搬送装置の断面図、図2は、本発明の実施形態に係る非接触搬送装置を保持ハンドの保持面からみた図である。
図1及び図2に示すように、本発明の実施形態に係る非接触搬送装置1は、例えばウェハ、ガラス基板等の円形板状のワークWを非接触で保持した状態の下で搬送方向へ搬送する装置であって、任意方向(搬送方向を含む)へ移動可能な移動部材としての多関節の搬送アーム3と、この搬送アーム3の先端部に設けられかつワークWを上方向から非接触で保持する保持ハンド5とを具備している。なお、非接触搬送装置1は任意方向へ移動可能な多関節の搬送アーム3の代わりに、搬送方向へ移動可能な別の移動部材を備えるようにしても構わない。
そして、保持ハンド5の具体的な構成は、次のようになる。
搬送アーム3の先端部には、ハンド本体7が設けられており、このハンド本体7は、一側に、ワークWを保持可能な円形の保持面9を有している。また、ハンド本体7は、中央側に、作動流体としてのエアが流入可能な円形の流入口11を有しており、ハンド本体7の流入口11は、大気開放されている。
ハンド本体7の保持面9おける流入口11の周辺には、ベルヌーイ効果を利用してハンド本体7の保持面9とワークWの表面と間に負圧を発生させる複数のベルヌーイチャック13が円周上に間隔を置いて設けられている。また、各ベルヌーイチャック13は、エアをハンド中心5c側へ噴出可能な噴出孔15をそれぞれ有してあって、各ベルヌーイチャック13の噴出孔15は、エアを供給するエアコンプレッサ又はブロワ等のエア供給源17にエア配管19を介してそれぞれ接続してある。ここで、各ベルヌーイチャック13の噴出孔15はハンド中心5c側をそれぞれ指向するようになっているが、各ベルヌーイチャック13の噴出孔15の少なくとも出口部分がハンド中心5c側をそれぞれ指向するようになっていれば構わなく、或いは、各ベルヌーイチャック13の噴出孔15からエアをハンド中心5c側へ噴出できるようであれば、特許文献1に示すように、各ベルヌーイチャック13の噴出孔15が段付形状になっていても構わない。
続いて、本発明の実施形態の作用及び効果について説明する。
搬送アーム3を適宜方向(ワークWに接近する方向)へ移動させて、保持ハンド5をワークWの上方に位置させる。次に、搬送アーム3を下方向へ移動させて、保持ハンド5を上方向からワークWに対して接近させる。そして、エア供給源17から複数のベルヌーイチャック13の噴出孔15へエアを供給して、複数のベルヌーイチャック13の噴出孔15からハンド中心5c側へエアを噴出することにより、ハンド本体7の流入口11へエアを流入させつつ、ハンド本体7の保持面9とワークWの表面との間において高速のエアをハンド中心5c側へ流通させる。これによって、複数のベルヌーイチャック13によりハンド本体7の保持面9とワークWの表面と間にセンタリング力(中央揃え力)を伴った負圧を発生させて、保持ハンド5によりワークWを上方向から非接触で保持することができる。なお、ワークWを非接触で保持した状態におけるハンド本体7の保持面9とワークWの表面との間は、ワークに作用する圧力とワークの重量がつりあうようなクリアランスになっている。
ここで、前述のように、複数のベルヌーイチャック13によりハンド本体7の保持面9とワークWの表面と間にセンタリング力を伴った負圧を発生させているため、保持ハンド5によりワークWを上方向から非接触で保持している間、保持ハンド5によるワークWの拘束力をハンド本体7の保持面9に対して平行な方向においても十分に発揮できる。
保持ハンド5によりワークWを上方向から非接触で保持した後に、搬送アーム3を上方向へ移動させて、ワークWを所定の搬送高さ位置まで持上げる。そして、搬送アーム3を搬送方向へ移動させる。これによって、ワークWを上方向から非接触で保持した状態の下で搬送方向へ搬送することができる。
従って、本発明の実施形態によれば、保持ハンド5によりワークWを上方向から非接触で保持している間、保持ハンド5によるワークWの拘束力をハンド本体7の保持面9に対して平行な方向においても十分に発揮できるため、ハンド本体7の保持面9の周縁部にワークWの端面が突当たり可能なストッパピンを配設することなく、ワークWの搬送中における保持ハンド5からのワークWの脱落を防止することができる。よって、保持ハンド5の小型化及び非接触搬送装置1の構成の簡略化を図りつつ、ワークWの搬送中におけるワークWの損傷の発生を十分に抑制することができる。
(第1変形例)
本発明の実施形態の第1変形例について図3を参照して説明する。
本発明の実施形態の第1変形例について図3を参照して説明する。
ここで、図3は、本発明の実施形態の第1変形例に係る非接触搬送装置を保持ハンドの保持面からみた図である。
図3に示すように、本発明の実施形態の第1変形例に係る非接触搬送装置1Aは、本発明の実施形態に係る非接触搬送装置1と略同じ構成を有しており、次の点においてのみ本発明の実施形態に係る非接触搬送装置1の構成と異なる。
即ち、本発明の実施形態に係る非接触搬送装置1にあっては、ハンド本体7の保持面9に複数のベルヌーイチャック13が1つの円周上に間隔を置いて設けられている。これに対して、本発明の実施形態の第1変形例に係る非接触搬送装置1Aにあっては、ハンド本体7の保持面9に複数のベルヌーイチャック13が径の異なる複数の同心円上に間隔を置いて設けられている。
なお、本発明の実施形態の第1変形例においても、本発明の実施形態と同様の作用及び効果を奏する。
(第2変形例)
本発明の実施形態の第2変形例について図4を参照して説明する。
本発明の実施形態の第2変形例について図4を参照して説明する。
ここで、図4は、本発明の実施形態の第2変形例に係る非接触搬送装置の断面図である。
図4に示すように、本発明の実施形態の第2変形例に係る非接触搬送装置1Bは、本発明の実施形態に係る非接触搬送装置1と略同じ構成を有しており、次の点においてのみ本発明の実施形態に係る非接触搬送装置1の構成と異なる。
即ち、本発明の実施形態に係る非接触搬送装置1にあっては、ハンド本体7の流入口11が大気開放されている。これに対して、本発明の実施形態の第2変形例に係る非接触搬送装置1Bにあっては、ハンド本体7の流入口11がエアを吸引する真空ポンプ又はエジェクタ等のエア吸引源21にエア配管23を介して接続してある。
そして、本発明の実施形態の第2変形例においては、本発明の実施形態と同様の作用及び効果を奏する他に、次のような特別な作用を奏する。
即ち、エア供給源17から複数のベルヌーイチャック13の噴出孔15へエアを供給して、複数のベルヌーイチャック13の噴出孔15からハンド中心5c側へエアを噴出する際に、ハンド本体7の流入口11からエア吸引源21へエアを吸引する。これによって、ハンド本体7の保持面9の中央側におけるエアのよどみを抑制しつつ、保持ハンド5によりワークWを上方向から非接触で保持することができる。
(第3変形例)
本発明の実施形態の第3変形例について図5を参照して説明する。
本発明の実施形態の第3変形例について図5を参照して説明する。
ここで、図5は、本発明の実施形態の第3変形例に係る非接触搬送装置を保持ハンドの保持面からみた図である。
図5に示すように、本発明の実施形態の第3変形例に係る非接触搬送装置1Cは、本発明の実施形態に係る非接触搬送装置1と略同じ構成を有しており、次の点においてのみ本発明の実施形態に係る非接触搬送装置1の構成と異なる。
即ち、本発明の実施形態に係る非接触搬送装置1にあっては、ハンド本体7の保持面9は突起のない平面になっている。これに対して、本発明の実施形態の第3変形例に係る非接触搬送装置1Cにあっては、ハンド本体7の保持面9にハンド中心5c側へ延びた複数の線状突起25が間隔を置いて形成されている。ここで、各線状突起25のハンド本体7の保持面9に対する突出長さは、保持ハンド5によりワークWを上方向から非接触で保持した状態におけるハンド本体7の保持面9とワークWの表面とのクリアランスよりも小さくなっている
そして、本発明の実施形態の第3変形例においては、本発明の実施形態と同様の作用及び効果を奏する他に、次のような特別な作用を奏する。
そして、本発明の実施形態の第3変形例においては、本発明の実施形態と同様の作用及び効果を奏する他に、次のような特別な作用を奏する。
即ち、ハンド本体7の保持面9にハンド中心5c側へ延びた複数の線状突起25が間隔を置いて形成されているため、ハンド本体7の流入口11へエアを流入させることを促進して、ハンド本体7の保持面9の中央側におけるエアのよどみを抑制することができる。
なお、本発明の実施形態の第3変形例に係る非接触搬送装置1Cにおいても、本発明の実施形態の第2変形例に係る非接触搬送装置1Bと同様に、ハンド本体7の流入口11をエア吸引源21に接続しても構わない。
(第4変形例)
本発明の実施形態の第4変形例について図6を参照して説明する。
本発明の実施形態の第4変形例について図6を参照して説明する。
ここで、図6は、本発明の実施形態の第4変形例に係る非接触搬送装置の断面図である。
図6に示すように、本発明の実施形態の第4変形例に係る非接触搬送装置1Dは、本発明の実施形態に係る非接触搬送装置1と略同じ構成を有しており、次の点においてのみ本発明の実施形態に係る非接触搬送装置1の構成と異なる。
即ち、本発明の実施形態に係る非接触搬送装置1にあっては、各ベルヌーイチャック13の噴出孔15がエア供給源17にエア配管19を介してそれぞれ接続してある。これに対して、本発明の実施形態の第4変形例に係る非接触搬送装置1Dにあっては、ハンド本体7の内部にエアを収容可能な環状のチャンバー27が形成され、このチャンバー27がエア供給源17にエア配管29を介して接続してあって、各ベルヌーイチャック13の噴出孔15がチャンバー27にそれぞれ連通してある。
そして、本発明の実施形態の第4変形例においては、本発明の実施形態と同様の作用及び効果を奏する他に、次のような特別な作用を奏する。
即ち、チャンバー27がエア供給源17にエア配管29を介して接続してあって、各ベルヌーイチャック13の噴出孔15がチャンバー27にそれぞれ連通しているため、ベルヌーイチャック13の個数が増えても、エア供給源17から各ベルヌーイチャック13の噴出孔15までのエアの圧力損失にバラツキがなくなる。
なお、本発明の実施形態の第4変形例に係る非接触搬送装置1Dにおいても、本発明の実施形態の第2変形例に係る非接触搬送装置1Bと同様に、ハンド本体7の流入口11をエア吸引源21に接続しても構わなく、本発明の実施形態の第3変形例に係る非接触搬送装置1Cと同様に、ハンド本体7の保持面9にハンド中心5c側へ延びた複数の線状突起25を間隔を置いて形成しても構わない。
本発明は、前述の実施形態の説明に限られるものではなく、例えば、作動流体としてエアの代わりに水又は各種処理液等を用いても構わない。また、本発明の実施形態に係る非接触搬送装置1の主要部の構成を、板状のワークを下方向から非接触で保持した状態の下で搬送方向へ搬送する別タイプの非接触搬送装置に適用したり、ベルヌーイチャック13の代わりに電磁チャックを用いたりしても構わない。なお、本発明に包含される権利範囲は、これらの実施形態に限定されないものである。
1 非接触搬送装置
1A 非接触搬送装置
1B 非接触搬送装置
1C 非接触搬送装置
1D 非接触搬送装置
3 搬送アーム
5 保持ハンド
5c ハンド中心
7 ハンド本体
9 保持面
11 流入口
13 ベルヌーイチャック
15 噴出孔
17 エア供給源
21 エア吸引源
25 線状突起
27 チャンバー
1A 非接触搬送装置
1B 非接触搬送装置
1C 非接触搬送装置
1D 非接触搬送装置
3 搬送アーム
5 保持ハンド
5c ハンド中心
7 ハンド本体
9 保持面
11 流入口
13 ベルヌーイチャック
15 噴出孔
17 エア供給源
21 エア吸引源
25 線状突起
27 チャンバー
Claims (5)
- 板状のワークを上方向から非接触で保持した状態の下で搬送方向へ搬送する非接触搬送装置において、
搬送方向へ移動可能な移動部材と、該移動部材に設けられかつワークを上方向から非接触で保持する保持ハンドとを具備し、
前記保持ハンドは、
前記移動部材に設けられ、一側にワークを保持可能な保持面を有し、中央側に作動流体が流入可能な流入口を有したハンド本体と、
前記ハンド本体の前記保持面における前記流入口の周辺に配設され、作動流体をハンド中心側へ噴出可能かつ作動流体を供給する作動流体供給源に接続した噴出孔をそれぞれ有し、ベルヌーイ効果を利用して前記ハンド本体の前記保持面とワークの表面と間に負圧を発生させる複数のベルヌーイチャックと備えたことを特徴とする非接触搬送装置。 - 各ベルヌーイチャックの前記噴出孔の少なくとも出口部分が前記ハンド中心側をそれぞれ指向するようになっていることを特徴とする請求項1に記載の非接触搬送装置。
- 前記ハンド本体の前記流入口が作動流体を吸引する作動流体吸引源に接続してあることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の非接触搬送装置。
- 前記ハンド本体の前記保持面に前記ハンド中心側へ延びた複数の線状突起が形成され、各線状突起の前記ハンド本体の前記保持面に対する突出長さは、前記保持ハンドによりワークを上方向から非接触で保持した状態における前記ハンド本体の前記保持面とワークの表面とのクリアランスよりも小さくなっていることを特徴とする請求項1から請求項3のうちのいずれかの請求項に記載の非接触搬送装置。
- 前記保持ハンドの内部に作動流体を収容可能かつ前記作動流体供給源に接続したチャンバーが形成され、各ベルヌーイチャックの前記噴出孔が前記チャンバーにそれぞれ連通してあることを特徴とする請求項1から請求項4のうちのいずれかの請求項に記載の非接触搬送装置。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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