JP6866115B2 - ウエハの搬送保持装置 - Google Patents
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Images
Description
11 チャックテーブル
11a 保持テーブル
11b 吸引部
12 搬送機構
13 吸着孔(吸引口)
14 ウエハ吸引用真空ライン(チャックテーブル側)
15 第1のウエハ真空吸着手段
21 搬送プレート(搬送パッド)
22 搬送アーム
23 第2のウエハ真空吸着手段
23a Vシール
23b リップ部
24 第1のウエハ押し付け手段
25 第2のウエハ押し付け手段
26 枢軸
27a Vシールで囲暁された領域
27b エアバッグで囲暁された領域
28 ウエハ吸引用真空ライン(搬送機側)
28a 吸引口
29 加圧シリンダー
29a ロッド
30 エアバッグ(押圧手段)
30a 供給口
31 エア供給ライン(エア供給手段)
32 制御部
33 直道アクチュエータ
33a モータ
33b ボールねじ
S 隙間
O1 搬送プレートの軸心
O2 チャックテーブルの軸心
Claims (3)
- 半導体ウエハを吸引保持するチャックテーブルと、前記半導体ウエハを前記チャックテーブル上に搬送する搬送機構とを備えるウエハの搬送保持装置において、
前記搬送機構は、前記チャックテーブルが前記半導体ウエハを吸引する際に、前記チャックテーブル上に搬送された前記半導体ウエハの外周を前記チャックテーブルに押し付けるエアバッグを備える、
ことを特徴とするウエハの搬送保持装置。 - 前記エアバッグは、弾性変形材で形成されているとともに、前記半導体ウエハの外径と略等しい外径を有して、内部にエアが供給されて加圧されると膨らんで前記半導体ウエハを前記チャックテーブルに押し付けるバルーン体である、ことを特徴とする請求項1に記載のウエハの搬送保持装置。
- 前記エアバッグは、外径が前記半導体ウエハの外径と略等しいリング状に形成されている、ことを特徴とする請求項1又は2に記載のウエハの搬送保持装置。
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