JP5454856B2 - ワーク収納方法 - Google Patents
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Description
3 搬出用カセット(カセット)
4 搬入搬出ユニット
5 ウェーハ加工ユニット(加工部)
13 カセット載置部(位置合わせ部)
14 搬入搬出アーム
25 側壁
27 V溝(カセット溝)
27a 底部
36 荒研削ユニット
37 研削ユニット
38 接触式センサ
51 支持台(位置合わせ部)
52 多節リンク機構(収納部)
53 吸着保持部(収納部)
54 制御部(位置合わせ部)
56 吸着パッド
57 パッド支持部
58 吸着面
61 デバイス
62 デバイス形成領域
63 外周領域
64 補強用凸部
65 凹部
65a 底面
W 半導体ウェーハ(ワーク)
Claims (1)
- 表面にデバイスが形成されるデバイス形成領域と前記デバイス形成領域の周囲の外周領域とを有し、裏面の前記デバイス形成領域に対応する領域を除去して、裏面の前記外周領域に対応する領域から補強用凸部が突出するように凹部が形成されたワークの凹部底面を保持し、前記ワークをカセットに形成された対向する一対のV溝に収納させる収納部と、前記ワークの収納時に、前記カセットに対して前記収納部を相対移動させ、前記凹部の深さ分を補正して前記ワークを前記一対のV溝に対して位置合わせする位置合わせ部とを備えたワーク収納機構と、
前記ワークに前記凹部を形成する加工部とを備え、前記ワーク収納機構が前記加工部による加工後に前記ワークを前記カセットに収納する加工装置を用いたワーク収納方法であって、
前記収納部が前記ワークの凹部底面を保持するステップと、
前記位置合わせ部が、前記加工部に設定された加工条件に基づいて前記凹部の深さ分を補正して、前記ワークの厚さ方向を二分するワーク中心面が前記一対のV溝の底部を含む平面と同一平面内に位置するように位置合わせするステップと、
前記収納部が前記一対のV溝に対し前記ワークを収納するステップとを有することを特徴とするワーク収納方法。
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