JPS6216945A - 流体によつて板状体を無接触状態で懸垂浮遊搬送させる方法 - Google Patents
流体によつて板状体を無接触状態で懸垂浮遊搬送させる方法Info
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- JPS6216945A JPS6216945A JP60156817A JP15681785A JPS6216945A JP S6216945 A JPS6216945 A JP S6216945A JP 60156817 A JP60156817 A JP 60156817A JP 15681785 A JP15681785 A JP 15681785A JP S6216945 A JPS6216945 A JP S6216945A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は板状体特にその表面における微小な場または汚
染の発生あるいは厘埃の付着も許されないような板状体
たとえばシリコンウェーファー、フロッピーディスク等
を無接触状態で流体中たとえば空中にＳ垂浮遊ぜせ一更
に懸垂の状態で搬送させる、流体によって板状体を無接
触状態で懸垂浮遊搬送させる方法に関するものである。
染の発生あるいは厘埃の付着も許されないような板状体
たとえばシリコンウェーファー、フロッピーディスク等
を無接触状態で流体中たとえば空中にＳ垂浮遊ぜせ一更
に懸垂の状態で搬送させる、流体によって板状体を無接
触状態で懸垂浮遊搬送させる方法に関するものである。
従来の技術
本願の発明者は昭和６０年特許Ｍ第９５１４３号「流体
によって板状体を無接触状態で懸垂浮遊さ塗る方法」に
おいて第５〜６０に例示する如く吐出管１の開口部２突
端に該吐出Ｓ内の流体３の流れ方向にほぼ世直ｌこ平坦
部４き連設し、該平坦部の周縁に環状の流体吸込口５を
設け、吐出”時１よ）流体３を流出させＺ流体を流体吸
込口５より吸込ませ、あるいは流体を第５図矢印図示と
逆方向ｖｃ訛すことにより周囲の流体と攪乱することな
く該平坦部４に近淡して板状体６を定距＊ｈに無接触状
、・心で懸垂浮遊させる方法を提案した。
によって板状体を無接触状態で懸垂浮遊さ塗る方法」に
おいて第５〜６０に例示する如く吐出管１の開口部２突
端に該吐出Ｓ内の流体３の流れ方向にほぼ世直ｌこ平坦
部４き連設し、該平坦部の周縁に環状の流体吸込口５を
設け、吐出”時１よ）流体３を流出させＺ流体を流体吸
込口５より吸込ませ、あるいは流体を第５図矢印図示と
逆方向ｖｃ訛すことにより周囲の流体と攪乱することな
く該平坦部４に近淡して板状体６を定距＊ｈに無接触状
、・心で懸垂浮遊させる方法を提案した。
発明が解決しようとする問題点
上記先願において板状体６全平坦部番の下面と定距離に
無接触状態で懸垂浮遊させ搬送する場合に流体の流動状
態、板状体の搬送速度の僅かな揺ぎによυ板状体が上下
方向に撮動して浮遊状態が不安定になり、また平坦部４
がごぐムか頑きあるい１は搬送の始めまたは停止の際の
慣注し′こより板状体６が滑り出し、吸込光体、吐出流
木の作用範囲より外れ、空中に浮遊し得す落下するおそ
れがあり、本装置自体を′ａ垂浮遊せしめた板状体とと
もに９００ 回転して平坦部４および板状体６を垂直
しあるいは反転して平坦部４の上方に板状体６を浮遊さ
せる場合に、懸垂浮遊している板状体が動揺することに
より平坦部番と板状体６との間の間隔りが変動し核部に
おいて流体３が一様に流れなくなり空隙内の静圧が変動
し板状体６が平坦部４と接触するおそれが生ずる。
無接触状態で懸垂浮遊させ搬送する場合に流体の流動状
態、板状体の搬送速度の僅かな揺ぎによυ板状体が上下
方向に撮動して浮遊状態が不安定になり、また平坦部４
がごぐムか頑きあるい１は搬送の始めまたは停止の際の
慣注し′こより板状体６が滑り出し、吸込光体、吐出流
木の作用範囲より外れ、空中に浮遊し得す落下するおそ
れがあり、本装置自体を′ａ垂浮遊せしめた板状体とと
もに９００ 回転して平坦部４および板状体６を垂直
しあるいは反転して平坦部４の上方に板状体６を浮遊さ
せる場合に、懸垂浮遊している板状体が動揺することに
より平坦部番と板状体６との間の間隔りが変動し核部に
おいて流体３が一様に流れなくなり空隙内の静圧が変動
し板状体６が平坦部４と接触するおそれが生ずる。
問題点全解決するための手段
本発明は上記の欠点勿除去し、浮遊搬送時ＶＣおける板
状体の不安定な上下退動を防止し、板状体６を平坦部４
に近接した無接触状態で安定して懸垂浮遊搬送させ、あ
るいは水平状態から直立させある＾は反転させて搬送す
ることを目的とするもので、この目的は本発明により上
記先願における平坦部番の下面に放射状に、またはカー
ブした放射状に溝を穿設することにより達成される。
状体の不安定な上下退動を防止し、板状体６を平坦部４
に近接した無接触状態で安定して懸垂浮遊搬送させ、あ
るいは水平状態から直立させある＾は反転させて搬送す
ることを目的とするもので、この目的は本発明により上
記先願における平坦部番の下面に放射状に、またはカー
ブした放射状に溝を穿設することにより達成される。
以下央絢例を図面について詳細に説明する。
実施例１
第１図および第２図１こ示す如く、断面円形の吐出管ユ
の開口部２の周縁に該吐出管内の空気３の流れ方向にほ
ぼ垂直に平坦部４を連設し、該平坦部４の下面に開口部
２から平坦部４０周縁に亘）放射状に多数の表９．９．
９・・・を設け、該吐出′＃１の下方部外周に断面円環
状の吸込管〒を一体に設けて吸込口５を形成し、該吸込
管フの下端外縁は平坦部番より数Ｕ乃至十数ＲＨ橿度延
長してストッパー８を形成し、吐出管１は送風機の吐出
口（図示せず）に、吸込管γは送に機の吸込口（図示せ
ず）に夫々連結する。
の開口部２の周縁に該吐出管内の空気３の流れ方向にほ
ぼ垂直に平坦部４を連設し、該平坦部４の下面に開口部
２から平坦部４０周縁に亘）放射状に多数の表９．９．
９・・・を設け、該吐出′＃１の下方部外周に断面円環
状の吸込管〒を一体に設けて吸込口５を形成し、該吸込
管フの下端外縁は平坦部番より数Ｕ乃至十数ＲＨ橿度延
長してストッパー８を形成し、吐出管１は送風機の吐出
口（図示せず）に、吸込管γは送に機の吸込口（図示せ
ず）に夫々連結する。
吐出−ｇ ｌの平坦部４Ｖｃ板状体６を近づけ吐出管１
より空気３を吐出すＡとともに吸込Ｉｆ７より空気を吸
込むと、平坦部４の下面に穿設した４９゜９．９・Φ・
の働きによ如平坦部４の下面と板状体８の上面との間隙
を放射状にＯＬれる空気は整流され平坦部４の全周に向
って均等に流れ、かつ流れの不安定あるいは乱流渦の発
生を防止し、板状体６は上下に振動することなく安定し
た状態で開口部２および平坦部番に接触することなくＺ
部と一定の距ａｈを保って空中に安定に浮遊し、装置全
体を移動することにより板状体６を共ｉＣ搬送すること
ができ、また装置全体を板状体６とともに９０’ 回
転して平坦部４および板状体６を垂直にしあるいは反転
して平坦部番の上方に板状体６を浮遊させることもでき
る。なお空気の流れ方向を第１図矢印と逆方向にしても
全く同様に実施することができる。
より空気３を吐出すＡとともに吸込Ｉｆ７より空気を吸
込むと、平坦部４の下面に穿設した４９゜９．９・Φ・
の働きによ如平坦部４の下面と板状体８の上面との間隙
を放射状にＯＬれる空気は整流され平坦部４の全周に向
って均等に流れ、かつ流れの不安定あるいは乱流渦の発
生を防止し、板状体６は上下に振動することなく安定し
た状態で開口部２および平坦部番に接触することなくＺ
部と一定の距ａｈを保って空中に安定に浮遊し、装置全
体を移動することにより板状体６を共ｉＣ搬送すること
ができ、また装置全体を板状体６とともに９０’ 回
転して平坦部４および板状体６を垂直にしあるいは反転
して平坦部番の上方に板状体６を浮遊させることもでき
る。なお空気の流れ方向を第１図矢印と逆方向にしても
全く同様に実施することができる。
実施例２
第３図および第４図に示す如く吸込管プの開口部５０周
縁に、該吸込・管内の流体５の流れ方向にほぼ垂直に平
坦部４を連投し、該平坦部４の下面に開口Ｍ５から平坦
部番の周縁に亘り放射状に且創一 つ平坦部番の半径方向に対し傾射湾曲して多数の＄９８
９＃ ９・・拳を穿設し、平坦部４０周、濠近くには好
ましくは溝９，９．９・・Ｑに連設して適Ｘ数の吐出孔
２，２，２．２を穿設し、吸込管フと平坦部４とを包囲
して吐出ｆ１を形成し、吐出ｆ１の外壁下端部は平坦４
４より故謂乃至土数目糧度延長してストッパー８を形成
し、吐出ｆ１は送風機の吐出口（図示せず）に、吸込管
フは送に機の吸込口（図示せず）に夫々連結する。
縁に、該吸込・管内の流体５の流れ方向にほぼ垂直に平
坦部４を連投し、該平坦部４の下面に開口Ｍ５から平坦
部番の周縁に亘り放射状に且創一 つ平坦部番の半径方向に対し傾射湾曲して多数の＄９８
９＃ ９・・拳を穿設し、平坦部４０周、濠近くには好
ましくは溝９，９．９・・Ｑに連設して適Ｘ数の吐出孔
２，２，２．２を穿設し、吸込管フと平坦部４とを包囲
して吐出ｆ１を形成し、吐出ｆ１の外壁下端部は平坦４
４より故謂乃至土数目糧度延長してストッパー８を形成
し、吐出ｆ１は送風機の吐出口（図示せず）に、吸込管
フは送に機の吸込口（図示せず）に夫々連結する。
フより吸込むと、板状体６は平坦部シに接触することな
く核部と一定の距離りを保って空中に上下動することな
く安定に浮遊し、かつ放射湾曲状溝９．９，９・・・に
より旋回しながら流れる空気によって板状体は自転する
ため振動することなく平坦部番との相対位置を安定に保
持し、装置全体を移動することにより板状体を共に搬送
することができ、また装置全体を板状体６とともに９０
゜回転して平坦部番および板状体６を垂直にしあるいは
反転して平坦部４の上方に板状体６を浮遊させること本
できる。なお空気３の流れ方向を第３図矢印と逆方向に
して本全く同様に実施することができる。
く核部と一定の距離りを保って空中に上下動することな
く安定に浮遊し、かつ放射湾曲状溝９．９，９・・・に
より旋回しながら流れる空気によって板状体は自転する
ため振動することなく平坦部番との相対位置を安定に保
持し、装置全体を移動することにより板状体を共に搬送
することができ、また装置全体を板状体６とともに９０
゜回転して平坦部番および板状体６を垂直にしあるいは
反転して平坦部４の上方に板状体６を浮遊させること本
できる。なお空気３の流れ方向を第３図矢印と逆方向に
して本全く同様に実施することができる。
以上実施例１．２の吐出管１．吸込管フ、平坦部番、ス
トッパー８の断面形状は何れも円形の場合について説明
したが、楕円形、多角形その他任意の形状にしても全く
同様に目的を達することができる。
トッパー８の断面形状は何れも円形の場合について説明
したが、楕円形、多角形その他任意の形状にしても全く
同様に目的を達することができる。
発明の作用
第１図、第２図に示す装置において
Ｗ 板状体６の電量 ２ＱｇＰｊ 吐出流体
３のジェット圧 １ｏ ｇ／ ｏｆＰ８ 吸込流体の吸
込圧 −１０ｇ／ｃ１１ＰＤ 平坦部４と板状体
６と の間に生ずる負圧 −５０ｆｆｆｆＡｑＡＤ 開
口部２の断ｒＭ績 ２．８４ｄＡｐ 平坦部４
の表面積 １７．６ｄＮＱ 縛９の本数
４０本Ａｃ ａ９ｃｉり断面；ｌ
０．５ａｘの条件で板状体６を空中に懸毒浮遊さ
せたところ隔 板状体６はその上面と平坦部４の底面との間離を０．９
Ｈに保って上下振動することなく安定に懸垂浮遊した。
３のジェット圧 １ｏ ｇ／ ｏｆＰ８ 吸込流体の吸
込圧 −１０ｇ／ｃ１１ＰＤ 平坦部４と板状体
６と の間に生ずる負圧 −５０ｆｆｆｆＡｑＡＤ 開
口部２の断ｒＭ績 ２．８４ｄＡｐ 平坦部４
の表面積 １７．６ｄＮＱ 縛９の本数
４０本Ａｃ ａ９ｃｉり断面；ｌ
０．５ａｘの条件で板状体６を空中に懸毒浮遊さ
せたところ隔 板状体６はその上面と平坦部４の底面との間離を０．９
Ｈに保って上下振動することなく安定に懸垂浮遊した。
発明の効果
ま
本発明は上述の如く吐出管内たは吸込管の開口部突端に
該吐出管または吸込管内の流体の流れ方向にほぼ垂直に
平坦部を連設して該平坦部の下面に放射状に溝を穿設し
、該平坦部の周縁に環状の流体吸入口または流体吐出口
を設け、吐出管より込 流体を流出させ、その流体を流体吸へ口より吸込ませ、
該平坦部に近接して板状体を定距離に８ｍ浮遊させるよ
うにしたので、平坦部下面に４ｔ−穿設しない場合に比
し平坦部下面と板状体上面との間隙に訃ける流体の流れ
が整流され減速流に４拘らずン尚の発生もなく均等ｖｃ
流れるので平坦部４下面と板状体６上ｉとの間隙におけ
る空気の°静圧が変動することなく板状体の上下振動が
完全に防止され、夏にｒｓｅを平坦部４の下面にその半
径方向に対し傾斜湾曲し°Ｃ穿役するときは平坦部下面
と板状体上面との間隙における流体の旋回流によって浮
遊状態にある板状体が回転するためジャイロ作用により
更に板状体を安定に懸垂浮遊させ搬送することができ、
特にその表面における微小な傷または汚染の発生が許さ
れず素手あるいは把持具の接触ができないような、たと
えば半導体ウェーファー、磁気ディスク、鏡面体等の板
状体の展進工程、包装工程における搬送あるいは取扱い
に極めて有効な方法である。
該吐出管または吸込管内の流体の流れ方向にほぼ垂直に
平坦部を連設して該平坦部の下面に放射状に溝を穿設し
、該平坦部の周縁に環状の流体吸入口または流体吐出口
を設け、吐出管より込 流体を流出させ、その流体を流体吸へ口より吸込ませ、
該平坦部に近接して板状体を定距離に８ｍ浮遊させるよ
うにしたので、平坦部下面に４ｔ−穿設しない場合に比
し平坦部下面と板状体上面との間隙に訃ける流体の流れ
が整流され減速流に４拘らずン尚の発生もなく均等ｖｃ
流れるので平坦部４下面と板状体６上ｉとの間隙におけ
る空気の°静圧が変動することなく板状体の上下振動が
完全に防止され、夏にｒｓｅを平坦部４の下面にその半
径方向に対し傾斜湾曲し°Ｃ穿役するときは平坦部下面
と板状体上面との間隙における流体の旋回流によって浮
遊状態にある板状体が回転するためジャイロ作用により
更に板状体を安定に懸垂浮遊させ搬送することができ、
特にその表面における微小な傷または汚染の発生が許さ
れず素手あるいは把持具の接触ができないような、たと
えば半導体ウェーファー、磁気ディスク、鏡面体等の板
状体の展進工程、包装工程における搬送あるいは取扱い
に極めて有効な方法である。
他の実施態様
以上本発明の実施例においては流体３として空気を使用
し板状体を空気中に懸垂浮遊させ更に搬送する方法につ
いてのみ述べたが、空気以外の気体あるいは水その他の
液体中においても流体３として周囲の流体と同一のもの
あるいは類似性状のものを使用することにより全く同様
に実施し得るものである。また流体３が周囲の流体と同
一でない場合でも、たとえば流体３として洗浄液を使用
して板状体を洗浄しその後流体３として常温の空気また
は加熱空気を使用し板状体を乾燥する等の応用例を実施
することができる。
し板状体を空気中に懸垂浮遊させ更に搬送する方法につ
いてのみ述べたが、空気以外の気体あるいは水その他の
液体中においても流体３として周囲の流体と同一のもの
あるいは類似性状のものを使用することにより全く同様
に実施し得るものである。また流体３が周囲の流体と同
一でない場合でも、たとえば流体３として洗浄液を使用
して板状体を洗浄しその後流体３として常温の空気また
は加熱空気を使用し板状体を乾燥する等の応用例を実施
することができる。
第１図は本発明の一実施例を示す要部の垂直断面図、第
２図は第１図のＥ−ＢＭ断面図、第３図は本発明の他の
実施例を示す要部の垂＠断面図、第４図は第、３図のＣ
−ａ線断面図、第５図は先願発明の実施例を示す要部の
垂直断面図、第６図は第５図のＡ−ム線断面図である。 図中１は吐出官、２は吐出管ｌの開口部、３は流体、４
は平坦部、６は板状体、７は吸込ｇ１５茅ｌ凪 手続補正書（自発） 昭和６１年 ７月 １８日 昭和６０年特許願第１５６８１７号 ３、補正をする者 ４、代理人 〒８１１−２４ 福岡県粕屋郡篠栗町大字和田１０４３番地の５５、補正
の対象 明細書の欄 ６、補正の内容 明細書第５頁第１２〜１３行の「板状体８」を「板状体
６」と訂正します。
２図は第１図のＥ−ＢＭ断面図、第３図は本発明の他の
実施例を示す要部の垂＠断面図、第４図は第、３図のＣ
−ａ線断面図、第５図は先願発明の実施例を示す要部の
垂直断面図、第６図は第５図のＡ−ム線断面図である。 図中１は吐出官、２は吐出管ｌの開口部、３は流体、４
は平坦部、６は板状体、７は吸込ｇ１５茅ｌ凪 手続補正書（自発） 昭和６１年 ７月 １８日 昭和６０年特許願第１５６８１７号 ３、補正をする者 ４、代理人 〒８１１−２４ 福岡県粕屋郡篠栗町大字和田１０４３番地の５５、補正
の対象 明細書の欄 ６、補正の内容 明細書第５頁第１２〜１３行の「板状体８」を「板状体
６」と訂正します。
Claims (4)
- （１）吐出管の開口部突端に該吐出管内の流体の流れ方
向にほぼ垂直に平坦部を連設して該平坦部の下向に放射
状に溝を穿設し、該平坦部の周縁に環状の流体吸込口を
設け、吐出管より流体を流出させ、該流体を流体吸込口
より吸込ませることにより周囲の流体を擾乱することな
く該平坦部に近接して板状体を定距離に安定して懸垂浮
遊させることを特徴とする、流体によつて板状体を無接
触状態で懸垂浮遊搬送させる方法。 - （２）溝を平坦部の半径方向に対し傾斜して設けた特許
請求の範囲第１項記載の流体によつて板状体を無接触状
態で懸垂浮遊搬送させる方法。 - （３）吸込管の開口部突端に該吸込管内の流体の流れ方
向にほぼ垂直に平坦部を連設して該平坦部の下面に放射
状に溝を穿設し、該平坦部の周縁に環状の流体吐出口を
設け、吐出管より流体を流出させ、該流体を流体吸込口
より吸込ませることにより周囲の流体を擾乱することな
く該平坦部に近接して板状体を定距離に安定して懸垂浮
遊させることを特徴とする、流体によつて板状体を無接
触状態で懸垂浮遊搬送させる方法。 - （４）溝を平坦部の半径方向に対し傾斜して設けた特許
請求の範囲第３項記載の流体によつて板状体を無接触状
態で懸垂浮遊搬送させる方法。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60156817A JPH0632916B2 (ja) | 1985-07-15 | 1985-07-15 | 流体によつて板状体を無接触状態で懸垂浮遊搬送させる方法 |
| EP86303061A EP0201240B1 (en) | 1985-05-04 | 1986-04-23 | Apparatus for supporting and/or conveying a plate with fluid without physical contact |
| DE8686303061T DE3686781D1 (de) | 1985-05-04 | 1986-04-23 | Vorrichtung zum halten und/oder foerdern einer platte mittels eines fluids ohne koerperliche beruehrung. |
| US06/855,375 US4735449A (en) | 1985-05-04 | 1986-04-24 | Method of supporting and/or conveying a plate with fluid without physical contact |
| KR1019860003372A KR900009005B1 (ko) | 1985-05-04 | 1986-04-30 | 유체에 의하여 판상체(板狀體)를 무접촉상태로서 부유반송시키는 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60156817A JPH0632916B2 (ja) | 1985-07-15 | 1985-07-15 | 流体によつて板状体を無接触状態で懸垂浮遊搬送させる方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6216945A true JPS6216945A (ja) | 1987-01-26 |
| JPH0632916B2 JPH0632916B2 (ja) | 1994-05-02 |
Family
ID=15635983
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60156817A Expired - Lifetime JPH0632916B2 (ja) | 1985-05-04 | 1985-07-15 | 流体によつて板状体を無接触状態で懸垂浮遊搬送させる方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0632916B2 (ja) |
Cited By (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0192981A (ja) * | 1987-10-02 | 1989-04-12 | Hitachi Ltd | 低発塵円板組込ハンド |
| JPH08264626A (ja) * | 1994-04-28 | 1996-10-11 | Hitachi Ltd | 試料保持方法及び試料表面の流体処理方法並びにそれらの装置 |
| JPH11254369A (ja) * | 1998-03-06 | 1999-09-21 | Seibu Giken Co Ltd | 無接触搬送装置 |
| US6060178A (en) * | 1996-06-21 | 2000-05-09 | Cardinal Ig Company | Heat temperable transparent glass article |
| WO2005086225A1 (ja) * | 2004-03-03 | 2005-09-15 | Izumi Akiyama | 非接触保持装置および非接触保持搬送装置 |
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| JP2009032981A (ja) * | 2007-07-27 | 2009-02-12 | Ihi Corp | 非接触搬送装置 |
| WO2010108462A1 (de) | 2009-03-26 | 2010-09-30 | Jonas & Redmann Automationstechnik Gmbh | Bernoulli-greifervorrichtung mit mindestens einem bernoulli-greifer |
| KR101045029B1 (ko) | 2009-08-21 | 2011-07-01 | 주식회사 포틱스 | 솔라 셀 웨이퍼 픽커장치 |
| JPWO2015083613A1 (ja) * | 2013-12-03 | 2017-03-16 | 株式会社ハーモテック | 保持装置 |
| JP2018129451A (ja) * | 2017-02-10 | 2018-08-16 | 株式会社ディスコ | 加工装置及びウエーハの搬出方法 |
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| CN110785270A (zh) * | 2017-09-20 | 2020-02-11 | 哈莫技术股份有限公司 | 抽吸装置 |
| EP3782776A1 (en) * | 2019-08-19 | 2021-02-24 | Zhejiang University | Suction device |
Citations (2)
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