JP7398946B2 - 研磨装置 - Google Patents
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Description
研磨装置1は、ワーク100を保持する保持面131を有するチャックテーブル13(保持手段)と、チャックテーブル13に保持されたワーク100に対し研磨面233を接触させて乾式でワーク100を研磨加工する研磨工具23と、研磨工具23を鉛直方向を回転軸として回転可能に支持するスピンドルシャフト222(回転支持軸)と、研磨工具23およびスピンドルシャフト222を鉛直方向に移動させる鉛直移動機構21とを有する研磨機構2と、研磨工具23の研磨面233に工具本体332の上端333(ドレス部3の上端)が接触して研磨面233をドレッシングするドレス部3と、ドレス部3を加工室5の外である第1位置P1(待機位置)と加工室5の中で研磨面233に接触する第3位置P3(ドレス位置)との間で移動可能に支持する移動機構(ドレス部移動ユニット)と、研磨工具23によりワーク100を研磨する加工領域を囲繞する加工室5に接続される加工室用ダクト610と、第1位置P1(待機位置)に設置され研磨面233のドレッシング後に第1位置P1(待機位置)に戻ったドレス部3の周辺に堆積した粉塵を吸引するドレス部用ダクト620と、を備える。
2 研磨機構
3 ドレス部
5 加工室
13 チャックテーブル(保持手段)
21 鉛直移動機構
23 研磨工具
100 ワーク
131 保持面
222 スピンドルシャフト(回転支持軸)
233 研磨面
333 上端(ドレス部3の上端)
610 加工室用ダクト
620 ドレス部用ダクト
Claims (1)
- ワークを保持する保持面を有する保持手段と、
該保持手段に保持された該ワークに対し研磨面を接触させて乾式で該ワークを研磨加工する研磨工具と、
該研磨工具を鉛直方向を回転軸として回転可能に支持する回転支持軸と、
該研磨工具および該回転支持軸を鉛直方向に移動させる鉛直移動機構とを有する研磨機構と、を備えた研磨装置であって、
該研磨工具の該研磨面に上端が接触して該研磨面をドレッシングするドレス部と、
該ドレス部を加工室の外である待機位置と、該加工室の中で該研磨面に接触するドレス位置と、の間で移動可能に支持するドレス部移動ユニットと、
該研磨工具により該ワークを研磨する加工領域を囲繞する該加工室に接続される加工室用ダクトと、
該加工室の外側であって、先端が該待機位置の該ドレス部に向けて設置され、該研磨面のドレッシング後に該待機位置に戻った該ドレス部の周辺に堆積した粉塵を吸引するドレス部用ダクトと、を備えることを特徴とする研磨装置。
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