JP5901226B2 - ユニット搬出入装置 - Google Patents
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Description
4 チャックテーブル
5 ユニット搬出入装置
18 X軸移動基台
20 切削ユニット
52 ユニット収容機構
53 ターンテーブル
53a ユニット支持部
53b ユニット通過部
54 搬出入機構
54b 上下動機構
55 フレーム保持部
56 回転機構
F 環状フレーム
H 搬出入空間
T ダイシングテープ
U 被加工物ユニット
W ウェーハ
Claims (3)
- 被加工物が粘着テープを介してフレームに配設された被加工物ユニットを保持する保持面を有する保持手段と、
該保持手段に保持された被加工物ユニットの該被加工物を加工する加工手段と、
該加工手段が配設された加工領域と該被加工物ユニットを該保持手段に搬出入する搬出入領域とに該保持手段を位置付ける位置付け手段と、
を有する加工装置とともに用いられ、
該搬出入領域に位置付けられた該保持手段に該被加工物ユニットを搬出入するユニット搬出入装置であって、
該ユニット搬出入装置は、
ユニット収容手段と、
該ユニット収容手段から被加工物ユニットを搬出して該保持手段に搬入すると共に、該保持手段から該被加工物ユニットを搬出して該ユニット収容手段に搬入する搬出入手段を有し、
該ユニット収容手段は、複数のユニット支持部と、該搬出入手段の上下方向の通過を許容するユニット通過部を周回方向に備えたターンテーブルと、
該ターンテーブルを回転させる回転手段と、を有して構成され、
該ユニット支持部は、
該ターンテーブルの回転中心から外周部に渡って放射状に形成された立上り部と、
該立上り部から隣接する立上り部の下端にかけて傾斜する扇状の載置面を有して構成されることで、該ターンテーブルの周回方向に複数の該ユニット支持部が形成され、
該ユニット支持部の載置面には、該被加工物ユニットが1つずつ載置されて、隣り合う該ユニット支持部に載置される該被加工物ユニット同士は接触せずに上下方向に重なる位置関係に載置可能であり、
該載置面には、該フレームを保持するためのフレーム保持手段が配設され、
該搬出入手段は、
該被加工物ユニットの該フレームを保持するフレーム保持部と、
該ターンテーブルの該ユニット通過部を介して該フレーム保持部を上下動する上下動手段と、を有して構成され、
該搬出入手段の該フレーム保持部の直下に、該ターンテーブルの該ユニット通過部と、該保持手段が位置付けられた際に、該搬出入手段の該フレーム保持部を上下動させることで該保持手段に対する該被加工物ユニットの搬入又は搬出が行われ、
該搬出入手段の該フレーム保持部の直下に、該ターンテーブルの該ユニット支持部が位置付けられた際に、該搬出入手段の該フレーム保持部を上下動させることで該ユニット支持部に対する該被加工物ユニットの搬出又は搬入が行われる、
ことを特徴とするユニット搬出入装置。 - 前記ユニット収容手段の前記回転手段は、
前記載置面が傾斜した角度だけ鉛直方向から傾斜した回転軸を備え、
前記搬出入手段の前記フレーム保持部が該ユニット支持部上の該被加工物ユニットを保持する際に、該被加工物ユニットは略水平に支持される、
ことを特徴とする請求項1に記載のユニット搬出入装置。 - 前記搬出入手段の前記フレーム保持部は、前記上下動手段によって、
前記ターンテーブルの上方位置で待機する待機位置と、
前記ユニット支持部上の前記被加工物ユニットと接して保持する保持位置と、
前記被加工物ユニットをターンテーブルの立上り部の高さ方向幅の範囲内において保持した状態とする位置に配置させる調整位置と、
前記搬出入領域に位置付けられた前記保持手段に対し該被加工物ユニットを搬入又は搬出を行う搬出入位置と、
に位置付けられる、
ことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のユニット搬出入装置。
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