JP6335672B2 - 搬送装置 - Google Patents
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Description
11 半導体ウエーハ
30 仕上げ研削ユニット
48 ターンテーブル
50 チャックテーブル
66 仮置きテーブル
70 搬送装置
80 保持ユニット
82 コラム
84 アーム
86 支持部
88 円盤状支持部材
90 ロッド部材
92 吸着パッド
96 環状押圧パッド
98 押圧部
100 垂下部
102 密閉領域
Claims (1)
- 板状の被加工物を仮置きする仮置きテーブルから保持面を有するチャックテーブルまで被加工物を搬送し、外周部が中央付近に比べて上方に反った被加工物でもチャックテーブルでの吸引保持を可能とする搬送装置であって、
被加工物を保持する保持ユニットと、
該保持ユニットを該仮置きテーブルと該チャックテーブルとの間で移動させるとともに垂直方向にも移動させる移動手段と、
該移動手段の端部から垂下して該保持ユニットを支持する支持部と、を備え、
該保持ユニットは、前記支持部に固定された円盤状支持部材と、
一端が該円盤状支持部材の中心部分を貫通して該支持部の先端に移動可能に挿入されたロッド部材と、
該ロッド部材の他端に固定された吸着面を有する吸着パッドと、
該吸着パッドと該円盤状支持部材の間に介装され吸着パッドを下方向に付勢するコイルばねと、
該円盤状支持部材の外周部下面に配設された環状押圧パッドと、を含み、
該環状押圧パッドは、弾性部材で環状に形成され被加工物よりも大きい外径と被加工物よりも小さい内径とを有し被加工物の外周領域を押圧する押圧部と、
弾性部材で環状に形成され該押圧部の外周側面に配設されて該押圧部から下方に向けて延在し、下方に行くに従って径方向外側に向けて広がるとともに厚さが薄くなるテーパー形状の垂下部とを有し、
該吸着パッドは該吸着面が該押圧部よりも下方に突出した突出位置と該吸着面が該押圧部より下方に突出しない収容位置との間で移動可能であることを特徴とする搬送装置。
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