JP2013158841A - 加工装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】チャックテーブル6までウエーハを搬送する搬送装置18を備えた加工装置であって、チャックテーブル6は、少なくとも3本の位置決めピン8を備え、搬送装置18は、保持部材42を半径方向に移動可能に支持する支持プレート40と、チャックテーブル6に配設された位置決めピン8に対応して取り付けられ、少なくとも3個のガイド部材74を有している。保持部材42に保持されてチャックテーブル6上まで搬送され、アーム90の下降によりスカート状のガイド部75が位置決めピン8に接触することにより支持プレート40が水平方向に移動して位置決めピン8の頂点とスカート状のガイド部75の底とが接触することでチャックテーブル6の保持面にウエーハが適正に位置付けられる。
【選択図】図5
Description
4 ターンテーブル
6 チャックテーブル
8 位置決めピン
10 粗研削ユニット
12 仕上げ研削ユニット
14 仮置きテーブル
18 搬送装置(搬入装置)
20 保持機構
24 ボールねじ
26 パルスモータ
28 スライダ
30 搬出機構
36 洗浄ユニット
40 支持プレート
42 保持部材
52 移動手段
54 リンク
56 回動プレート
58 エアシリンダ
74 ガイド部材
75 スカート状のガイド部
80 弾性支持機構
92 連結部(係合支持機構)
Claims (2)
- ウエーハを保持する保持面を有するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハに加工を施す加工手段と、ウエーハの外周を保持する少なくとも3個の保持部材を有し該チャックテーブルまでウエーハを搬送する搬送装置と、を備えた加工装置であって、
該チャックテーブルは、該保持面を囲繞して配設され該保持面より低い頂点を有する少なくとも3本の位置決めピンを備えており、
該搬送装置は、該保持部材を半径方向に移動可能に支持する支持プレートと、該チャックテーブルに配設された該位置決めピンに対応して該支持プレートに取り付けられ、該位置決めピンの頂点を覆うスカート状のガイド部をそれぞれ有する少なくとも3個のガイド部材と、該支持プレートを弾性支持する弾性支持機構と、該支持プレートを該弾性支持機構を介して水平方向に自由移動可能に吊り下げ支持する連結部を有する上下動可能なアームと、から構成され、
該位置決めピンの頂点と該スカート状のガイド部の底とが接触した際、該保持部材に外周を保持されたウエーハの下面と該チャックテーブルの該保持面とは僅かな隙間が形成されるように設定されており、
該保持部材にウエーハの外周が保持されて該チャックテーブルの真上まで搬送され、該アームの下降により該スカート状のガイド部が該位置決めピンに接触することにより該支持プレートが水平方向に移動して、該位置決めピンの頂点と該スカード状のガイド部の底とが接触することで該チャックテーブルの該保持面にウエーハが適正に位置付けられることを特徴とする加工装置。 - 前記弾性支持機構は取付板を含み、
前記連結部は、該取付板の上方に所定の間隔をもって該取付板と略平行に該取付板に固定された係合板と、該取付板と該係合板との間に余裕をもって挿通し該係合板を下方から水平面で支持する支持板と、該係合板及び該支持板の両端に立設された移動規制部と、から構成されることを特徴とする請求項1記載の加工装置。
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2012
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