JP6685707B2 - 研磨装置 - Google Patents
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Description
図1に示す研磨装置1は、全体を番号2で示す装置ハウジングを備えている。装置ハウジング2は、直方体形状の主部21と、該主部21の後端部(図1においては、右上側)に設けられ実質上鉛直上方に延びる直立壁22を備えている。直立壁22の前面には上下方向に延びる一対の案内レール221、221が設けられている。この一対の案内レール221、221に研磨手段3が上下方向に移動可能に装着されている。なお、図1に矢印Xで示す方向をX軸方向、矢印Yで示す方向をY軸方向、矢印Zで示す方向をZ軸方向として以下説明する。
図2は、図1に示した研磨位置に第1のチャックテーブル51aが位置づけられている状態で、便宜上、容器52をX軸方向に切った断面図とした説明図である。該容器52は、ターンテーブル5に設けられた開口穴501を塞ぐように、且つ第1のチャックテーブル51aを囲うように、側壁部52aと、底部52bとから構成されている。該底部52bには、後述するスラリー排出兼ガス噴出用の開口52cが設けられており、当該開口52cが底部52bにおいて最も低い位置となるように傾斜が設けられている。また、該底部52bの下面側には、第1のチャックテーブル51aを駆動する電動モータMが設けられており、その駆動力は該電動モータMの回転駆動力を伝達するベルトVと、第1のチャックテーブル51aの回転軸511に配設されているロータリージョイント512を介して伝達される。そして、該回転軸511の回転が、該底部52bに設けられ該回転軸511を保持している回転ボス部52dを通じて第1のチャックテーブル51aを回転させるようになっている。
先ず、第1のカセット11に収容された研磨加工前の被加工物としての半導体ウエーハWが被加工物搬送手段15の上下動作および進退動作により搬出されるものとする。被加工物搬送手段15によって搬出された半導体ウエーハWは、被加工物の仮載置手段13に載置される。仮載置手段13に載置された半導体ウエーハWは、ここで中心合わせが行われた後に被加工物搬入手段16の吸引、及び旋回動作によって被加工物の着脱位置に位置付けられている第2のチャックテーブル51b上に運ばれ載置される。半導体ウエーハWが第2のチャックテーブル51b上に載置されたならば、図2に示す吸引手段513から可撓性のパイプを介して第2のチャックテーブル51bの上面である保持面に負圧を作用させる。この結果、半導体ウエーハWは第2のチャックテーブル51bの上面である保持面上に吸引保持される。半導体ウエーハWが第2のチャックテーブル51bに吸引保持されたならば、スラリー供給手段18から、第2のチャックテーブル51bを囲繞している容器52内に新しい研磨用のスラリーを所定量(例えば、200ml程度)供給する。
2:装置ハウジング
3:研磨手段
4:研磨パッド送り手段
5:ターンテーブル
11:第1のカセット
12:第2のカセット
13:仮載置手段
14:洗浄手段
15:被加工物搬送手段
16:被加工物搬入手段
17:被加工物搬出手段
18:スラリー供給ノズル
32:スピンドルユニット
52:容器
53:蓋体
Claims (8)
- スラリーを供給してウエーハを研磨する研磨装置であって、
ウエーハを保持する保持面を上部に有するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハに対面して研磨する研磨パッドを回転可能に備えた研磨手段と、該研磨手段を該チャックテーブルに接近及び離間させて該研磨パッドを該チャックテーブルに保持されたウエーハに接触及び離間させる研磨パッド送り手段と、該チャックテーブルに保持されたウエーハと該研磨パッドとにスラリーを供給するスラリー供給機構と、から少なくとも構成され、
該スラリー供給機構は、該チャックテーブルを囲繞して上部が開放された空間を形成すると共に供給されるスラリーを貯留する容器と、該容器の底部に配設され、該チャックテーブルからオーバーハングした該研磨パッドに該容器に貯留されたスラリーを飛散させて供給するスラリー飛散手段と、から少なくとも構成され、
該スラリー飛散手段は、該容器の底部に高圧ガスを該研磨パッドに向けて噴射するガス噴射口を備え、底部に集められたスラリーを該噴射口から噴射されるガスと共に研磨パッドに供給する研磨装置。 - スラリーを供給してウエーハを研磨する研磨装置であって、
ウエーハを保持する保持面を上部に有するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハに対面して研磨する研磨パッドを回転可能に備えた研磨手段と、該研磨手段を該チャックテーブルに接近及び離間させて該研磨パッドを該チャックテーブルに保持されたウエーハに接触及び離間させる研磨パッド送り手段と、該チャックテーブルに保持されたウエーハと該研磨パッドとにスラリーを供給するスラリー供給機構と、から少なくとも構成され、
該スラリー供給機構は、該チャックテーブルを囲繞して上部が開放された空間を形成すると共に供給されるスラリーを貯留する容器と、該容器の底部に配設され、該チャックテーブルからオーバーハングした該研磨パッドに該容器に貯留されたスラリーを飛散させて供給するスラリー飛散手段と、から少なくとも構成され、
該スラリー飛散手段は、スラリーを羽で飛散して該研磨パッドに供給する研磨装置。 - 該容器の底は、研磨パッドがオーバーハングする側に下がるように傾斜しスラリーを集めるように構成され、
該スラリー飛散手段は、集められたスラリーを飛散して該研磨パッドに供給する請求項1又は2に記載の研磨装置。 - 該容器の底部には集められたスラリーを排出する排出口が形成されている請求項3に記載の研磨装置。
- 該ガス噴射口は、該容器の底部には集められたスラリーを排出する排出口を兼ねる請求項1、請求項1を引用する請求項3、請求項1を引用する請求項3を引用する請求項4のいずれかに記載の研磨装置。
- 該チャックテーブルと該容器はターンテーブルに配設され、該ターンテーブルは、該チャックテーブルと該容器とをウエーハを着脱する着脱位置とウエーハを研磨する研磨位置とに位置付ける請求項1乃至5のいずれかに記載の研磨装置。
- 該チャックテーブルと該容器とが該着脱位置に位置付けられた際に、スラリー供給手段によりスラリーが該容器に供給される請求項6に記載の研磨装置。
- 該研磨手段には蓋体が配設され、研磨工程時に該容器の開放された上部を閉塞する請求項1乃至7のいずれかに記載の研磨装置。
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