JP6872382B2 - 加工装置及びウエーハの搬出方法 - Google Patents
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Description
17 収納手段
42 レール
30 研削手段
36 研削砥石
5 保持テーブル
6 搬出手段
60 搬出パッド
61 昇降手段
62 旋回手段
63 アーム
64 保持面
641 底面部
642 放水口
643 放水溝
65 ガイドリング
W ウエーハ
Claims (3)
- ウエーハを保持する保持テーブルと、該保持テーブルが保持したウエーハを研削砥石で研削する研削手段または該保持テーブルが保持したウエーハを研磨パッドで研磨する研磨手段のいずれか1つを少なくとも備える加工手段と、加工されたウエーハを該保持テーブルから搬出する搬出手段と、を備えた加工装置であって、
該搬出手段は、
板状でウエーハを保持する保持面を有する搬出パッドと、該搬出パッドを該保持テーブルに対して接近および離間する方向に昇降する昇降手段と、を備え、
該搬出パッドは、該保持面の中央に外周に向かって中心から等角度で複数形成される放水口と、該放水口から外周に向かって放射状で該保持面より凹ませて水を流通させる複数の放水溝と、を備え、
該放水溝は、該保持面の中心部から外周側に向かうにしたがって浅くなるように徐々に下がる傾斜面を有し、
該放水溝の外周端は、該保持面の外周縁よりも径方向内側に形成されて該保持面に連なっており、
該放水口から該放水溝に通水した水を該保持面に流出させることによってウエーハの上面と該保持面との間に水の層を形成し、該水によってウエーハの上面と該保持面との間に働く表面張力でウエーハを保持する加工装置。 - 該搬出パッドは、外周部から下に突出したリング状のガイドリングを備え、
該放水溝に通水し、該放水溝から溢れ出る水を該ガイドリングの内壁面に当てることによって、該保持面とウエーハとの間に該水を貯める請求項1記載の加工装置。 - 請求項1記載の加工装置において該保持テーブルが保持したウエーハを該保持テーブルから搬出するウエーハの搬出方法であって、
該搬出パッドを下降させ該保持面とウエーハの上面とに隙間を形成して該放水口から水を放水させ該放水溝に通水させる準備工程と、
該準備工程の後、該保持テーブルから流体を噴射させウエーハを離間させると共に該放水溝に供給した水によって該搬出パッドがウエーハを保持する保持工程と、
該保持工程の後、該保持面とウエーハの上面との該隙間を水で満たし該搬出パッドを上昇させてウエーハを該保持テーブルから搬出する搬出工程と、を備えるウエーハの搬出方法。
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