JP6771405B2 - ウエハ搬送保持装置 - Google Patents
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Description
11 チャックテーブル
11a 保持テーブル
11b 吸引保持部
12 搬送機構
13 加圧シリンダ
13a ロッド
14 ウエハ真空吸引ライン
15 ウエハ真空吸着手段
16 搬送アーム
16a 貫通孔
17 保持パッド
18 自動調芯機構
19 昇降軸
19a 小径ロッド部
20 枢軸部
21 軸受メタル
22 規制板部
23 コイルスプリング(付勢バネ)
24 規制板
25 第1連結部
25a 凸状球面
25b 中心孔
26 第2連結部
26a 凹状球面
26b 中心孔
27 ナット
28 内周パッド部
28a 吸着保持パッド
28b パッドホルダ
28c 吸着面
28d 吸引口
29 外周パッド部
29a 押圧板
29b 連結ホルダ
29c 上面
29d 中心孔
29e 凹部
29f パッド材
30 連結部材
31 ウエハ吸引用真空ライン
32 貫通孔
33 貫通孔
50 制御部
W ウエハ
σ 遊び
A、B 外周パッドの移動方向
G 当接中心(外周バッド部の傾動支点)
O1 チャックテーブルの中心軸線
O2 ロッドの中心軸線
O3 加圧シリンダの中心軸線
O4 外周パッド部の中心軸線
Claims (5)
- ウエハをチャックテーブル上に搬送するウエハ搬送保持装置であって、
前記ウエハの中心部を脱着可能に保持する内周パッド部、及び、前記内周パッド部に対して球心揺動並びに上下移動が自在で、かつ前記上下移動により前記ウエハの外周部分を前記チャックテーブル上に押し付け可能な外周パッド部を有する保持パッドと、
前記ウエハを前記内周パッド部で保持した前記保持パッドを前記チャックテーブル上に搬送し、かつ下降して前記ウエハの中心部を前記チャックテーブル上に当接させて、前記ウエハを前記チャックテーブル上に配置可能な搬送アームと、
前記搬送アームと前記保持パッドとの間に設けられ、前記外周パッド部の下面が前記チャックテーブルの吸着面と平行となるように前記外周パッド部の中心軸心の傾きを自動調整する自動調芯機構と、
を備える、ことを特徴とするウエハ搬送保持装置。 - 前記自動調芯機構は、凸状球面を有する第1連結部と凹状球面を有する第2連結部を備え、前記第1連結部と前記第2連結部の前記球面同士を互いに当接させて、前記第1連結部と第2連結部の中の一方を前記搬送アーム側に固定し、他方を前記保持パッド側に固定してなる、ことを特徴とする請求項1に記載のウエハ搬送保持装置。
- 前記外周パッド部は、前記内周パッド部が前記ウエハを介して前記チャックテーブル上に当接された状態で前記チャックテーブル上に前記ウエハを介して当接される、ことを特徴とする請求項1又は2に記載のウエハ搬送保持装置。
- 前記搬送アームと前記外周パッド部との間に、前記外周パッド部を常にウエハと離れる上方向へ付勢している付勢バネを設けた、ことを特徴とする請求項1、2又は3に記載のウエハ搬送保持装置。
- 前記外周パッド部による前記チャックテーブルへの当接は、前記チャックテーブルの上方に配設した加圧シリンダのロッドを前記外周パッド部側に突出させて行う、ことを特徴とする請求項3又は4に記載のウエハ搬送保持装置。
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JP2017035586A JP6771405B2 (ja) | 2017-02-27 | 2017-02-27 | ウエハ搬送保持装置 |
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Family Applications (1)
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