JP5508114B2 - 研削装置 - Google Patents
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Description
図1および図2は円板形状の半導体ウェーハ(以下、ウェーハ)を示しており、図3は該ウェーハを研削する一実施形態に係る研削装置を示している。
図1および図2に示すウェーハ1は、厚さが例えば700μm程度のシリコンウェーハ等である。このウェーハ1の周面には、半導体の結晶方位に沿ってフラットに切り欠かれてなる複数(この場合は2つ)のオリエンテーションフラット2が形成されている。図2において白丸で示すROはウェーハ1の外周円弧3の中心を示している。外周円弧3は2つのオリエンテーションフラット2で長い方3aと短い方3bとに分けられている。この場合のオリエンテーションフラット2は、互いに直交する方向に形成されている。また、図2において黒丸で示すGOはウェーハ1の重心位置を示している。ウェーハ1はオリエンテーションフラット2が形成されていることから重心位置GOは中心ROとは一致しておらず、重心位置GOは中心ROよりもオリエンテーションフラット2とは反対側の長い方の外周円弧3a側にずれている。
(2−1)研削装置の概要
続いて、図3に示す一実施形態の研削装置10の構成および基本的動作を説明する。この研削装置10では、以下に説明するように、供給側カセット13a内から1枚のウェーハ1が取り出されて加工手段60によりウェーハ1が研削され、この後、ウェーハ1がスピンナ洗浄手段80で洗浄、乾燥処理されてから回収側カセット13bに収納される。この過程での動作は、制御手段90によって自動制御される。
上記位置決め手段30は、図3に示すように、Z方向を回転軸とする回転台31と、回転台31に載置されたウェーハ1を撮像してウェーハ1の外形を検出する検出手段32とを備えている。ウェーハ1は、搬入/搬出ロボット20によって供給側カセット13aから回転台31の上に載置される。そして回転台31が回転し、回転台31とともに回転するウェーハ1の外形が検出手段32で撮像され、その撮像データに基づき、検出手段32によって、ウェーハ1のオリエンテーションフラット2の位置とともに、外周円弧3の中心ROの位置、およびオリエンテーションフラット2の位置を基準としたウェーハ1の重心位置GOが検出される。これらウェーハ1に関する3つのデータは記憶手段91に供給され、この記憶手段91で記憶される。
上記の位置決め手段30から保持テーブル52を経て洗浄テーブル82にウェーハ1を搬入する一連の動作は一例であり、他の搬入動作によってもウェーハ1を重心位置GOが洗浄テーブル82の回転中心82Zに一致した状態に搬入することができる。
2…オリエンテーションフラット
10…研削装置
32…検出手段
40…搬入手段
50…保持手段
52…保持テーブル
52Z…保持テーブルの回転中心
53a…保持テーブルの保持面
60…加工手段
62a…砥石(研削工具)
70…搬出手段
80…スピンナ洗浄手段
82…洗浄テーブル
82Z…洗浄テーブルの回転中心
83a…洗浄テーブルの保持面
90…制御手段
91…記憶手段
RO…ウェーハの円の中心
GO…ウェーハの重心位置
Claims (1)
- 円形を呈し結晶方位を示す方向に円弧の一部をフラットに切り欠いたオリエンテーションフラットを有するウェーハを鉛直方向を回転軸とする保持面に保持する保持テーブルを有する保持手段と、
前記保持テーブルに保持されて回転した状態のウェーハに鉛直方向を回転軸とする研削面を有する回転した状態の研削工具を押し当てて研削加工する加工手段と、
該加工手段で加工されたウェーハを鉛直方向を回転軸とする保持面に保持する洗浄テーブルを有するスピンナ洗浄手段と、
を有する研削装置であって、
ウェーハの前記オリエンテーションフラットの位置を検出する検出手段と、
ウェーハの前記オリエンテーションフラットの位置を基準とした重心位置を記憶する記憶手段と、
を有し、
前記保持テーブルへは、
円形を呈したウェーハの円の中心と該保持テーブルの回転中心とが一致するようにウェーハが載置され、
前記洗浄テーブルへは、
ウェーハの重心位置と該洗浄テーブルの回転中心とが一致するようにウェーハが載置されること
を特徴とする研削装置。
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