WO2005086225A1 - 非接触保持装置および非接触保持搬送装置 - Google Patents

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WO2005086225A1
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ejection
work
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Izumi Akiyama
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Izumi Akiyama
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    • Y10S414/141—Associated with semiconductor wafer handling includes means for gripping wafer

Definitions

  • Non-contact holding device and non-contact holding transfer device are non-contact holding transfer device
  • the present invention sprays a fluid such as air on a holding object including a peak, such as a semiconductor wafer or a glass plate for a PDP (plasma display panel), and holds the holding object in a non-contact manner.
  • the present invention relates to a non-contact holding device and a non-contact holding and conveying device capable of conveying an object to be held in a non-contact holding state.
  • this type of non-contact holding device has been used to transfer a work such as a silicon wafer or a semiconductor wafer to a next process in a manufacturing stage or to transfer dust or a work to the work in the same process.
  • Mechanical and direct holding has become extremely difficult to prevent damage or as workpieces become larger or thinner.
  • Patent Document 1 a non-contact holding device has been proposed in which a predetermined pressure of air or nitrogen gas is blown onto a work to hold the work in a non-contact manner by balancing positive pressure and negative pressure (eg, for example).
  • Patent Document 1 Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-64130
  • a jet flow of a fluid such as air blown from a jet port to a work
  • a swirling flow one non-contact holding device is required.
  • the workpiece rotates little by little with the swirling air flow and cannot be held stationary.
  • the direction of the swirling flow is, for example, clockwise (CW) and counterclockwise (CCW) as in the panel-type non-contact holding device A shown in FIG. It was necessary to arrange at least two non-contact holding devices CW and CCW different from each other on panel B so as to be adjacent to each other.
  • the present invention has been made in view of such circumstances, and has as its object to provide a low-noise, inexpensive non-contact holding device and a non-contact holding device that can hold a workpiece in a non-contact state while preventing rotation of the work.
  • An object of the present invention is to provide a contact holding and conveying device.
  • the invention according to claim 1 provides a main body having an ejection port for ejecting a fluid, an ejection recess having a side surface gradually expanding toward the ejection port, and a position of the body facing the side face of the ejection recess.
  • the supply path is integrally connected to the outer edge of the ejection port of the main body, opposes the opposing surface of the holding object facing the ejection port, and directs the flow of the fluid to the outside of the opposing surface of the holding object. And a flat end surface for guiding.
  • the side surface of the ejection recess is provided with a radial ventilation guide for guiding a flow of fluid ejected from the ejection port radially outward from a center of an inner bottom surface of the ejection recess in a centrifugal direction.
  • the invention according to claim 3 is characterized in that the fluid supply path includes an axial ventilation guide that guides the flow of the fluid discharged from the discharge port to the side surface of the ejection recess in the axial direction of the side surface of the ejection recess.
  • the invention according to claim 4 is the non-contact method according to any one of claims 13 to 13, wherein the fluid supply path has a fluid reservoir for storing a required amount of fluid in the middle thereof. Holding device It is.
  • the invention according to claim 5 is characterized in that the fluid supply passage has a plurality of fluid supply passages, and the fluid supply passages respectively communicate with a plurality of fluid supply ports formed in a radially outer peripheral surface of the main body.
  • Item 1 The non-contact holding device according to item 1, wherein the force is any one of item 4.
  • the discharge port is disposed in a plurality of positions symmetrically around the center of the inner bottom surface of the ejection recess, and the radial ventilation guide is formed from each of the ejection ports to the ejection port. 6.
  • the invention according to claim 7 is the invention according to claim 26, wherein the radial ventilation guide and the axial ventilation guide are formed by grooves or projections. It is a non-contact holding device.
  • the radial ventilation guide is configured such that the width gradually increases from each of the discharge ports toward the ejection port, while the depth gradually decreases so as to be close to the ejection port or the vicinity thereof.
  • the non-contact holding device is a divergent groove that is flush with a side surface of the periphery.
  • the invention according to claim 9 is the non-contact holding device according to any one of claims 118, wherein the main body is formed of quartz glass.
  • the invention according to claim 10 is the non-contact device according to any one of claims 11 to 19, wherein the object to be held is any one of a glass plate, a sheet, a semiconductor wafer, and a display panel. It is a contact holding device.
  • the resin includes a resin substrate, a resin sheet, and a resin film.
  • the invention according to claim 11 is a fluid storage tank that is disposed in the middle of an external fluid supply path connecting the fluid supply path of the main body to a fluid supply source and stores a required amount of fluid, 11.A non-contact holding device according to claim 1, further comprising: a fluid temperature control device for controlling the temperature of the fluid stored in the storage tank. is there
  • the invention according to claim 12 is characterized in that the gripper is provided on the main body and is capable of being gripped, and the stopper is provided on the main body and regulates the outward displacement of the workpiece to the outer peripheral surface. With A non-contact holding device.
  • the invention according to claim 13 is the non-contact holding device according to claim 12, wherein the gripper is configured to be detachable from a movable movable body.
  • the invention according to claim 14 provides a panel on which a plurality of the non-contact holding devices according to any one of claims 11 to 11 are arranged, and the panel can be reversibly moved in the horizontal direction.
  • a non-contact holding / transporting device characterized by comprising a moving portion for supporting and a transportable transport device having the moving portion.
  • the fluid sprayed on the holding object such as the work is not a swirling flow but a radiant flow, even a single non-contact holding device holds the work in a non-contact state in a stationary state without rotating the work. can do. Therefore, it is possible to save the number of non-contact holding devices themselves and reduce stress and vibration of the holding object.
  • FIG. 1 is a cross-sectional view of a cut portion taken along line I-I of FIG. 2.
  • FIG. 2 is an external overhead view of the non-contact holding device according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 3 is an external elevation view of the non-contact holding device shown in FIG. 2.
  • FIG. 4 is a cross-sectional view of a section taken along line IV—IV in FIG. 1.
  • FIG. 5 is a bottom view of the non-contact holding device shown in FIG. 1, FIG. 2, etc.
  • FIG. 6 is a bottom view of another example of the radial ventilation guide according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 7 is a longitudinal sectional view of a first modification of the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 8 is a longitudinal sectional view of a second modification of the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 9 is a longitudinal sectional view of a third modified example of the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 10 is a longitudinal sectional view of a fourth modification of the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 11 is a longitudinal sectional view of a fifth modification of the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 12 is a perspective view of a hand-type non-contact holding device according to a second embodiment of the present invention.
  • FIG. 13 is a plan view of the hand-type non-contact holding device shown in FIG.
  • FIG. 14 is a plan view of a modification of the hand-type non-contact holding device shown in FIG.
  • FIG. 15 is a front view of a non-contact tweezer according to a third embodiment of the present invention.
  • FIG. 16 is a side view of a non-contact holding device according to a fourth embodiment of the present invention.
  • FIG. 17 is a plan view of the panel-type non-contact holding / transporting device shown in FIG.
  • FIG. 18 is a plan view of a conventional panel-type non-contact holding device.
  • FIG. 1 is a longitudinal sectional view of a cut portion along the line I-I of FIG. 2
  • FIG. 2 is an overhead view of the non-contact holding device according to the first embodiment of the present invention
  • the non-contact holding device 1 is made of hard glass such as quartz glass, metal such as aluminum and stainless steel (SUS), ceramics such as alumina, synthetic resin, and the like.
  • an ejection recess 3 having a required depth, for example, a truncated cone (or truncated polygonal pyramid) is formed.
  • the ejection concave portion 3 is opened at one end side facing the inner bottom surface 3a as, for example, a circular ejection port 3b, and the side peripheral surface (side surface) of the ejection concave portion 3 is moved from the inner bottom surface 3a to the ejection port 3b.
  • a tapered surface 3c that gradually expands is formed by a curved surface slightly bulging outward.
  • the tapered surface 3c may be formed on a curved surface of the inner surface of a hanging bell, a cup, or the like, or may be formed on a linear tapered surface.
  • the main body 2 has its outer peripheral edge on the side of the jet port 3b integrally connected to the flat end face 4.
  • the flat end surface 4 faces an opposing surface that faces a workpiece 5 such as a silicon wafer or a semiconductor wafer, which is an example of an object to be held, in a non-contact state with a required gap.
  • a workpiece 5 such as a silicon wafer or a semiconductor wafer, which is an example of an object to be held, in a non-contact state with a required gap.
  • the holding object includes a glass plate (quartz plate) for LCD (liquid crystal) or PDP (plasma display 'panel). ), Including precision parts such as automobile parts, medical containers, etc., for which direct contact by hand is restricted.
  • PDP (Rasma.Teisufray) PDP is a lath substrate, resin substrate et
  • VDF Fluorescent display tube LED (Emission diode FED (Field emission ⁇ spray DLPCDigital Light
  • the body 2 has, for example, a pair of left and right fluid supply ports 6, 6 formed in the lower outer surface thereof, and has two fluid supply paths 7, 7 communicating with the fluid supply ports 6, 6. 2 is formed inside.
  • the fluid supply paths 7, 7 are concentrically and axially formed in the central axis of the main body 2 in an annular flow path 7a (see FIG. 4), and an upper end of the annular flow path 7a in FIG.
  • the upper and lower oblique passages 7b and 7b communicating with the pair of left and right fluid supply ports 6 and 6, respectively, and the lower annular passage 7c communicating with the lower end of the annular passage 7a are integrally connected to each other. It is configured.
  • These fluid supply paths 7 and 7 are formed integrally with the fluid supply ports 6 and 6 via a connector (not shown) so as to have a diameter smaller than the diameter of the air supply hose H forming an external fluid supply path.
  • the pressure of the fluid such as air or nitrogen gas supplied from the air supply hose H to the fluid supply ports 6 and 6 can be increased by the fluid supply paths 7 and 7.
  • An air compressor device as an example of a fluid supply source is connected to the air supply hose H via an air tank as an example of a fluid storage tank (not shown).
  • a predetermined amount of air is stored in the air tank from the air compressor device and supplied to the fluid supply ports 6 and 6 of the non-contact holding device 1 while storing the air in a predetermined amount.
  • the air tank is provided with a temperature control device for controlling the temperature of the air stored in the air tank, and the air supplied to the non-contact holding device 1 is stored in the air tank.
  • the temperature of the air can be appropriately controlled to a required temperature by the temperature control device.
  • a temperature control device for example, a heat pump type refrigeration cycle device may be used.
  • the temperature of the air blown from the non-contact holding device 1 to the work 5 can be controlled to a temperature at which damage such as condensation or spots on the work 5 can be prevented.
  • the annular flow path 7a is defined by a pair of upper and lower partition walls 8, 8 in the figure as left and right semicircular flow paths in the figure. These partition walls 8, 8 are formed over the entire length of the annular flow path 7a and the lower annular flow path 7c in the axial direction, and the air supplied to the annular flow path 7a from the pair of left and right fluid supply ports 6, 6, respectively is provided. This is defined to prevent a fluid such as nitrogen gas from joining together in the annular flow path 7a to generate a swirling flow.
  • the annular flow path 7a is formed with a plurality of axial ventilation guide grooves 9, 9, 9, ..., which are axial ventilation guides, for example, on its inner peripheral surface at circumferentially symmetric positions. ing. These axial ventilation guide grooves 9, 9, ... are formed over the entire axial length of a shaft portion that connects the annular flow path 7a and the lower annular flow path 7c in the axial direction.
  • the axial ventilation guide grooves 9, 9,... May have a rectangular cross section in the axial direction of the annular flow path 7a and the lower annular flow path 7c, and may have a triangular, V-shaped, polygonal, or arc shape. Further, a convex portion such as a ridge projecting inward of these flow paths 7a and 7c may be used.
  • the cross-sectional shape of this projection may be triangular, V-shaped, polygonal, or arc-shaped.
  • the ejection recess 3 is formed by, for example, forming a plurality of circular ejection ports 10, 10,... ing.
  • Each discharge port 10 discharges a fluid such as air in the axial direction toward the tapered surface 3c at a position facing the tapered surface 3c on the inner bottom surface 3a of the ejection concave portion 3, and It is formed so as to blow air in the axial direction along the surface 3c.
  • each of the discharge ports 10 communicates integrally with the lower annular flow path 7c, and the lower annular flow path 7c
  • the upper end in FIG. 1 communicates integrally with the lower end of the annular flow path 7a.
  • the ejection recess 3 communicates with each of the outlets 10 on its tapered surface 3c, and has a radial ventilation guide groove having a width substantially equal to the diameter of each of the outlets 10 and having a required depth. 11 are formed respectively. These radial ventilation guide grooves 11 are formed radially outward from the center of the inner bottom surface 3a in the centrifugal direction, and the air discharged from each discharge port 10 adheres to the tapered surface 3c of the ejection recess 3 so as to extend in the axial direction. The air is ventilated radially.
  • these radial ventilation guide grooves 11 may be replaced with divergent grooves 12 that gradually expand in a divergent shape from the discharge ports 10 to the ejection ports 3b, as shown in FIG.
  • the number of the discharge ports 10 is not limited to eight as shown in FIGS. 5 and 6, but may be 2, 3, 4, 5, 6, 7, 9, 10 or may be 11 or more.
  • the discharge port 10 may have an annular shape in which the plurality of discharge ports 10 are integrally connected in the circumferential direction of the inner bottom surface 3a.
  • Each divergent groove 12 gradually decreases its groove depth from the discharge port 10 side to the ejection port 3b side, and has a depth of zero at the ejection port 3b or in the vicinity thereof, that is, the adjacent divergent groove 12
  • the divergent grooves 12 are formed so as to be substantially flush with the tapered surface 3c of the gap between the divergent grooves 12.
  • These divergent grooves 12 are also provided radially from the center of the inner bottom surface 3a of the ejection recess 3 toward the centrifugal direction.
  • the non-contact holding device 1 is configured as described above, when a fluid such as air of a predetermined pressure is supplied to the pair of left and right fluid supply ports 6, 6, the pressure is increased through the respective upper oblique paths 7b. While flowing into the upper end of the annular flow path 7a, these two airs are regulated by the partition walls 8 and 8 so as not to join. Further, the air is guided by the axial ventilation guide grooves 9 of each semicircular annular flow path 7a and flows down in the annular flow path 7a in the axial direction. Is discharged in the axial direction of the main body 2 toward the tapered surface 3c of the ejection concave portion 3.
  • the radial ventilation guide groove 11 is formed in the tapered surface 3c, the air discharged toward the tapered surface 3c adheres to the tapered surface 3c due to the viscosity thereof, and the air is discharged radially. The air is guided by the ventilation guide groove 11 and is blown in the axial direction toward the ejection port 3b.
  • the air of a predetermined pressure in the ejection concave portion 3 flows in the axial direction while being attached to the tapered surface 3c due to its viscosity, and emits a radial flow from the ejection port 3b to the outside as indicated by an arrow.
  • the non-contact holding device 1 when the work 5 is mechanically held by a chuck or the like or when the work 5 is directly sucked and held by the suction pad, indentation or mechanical damage generated on the work 5 is prevented. can do.
  • the work 5 can be held in a non-contact state in a stationary state without rotating the work 5 since the work 5 is blown with a radiant flow of air and not a swirling flow. . For this reason, it is necessary to improve the positioning accuracy when the work 5 is transported to another place while being held in a non-contact manner by the non-contact holding device 1 and is placed at a predetermined position, as compared with the case where the work 5 rotates. Power S can.
  • the work 5 can be held in a non-contact state in a stationary state by one non-contact holding device 1. It is not necessary to stop the rotation of the work 5 by arranging at least two units side by side. As a result, the number of non-contact holding devices 1 to be installed can be reduced, and noise such as wind noise due to airflow collisions and cancellation when two swirling flow type non-contact holding devices are installed side by side. In addition to this, it is possible to reduce the supply flow rate or pressure of the air, and to reduce the power cost of an air compressor device (not shown) that supplies air via the air supply hose 11.
  • the work 5 is held by one non-contact holding device 1. Since it can be held in a non-contact state in a stationary state, it is possible to reduce the stress and vibration generated in the work 5 by spraying two or more swirling flows having different swirling directions on the work 5 as in the above-described conventional example. Thereby, the soundness of the work 5 can be improved and the noise can be further reduced.
  • the annular channels 7a are divided into semicircles by the partition walls 8, 8, so that the air supplied from the pair of left and right fluid supply ports 6, 6 can be separated from each other. It is possible to prevent the swirling flow from being merged in the annular flow path 7a and to prevent the air flowing through each semicircular annular flow path 7a from flowing along the axial ventilation guide, which is an axial ventilation guide.
  • the groove 9 guides the air to flow in the axial direction, and forcibly regulates the air so that no swirling flow occurs.
  • the outer peripheral edge of the ejection port 3b is formed on the flat end face 4, it is possible to improve the escape (ventilation) of the radiation flow ejected from the ejection port 3b to the work 5 side and ventilating outward. In addition to reducing the waste of air, even if the work 5 collides with the flat end face 4 for some reason, the damage can be reduced.
  • the non-contact holding device 1 since the plurality of discharge ports 10 are arranged at symmetrical positions around the central axis of the main body 2, the radiation flow rate of the air blown from the ejection port 3b to the workpiece 5 or The pressure can be distributed almost uniformly in the circumferential direction of the ejection port 3b.
  • the positive and negative pressure regions P , M is larger than the area on the opposite side, so that the work 5 tilts and moves so as to coincide with the center of the jet port 3b by the movement moment due to the tilt.
  • the main body 2 is formed of quartz glass, no contaminant gas is emitted from the quartz glass or a very small amount thereof, so that contamination of semiconductor wafers, silicon wafers and the like cannot be prevented. Can be reduced.
  • the air hose H is connected to an air supply source such as an air compressor through an air tank (not shown), the work 5 is temporarily held by the non-contact holding device 1 in a non-contact manner. Even if the operation of the air compressor stops for some reason during this time, the air stored in the air tank can be continuously supplied to the non-contact holding device 1 for a predetermined time, during which time the work 5 is mounted on the predetermined mounting table, etc. By placing it, it is possible to cope with an unexpected situation such as the work 5 being suddenly dropped and damaged.
  • the fluid supply ports 6, 6 are not formed at the top end, which is one end in the axial direction of the main body 2, they are formed in the radial side peripheral surface of the main body 2, that is, in the lateral direction.
  • the air supply hoses H, H are connected to the fluid supply ports 6, 6, the rising portions of the air supply hoses H, H that rise upward from the top end of the main body 2 are formed. It can be made thinner by making it lower than the overall height, including the height. For this reason, the non-contact holding device 1 can be inserted into the gap between the works 5 in the multi-stage arrangement. Alternatively, the gap between the workpieces 5 in the multi-stage arrangement can be narrowed to increase the number of stages in which the workpieces 5 are arranged.
  • the axial ventilation guide grooves 9,... are formed on the inner peripheral surface side of the annular flow path 7a.
  • it may be formed on the outer peripheral surface side of the annular flow path 7a, or may be formed on both the inner and outer peripheral surfaces.
  • the radial ventilation guide 11 is not formed over the entire length from the discharge port 10 to the discharge port 3b, but is formed only around the discharge port 10 or only around the discharge port 3b. May be formed.
  • both the axial ventilation guide groove 9 and the radial ventilation guide 11 are formed.
  • the present invention can be implemented by providing only one of them.
  • these two guides 9 and 11 need not be provided. That is, even when neither the axial ventilation guide groove 9 nor the radial ventilation guide 11 is provided, the discharge port 10 of the ejection recess 3 discharges air in the axial direction to the tapered surface 3c. Due to the viscosity, the tapered surface 3c can be ventilated in the axial direction.
  • FIGS. 7 to 12 are longitudinal sectional views of a non-contact holding device 1A according to a first modification of the non-contact holding device 1 and a non-contact holding device 1E according to a fifth modification.
  • the non-contact holding device 1A according to the first modification is the same as the non-contact holding device 1 shown in FIG. It is characterized in that one of a pair of left and right oblique flow paths 7b, 7b connected to the ports 6, 6, respectively, and a pair of partition walls 8, 8 of the annular flow path 7b shown in FIG. 4 are omitted.
  • the other configuration is the same as that of the non-contact holding device 1 shown in FIG.
  • the non-contact holding device 1A it is possible to obtain almost the same operation and effects as those of the non-contact holding device 1 shown in FIG. Since the passages 7b, 7b and one of the pair of partition walls 8, 8 are omitted, the configuration can be simplified, and the ease of processing can be improved accordingly.
  • the pair of partition walls 8 and 8 of the annular flow path 7a is omitted, there is a possibility that a swirl flow of air is generated in the annular flow path 7a, but the swirl flow is not affected by the axial ventilation.
  • the radial ventilation guide groove 11 of the tapered surface 3c can further prevent or reduce the swirling flow of air.
  • the non-contact holding device 1B according to the second modification shown in FIG. 8 is different from the non-contact holding device 1 shown in FIG. 1 in that one fluid supply port 6 is formed in the center of the upper end portion of the main body 2 in the drawing. Then, the air from one fluid supply port 6 is divided into a plurality of axial flow paths 7d, 7d,..., And a plurality of discharge ports 10, 10,. It is characterized in that it is configured to discharge from the tapered surface 3c.
  • the non-contact holding device 1 C according to the third modification shown in FIG. 9 is different from the second modification shown in FIG.
  • the non-contact holding device IB is characterized in that a plurality of fluid supply ports 6 are juxtaposed in the top view of the main body 2.
  • the non-contact holding device 1D according to the fourth modified example shown in FIG. 10 is characterized mainly in that an air reservoir 13 having, for example, an elliptical spherical shape is provided in the main body 2.
  • the air reservoir 13 is interposed in the middle of an air supply channel 7 that communicates one fluid supply port 6 with a plurality of discharge ports 10, 10,.
  • the air reservoir 13 communicates with the tip of the lateral flow path 7e communicating with one fluid supply port 6, while communicating with the merging flow path 7g of the multi-branch branch flow paths 7f, 7f.
  • the ends (lower ends in FIG. 10) of the flow paths 7f, 7f communicate with the discharge ports 10, 10,.
  • the non-contact holding device 1 D since the air reservoir 13 is provided, the pulsation of the air supplied from the fluid supply port 6 to the air supply passage 7 is prevented or reduced. As a result, the static pressure can be recovered, and when the operation of the air compressor device is stopped, air can be continuously supplied from the air reservoir 13 to the discharge port 10 for a predetermined time. Thus, simultaneously with the stoppage of the operation of the air compressor device, the holding of the work 5 which has been held until now can be prevented from being stopped and dropped.
  • the non-contact holding device 1E according to the fifth modification shown in FIG. 11 is different from the non-contact holding device 1D according to the fourth modification shown in FIG.
  • the feature is that the mouth 6 is provided as a pair of left and right in FIG.
  • this non-contact holding device 1E also includes the air reservoir 13, it is possible to obtain substantially the same operation and effect as the non-contact holding device 1D shown in Fig. 10.
  • the number of the fluid supply path 7 of the non-contact holding device 1B-1E and the number of the discharge ports 10 communicating therewith may be two or more.
  • Each discharge port 10 is located at the center of the inner bottom surface 3a of the ejection concave portion 3. It should be provided in a symmetrical position.
  • FIG. 12 is a perspective view showing a use state of the hand-type non-contact holding device 21 according to the second embodiment of the present invention.
  • the hand-type non-contact holding device 21 includes a plurality of ones of the non-contact holding devices 1, 1A and 1E, for example, one of them, disposed on one surface of a substrate 22 made of a substantially U-shaped thin plate, for example. ⁇
  • the work 5 such as a semiconductor wafer or a silicon wafer housed in the c-cassette 23 is held out of contact and taken out or inserted outside.
  • the substrate 22 includes a base end portion 22a and a holding portion formed in a substantially U-shape by integrally linking the branch portions 22b and 22c branched from the base end portion 22a into two branches. ing. On one flat surface (upper surface in FIG. 12) of these branch portions 22b, 22c, a plurality of the above-mentioned non-contact holding devices 1 are provided, and their ejection ports 3b are provided at symmetrical positions toward the upper surface in FIG. It is formed to a thickness that can be removed from the gap between the adjacent works 5 stacked in the wafer cassette 23.
  • the substrate 22 has, for example, four convex stoppers 24, 24, 24, 24 projecting from corners on a holding surface (upper surface in FIG. 12) for holding the work 5. .
  • each stopper 24 is disposed so as to surround and support the outer peripheral surface of the work piece 5 with a slight play at, for example, four places at equal circumferential positions thereof.
  • a grip portion 25 is integrally or integrally formed as a grip portion on the outer surface of the base end portion 22a of the substrate 22. As shown in FIG. 13, the grip portion 25 has air inlets 26, 26 for connecting two air supply hoses H, H, respectively, on the side surface of the base.
  • Each of the air introduction ports 26, 26 is connected to the fluid supply port 6 of each non-contact holding device 1 via two air supply paths 27, 27 formed inside the U-shaped substrate 22, respectively. Has been done.
  • the grip portion 25 is formed in a size and a shape that can be gripped by an operator's hand.
  • the grip section 25 may be configured to be detachable from a movable arm of a movable robot, which is an example of a moving body (not shown).
  • the grip section 25 includes an operation section (not shown) for operating a control valve for controlling the amount of air supplied to each non-contact holding device 1.
  • the wafer cassette 23 has one side surface of a rectangular cylindrical casing 23a for accommodating wafers made of silicon or the like opened as a wafer outlet, while the wafer can be detached from the inner surface of the cassette casing 23a.
  • a plurality of accommodating grooves 23b for accommodating are formed at a required pitch in the axial direction.
  • the required work 5 can be manually removed from the wafer cassette 23 by the hand-type non-contact holding device 21 and inserted. Also, by attaching the grip portion 25 of the hand-type non-contact holding device 21 to the arm of the robot, the work 5 can be transferred by the robot while the work 5 is held in a non-contact manner by the hand-type non-contact holding device 21. I can do it.
  • Each of the non-contact holding devices 1 provided in the hand-type non-contact holding device 21 has a radiant flow in which the air jetted from the jet port 3b is not a swirling flow as described above. Since it is not necessary to take care that the air swirling flows of the non-contact holding devices 1 arranged adjacent to each other on 22 are opposite to each other, the hand-type non-contact holding device 21 is easy to manufacture. The same operational effects as those of the non-contact holding device 1, such as improvement and reduction of the vibration and noise of the work 5, can be obtained.
  • the hand-type non-contact holding device 21 is, as shown in the hand-type non-contact holding device 21A shown in FIG. 14, a cross plate for integrally connecting the longitudinal middle portions of the pair of left and right branch portions 22b and 22c.
  • the non-contact holding device 1 may be provided at the center of the cross plate 22d.
  • the non-contact holding device 1 can be provided in a portion corresponding to a substantially central portion of the work 5, so that the non-contact holding of the work 5 can be stabilized. Both reliability and reliability can be improved. Further, the substrate 22 may be formed in a simple rectangular or circular shape.
  • FIG. 15 is a front view of the non-contact tweezers 28 according to the third embodiment of the present invention.
  • This non-contact tweezers 28 is configured such that one end of a small rod-shaped main body 29 is formed as a grip portion 29a which can be gripped by a finger of an operator's hand or the like, and the non-contact holding device 1, 1 A — 1E of any force ⁇ For example, 1 is arranged. Further, on one surface of the main body 29, a plurality of stop pins 30, 30,... Which diametrically hold the side surfaces at both ends in the diameter direction of the work 5 are arranged.
  • an air supply hose H connected to an air inlet (not shown) is connected, and the air inlet is connected to a fluid supply port of the non-contact holding device 1 (not shown).
  • the flow path is formed inside the main body 29. Further, the main body 29 is provided with an operation unit (not shown) for operating a control valve for controlling the amount of air supplied from the air supply hose H to the non-contact holding device 1.
  • a holding target such as a small work 5 such as a small-diameter silicon wafer, a semiconductor wafer, or a small precision component can be non-contact-held and conveyed.
  • the size and shape of the object to be held in a non-contact manner can be variously adjusted. That can be S.
  • the main body 29 of the non-contact tweezers 28 may be formed in a pencil shape by substantially forming the same shape and dimensions as a writing instrument such as a pencil or a mechanical pencil. The portion may be bent by a required angle, and the non-contact holding device 1 may be provided on the tip surface.
  • FIG. 16 is a side view of a non-contact holding and conveying device 31 according to a fourth embodiment of the present invention.
  • the non-contact holding and conveying device 31 can move reciprocally on a moving table 33 as a moving unit that supports the panel-type non-contact holding device 32 shown in FIG. 17 so as to be movable in a horizontal direction, and on a conveying path 34 such as a belt conveyor.
  • a conveying path 34 such as a belt conveyor.
  • Shuttle transported to the airport or this transport path
  • a transfer device 35 such as a self-propelled device that runs.
  • the panel-type non-contact holding device 32 includes, for example, a plurality of one of the non-contact holding devices 1, 1A-1E on one surface of a rectangular panel substrate 32a. For example, they are arranged in three rows and three columns, and are configured to hold the work 5 in a non-contact manner.
  • the moving table 33 has a panel-type non-contact holding device 32 detachably mounted thereon, and is mounted on a transfer device 35 so as to be movable in a horizontal direction.
  • the panel-type non-contact holding device 32 is moved to the position, the panel-type non-contact holding device 32 is moved horizontally by sliding or the like to move the panel-type non-contact holding device 32 in the horizontal direction. 5 is transferred to the next process such as the next processing step and inspection step.
  • the work 5 can be conveyed to the next process delivery place by the conveying device 35, and the panel type non-contact holding device 32 is horizontally moved by the moving table 33. By moving in the direction, the work 5 can be delivered to the next process.
  • the moving table 33 is returned to the original position of the transport device 35, and then the transport device 35 is transported on the transport path to return to the original position, and the panel is returned to the original position.
  • the workpiece 5 is held in a non-contact manner by the shape non-contact holding device 32, and is again moved to the delivery place of the next process by the transfer device 35.
  • the plurality of works 5 can be transported to a required place such as the next process in a state where they are held in a non-contact state.
  • the non-contact holding device 1, 1A-1E according to the present invention is used as the non-contact holding device for non-contact holding the workpiece 5. Therefore, almost the same operation and effects as those of the non-contact holding devices 1, 1A-1E can be obtained.
  • the transfer path 34 may be a monorail, for example, installed on a ceiling or the like in a factory.
  • the transfer device 35 is configured as a gondola reciprocating on the monorail.
  • the work 5 is held downward in a non-contact manner by the panel-type non-contact holding device 32, but the panel-type non-contact holding device 32 holds the work 5 in a non-contact manner without dropping the work 5 downward.
  • the workpiece 5 can be held in a non-contact manner even when it is vertical.

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Abstract

　流体を噴出させる噴出口３ｂおよびこの噴出口に向けて漸次拡開するテーパ状面３ｃを有する噴出凹部３を形成した本体２と、本体の噴出凹部のテーパ状面を臨む位置にて穿設されて、流体をテーパ状面に沿って軸方向に吐出させる吐出口１０と、吐出口に連通して流体を供給する流体供給流路７と、噴出凹部のテーパ状面に形成されて、吐出口から吐出された流体の流れを噴出凹部中心から放射状外方へ案内する放射状通風ガイド１１と、本体の噴出口の外縁部に一体に連成されて、噴出口に対向するワーク５の対向面と対向し、ワーク５の対向面外方へ流体の流れを案内する平坦状端面４と、を具備している。上記構成によれば、１個でもワーク等保持対象物の回転を防止した状態で非接触保持することができる低騒音で安価な非接触保持装置を提供することができる。

Description

明 細 書
非接触保持装置および非接触保持搬送装置
技術分野
[0001] 本発明は、半導体ウェハや PDP (プラズマ.ディスプレイ 'パネル）用ガラス板等のヮ ークを含む保持対象物に、空気等の流体を吹き付けて、この保持対象物を非接触で 保持する非接触保持装置およびその保持対象物を非接触保持状態で搬送すること が可能な非接触保持搬送装置に関する。
背景技術
[0002] 従来、この種の非接触保持装置は、シリコンウェハや半導体ウェハ等のワークを、 その製造段階において次工程へ搬送したり、同一工程内で搬送する場合、ワークへ の塵埃の付着や損傷の防止のため、またはワークの大形化や薄形化に伴って機械 的かつ直接的な保持が著しく困難になっている。
[0003] そこで、従来から、ワークに、所定圧のエアーや窒素ガスを吹き付けて、正圧と負圧 とのバランスによりワークを非接触で保持する非接触保持装置が提案されている（例 えば特許文献 1参照）。
特許文献 1 :特開 2002— 64130号公報 しかしながら、このような従来の非接触保持 装置では、その噴出口からワークへ吹き付けるエアー等の流体の噴出流が旋回流で あるために、 1個の非接触保持装置によりワークを非接触保持する場合には、ワーク がエアーの旋回流に伴って少しずつ回転し、静止状態で保持できないという不具合 力 Sある。
[0004] この不具合を解決するためには、図 18で示すパネル形非接触保持装置 Aのように 旋回流の方向が、例えば時計方向（CW)と反時計方向（CCW)等のように相互に異 なる少なくとも 2個の非接触保持装置 CW, CCWを相互に隣り合うようにパネル B上 に並設する必要があった。
[0005] しかし、これでは、非接触保持装置の個数が増えるうえに、隣り合う 2個の非接触保 持装置の旋回流同士がワークの非接触保持面上で衝突し、相殺し合うので、風切り 音等の騒音が発生するうえに、エアーの供給量と供給圧とが浪費される。また、これ ら 2個の非接触保持装置の両旋回流に強弱差 (圧力差)がある場合には、その高い 圧力側によりワークが回転してしまうので、隣り合う非接触保持装置 CW, CCWに供 給するエアーの供給量と圧力がほぼ均等になるように適切に制御しなければならず 、その制御に高精度が要求されるという課題がある。
[0006] また、これら隣り合う両旋回流の圧力がほぼ均衡している場合にも、相互に押し合う 力がワークに作用するので、ワークに歪みが発生し、ワークの厚さが薄い場合には、 その厚さ方向にワークが歪み振動して騒音が発生するうえにワークのストレスが増大 するという課題がある。
[0007] 発明の開示
本発明はこのような事情を考慮してなされたもので、その目的は、 1個でもワークの 回転を防止した状態で非接触保持することができる低騒音で安価な非接触保持装 置および非接触保持搬送装置を提供することにある。
[0008] 請求項 1に係る発明は、流体を噴出させる噴出口およびこの噴出口に向けて漸次 拡開する側面を有する噴出凹部を形成した本体と、この本体の上記噴出凹部の側面 を臨む位置にて穿設されて、上記流体を上記側面に沿って軸方向に吐出させる吐 出口と、この吐出口に連通するように上記本体に穿設されて、この吐出口に流体を供 給する流体供給路と、上記本体の噴出口の外縁部に一体に連成されて、この噴出口 に対向する保持対象物の対向面と対向し、この保持対象物の対向面外方へ流体の 流れを案内する平坦状端面と、を具備してレ、ることを特徴とする非接触保持装置であ る。
[0009] 請求項 2に係る発明は、上記噴出凹部の側面は、上記吐出口から吐出された流体 の流れを噴出凹部の内底面中心から遠心方向外方へ放射状に案内する放射状通 風ガイドを形成していることを特徴とする請求項 1記載の非接触保持装置である。
[0010] 請求項 3に係る発明は、上記流体供給路は、上記吐出口から上記噴出凹部側面に 吐出される流体の流れをこの噴出凹部側面の軸方向に案内する軸方向通風ガイド を、具備していることを特徴とする請求項 1または 2記載の非接触保持装置である。
[0011] 請求項 4に係る発明は、上記流体供給路は、その途中にて流体を所要量溜める流 体溜を有することを特徴とする請求項 1一 3のいずれか 1項記載の非接触保持装置 である。
[0012] 請求項 5に係る発明は、上記流体供給路は、複数有し、上記本体の径方向外側周 面に複数穿設された流体供給口にそれぞれ連通していることを特徴とする請求項 1 一 4のいずれ力、 1項に記載の非接触保持装置である。
[0013] 請求項 6に係る発明は、上記吐出口は、上記噴出凹部の内底面中心回りの対称位 置にて複数配設され、上記放射状通風ガイドは、上記各吐出口から噴出口まで形成 されていることを特徴とする請求項 1一 5のいずれ力 4項記載の非接触保持装置であ る。
[0014] 請求項 7に係る発明は、上記放射状通風ガイドおよび軸方向通風ガイドは、溝また は凸部により形成されていることを特徴とする請求項 2 6のいずれ力、 1項に記載の 非接触保持装置である。
[0015] 請求項 8に係る発明は、上記放射状通風ガイドは、上記各吐出口から噴出口に向 けて幅が漸次拡開する一方、深さが漸次浅くなつて噴出口ないしその近傍でその周 囲の側面と面一となる末広溝であることを特徴とする請求項 6記載の非接触保持装 置である。
[0016] 請求項 9に係る発明は、上記本体は、石英ガラスにより形成されていることを特徴と する請求項 1一 8のいずれか 1項に記載の非接触保持装置である。
[0017] 請求項 10に係る発明は、上記保持対象物が板ガラス、シート、半導体ウェハ、表示 パネルのいずれかであることを特徴とする請求項 1一 9のいずれか 1項に記載の非接 触保持装置である。なお、ここで樹脂とは、樹脂基板、樹脂シート、樹脂フィルムを含 む。
[0018] 請求項 11に係る発明は、上記本体の流体供給路を流体供給源に接続する外部流 体供給路の途中に配設されて、流体を所要量貯溜する流体貯溜タンクと、この流体 貯溜タンク内に貯溜された流体の温度を制御する流体温度制御装置と、を具備して レ、ることを特徴とする請求項 1一 10のいずれ力、 1項に記載の非接触保持装置である
[0019] 請求項 12に係る発明は、上記本体に配設された把持可能の把持体と、上記本体 に配設されて、上記ワークの外側周面外方への変位を規制するストツバと、を具備し ていることを特徴とする非接触保持装置である。
[0020] 請求項 13に係る発明は、上記把持体は、移動可能な移動体に着脱可能に構成さ れていることを特徴とする請求項 12記載の非接触保持装置である。
[0021] 請求項 14に係る発明は、請求項 1一 11のいずれか 1項に記載の非接触保持装置 の複数個を配設したパネルと、このパネルを水平方向へ可逆的に移動可能に支持 する移動部と、この移動部を備えた搬送可能の搬送装置と、を具備していることを特 徴とする非接触保持搬送装置である。
[0022] 本発明によれば、ワーク等の保持対象物に吹き付ける流体が旋回流ではなぐ放 射流であるので、 1個の非接触保持装置でもワークを回転させずに静止状態で非接 触保持することができる。このために、非接触保持装置自体の設置個数の節約と保 持対象物のストレスおよび振動を低減させることができる。
図面の簡単な説明
[0023] [図 1]図 2の I一 I線に沿う切断部の断面図。
[図 2]本発明の第 1実施形態に係る非接触保持装置の外観俯瞰図。
[図 3]図 2で示す非接触保持装置の外観仰視図。
[図 4]図 1の IV— IV線に沿う切断部の断面図。
[図 5]図 1 ,図 2等で示す非接触保持装置の底面図。
[図 6]本発明の第 1実施形態に係る放射状通風ガイドの他の例の底面図。
[図 7]本発明の第 1実施形態における第 1変形例の縦断面図。
[図 8]本発明の第 1実施形態における第 2変形例の縦断面図。
[図 9]本発明の第 1実施形態における第 3変形例の縦断面図。
[図 10]本発明の第 1実施形態における第 4変形例の縦断面図。
[図 11]本発明の第 1実施形態における第 5変形例の縦断面図。
[図 12]本発明の第 2実施形態に係るハンド形非接触保持装置の斜視図。
[図 13]図 12で示すハンド形非接触保持装置の平面図。
[図 14]図 12で示すハンド形非接触保持装置の変形例の平面図。
[図 15]本発明の第 3実施形態に係る非接触ピンセットの正面図。
[図 16]本発明の第 4実施形態に係る非接触保持装置の側面図。 [図 17]図 16で示すパネル形非接触保持搬送装置の平面図。
[図 18]従来のパネル形非接触保持装置の平面図。
発明を実施するための最良の形態
[0024] 以下、本発明の実施形態を添付図面に基づいて説明する。なお、添付図面中、同 一または相当部分には同一符号を付している。
[0025] [第 1実施形態]
図 1は図 2の I一 I線に沿う切断部の縦断面図、図 2は本発明の第 1実施形態に係る 非接触保持装置の外観俯瞰図、図 3は同仰視図である。
[0026] これらの図に示すように非接触保持装置 1は、石英ガラス等の硬質ガラス、アルミ二 ゥムゃステンレス（SUS)等の金属、アルミナ等のセラミックス、合成樹脂等により有蓋 円柱形や角柱形等に形成された本体 2の底部に、例えば円錐台状 (または多角錐台 状）の所要深さの噴出凹部 3を形成している。
[0027] 噴出凹部 3は、その内底面 3aに対向する一端側を、例えば円形の噴出口 3bとして 開口し、この噴出凹部 3の側周面 (側面）を、内底面 3aから噴出口 3bへ向けて、外方 に若干膨出の湾曲面、により漸次拡開するテーパ状面 3cに形成している。なお、こ のテーパ状面 3cは吊鐘やカップ等の内面の湾曲面に形成してもよぐもしくは、直線 状のテーパ面に形成してもよレ、。
[0028] 本体 2は、その噴出口 3b側の外周縁部を、平坦状端面 4に一体に連成している。こ の平坦状端面 4は、保持対象物の一例であるシリコンウェハや半導体ウェハ等のヮ ーク 5に対し、所要の間隙を置いて非接触で保持された状態で対向する対向面に対 してほぼ平行をなす平坦面に形成されている。なお、保持対象物としては、下記表 1 の産業別ワークに示すように上記ワーク 5の外に、 LCD (液晶）や PDP (プラズマ ·デ イスプレイ'パネル)用等のガラス板（クォーツ板を含む）、 自動車部品等の精密部品 、医療用容器等、人手により直接接触することが規制されているものを含む。
[0029] [表 1] 産 業 ワ ー ク
へ 'ァ'ゥェ—ハ (生ゥェ -Λ),シリコン-ゥ —Λ,クウォ-ッ力'ラス ·ゥ Λ,サファイア力'ラス'ゥ ハ,力リ砒素
1.半導体産業
ゥ ι-Λ.セ Λ°レ—ター (不織布セバ°レ—タ etc,
2.液晶産業 へ がラス (生力'ラス)基板,液晶力'ラス基板.カラ-フィルタ-.樹脂基板 etc.
3.PDPウ'ラスマ .テ'イスフ'レイ)產業 PDPがラス基板,樹脂基板 et
4,SED産業 SED(Surface— conduction Electron-emitter Display方式平 スフ。レイ etc.
5.有機 EL産業 有機 ELシ-トプリス'ム'シ-ト,有機リディスプレイ etc.
6.電子 - -産業 電子へ'- Λ'-,保護シ-ト,樹脂シ-ト.樹脂フィルム etc.
VDF (蛍光表示管 LED (発光ダイォ 卜 FED (電界放出 τイスプレイ DLPCDigital Light
7.その他電子産業
Processing),プリス'ム 'シート,保護シ -ト.樹脂シ -ト,樹脂フィルム ete.
8.医療産業 医療機器類,不織布等々医療資材 etc.
9.医薬産業 医薬品,医薬容器類,医薬用資材 ete.
10.農逢物産業 高価農産物類,農産物包装資材 etc.
1 1. ィォ産業 生物類'細菌類原材料,それらの容器類,それらの資材 etc.
12.自動車部品産業 繊細部品.高価部品,希少部品.それらの容器類.それらの資材 etc.
13.その他一般産業 板力'ラス類フィルム類.不織布,希少金属板類,超高級極薄板類,超高級極薄石板類 etc.
[0030] 本体 2は、その下部外側面に、例えば左右一対の流体供給口 6， 6を穿設する一方 、これら流体供給口 6, 6に連通する 2本の流体供給路 7, 7を本体 2の内部に形成し ている。
[0031] 流体供給路 7, 7は、本体 2の中心軸部にて同心状かつ軸方向に形成された環状 流路 7a (図 4参照）と、この環状流路 7aの図 1中上端部を上記左右一対の流体供給 口 6, 6にそれぞれ連通する左右一対の上方斜行路 7b, 7bと、環状流路 7aの下端 部に連通する下部環状流路 7cとを一体に連成することにより構成されている。これら 流体供給路 7, 7は、流体供給口 6, 6に図示しないコネクタを介して一体に連成され て外部流体供給路を形成するエアー供給ホース Hの径よりも小径に形成されている 。このために、エアー供給ホース Hから流体供給口 6, 6に供給されるエアーまたは窒 素ガス等の流体の圧力を流体供給路 7， 7により昇圧し得るようになつている。
[0032] そして、このエアー供給ホース Hには、図示しない流体 溜タンクの一例であるェ ァータンクを介して、流体供給源の一例であるエアーコンプレッサ装置を接続してお り、このエアーコンプレッサ装置から所定圧のエアーをエアータンク内で所定量貯溜 しつつ非接触保持装置 1の流体供給口 6, 6へ供給するようになっている。
[0033] また、エアータンクには、このエアータンク内に貯溜されるエアーの温度を制御する 温度制御装置を設けており、非接触保持装置 1に供給するエアーをエアータンク内 にー且貯溜し、エアーの温度をこの温度制御装置により所要温度に適宜制御し得る ように構成されている。温度制御装置としては、例えばヒートポンプ式の冷凍サイクル 装置を使用してもよい。
[0034] これにより、非接触保持装置 1からワーク 5へ吹き付けるエアーの温度を、ワーク 5の 結露やスポット等のダメージを未然に防止し得る温度に制御することができる。
[0035] 図 4の平断面図に示すように環状流路 7aは、その図中上下一対の仕切壁 8， 8によ り図中左右の半円状流路に画成されている。これら仕切壁 8， 8は環状流路 7aおよび 下部環状流路 7cの軸方向全長に亘つて形成されており、左右一対の流体供給口 6 , 6から環状流路 7aへそれぞれ供給されたエアーや窒素ガス等の流体同士が環状 流路 7aで合流して旋回流が発生するのを防止するために画成している。
[0036] また、環状流路 7aは、例えばその内周面に、周方向対称位置にて、軸方向通風ガ イドである複数の軸方向通風ガイド溝 9, 9, 9,…をそれぞれ形成している。これら軸 方向通風ガイド溝 9， 9，…は、環状流路 7aと下部環状流路 7cとを軸方向で連結する 軸部の軸方向全長に亘つて形成されている。これら軸方向通風ガイド溝 9, 9,…は、 環状流路 7aと下部環状流路 7cの軸方向に対する横断面形状が矩形に形成されて いる力 三角形や V字形、多角形、円弧でもよく、さらに、これら流路 7a， 7cの内方側 へ突出する突条等凸部でもよい。この凸部の横断面形状も三角形や V字形、多角形 、円弧形でもよレヽ。
[0037] そして、図 5に示すように、噴出凹部 3は、その内底面 3aの外周部にて、例えば円 形の複数の吐出口 10, 10,…を周方向に等ピッチで穿設している。
[0038] 各吐出口 10は、噴出凹部 3の内底面 3aにおいて、テーパ状面 3cを臨む位置にて 、そのテーパ状面 3cに向けて、その軸方向にエアー等の流体を吐出し、テーパ状面 3cに沿って軸方向に送風するように形成されている。
[0039] すなわち、各吐出口 10は、下部環状流路 7cに一体に連通し、下部環状流路 7cは 、その図 1中上端部を環状流路 7aの下端部に一体に連通している。
[0040] そして、噴出凹部 3は、そのテーパ状面 3cに、各吐出口 10に連通すると共に、各 吐出口 10の直径とほぼ等しい幅で所要深さの放射状通風ガイドである放射状通風 ガイド溝 11をそれぞれ形成してレ、る。これら放射状通風ガイド溝 11は内底面 3aの中 心から遠心方向外方へ放射状に形成されており、各吐出口 10から吐出されたエア 一が噴出凹部 3のテーパ状面 3cに付着して軸方向へ放射状に通風されるようになつ ている。
[0041] なお、これら放射状通風ガイド溝 11は、図 6で示すように各吐出口 10から噴出口 3 bへ向けて末広状に漸次拡開する末広溝 12にそれぞれ置換してもよい。また、吐出 口 10の個数は図 5,図 6に示すように 8個に限定されるものではなぐ 2, 3， 4, 5, 6， 7, 9, 10個でもよぐ 11個以上でもよい。さらに、吐出口 10は、これら複数本の吐出 口 10同士を内底面 3aの周方向で一体に連結した環状形でもよい。
[0042] 各末広溝 12は、その吐出口 10側から噴出口 3b側に向けて、その溝深さを漸次浅 くして行き、噴出口 3bないしその近傍にて深さがゼロ、すなわち、隣り合う末広溝 12 , 12同士間の間隙のテーパ状面 3cとほぼ面一になるように形成されている。これら 末広溝 12も噴出凹部 3の内底面 3aの中心から遠心方向へ向けて放射状に配設され ている。
[0043] 非接触保持装置 1はこのように構成されているので、左右一対の流体供給口 6， 6 へ所定圧のエアー等の流体が供給されると、各上方斜行路 7bを通って昇圧されな がら環状流路 7aの上端部にそれぞれ流入し、これら両エアーは隔壁 8, 8により合流 しないように規制される。さらに、エアーはこの各半円状の環状流路 7aの各軸方向通 風ガイド溝 9に案内されて環状流路 7a内を軸方向に流下し、下部環状流路 7cを経て 各吐出口 10から噴出凹部 3のテーパ面 3cに向けて本体 2の軸方向へ吐出される。
[0044] そして、テーパ状面 3cでは放射状通風ガイド溝 11が形成されているので、このテ 一パ状面 3cに向けて吐出されたエアーは、その粘性によりテーパ状面 3cに付着して 放射状通風ガイド溝 11に案内されて噴出口 3bへ向けて軸方向に送風される。
[0045] これにより、噴出凹部 3内の所定圧のエアーが、その粘性によりテーパ状面 3cに付 着した状態で軸方向に通風し、噴出口 3bから外部へ矢印で示すように放射流となつ て噴出される。
[0046] したがって、図 1 ,図 2に示すように非接触保持装置 1の噴出口 3bを、この噴出口 3 bからエアーを噴出させた状態でワーク 5の一面上に近接対向させると、噴出口 3bか ら噴出されたエアーの放射流がワーク 5の対向面に吹き付けられ、さらに、エアーは、 このワーク 5の対向面上をその対向面に沿って外方へ放射状に通風するので、この 噴出口 3bとワーク 5の対向面との間隙では、ワーク 5にエアーの放射流が吹き付けら れる正圧領域 Pと、その放射流の内側の負圧領域 Mとがそれぞれ形成される。
[0047] このために、噴出口 3bの外周部の正圧領域 Pでエアーによりワーク 5を噴出口 3bよ りも外方（図 1では下方）へ押し出す押圧力が作用する一方、噴出口 3bの中心部の 負圧領域 Mでは、ワーク 5を噴出口 3b側へ吸着しょうとする吸着力が作用し、これら 吸着力と押圧力の均衡によりワーク 5を非接触で保持することができる。
[0048] したがって、この非接触保持装置 1によれば、ワーク 5をチャック等により機械的に 保持した場合や吸着パッドにより直接吸着保持した場合に、ワーク 5に発生する圧痕 や機械的損傷を防止することができる。
[0049] また、この非接触保持装置 1によれば、ワーク 5に、エアーの放射流を吹き付け、旋 回流を吹き付けないので、ワーク 5を回転させずに静止状態で非接触保持することが できる。このために、非接触保持装置 1によりワーク 5を、非接触で保持した状態で他 所へ搬送し、所定位置へ載置する場合の位置決め精度を、ワーク 5が回転する場合 よりも向上させること力 Sできる。
[0050] また、この非接触保持装置 1によれば、 1台の非接触保持装置 1により、ワーク 5を 静止状態で非接触保持できるので、上述した従来の旋回流型の非接触保持装置の ように、少なくとも 2台並設してワーク 5の回転を静止させる必要がなレ、。このために、 非接触保持装置 1の設置台数自体の削減を図ることができるうえに、旋回流型非接 触保持装置を 2台並設したときの気流の衝突や相殺による風切り音等の騒音を低減 できるうえに、エアーの供給流量ないし圧力の低減を図ることができ、エアー供給ホ ース 11を介してエアーを供給する図示しないエアーコンプレッサ装置等の動力費の 低減を図ることができる。
[0051] さらに、この非接触保持装置 1によれば、 1台の非接触保持装置 1によりワーク 5を 静止状態で非接触保持できるので、上述した従来例のように旋回方向が異なる 2つ 以上の旋回流をワーク 5に吹き付けることにより、ワーク 5に発生する応力と振動を低 減すること力できる。これにより、ワーク 5の健全性向上とさらなる騒音の低減も図るこ とができる。
[0052] そして、この非接触保持装置 1によれば、環状流路 7aを仕切壁 8, 8により半円状に 仕切ることにより、左右一対の流体供給口 6， 6から供給されたエアー同士がこの環 状流路 7aで合流して旋回流が発生するのを防止することができるうえに、各半円状 の環状流路 7aを通風するエアーを、軸方向通風ガイドである軸方向通風ガイド溝 9 により軸方向へ通風するように案内し、エアーに旋回流が発生しないように強制的に 規制している。
[0053] さらに、各吐出口 10から噴出凹部 3内へ吐出されたエアーの流れを、テーパ状面 3 cに形成された放射状通風ガイド 11により放射流に規制するので、エアーに旋回流 が発生するのを防止ないし低減することができ、乱流の発生を防止ないし低減するこ とができる。
[0054] また、噴出口 3bの外周縁部を平坦状端面 4に形成したので、噴出口 3bからワーク 5 側へ噴出されてその外方へ通風する放射流の抜け（通風）を向上させることができ、 エアーの浪費を低減することができるうえに、万一、何らかの理由によりワーク 5が平 坦状端面 4に衝当した場合にも、その損傷を低減することができる。
[0055] そして、この非接触保持装置 1によれば複数の吐出口 10を本体 2の中心軸回りの 対称位置に配設したので、噴出口 3bからワーク 5に吹き付けられるエアーの放射流 量ないし圧力を噴出口 3bの周方向でほぼ均等に分布させることができる。
[0056] これにより、ワーク 5に左右する吸着力や押圧力の分布を均等にすることができるの で、ワーク 5の非接触保持状態での傾斜を防止ないし低減することができる一方、自 己調芯機能を奏することができる。
[0057] すなわち、仮に非接触保持装置 1によりワーク 5を、その中心が噴出口 3bの中心か らずれた状態で非接触保持すると、そのワーク 5のずれた側の正圧と負圧領域 P, M が作用する面積の方が、その反対側よりも増大するので、ワーク 5が傾斜し、その傾 斜による移動モーメントにより噴出口 3bの中心に一致するように移動する。 [0058] また、本体 2を石英ガラスにより形成する場合には、この石英ガラスからは汚染ガス が放出されず、あるいは極微量であるので、半導体ウェハやシリコンウェハ等の汚染 を防止なレ、し低減することができる。
[0059] そして、上記エアーホース Hには図示しないエアータンクを介してエアーコンプレツ サ等のエアー供給源を接続しているので、仮に非接触保持装置 1によりワーク 5を非 接触保持している最中に、何らかの理由によりエアーコンプレッサの運転が停止した 場合でも、エアータンク内の貯溜エアーを所定時間引き続き非接触保持装置 1へ供 給できるので、その間、ワーク 5を所定の載置台等へ載置する等により、ワーク 5を突 然落下させて破損させる等の不測の事態に対して対応することができる。
[0060] また、非接触保持装置 1に供給するエアーの温度を、エアータンク内の温度制御装 置により適宜制御することによりワーク 5に結露が発生するのを防止ないし低減するこ とができる。
[0061] さらに、流体供給口 6， 6およびこれに連通する流体供給路 7, 7を複数設けている ので、これら 6, 7に供給する空気等流体の供給量を増加させて噴出凹部 3からヮー ク 5へ噴出させる噴出量を増大させることができる。これにより、重量の重いワーク 5や 大形のワーク 5を非接触保持することができる。
[0062] しかも、流体供給口 6, 6を本体 2の軸方向一端である頂端に形成せずに、本体 2の 径方向側周面、つまり横方向に形成しているので、本体 2の頂端に流体供給口 6， 6 を形成して、これら流体供給口 6, 6にエアー供給ホース H, Hを接続した場合に、本 体 2の頂端から上方へ立ち上がるエアー供給ホース H, Hの立上り部を含めた全体 の高さよりも低くして薄形化を図ることができる。このために、多段配置の各ワーク 5間 の間隙に非接触保持装置 1を揷入することかできる。または、この多段配置の各ヮー ク 5同士間の間隙を狭くして、ワーク 5の配置段数を増加させることができる。
[0063] なお、上記第 1実施形態では、軸方向通風ガイド溝 9，…を環状流路 7aの内周面 側に形成した場合について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなぐ例 えば環状流路 7aの外周面側に形成してもよぐさらに、これら内外両周面にそれぞれ 形成してもよレ、。また、上記放射状通風ガイド 11は吐出口 10から噴出口 3bまで全長 に亘つて形成せずに、吐出口 10周辺のみ、または噴出口 3b周辺のみのように部分 的に形成してもよい。
[0064] さらに、上記第 1実施形態では、軸方向通風ガイド溝 9と放射状通風ガイド 11の両 者を形成する場合について説明したが、本発明は、その一方のみを設けてもよぐさ らに、これら両ガイド 9， 11を設けなくてもよい。すなわち、軸方向通風ガイド溝 9と放 射状通風ガイド 11の両者を設けない場合でも、噴出凹部 3の吐出口 10がテーパ状 面 3cに対して、その軸方向にエアーを吐出するので、エアーの粘性によりテーパ状 面 3cを軸方向に通風させることができる。
[0065] 図 7—図 12は上記非接触保持装置 1の第 1変形例に係る非接触保持装置 1A 第 5変形に係る非接触保持装置 1Eの各縦断面図である。
[0066] 図 7に示すように第 1変形例に係る非接触保持装置 1Aは、上記図 1で示す非接触 保持装置 1において、左右一対の流体供給口 6, 6の一方と、これ流体供給口 6， 6に それぞれ接続される左右一対の上方斜行流路 7b, 7bの一方と、図 4で示す環状流 路 7bの一対の仕切壁 8, 8と、をそれぞれ省略したことに特徴があり、これら以外の構 成は図 1で示す非接触保持装置 1と同様である。
[0067] したがって、この非接触保持装置 1Aによれば、図 1で示す非接触保持装置 1とほ ぼ同様の作用効果を奏することができるうえに、一対の流体供給口 6, 6、上方斜行 流路 7b, 7b、一対の仕切壁 8, 8の一方を省略した分、構成の簡単化を図ることがで き、その分、加工の容易性を向上させることができる。
[0068] また、環状流路 7aの一対の仕切壁 8, 8を省略したので、この環状流路 7a内でエア 一の旋回流が発生する可能性があるが、その旋回流は軸方向通風ガイド溝 9により 防止ないし低減することができるうえに、テーパ面 3cの放射状通風ガイド溝 11により 、エアーの旋回流をさらに防止ないし低減することができる。
[0069] 図 8で示す第 2変形例に係る非接触保持装置 1Bは、図 1で示す非接触保持装置 1 において、 1つの流体供給口 6を本体 2の図中上端部中央部に穿設し、この 1つの流 体供給口 6からのエアーを複数の軸方向流路 7d， 7d，…に分流し、これら軸方向流 路 7d， 7dにそれぞれ連通する複数の吐出口 10， 10,…からテーパ状面 3cに向けて 吐出させるように構成した点に特徴がある。
[0070] 図 9で示す第 3変形例に係る非接触保持装置 1Cは、上記図 8で示す第 2変形例に 係る非接触保持装置 IBにおいて、その流体供給口 6を、本体 2の上端部図中にて 複数並設した点に特徴がある。
[0071] 図 10で示す第 4変形例に係る非接触保持装置 1Dは、本体 2内に、例えば楕円球 状のエアー溜 13を設けた点に主な特徴がある。
[0072] このエアー溜 13は、 1個の流体供給口 6を、噴出凹部 3で開口する複数の吐出口 1 0, 10,…に連通するエアー供給流路 7の途中に介在されている。
[0073] すなわち、エアー溜 13は 1個の流体供給口 6に連通する横流路 7eの先端に連通 する一方、複数股分岐流路 7f, 7fの合流流路 7gに連通し、これら複数股分岐流路 7 f, 7fの先端（図 10中下端）が吐出口 10, 10,…にそれぞれ連通している。
[0074] この第 4変形例に係る非接触保持装置 1Dによれば、エアー溜 13があるので、流体 供給口 6からエアー供給流路 7へ供給されるエアーの脈動を防止なレ、し低減して静 圧を回復し得ると共に、エアーコンプレッサ装置の運転停止の際には、このエアー溜 13からエアーを吐出口 10へ所定時間引き続き供給することができる。これにより、ェ アーコンプレッサ装置の運転停止と同時に、今まで保持していたワーク 5の保持が停 止して落下するのを防止できる。
[0075] 図 11で示す第 5変形例に係る非接触保持装置 1Eは、図 10で示す第 4変形例に係 る非接触保持装置 1Dにおいて、エアー溜 13に連通する横流路 7eと流体供給口 6を 図 11中、左右一対設けた点に特徴がある。
[0076] この非接触保持装置 1Eもエアー溜 13を具備しているので、図 10で示す非接触保 持装置 1Dとほぼ同様の作用効果を奏することができる。なお、上記非接触保持装置 1B— 1Eの流体供給路 7とこれに連通する吐出口 10の個数は各々 2個以上であれ ばよぐ各吐出口 10は噴出凹部 3の内底面 3a中心に対して対称位置に設ければよ レ、。
[0077] [第 2実施形態]
図 12は本発明の第 2実施形態に係るハンド形非接触保持装置 21の使用状態を示 す斜視図である。
[0078] ハンド形非接触保持装置 21は、上記非接触保持装置 1 , 1A 1Eのいずれ力 例 えば 1の複数個を、例えばほぼ U字状薄板よりなる基板 22の一面上に配設し、ゥェ ハカセット 23内に収容されている半導体ウェハやシリコンウェハ等のワーク 5を非接 触保持して外部に取り出し、あるいは挿入するものである。
[0079] 基板 22は、基端部 22aと、この基端部 22aから 2股に分岐する分岐部 22b, 22cと を一体に連成してほぼ U字状に形成される保持部とを備えている。これら分岐部 22b , 22cの一平坦面（図 12では上面）上にて、複数個の上記非接触保持装置 1を、そ の噴出口 3bを図 12中上面上に向けて左右対称位置に設けており、ウェハカセット 2 3内に段積みされている隣り合うワーク 5の間隙内に揷脱できる厚さに形成されている
[0080] 基板 22は、そのワーク 5を保持する保持面（図 12では上面）上の隅角部にて、例え ば 4個の凸状ストッパ 24， 24, 24, 24を突設している。すなわち、各ストッパ 24はヮ ーク 5の外側周面を、その周方向等分位置の例えば 4箇所で若干の遊びをもって囲 み、支持するように配設されている。
[0081] ハンド形非接触保持装置 21は、その基板 22の基端部 22aの外側面に、把持部とし てグリップ部 25を一体ないし一体的に形成している。図 13にも示すように、グリップ 部 25は、その根元部側面に、 2本のエアー供給ホース H, Hをそれぞれ接続するた めのエアー導入口 26, 26をそれぞれ形成している。
[0082] 各エアー導入口 26, 26は、 U字状基板 22の内部に形成された 2本のエアー供給 路 27, 27をそれぞれ介して各非接触保持装置 1の流体供給口 6にそれぞれ連結さ れている。
[0083] グリップ部 25は作業員の手により握持できる大きさと形状等に形成されている。但し 、このグリップ部 25を、図示しない移動体の一例である移動可能のロボットの可動ァ ームに着脱可能に構成してもよい。但し、その場合、エアー供給ホース H, Hの位置 は必要に応じて適宜変更する。そして、グリップ部 25には、各非接触保持装置 1に供 給するエアーの供給量を制御する制御弁を操作する図示しない操作部を備えている
[0084] なお、ウェハカセット 23はシリコン等のウェハを収容する角筒状のカセット筐体 23a の一側面をウェハ揷脱口として開口させる一方、カセット筐体 23aの内面に、ウェハ を揷脱可能に収容する複数の収容溝 23bを軸方向に所要のピッチで形成している。 [0085] ハンド形非接触保持装置 21は、このように構成されているので、作業員はグリップ 部 25を手で握り、図 12に示すように各非接触保持装置 1の噴出口 3b側を上方に向 けた状態で、 U字状基板 22をウェハカセット 23内で段積みされているワーク 5同士 間の間隙内に挿入して所要のワーク 5の下面に位置決めする。この後、図示しない 制御弁操作部を操作して非接触保持装置 1へのエアー供給を開始させ、所要のヮー ク 5の下面を非接触保持させてウェハカセット 23から外部へ取り出す。
[0086] これとは逆に、ワーク 5をウェハカセット 23内の収容溝 23b内に挿入し、収容する場 合は、図 12に示すようにハンド形非接触保持装置 21によりワーク 5を非接触保持し たワーク 5を、ウェハカセット 23内の所要の収容溝 23a内へ挿入し、エアー供給の停 止等の制御により載置する。この後、この基板 22のみをウェハカセット 23から引き出 す。
[0087] すなわち、ハンド形非接触保持装置 21により手作業でウェハカセット 23から所要の ワーク 5を取り出す一方、挿入することができる。また、このハンド形非接触保持装置 21のグリップ部 25をロボットのアームに装着することにより、ハンド形非接触保持装 置 21によりワーク 5を非接触保持した状態でロボットによりワーク 5を搬送することがで きる。
[0088] そして、このハンド形非接触保持装置 21に設けた各非接触保持装置 1は、上述し たようにその噴出口 3bから噴出されるエアーが旋回流ではなぐ放射流であるので、 基板 22上にて隣り合うように配設される非接触保持装置 1のエアーの旋回流が相互 に逆向きになるように配慮する必要がないので、ハンド形非接触保持装置 21の製造 容易性の向上やワーク 5の振動、騒音の低減等、上記非接触保持装置 1と同様の作 用効果を奏することができる。
[0089] なお、ハンド形非接触保持装置 21は図 14で示すハンド形非接触保持装置 21Aに 示すように、左右一対の分岐部 22b, 22cの長手方向中間部を一体に連結するクロ スプレート 22dを一体に連成し、このクロスプレート 22dの中央部に非接触保持装置 1を配設してもよい。
[0090] このハンド形非接触保持装置 21Aによれば、ワーク 5のほぼ中央部に相当する部 分にも非接触保持装置 1を配設することができるので、ワーク 5の非接触保持の安定 性と確実性とを共に向上させることができる。また、基板 22を単なる矩形もしくは円形 に形成してもよい。
[0091] [第 3実施形態]
図 15は本発明の第 3実施形態に係る非接触ピンセット 28の正面図である。この非 接触ピンセット 28は、小形棒状の本体 29の一端部を作業員の手の指等により把持 可能な把持部 29aに構成し、本体 29の軸方向中間部に、上記非接触保持装置 1， 1 A— 1Eのいずれ力 \例えば 1を配設している。また、本体 29の一面には、ワーク 5の 直径方向両端部側面を直径方向で挟持する複数のストツバピン 30, 30，…を配設し ている。把持部 29aは、その根元部にて、図示省略したエアー導入口に接続される エアー供給ホース Hを接続し、このエアー導入口を非接触保持装置 1の流体供給口 に接続する図示しないエアー供給流路を本体 29の内部に形成している。また、本体 29には、エアー供給ホース Hから非接触保持装置 1に供給するエアーの供給量を制 御する制御弁を操作する操作部（図示せず）を具備してレ、る。
[0092] この非接触ピンセット 28によれば、小口径のシリコンウェハや半導体ウェハ、小形 の精密部品等小形のワーク 5等の保持対象物を非接触保持し、搬送することができ る。
[0093] また、図示しない制御弁操作部の所要の操作により非接触保持装置 1に供給する エアー供給量を適宜制御することにより、非接触保持する保持対象物の大きさや形 状に種々適合させること力 Sできる。
[0094] なお、上記非接触ピンセット 28の本体 29を、鉛筆やシャープペンシル等筆記具と ほぼ同様の形状や寸法に形成してペンシル形に形成してもよぐまた、そのペンシル 形本体 29の先端部を所要角度屈曲し、その先端面に非接触保持装置 1を設けても よい。
[0095] [第 4実施形態]
図 16は本発明の第 4実施形態に係る非接触保持搬送装置 31の側面図である。こ の非接触保持搬送装置 31は図 17で示すパネル形非接触保持装置 32を水平方向 に移動可能に支持する移動部としての移動テーブル 33と、ベルトコンベア等の搬送 路 34上を往復動可能に搬送されるシャトル、またはこの搬送路を自走装置により自 走する自走装置等の搬送装置 35と、を具備している。
[0096] 図 17に示すようにパネル形非接触保持装置 32は、例えば矩形板のパネル基板 32 aの一面上に、上記非接触保持装置 1, 1A— 1Eのいずれカ 例えば 1の複数個を、 例えば 3行 3列で配列し、ワーク 5を非接触保持するように構成されている。
[0097] 図 16に示すように移動テーブル 33は、パネル形非接触保持装置 32を着脱自在に 載置する一方、搬送装置 35上に、水平方向移動可能に搭載され、搬送装置 35が所 定位置へ移動したときに、水平方向に摺動等により移動して、パネル形非接触保持 装置 32を水平方向に移動させることにより、このパネル形非接触保持装置 32により 非接触保持されているワーク 5を、次の加工工程ゃ検查工程等の次工程へ引き渡す ようになつている。
[0098] この非接触保持搬送装置 31によれば、搬送装置 35により、ワーク 5を、その次工程 引渡し場所まで搬送することができ、さらに、移動テーブル 33によりパネル形非接触 保持装置 32を水平方向へ移動させることにより、ワーク 5を次工程へ引き渡すことが できる。
[0099] このワーク 5を次工程へ引き渡した後は、移動テーブル 33を搬送装置 35の原状位 置に復帰させ、その後、搬送装置 35が搬送路上を搬送して原状位置に戻り、再びパ ネル形非接触保持装置 32によりワーク 5を非接触保持し、搬送装置 35により再び次 工程の引渡し場所へ移動する。これら動作の繰返しにより、複数のワーク 5を非接触 保持した状態で次工程等所要場所へ搬送することができる。
[0100] また、この非接触保持搬送装置 31によれば、ワーク 5を非接触保持する非接触保 持装置として本発明に係る非接触保持装置 1 , 1 A— 1Eのレ、ずれかを使用してレ、る ので、これら非接触保持装置 1， 1A— 1Eとほぼ同様の作用効果を奏することができ る。
[0101] なお、上記搬送路 34は工場内の天井等に架設された、例えばモノレールでもよぐ この場合、搬送装置 35はこのモノレール上を往復するゴンドラに構成される。この場 合、ワーク 5はパネル形非接触保持装置 32により下向きに非接触保持されるが、パ ネル形非接触保持装置 32はワーク 5を下向きでも落下させることなぐ非接触保持す ること力 Sでき、さらにワーク 5を垂直でも非接触保持することができる。

Claims

請求の範囲
[1] 流体を噴出させる噴出口およびこの噴出口に向けて漸次拡開する側面を有する噴 出凹部を形成した本体と、
この本体の上記噴出凹部の側面を臨む位置にて穿設されて、上記流体を上記側 面に沿って軸方向に吐出させる吐出口と、
この吐出口に連通するように上記本体に穿設されて、この吐出口に流体を供給す る流体供給路と、
上記本体の噴出口の外縁部に一体に連成されて、この噴出口に対向する保持対 象物の対向面と対向し、この保持対象物の対向面外方へ流体の流れを案内する平 坦状端面と、
を具備してレ、ることを特徴とする非接触保持装置。
[2] 上記噴出凹部の側面は、上記吐出口から吐出された流体の流れを噴出凹部の内底 面中心から遠心方向外方へ放射状に案内する放射状通風ガイドを形成していること を特徴とする請求項 1記載の非接触保持装置。
[3] 上記流体供給路は、上記吐出口から上記噴出凹部側面に吐出される流体の流れを この噴出凹部側面の軸方向に案内する軸方向通風ガイドを、
具備していることを特徴とする請求項 1または 2記載の非接触保持装置。
[4] 上記流体供給路は、その途中にて流体を所要量溜める流体溜を有することを特徴と する請求項 1一 3のいずれか 1項記載の非接触保持装置。
[5] 上記流体供給路は、複数有し、上記本体の径方向外側周面に複数穿設された流体 供給口にそれぞれ連通していることを特徴とする請求項 1一 4のいずれ力 4項に記載 の非接触保持装置。
[6] 上記吐出口は、上記噴出凹部の内底面中心回りの対称位置にて複数配設され、上 記放射状通風ガイドは、上記各吐出口から噴出口まで形成されてレ、ることを特徴とす る請求項 1一 5のいずれ力 1項記載の非接触保持装置。
[7] 上記放射状通風ガイドおよび軸方向通風ガイドは、溝または凸部により形成されてい ることを特徴とする請求項 2— 6のいずれ力 1項に記載の非接触保持装置。
[8] 上記放射状通風ガイドは、上記各吐出口から噴出口に向けて幅が漸次拡開する一 方、深さが漸次浅くなつて噴出口ないしその近傍でその周囲の側面と面一となる末 広溝であることを特徴とする請求項 6記載の非接触保持装置。
[9] 上記本体は、石英ガラスにより形成されていることを特徴とする請求項 1一 8のいずれ 力、 1項に記載の非接触保持装置。
[10] 上記保持対象物が板ガラス、シート、樹脂半導体ウェハ、表示パネルのいずれかで あることを特徴とする請求項 1一 9のいずれか 1項に記載の非接触保持装置。
[11] 上記本体の流体供給路を流体供給源に接続する外部流体供給路の途中に配設さ れて、流体を所要量貯溜する流体貯溜タンクと、
この流体貯溜タンク内に貯溜された流体の温度を制御する流体温度制御装置と、 を具備していることを特徴とする請求項 1一 10のいずれ力 4項に記載の非接触保持 装置。
[12] 上記本体に形成された把持可能の把持体と、
上記本体に配設されて、上記ワークの外側周面外方への変位を規制するストツバと を具備していることを特徴とする請求項 1一 11のいずれ力 1項に記載の非接触保持 装置。
[13] 上記把持体は、移動可能な移動体に着脱可能に構成されていることを特徴とする請 求項 12記載の非接触保持装置。
[14] 請求項 1一 11のいずれ力 1項に記載の非接触保持装置の複数個を配設したパネル と、
このパネルを水平方向へ可逆的に移動可能に支持する移動部と、
この移動部を備えた搬送可能の搬送装置と、
を具備してレ、ることを特徴とする非接触保持搬送装置。
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