JP2022134856A - チャックテーブルの洗浄方法 - Google Patents

Abstract

【課題】保持面の吸引力の低下を抑制する。
【解決手段】チャックテーブル２のポーラス板２１に混合流体を供給する際、ポーラス板２１の上面である保持面２１０の外周エリアの一部のみが露出エリアとなるように、保持面２１０に板状ワーク１４を配置している。このため、ポーラス板２１に供給された混合流体は、保持面２１０の露出エリアのみから噴出することになるので、露出エリアにかかる混合流体の圧力が高くなり、露出エリアから、加工屑を含む混合流体が勢いよく噴出する。したがって、ポーラス板２１における露出エリアに応じた部分の内部の加工屑を、噴出する混合流体によって良好に洗浄することができる。
【選択図】図５

Description

本発明は、チャックテーブルの洗浄方法に関する。

チャックテーブルのポーラス部材の上面である保持面に保持されたウェーハを研削砥石を用いて研削する研削装置では、保持面は、特許文献１に開示のように、たとえばブラシを用いて洗浄される。また、特許文献２に開示のように、保持面に向かって二流体を噴射することによって、保持面を洗浄する場合もある。さらに、特許文献３および４に開示の技術では、保持面から二流体を噴出させることによって、研削加工中にポーラス部材の内部に進入した研削屑を、保持面から噴出させている。

特開２００３－０５９８８１号公報 特開２０１１－０２００７８号公報 特開２０１５－０５４３５９号公報 特開２０１５－０６０９２２号公報

しかし、ポーラス部材の内部に進入したすべての研削屑を除去する事は難しい。このため、研削加工中にウェーハの外周縁からポーラス部材の内部に進入した研削屑によって、保持面の外周部分の吸引力が低下することがある。

このように、保持面の外周部分の吸引力が低下すると、保持面とウェーハの外周部分の下面との間に隙間ができてしまう。この状態でウェーハの研削を行うと、ウェーハの外周部分が、予め設定された厚みよりも薄く仕上がってしまう。
したがって、本発明の目的は、保持面によって吸引保持したウェーハを加工する加工装置に関し、保持面の外周部分における吸引力の低下を抑制することにある。

本発明にかかる第１のチャックテーブルの洗浄方法（第１洗浄方法）は、上面が板状ワークを吸引保持する保持面であるポーラス板を備えたチャックテーブルと、吸引源あるいは流体供給源を、該ポーラス板に切り替え可能に連通させる連通機構と、該保持面に吸引保持された板状ワークを加工する加工ユニットと、を備える加工装置における該チャックテーブルの洗浄方法であって、該保持面の環状の外周エリアの一部を露出させて露出エリアとする一方、それ以外の部分を覆うように、該保持面上に板状物を押し付け配置する配置工程と、該ポーラス板に該流体供給源を連通させることにより、該ポーラス板の上面である該保持面の該露出エリアから流体を噴出させる第１噴出工程と、該板状物の位置を該保持面上にて変えることによって、該保持面における該露出エリアを変更する再配置工程と、該再配置工程と該第１噴出工程とを繰り返す繰り返し工程と、を含み、環状の外周エリアにおいて該第１噴出工程を実施することにより該チャックテーブルを洗浄する方法である。

第１洗浄方法においては、該加工装置は、該板状物を保持する保持部、および、該保持部を該チャックテーブルに対して該保持面に平行な方向に移動させる移動機構を含み、該保持面に該板状物を搬送する搬送ユニットをさらに備えてもよく、該搬送ユニットと該チャックテーブルとを該保持面に平行な方向に相対的に移動させながら、該配置工程または該再配置工程を実施してもよい。

本発明にかかる第２のチャックテーブルの洗浄方法（第２洗浄方法）は、上面が板状ワークを吸引保持する保持面であるポーラス板を備えたチャックテーブルと、吸引源あるいは流体供給源を、該ポーラス板に切り替え可能に連通させる連通機構と、該保持面に吸引保持された板状ワークを加工する加工ユニットと、を備える加工装置における該チャックテーブルの洗浄方法であって、該保持面の環状の外周エリアの一部を露出させて露出エリアとする一方、それ以外の部分を覆うように、該保持面上に板状物を配置する配置工程と、該配置工程の後、該保持面に平行な方向に該板状物と該チャックテーブルとを相対的に移動させることによって該保持面における該露出エリアを切り替えつつ、該ポーラス板に該流体供給源を連通させることにより、該保持面の該露出エリアから流体を噴出させる第２噴出工程と、を含む。

第２洗浄方法においては、該加工装置は、該保持面の中心を軸に該チャックテーブルを回転させる回転機構をさらに備えてもよく、該第２噴出工程は、該回転機構を用いて該チャックテーブルを回転させることによって該露出エリアを切り替えることを含んでもよい。

本発明の洗浄方法では、ポーラス板に流体を供給する際、ポーラス板の上面である保持面の外周エリアの一部のみが露出エリアとなるように、保持面に板状物を配置している。このため、ポーラス板に供給された流体は、保持面の露出エリアのみから噴出することになるので、露出エリアにかかる流体の圧力が高くなり、露出エリアから流体が勢いよく噴出する。したがって、ポーラス板における露出エリアに応じた部分の内部の塵を、噴出する流体によって良好に洗浄（排出）することができる。

また、本発明の洗浄方法では、このような流体供給源からの流体供給を、外周エリアにおける露出エリアの位置を変更しながら実施している。したがって、ポーラス板における保持面の外周エリアに応じた部分を、広範囲にわたって洗浄することができる。このため、保持面の外周エリアに作用する吸引力が低下することを抑制することができる。

加工装置の全体を表す斜視図である。 保持面によって板状ワークを保持する際のチャックテーブルの断面図である。 保持面に板状ワークが配置される際のチャックテーブルの上面図である。 保持面に板状ワークが配置される際のチャックテーブルの上面図である。 保持面に板状ワークが配置される際のチャックテーブルの上面図である。 保持面に板状ワークが配置される際のチャックテーブルの上面図である。 保持面に他の板状ワークを配置する際の他のチャックテーブルの上面図である。 保持面に他の板状ワークを配置する際の他のチャックテーブルの上面図である。 保持面に他の板状ワークを配置する際の他のチャックテーブルの上面図である。 保持面に他の板状ワークを配置する際の他のチャックテーブルの上面図である。

［第１実施形態］
図１に示す加工装置１は、加工ユニット３を用いてチャックテーブル２に保持された板状ワーク１４を研削加工する加工装置である。本実施形態では、加工ユニット３は研削ユニットであり、加工装置１は研削装置である。板状ワーク１４は、たとえば円板状のベアウェーハである。以下、加工装置１について説明する。
加工装置１は、図１に示すようにＹ軸方向に延設されたベース１０と、ベース１０の＋Ｙ方向側に立設されたコラム１１とを備えている。

ベース１０の－Ｙ方向側かつ＋Ｘ方向側には、第１カセットステージ７００が配設されている。第１カセットステージ７００の－Ｘ方向側には、第２カセットステージ７０２が配設されている。
第１カセットステージ７００には、第１カセット７０１が載置される。第１カセット７０１は、板状ワーク１４を収納するための図示しない複数の棚を備えている。第１カセット７０１には、たとえば、加工前の複数の板状ワーク１４が、棚状に収納されている。
第２カセットステージ７０２には、第２カセット７０３が載置される。第２カセット７０３も、板状ワーク１４を収納するための図示しない複数の棚を備えている。第２カセット７０３には、たとえば、加工後の板状ワーク１４が収納される。

第１カセット７０１の＋Ｙ方向側には、ロボット７１が配設されている。ロボット７１の可動域における＋Ｘ方向側には、加工前の板状ワーク１４が仮置きされる仮置き領域７２０が設けられている。ロボット７１の可動域における－Ｘ方向側には、加工後の板状ワーク１４を洗浄するための洗浄領域７３０が設けられている。

ロボット７１は、第１カセット７０１に収納されている板状ワーク１４を引き出して、仮置き領域７２０に搬送することができる。
また、ロボット７１は、スピンナテーブル７３２に保持されている加工後の板状ワーク１４を、第２カセット７０３に収納することもできる。すなわち、ロボット７１は、第１カセット７０１から板状ワーク１４を引き出すとともに、加工後の板状ワーク１４を第２カセット７０３に収納する。

仮置き領域７２０には、位置合わせ機構７２が配設されている。カセット７０から搬出されて仮置き領域７２０に載置された板状ワーク１４は、位置合わせ機構７２によって、所定の位置に位置合わせされることとなる。

仮置き領域７２０の＋Ｙ方向側には、ドレッサボード１５を載置するためのドレッサボードステージ１５８が配設されている。ドレッサボード１５は、円板状の基材１５０と、同じく円板状のドレス砥石１５２とを備えている。ドレス砥石１５２は、基材１５０上の中央に固定されている。

また、仮置き領域７２０に隣接する位置には、第１搬送ユニット７４１が配設されている。第１搬送ユニット７４１は、チャックテーブル２の保持面２１０に板状物を搬送する。板状物は、板状ワーク１４およびドレッサボード１５等を含む。
すなわち、第１搬送ユニット７４１は、仮置き領域７２０にて位置合わせ機構７２によって位置合わせされた板状ワーク１４、あるいは、ドレッサボードステージ１５８に載置されているドレッサボード１５を、チャックテーブル２に搬入する。

第１搬送ユニット７４１は、円板状の保持部７５と、保持部７５をチャックテーブル２に対して保持面２１０に平行な方向に移動させる移動機構７６と、を備えている。
保持部７５は、図示しない吸引源に接続された搬送パッドであり、板状物を吸引保持する。図２に、第１搬送ユニット７４１を側方から示す。この図２に示すように、保持部７５の下面は、板状ワーク１４あるいはドレッサボード１５などの板状物を吸引保持するパッド面７５０である。

パッド面７５０の中央部分には、円板状に形成されたドレス砥石用凹部７５２が設けられている。ドレス砥石用凹部７５２は、ドレッサボード１５のドレス砥石１５２に対応しており、ドレス砥石１５２を収容可能である。保持部７５を用いてドレッサボード１５を吸引保持する際には、ドレッサボード１５のドレス砥石１５２がドレス砥石用凹部７５２に収容された状態で、ドレッサボード１５の基材１５０が、パッド面７５０に吸引保持される。

図１に戻って、第１搬送ユニット７４１の移動機構７６について説明する。移動機構７６は、保持部７５を吊持するアーム部７６０、および、アーム部７６０の端部に連結された軸部７６２を有している。軸部７６２には、Ｚ軸方向の軸心を軸にして軸部７６２を回転させる図示しない回転機構が接続されている。この回転機構を用いて軸部７６２を回転させることによって、軸部７６２に連結されているアーム部７６０を旋回させて、保持部７５を水平移動させることができる。
さらに、軸部７６２には、図示しない昇降機構が配設されている。この昇降機構を用いて軸部７６２をＺ軸方向に昇降させることにより、アーム部７６０および保持部７５を、Ｚ軸方向に一体的に昇降移動することができる

ここで、第１搬送ユニット７４１によって、仮置き領域７２０に載置されている板状ワーク１４を、チャックテーブル２の保持面２１０に搬入する動作について説明する。この場合、アーム部７６０を旋回させて、仮置き領域７２０の板状ワーク１４の真上に、保持部７５を位置づける。その後、板状ワーク１４に接するまで保持部７５を下降させてから、吸引源を保持部７５に連通させる。これにより、保持部７５によって、板状ワーク１４を吸引保持することができる。この状態で、アーム部７６０を上昇および旋回させて、保持面２１０の上方に保持部７５を位置づける。さらに、板状ワーク１４が保持面２１０に接するまで保持部７５を下降させてから、保持部７５に作用している吸引力を解除する。これにより、板状ワーク１４を、チャックテーブル２の保持面２１０に搬入することができる。

チャックテーブル２は、ベース１０上に配設されている。チャックテーブル２は、ポーラス材からなる円板状のポーラス板２１と、ポーラス板２１を支持する枠体２２とを備えている。ポーラス板２１の上面は、板状ワーク１４を吸引保持する保持面２１０である。また、枠体２２の上面２２０は、保持面２１０に面一となるように形成されている。
保持面２１０は、たとえば、板状ワーク１４よりも大径に形成されている。チャックテーブル２は、この保持面２１０によって板状ワーク１４を保持した状態で、保持面２１０の中心２１００を通るＺ軸方向に延在する中心軸を中心として回転可能である。

ベース１０の内部には、チャックテーブル２を水平方向（Ｙ軸方向）に移動させる図示しない水平移動機構が配設されている。この水平移動機構により、チャックテーブル２をＹ軸方向に往復移動させることができる。

チャックテーブル２の周囲は、カバー２７によって囲まれている。このカバー２７には、伸縮自在に連結された蛇腹２８が連結されている。たとえば、チャックテーブル２がＹ軸方向に移動すると、カバー２７がチャックテーブル２とともにＹ軸方向に移動して、蛇腹２８が伸縮することとなる。

チャックテーブル２に隣接する位置には、保持面２１０によって保持されている板状ワーク１４の厚みを測定する厚み測定機構８が配設されている。厚み測定機構８は、たとえば、接触式のハイトゲージを有している。この構成では、板状ワーク１４の上面１４０と枠体２２の上面２２０との双方にハイトゲージを接触させて、両者の高さを測定し、それらの差を算出することによって、板状ワーク１４の厚みを測定することができる。

コラム１１の－Ｙ方向側の側面には、チャックテーブル２の保持面２１０に吸引保持された板状ワーク１４を加工する加工ユニット３、および、加工ユニット３を支持して加工送り方向に昇降させる加工送り機構４が配設されている。

加工送り機構４は、Ｚ軸方向の回転軸４５を有するボールネジ４０と、ボールネジ４０に対して平行に配設された一対のガイドレール４１と、回転軸４５を軸にしてボールネジ４０を回転させるＺ軸モータ４２と、内部のナットがボールネジ４０に螺合して側部がガイドレール４１に摺接する昇降板４３と、昇降板４３に連結され加工ユニット３を支持するホルダ４４と、を備えている。

加工送り機構４では、Ｚ軸モータ４２によってボールネジ４０が駆動されることにより、ボールネジ４０が、回転軸４５を軸にして回転する。これに伴って、昇降板４３が、ガイドレール４１に案内されて、Ｚ軸方向に昇降移動する。さらに、昇降板４３に連結されているホルダ４４、および、ホルダ４４に保持されている加工ユニット３が、Ｚ軸方向に加工送りされる。

加工ユニット３は、Ｚ軸方向の回転軸３５を有するスピンドル３０と、スピンドル３０を回転可能に支持するハウジング３１と、回転軸３５を軸にしてスピンドル３０を回転駆動するスピンドルモータ３２と、スピンドル３０の下端に接続されたマウント３３と、マウント３３の下面に着脱可能に装着された研削ホイール３４と、を備える。

研削ホイール３４は、ホイール基台３４１と、略直方体状の複数の研削砥石３４０とを備えている。研削砥石３４０は、ホイール基台３４１の下面に、環状に配列されている。研削砥石３４０の下面は、チャックテーブル２に保持された板状ワーク１４に接触する研削面３４２となっている。

加工ユニット３では、スピンドルモータ３２を用いて回転軸３５を軸にしてスピンドル３０を回転させることにより、スピンドル３０に接続されたマウント３３およびマウント３３の下面に装着された研削ホイール３４が、一体的に回転することとなる。これにより、研削ホイール３４の研削砥石３４０が、その研削面３４２によって、チャックテーブル２に保持された板状ワーク１４を研削する。

研削加工後の板状ワーク１４は、第２搬送ユニット７４２によって搬出される。第２搬送ユニット７４２は、第１搬送ユニット７４１の－Ｘ方向側に配設されており、第１搬送ユニット７４１と同様の構成を有している。すなわち、第２搬送ユニット７４２も、板状物を保持する円板状の保持部７５と、保持部７５を保持面２１０に平行な方向に移動させる移動機構７６とを有している。
第２搬送ユニット７４２は、チャックテーブル２の保持面２１０に載置されている研削加工後の板状ワーク１４を保持部７５によって吸引保持し、チャックテーブル２から搬出して、洗浄領域７３０に配設されているスピンナ洗浄機構７３に搬送する。

スピンナ洗浄機構７３は、板状ワーク１４が保持されるスピンナテーブル７３２と、スピンナテーブル７３２に保持された板状ワーク１４に向けて洗浄水を噴出する図示しない洗浄水供給ノズルとを備えている。
スピンナ洗浄機構７３では、スピンナテーブル７３２の上面に加工後の板状ワーク１４が保持されている状態で、スピンナテーブル７３２を回転させながら洗浄水供給ノズルから洗浄水を供給することにより、板状ワーク１４を洗浄することができる。

ここで、第２搬送ユニット７４２によって、チャックテーブル２の保持面２１０に載置されている加工後の板状ワーク１４を、洗浄領域７３０のがスピンナ洗浄機構７３に搬出する動作について説明する。この場合、アーム部７６０を旋回させて、保持面２１０上の板状ワーク１４の真上に、保持部７５を位置づける。その後、板状ワーク１４に接するまで保持部７５を下降させてから、吸引源を保持部７５に連通させることにより、保持部７５によって板状ワーク１４を吸引保持することができる。この状態で、アーム部７６０を上昇および旋回させて、スピンナ洗浄機構７３におけるスピンナテーブル７３２上方に、保持部７５を位置づける。さらに、板状ワーク１４がスピンナテーブル７３２の上面に接するまで保持部７５を下降させてから、保持部７５に作用している吸引力を解く。これにより、板状ワーク１４を、保持面２１０からスピンナ洗浄機構７３に搬出することができる。

また、板状ワーク１４がスピンナ洗浄機構７３に搬出されて洗浄された後、ロボット７１は、スピンナ洗浄機構７３のスピンナテーブル７３２に保持されている板状ワーク１４を吸引保持し、スピンナ洗浄機構７３から搬出して、第２のカセット１５４に搬入する。

次に、チャックテーブル２に関する詳細な構成について説明する。図２に示すように、チャックテーブル２の下方には、保持面２１０の中心２１００を軸にしてチャックテーブル２を回転させる回転機構２６が配設されている。

本実施形態では、回転機構２６は、プーリ機構である。すなわち、回転機構２６は、モータ２６０と、モータ２６０によってＺ軸方向の軸心を軸に回転可能な駆動軸２６２と、駆動軸２６２の上端に連結されている駆動プーリ２６３と、駆動プーリ２６３に巻回されて駆動プーリ２６３の駆動力を従動プーリ２６５に伝達する伝動ベルト２６４と、駆動プーリ２６３とともに伝動ベルト２６４に巻回されている従動プーリ２６５と、従動プーリ２６５に接続されてＺ軸方向の回転軸２５を軸に回転可能な従動軸２６６と、従動軸２６６の下端に連結されたロータリジョイント２６７と、を備えている。従動軸２６６は、チャックテーブル２に連結されている。

回転機構２６では、モータ２６０を用いて駆動軸２６２を回転させると、駆動プーリ２６３が回転するとともに、駆動プーリ２６３の回転力が伝動ベルト２６４によって従動プーリ２６５に伝達されて、従動プーリ２６５が回転する。これにより、従動プーリ２６５に接続されている従動軸２６６が回転軸２５を軸にして回転する。そして、従動軸２６６に連結されているチャックテーブル２が、同じく回転軸２５を軸にして回転する。

また、加工装置１は、チャックテーブル２のポーラス板２１に接続されることの可能な、吸引源２４０および流体供給源２４を備えている。流体供給源２４は、エア供給源２４１および水供給源２４２を含んでいる。
さらに、加工装置１は、連通機構９を備えている。連通機構９は、チャックテーブル２のポーラス板２１に対して、流体供給源２４から流体であるエアあるいは水を供給する、あるいは、ポーラス板２１に吸引源２４０からの吸引力を付与するための機構である。すなわち、連通機構９は、吸引源２４０と流体供給源２４を、ポーラス板２１に切り替え可能に連通させるように構成されている。

連通機構９は、チャックテーブル２のポーラス板２１に接続された流路２４３を有している。流路２４３は、チャックテーブル２の枠体２２、従動軸２６６、およびロータリジョイント２６７の内部を貫通するように形成されている。流路２４３は、ロータリジョイント２６７の側面からロータリジョイント２６７の外部に突き出て、吸引路２４３０、エア流路２４３１、および水流路２４３２に分岐している。

連通機構９は、吸引源２４０とポーラス板２１との間に配設された、吸引バルブ２４００および絞り弁２４０１を備えている。吸引バルブ２４００が開かれると、吸引源２４０の吸引力が、流路２４３を通じて、ポーラス板２１の保持面２１０に伝達される。これにより、板状ワーク１４が保持面２１０に載置されている状態で、吸引バルブ２４００を開くことにより、保持面２１０によって板状ワーク１４を吸引保持することができる。絞り弁２４０１は、保持面２１０に伝達される吸引力を調整するために用いられる。

連通機構９は、エア供給源２４１とポーラス板２１との間に配設された、エアバルブ２４１０および絞り弁２４１１を備えている。エアバルブ２４１０が開かれると、エア供給源２４１からのエアが、流路２４３を通じてポーラス板２１に供給される。これにより、ポーラス板２１の保持面２１０に形成されている多数の細孔から、保持面２１０の上方の空間に向かってエアが噴出して、ポーラス板２１の内部および保持面２１０に付着している研削屑等を除去することができる。絞り弁２４１１は、保持面２１０に供給されるエアの流量を調整するために用いられる。

連通機構９は、水供給源２４２とポーラス板２１との間に配設された、水バルブ２４２０および絞り弁２４２１を備えている。水バルブ２４２０が開かれると、水供給源２４２からの水が、流路２４３を通じてポーラス板２１に供給される。これにより、ポーラス板２１の保持面２１０の多数の細孔から水が噴出して、ポーラス板２１の内部および保持面２１０に付着している研削屑等を除去することができる。絞り弁２４２１は、保持面２１０に供給される水の流量を調整するために用いられる。
なお、エアバルブ２４１０および水バルブ２４２０を同時に開いて、水およびエアをポーラス板２１に同時に供給してもよい。

また、流路２４３には、圧力計９０が設けられている。圧力計９０の値を読み取ることにより、流路２４３を通過する流体の圧力、および、吸引源２４０から流路２４３に及ぼされる吸引作用の圧力を計測することができる。これらの圧力に基づいて、ポーラス板２１の保持面２１０に作用する吸引力等を測定することができる。

また、加工装置１は、制御部７を備えている。制御部７は、制御プログラムに従って演算処理を行うＣＰＵ、および、メモリ等の記憶媒体等を備えている。制御部７は、加工装置１の上述した各部材を制御して、板状ワーク１４に対する研削加工、および、チャックテーブル２の洗浄を実行する。

このような構成を有する加工装置１によって板状ワーク１４を研削加工する方法について説明する。まず、制御部７は、図１に示したロボット７１を用いて、第１カセット７０１に収納された複数の板状ワーク１４のうちの１枚を引き出して、仮置き領域７２０に載置する。さらに、制御部７は、位置合わせ機構７２を用いて、板状ワーク１４の位置合わせを行う。

そして、制御部７は、第１搬送ユニット７４１を用いて、位置合わせされた板状ワーク１４を、チャックテーブル２の保持面２１０の上に載置する。このとき、制御部７は、図３に示すように、板状ワーク１４の中心と保持面２１０の中心２１００とが一致するように、板状ワーク１４を保持面２１０に載置する。この図に示すように、板状ワーク１４は、保持面２１０よりも大径に形成されている。そのため、保持面２１０を板状ワーク１４が覆っている。
なお、たとえば、図４に示すように、保持面２１０の外側に保持面２１０を形成するポーラス板２１より細かいポーラス部材で環状に形成したリングポーラス板２０１を備え、板状ワーク１４の中心と保持面２１０の中心２１００とを一致させ保持面２１０が板状ワーク１４を吸引保持した際に、リングポーラス板２０１の外周となる環状エリア２１１が露出していてもよい。

次いで、制御部７は、保持面２１０に板状ワーク１４が載置された状態で、図２に示した連通機構９を用いてポーラス板２１と吸引源２４０とを連通させることにより、吸引源２４０の吸引力を、ポーラス板２１の保持面２１０に伝達する。これにより、チャックテーブル２では、保持面２１０によって、板状ワーク１４が吸引保持される。

次に、制御部７は、上述した水平移動機構を用いて、チャックテーブル２を、図１に示した加工ユニット３の下方に移動させる。これにより、板状ワーク１４が、加工ユニット３の下方に位置づけられる。

その後、制御部７は、回転機構２６（図２参照）を用いてチャックテーブル２を回転させるとともに、スピンドルモータ３２を用いて研削砥石３４０を回転軸３５を軸にして回転させる。さらに、制御部７は、加工送り機構４を用いて、研削砥石３４０を－Ｚ方向に下降させる。これにより、板状ワーク１４の上面１４０が、研削砥石３４０の研削面３４２に接触して研削加工される。
また、制御部７は、研削加工中に、厚み測定機構８を用いた板状ワーク１４の厚み測定を行う。制御部７は、板状ワーク１４が所定の厚みに研削加工されたら、板状ワーク１４の研削加工を終了する。
なお、図３に示したように、保持面２１０によって板状ワーク１４を吸引保持した際、保持面２１０を板状ワーク１４が覆っているが、保持面２１０の吸引力によって板状ワーク１４の外周縁から加工屑が吸引され保持面２１０からポーラス板２１内に吸い込まれる。

次に、加工装置１における、チャックテーブル２の洗浄方法について説明する。チャックテーブル２の洗浄は、たとえば、加工装置１による板状ワーク１４の研削加工の前、あるいは、複数の板状ワーク１４を加工した後に実施される。

（配置工程）
まず、制御部７は、図１に示したロボット７１を用いて第１カセット７０１から板状ワーク１４を引き出して、仮置き領域７２０に載置し、位置合わせ機構７２を用いて板状ワーク１４の位置合わせを行う。

その後、制御部７は、第１搬送ユニット７４１を用いて、板状ワーク１４をチャックテーブル２の保持面２１０の上に搬送する。すなわち、制御部７は、第１搬送ユニット７４１の保持部７５によって板状ワーク１４を吸引保持するとともに、第１搬送ユニット７４１の移動機構７６を用いて、板状ワーク１４を保持している保持部７５を、チャックテーブル２の保持面２１０上に配置する。

このとき、制御部７は、移動機構７６を用いて、保持部７５を、チャックテーブル２上において、チャックテーブル２に対して保持面２１０に平行な方向に移動させた後、保持部７５を、保持面２１０に垂直な方向に下降させ、保持部７５が保持した板状ワーク１４を保持面２１０に押し付ける。このようにして、制御部７は、図５に示すように、保持面２１０の環状の外周エリアの一部のエリアである第１エリア２１２を露出させて露出エリアとする一方、外周エリアのそれ以外の部分を覆うように、保持面２１０に板状ワーク１４を押し付け配置する。

このように、制御部７は、第１搬送ユニット７４１とチャックテーブル２とを保持面２１０に平行な方向に相対的に移動させ、配置工程を実施する。また、制御部７は、保持面２１０に板状ワーク１４を配置した後においても、第１搬送ユニット７４１の保持部７５によって板状ワーク１４を吸引保持した状態を維持する。

（第１噴出工程）
次いで、制御部７は、図２に示した連通機構９を用いて、ポーラス板２１を流体供給源２４に連通させて、ポーラス板２１の保持面２１０の露出エリアである第１エリア２１２から流体を噴出させる。具体的には、制御部７は、たとえば、連通機構９のエアバルブ２４１０と水バルブ２４２０とを開くことにより、ポーラス板２１にエアと水との混合流体を供給して、保持面２１０の第１エリア２１２から混合流体を噴出させる。これにより、第１エリア２１２、および、ポーラス板２１における第１エリア２１２に応じた部分の内部が洗浄される。

このとき、板状ワーク１４における保持面２１０を覆っている部分には、板状ワーク１４を上方に押し上げようとする混合流体の力が加わる。これに関し、板状ワーク１４は、第１搬送ユニット７４１の保持部７５によって吸引保持されているため、混合流体によって移動することが抑制されている。

（再配置工程）
次に、制御部７は、エアバルブ２４１０と水バルブ２４２０とを閉じるとともに、板状ワーク１４の位置を保持面２１０上にて変えることによって、保持面２１０における露出エリアを変更する。すなわち、制御部７は、移動機構７６を用いて、板状ワーク１４を保持している保持部７５を、チャックテーブル２上において、チャックテーブル２に対して保持面２１０に平行な方向に移動させて、保持面２１０の露出エリアを変更する。たとえば、制御部７は、移動機構７６を用いて、保持部７５を、図５に示す状態から、時計回りに旋回移動させる。これにより、図６に示すように、保持面２１０の環状の外周エリアのうちの第２エリア２１４が露出エリアとなる。このように、制御部７は、第１搬送ユニット７４１とチャックテーブル２とを保持面２１０に平行な方向に相対的に移動させ、再配置工程を実施する。
なお、板状ワーク１４を保持している保持部７５を、チャックテーブル２上において、チャックテーブル２に対して保持面２１０に平行な方向に移動させる際に、エアバルブ２４１０と水バルブ２４２０とを開いていてもよい。

（繰り返し工程）
その後、制御部７は、上述した第１噴出工程を再び実施する。すなわち、制御部７は、再配置工程の後、再び、連通機構９のエアバルブ２４１０と水バルブ２４２０とを開くことにより、保持面２１０の露出している第２エリア２１４からエアと水との混合流体を噴出させる。これにより、第２エリア２１４、および、ポーラス板２１における第２エリア２１４に応じた部分の内部が洗浄される。

その後、制御部７は、再び再配置工程を実施して保持面２１０における露出エリアを変更した後、第１噴出工程を実施する。このようにして、制御部７は、再配置工程と第１噴出工程とを繰り返す。
このように、制御部７は、保持面２１０の環状の外周エリアにおいて第１噴出工程を実施することにより、チャックテーブル２０を洗浄する。

以上のように、本実施形態では、チャックテーブル２のポーラス板２１にエアと水との混合流体を供給する際、ポーラス板２１の上面である保持面２１０の一部のみが露出エリアとなるように、保持面２１０に板状ワーク１４を配置している。このため、ポーラス板２１に供給された混合流体は、保持面２１０の露出エリアのみから噴出することになるので、露出エリアにかかる圧力が高くなり、露出エリアから加工屑を含む混合流体が勢いよく噴出する。したがって、ポーラス板２１における露出エリアに応じた部分の内部の加工屑を、噴出する混合流体によって良好に洗浄（排出）することができる。

また、本実施形態では、このようなポーラス板２１に対する混合流体の供給を、保持面２１０の環状の外周エリアにおける露出エリアの位置を変更しながら実施している。したがって、ポーラス板２１における保持面２１０の環状の外周エリアに応じた部分を、広範囲（たとえば外周エリアの全域）にわたって洗浄することができる。このため、保持面２１０の外周エリアに作用する吸引力が低下することを、抑制することができる。

また、チャックテーブル２が、図４に示したリングポーラス板２０１を有する構成である場合、本実施形態の洗浄方法によって、保持面２１０の外周エリアに加えて、リングポーラス板２０１の外周となる環状エリア２１１を洗浄することができる。
また、板状ワーク１４の下面に貼着テープが貼着されている場合もある。この場合、板状ワーク１４の研削後に、チャックテーブル２の保持面２１０から流体を噴出させてもよい。これにより、貼着テープを洗浄することができる。

なお、第１噴出工程では、第１搬送ユニット７４１の保持部７５を用いて板状ワーク１４の保持状態を維持することに代えて、たとえば、オペレータが、手で、板状ワーク１４を保持面２１０に押し付けてもよい。また、板状ワーク１４の上面１４０におもりを載せることにより、板状ワーク１４を保持面２１０に押し付けてもよい。

［第２実施形態］
本実施形態では、第１実施形態に示した加工装置１におけるチャックテーブル２の他の洗浄方法について説明する。

（配置工程）
本実施形態の配置工程は、第１実施形態に示した配置工程と同様の工程である。すなわち、制御部７は、図１に示した第１搬送ユニット７４１の保持部７５によって板状ワーク１４を吸引保持するとともに、移動機構７６を用いて、板状ワーク１４を、チャックテーブル２の保持面２１０の上に配置あるいは押し付け配置する。このとき、制御部７は、図５に示すように、保持面２１０の環状の外周エリアのうちの一部のエリアである第１エリア２１２を露出させて露出エリアとする一方、外周エリアのそれ以外の部分を覆うように、板状ワーク１４を保持面２１０に配置する。そして、制御部７は、保持面２１０に板状ワーク１４を配置した後においても、第１搬送ユニット７４１の保持部７５によって板状ワーク１４を吸引保持した状態を維持する。

（第２噴出工程）
第２噴出工程では、制御部７は、保持面２１０に平行な方向に板状ワーク１４とチャックテーブル２とを相対的に移動させることによって、保持面２１０における露出エリアを切り替えつつ、ポーラス板２１に流体供給源２４を連通させることにより、保持面２１０の露出エリアから流体を噴出させる。

すなわち、まず、制御部７は、図２に示した連通機構９を用いて、ポーラス板２１を流体供給源２４に連通させて、ポーラス板２１の保持面２１０の露出エリアである第１エリア２１２から流体を噴出させる。具体的には、制御部７は、たとえば、連通機構９のエアバルブ２４１０と水バルブ２４２０とを開くことにより、ポーラス板２１に混合流体を供給して、保持面２１０の第１エリア２１２から混合流体を噴出させる。これにより、第１エリア２１２、および、ポーラス板２１における第１エリア２１２に応じた部分の内部が洗浄される。

その後、制御部７は、第１エリア２１２から混合流体が噴出している状態で、移動機構７６を用いて、板状ワーク１４を保持している保持部７５を旋回移動させることによって、保持面２１０に平行な方向に板状ワーク１４とチャックテーブル２とを相対的に移動させる。このようにして、制御部７は、保持面２１０の露出エリアを切り替える。たとえば、制御部７は、図５に示した第１エリア２１２が露出エリアである状態から、保持部７５を時計回りに旋回移動させることによって、図６に示したように、露出エリアを第２エリア２１４に切り替えていく。これにより、保持面２１０の露出エリアが切り替わっていく間に、露出エリアからエアが連続的に噴出する。

このように、本実施形態でも、保持面２１０の外周エリアの一部のみが露出エリアとなるように板状ワーク１４を配置しているため、ポーラス板２１に供給された混合流体が、加工屑とともに露出エリアから勢いよく噴出する。したがって、ポーラス板２１における露出エリアに応じた部分の内部の加工屑を、噴出する混合流体によって良好に洗浄することができる。

また、本実施形態では、このようなポーラス板２１に対する混合流体の供給を、保持面２１０の環状の外周エリアにおける露出エリアを切り替えながら実施している。したがって、ポーラス板２１における保持面２１０の環状の外周エリアを、広範囲（たとえば外周エリアの全域）にわたって洗浄することができる。このため、本実施形態においても、保持面２１０の外周エリアに作用する吸引力が低下することを、抑制することができる。
また、本実施形態の洗浄方法でも、図４に示したリングポーラス板２０１を有するチャックテーブル２に関し、保持面２１０の外周エリアに加えて、リングポーラス板２０１の外周となる環状エリア２１１を洗浄することができる。

なお、制御部７は、第２噴出工程において、保持面２１０の露出エリアを切り替える際には、チャックテーブル２を回転させる回転機構２６を用いてもよい。たとえば、保持面２１０の環状の外周エリアのうちの一部のエリアである第１エリア２１２が露出エリアとなるように板状ワーク１４が配置されており、かつ、第１搬送ユニット７４１の保持部７５によって板状ワーク１４が吸引保持されている状態で、制御部７は、図２に示した回転機構２６を用いてチャックテーブル２を回転させることによって、露出エリアを切り替えてもよい。

また、第１および第２実施形態では、第１および第２噴出工程において保持面２１０から流体を噴出させる際に、ポーラス板２１に、流体としてエアと水との混合流体を供給している。これに関し、第１および第２噴出工程では、ポーラス板２１に、流体として水とエアとを交互に供給してもよい。

この場合、制御部７は、図２に示した水バルブ２４２０とエアバルブ２４１０とを交互に開くことにより、ポーラス板２１に水とエアとを交互に供給して、保持面２１０の露出エリアから水とエアとを交互に噴出させる。これにより、露出エリアおよびポーラス板２１における露出エリアに応じた部分の内部が洗浄される。

また、制御部７は、水バルブ２４２０またはエアバルブ２４１０のいずれかのバルブを開いて、水またはエアを、ポーラス板２１に供給して、保持面２１０の露出エリアから噴出させてもよい。

また、制御部７は、再配置工程あるいは第２噴出工程において、保持面２１０の露出エリアを変更する際に、第１搬送ユニット７４１の移動機構７６を用いて板状ワーク１４を保持している保持部７５を移動させることに代えて、チャックテーブル２に接続された上述した水平移動機構を用いて、チャックテーブル２を保持部７５に対して水平移動させるか、あるいは、図２に示した回転機構２６を用いてチャックテーブル２を回転させてもよい。

なお、ポーラス板２１における保持面２１０の環状の外周エリアの一部を露出させるように保持面２１０の上に載置される板状物には、ベアウェーハとしての板状ワーク１４に加えて、研削加工後の板状ワーク１４、および、ドレッサボード１５等が含まれる。

板状物として研削加工後の板状ワーク１４を用いる場合には、第１搬送ユニット７４１の保持部７５は、板状ワーク１４の面積以上の面積のパッド面７５０を有する搬送パッドであることが好ましい。

また、板状物として図１に示したドレッサボード１５を用いる場合には、第１搬送ユニット７４１の保持部７５のパッド面７５０には、上述したドレス砥石用凹部７５２に加えて、ドレッサボード１５の基材１５０を保持するための吸盤を備えていることが好ましい。これにより、保持部７５によってドレッサボード１５を良好に保持することが可能となる。

また、第１および第２の実施形態に示した洗浄方法は、図１に示した円板状のチャックテーブル２を洗浄する場合のみならず、他の形状のチャックテーブル、たとえば、円形または多角形の板状ワークを保持するための多角形の保持面を有するチャックテーブルを洗浄することもできる。この場合、多角形の保持面の角を積極的に露出させて洗浄することが好ましい。

図７に、多角形の保持面を有するチャックテーブルの一例として、四角形の保持面５１０を有する直方体形状のチャックテーブル５を示す。この図に示す例では、チャックテーブル５の保持面５１０には、四角形の板状ワーク１６が保持される。

チャックテーブル５は、直方体状のポーラス板５１と、ポーラス板５１を支持する枠体５２とを備えている。ポーラス板５１の上面は、四角形状の保持面５１０である。枠体５２の上面５２０は、保持面５１０に面一となるように形成されている。また、チャックテーブル５のポーラス板５１も、図２に示した連通機構９に接続されている。

図７に示すように、この例では、四角形状の板状ワーク１６よりも小さい保持面５１０で板状ワーク１６が吸引保持される。なお、図８に示すように、保持面５１０の外周に、ポーラス板５１よりも細かいポーラス部材で環状に形成された環状ポーラス板５０１を備えてもよい。この場合、板状ワーク１６の中心と保持面５１０の中心とを一致させて保持面５１０が板状ワーク１６を吸引保持した際に、環状ポーラス板５０１の外周となる環状エリア５１１が露出してもよい。
以下に、図７に示したチャックテーブル５を、上述した第１実施形態に示した洗浄方法によって洗浄する場合について説明する。

制御部７（図１参照）は、図９に示すように、保持面５１０の環状の外周エリアの一部のエリアである第３エリア５１２を露出させて露出エリアとする一方、保持面５１０の外周エリアのそれ以外の部分を覆うように、保持面５１０に板状ワーク１６を押し付け配置する。この第３エリア５１２には、保持面５１０における４つの角が含まれている。
ここで、板状ワーク１６を保持面５１０の上に配置する際には、制御部７は、図１に示した第１搬送ユニット７４１を用いる。そして、制御部７は、保持面５１０の上に板状ワーク１６を配置した後においても、第１搬送ユニット７４１の保持部７５によって板状ワーク１６を吸引保持した状態を維持する（配置工程）。

この状態で、制御部７は、図２に示した連通機構９のエアバルブ２４１０と水バルブ２４２０とを開くことにより、ポーラス板５１の保持面５１０の露出エリアである第３エリア５１２から混合流体を噴出させる。これにより、第３エリア５１２、および、ポーラス板５１における第３エリア５１２に応じた部分の内部が、ここに付着していた加工屑等が混合流体の圧力によって取り除かれるなどして、洗浄される（第１噴出工程）。

次に、制御部７は、エアバルブ２４１０と水バルブ２４２０とを閉じるとともに、たとえば、図２に示した回転機構２６を用いて、チャックテーブル５を回転させることにより、保持面５１０の露出エリアを変える。これにより、図１０に示すように、保持面５１０の外周エリアのうちの第４エリア５１４が露出エリアとなる（再配置工程）。この第４エリア５１４にも、保持面５１０における４つの角が含まれている。
なお、制御部７は、板状ワーク１４を保持している保持部７５を保持面２１０に平行な方向に移動させることにより、露出エリアを変更してもよい。

その後、制御部７は、上述した第１噴出工程を再び実施する。すなわち、制御部７は、図２に示した連通機構９を用いて、再びエアバルブ２４１０と水バルブ２４２０とを開くことにより、保持面５１０の露出している第４エリア５１４からエアを噴出させる。これにより、第４エリア５１４、および、ポーラス板５１における第４エリア５１４に応じた部分の内部が洗浄される。

そして、制御部７は、再配置工程と第１噴出工程とを繰り返す（繰り返し工程）。これにより、チャックテーブル５の保持面５１０の環状の外周エリアを、広範囲（たとえば外周エリアの全域）にわたって、洗浄することができる。
なお、チャックテーブル５が、図８に示した環状ポーラス板５０１を有する構成である場合、保持面５１０の外周エリアに加えて、環状ポーラス板５０１の外周となる環状エリア５１１を洗浄することができる。

また、第１および第２実施形態では、研削装置としての加工装置１を示している。これに関し、加工装置１は、研磨装置あるいは切削装置であってもよい。すなわち、第１および第２実施形態に示した洗浄方法は、研磨装置および切削装置のチャックテーブルを洗浄するためにも用いられることができる。

１：加工装置 １０：ベース １１：コラム ７：制御部
１４，１６：板状ワーク １４０：上面
１５：ドレッサボード １５０：基材 １５２：ドレス砥石
１５８：ドレッサボードステージ
２：チャックテーブル ２１：ポーラス板 ２１０：保持面 ２１１：環状エリア
２１００：中心 ２１２：第１エリア ２１４：第２エリア
２２：枠体 ２２０：上面
２４：流体供給源 ２４０：吸引源 ２４１：エア供給源 ２４２：水供給源
２４３：流路 ２４００：吸引バルブ ２４０１：絞り弁
２４１０：エアバルブ ２４１１：絞り弁 ２４２０：水バルブ
２４２１：絞り弁 ２４３０：吸引路 ２４３１：エア流路 ２４３２：水流路
２５：回転軸
２６：回転機構 ２６０：モータ ２６２：駆動軸 ２６３：駆動プーリ
２６４：伝動ベルト ２６５：従動プーリ ２６６：従動軸
２６７：ロータリジョイント ２７：カバー ２８：蛇腹
３：加工ユニット ３０：スピンドル ３１：ハウジング ３２：スピンドルモータ
３３：マウント ３４：研削ホイール ３４０：研削砥石 ３４１：ホイール基台
３４２：研削面 ３５：回転軸
４：加工送り機構 ４０：ボールネジ ４１：ガイドレール ４２：Ｚ軸モータ
４３：昇降板 ４４：ホルダ ４５：回転軸
５：チャックテーブル ５１：ポーラス板 ５２：枠体 ５１０：保持面
５１１：環状エリア ５１２：第３エリア ５１４：第４エリア ５２０：上面
７１：ロボット
７００：第１カセットステージ ７０１：第１カセット
７０２：第２カセットステージ ７０３：第２カセット
７２：位置合わせ機構 ７３：スピンナ洗浄機構
７２０：仮置き領域 ７３０：洗浄領域 ７３２：スピンナテーブル
７４１：第１搬送ユニット ７４２：第２搬送ユニット
７５：保持部 ７６：移動機構
７５０：パッド面 ７５２：ドレス砥石用凹部
７６０：アーム部 ７６２：軸部
８：厚み測定機構 ９：連通機構 ９０：圧力計

Claims (4)

1. 上面が板状ワークを吸引保持する保持面であるポーラス板を備えたチャックテーブルと、
   吸引源あるいは流体供給源を、該ポーラス板に切り替え可能に連通させる連通機構と、
   該保持面に吸引保持された板状ワークを加工する加工ユニットと、を備える加工装置における該チャックテーブルの洗浄方法であって、
   該保持面の環状の外周エリアの一部を露出させて露出エリアとする一方、それ以外の部分を覆うように、該保持面上に板状物を押し付け配置する配置工程と、
   該ポーラス板に該流体供給源を連通させることにより、該ポーラス板の上面である該保持面の該露出エリアから流体を噴出させる第１噴出工程と、
   該板状物の位置を該保持面上にて変えることによって、該保持面における該露出エリアを変更する再配置工程と、
   該再配置工程と該第１噴出工程とを繰り返す繰り返し工程と、を含み、
   環状の外周エリアにおいて該第１噴出工程を実施することにより該チャックテーブルを洗浄するチャックテーブルの洗浄方法。
2. 該加工装置は、該板状物を保持する保持部、および、該保持部を該チャックテーブルに対して該保持面に平行な方向に移動させる移動機構を含み、該保持面に該板状物を搬送する搬送ユニットをさらに備え、
   該搬送ユニットと該チャックテーブルとを該保持面に平行な方向に相対的に移動させながら、該配置工程または該再配置工程を実施する、
   請求項１記載のチャックテーブルの洗浄方法。
3. 上面が板状ワークを吸引保持する保持面であるポーラス板を備えたチャックテーブルと、
   吸引源あるいは流体供給源を、該ポーラス板に切り替え可能に連通させる連通機構と、
   該保持面に吸引保持された板状ワークを加工する加工ユニットと、を備える加工装置における該チャックテーブルの洗浄方法であって、
   該保持面の環状の外周エリアの一部を露出させて露出エリアとする一方、それ以外の部分を覆うように、該保持面上に板状物を配置する配置工程と、
   該配置工程の後、該保持面に平行な方向に該板状物と該チャックテーブルとを相対的に移動させることによって該保持面における該露出エリアを切り替えつつ、該ポーラス板に該流体供給源を連通させることにより、該保持面の該露出エリアから流体を噴出させる第２噴出工程と、
   を含むチャックテーブルの洗浄方法。
4. 該加工装置は、該保持面の中心を軸に該チャックテーブルを回転させる回転機構をさらに備え、
   該第２噴出工程は、該回転機構を用いて該チャックテーブルを回転させることによって該露出エリアを切り替えることを含む、
   請求項３記載の洗浄方法。

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