JP2021094638A - 研磨装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ドレス部の周辺に堆積した粉塵（研磨屑）を、より多くの量回収することができる研磨装置を提供すること。【解決手段】研磨装置１は、チャックテーブル１３と、研磨工具２３、スピンドルシャフトと及び鉛直移動機構２１を有する研磨機構２と、研磨工具２３の研磨面に工具本体の上端が接触して研磨面をドレッシングするドレス部３と、ドレス部３を加工室５の外である第１位置Ｐ１と加工室５の中で研磨面に接触する第３位置Ｐ３との間で移動可能に支持するドレス部移動ユニットと、加工室５に接続される加工室用ダクト６１０と、第１位置Ｐ１（待機位置）に設置され研磨面のドレッシング後に第１位置Ｐ１に戻ったドレス部３の周辺に堆積した粉塵を吸引するドレス部用ダクト６２０と、を備える。【選択図】図１

Description

本発明は、研磨装置に関する。

半導体ウェーハの研磨加工には、研磨液を用いるＣＭＰ研磨加工と、研磨液を用いない乾式の研磨加工とがある。乾式の研磨加工は、砥粒を含む円板状の研磨パッドをウェーハに接触させ研磨する（特許文献１参照）。

しかし、乾式の研磨加工では、ウェーハを研磨すると、研磨パッドに粉塵（研磨屑）が付着したり、空気中に粉塵が飛散したりするため、ウェーハを保持する保持テーブルと研磨パッドとを覆う加工室にダクトを接続し、そのダクトを集塵機に連結している（特許文献２参照）。集塵機を稼動することにより、ダクトを介して加工室の内部の粉塵を吸引することができる。

特開２０１１−１５６６０１号公報 特開２０１９−９８５０３号公報

しかし、研磨パッドの粉塵を除去するドレス部の周辺には、より多くの量の粉塵（研磨屑）が堆積するため、加工室に接続したダクトのみでは、ドレス部の周辺に堆積した粉塵（研磨屑）を十分に回収できない可能性があった。

そこで、本発明は、ドレス部の周辺に堆積した粉塵（研磨屑）を、より多くの量回収することができる研磨装置を提供することを目的とする。

前述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明は、ワークを保持する保持面を有する保持手段と、該保持手段に保持された該ワークに対し研磨面を接触させて乾式で該ワークを研磨加工する研磨工具と、該研磨工具を鉛直方向を回転軸として回転可能に支持する回転支持軸と、該研磨工具および該回転支持軸を鉛直方向に移動させる鉛直移動機構とを有する研磨機構と、を備えた研磨装置であって、該研磨工具の該研磨面に上端が接触して該研磨面をドレッシングするドレス部と、該ドレス部を加工室の外である待機位置と、該加工室の中で該研磨面に接触するドレス位置と、の間で移動可能に支持するドレス部移動ユニットと、該研磨工具により該ワークを研磨する加工領域を囲繞する該加工室に接続される加工室用ダクトと、該待機位置に設置され、該研磨面のドレッシング後に該待機位置に戻った該ドレス部の周辺に堆積した粉塵を吸引するドレス部用ダクトと、を備える。

本願発明によれば、ドレス部の周辺に堆積した粉塵（研磨屑）を、より多くの量回収することができる研磨装置を提供することができる。

図１は、実施形態に係る研磨装置の模式的な斜視図である。 図２は、実施形態に係る研磨装置によりワークを研磨している状態を模式的に示す側面図である。 図３は、実施形態に係る研磨装置のドレス部で研磨工具の研磨面をドレッシングしている状態を模式的に示す側面図である。

本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。

実施形態について説明する。図１は、実施形態に係る研磨装置の模式的な斜視図である。図２は、実施形態に係る研磨装置によりワークを研磨している状態を模式的に示す側面図である。図３は、実施形態に係る研磨装置のドレス部で研磨工具の研磨面をドレッシングしている状態を模式的に示す側面図である。

研磨装置１は、半導体ウェーハ等の薄板状のワーク１００をチャックテーブル（保持手段）１３に保持してワーク１００の被研磨面を上側に露出させ、その被研磨面を研磨機構２により研磨するものである。

図１に示すように、研磨装置１は、テーブルユニット１０と、研磨機構２と、ドレス部３と、集塵ダクト６と、を備える。

図１に示すように、テーブルユニット１０は、基台１１と、テーブルベース１２と、チャックテーブル１３（保持手段）と、を有する。直方体状の基台１１の上部には、長方形状のテーブルベース１２がＸ軸方向に移動可能に設けられている。テーブルベース１２のＸ１側及びＸ２側の双方（移動方向の両側）には、テーブルベース１２の移動路を覆って研磨屑等が基台１１内に落下することを防ぐ蛇腹状のカバー１４が伸縮自在に設けられている。テーブルベース１２には、円板状のチャックテーブル１３がＺ軸方向（鉛直方向）に延びる回転軸を中心として回転可能に支持されている。チャックテーブル１３は真空チャック式であり、保持面１３１を有する。保持面１３１は、チャックテーブル１３の上面に設けられ、ワーク１００とほぼ同径の大きさである。保持面１３１は、負圧作用によってワーク１００を吸引して保持する。

チャックテーブル１３、ワーク１００及びドレス部３は、テーブルベース１２がＸ軸方向に移動することにより、図１でＸ１側の端部から図１でＸ２側の端部まで間を往復移動する。基台１１にはテーブルベース１２をＸ軸方向に移動させる移動機構（ドレス部移動ユニット）が設けられており、テーブルベース１２にはチャックテーブル１３を回転させる回転駆動機構が設けられている（いずれの機構も図示略）。なお、テーブルベース１２をＸ軸方向に移動させる移動機構は、ドレス部移動ユニットでもある。

ここで、ドレス部３の位置について説明する。ドレス部３は、第１位置Ｐ１、第２位置Ｐ２及び第３位置Ｐ３の間を移動する。ドレス部３の第１位置Ｐ１は、加工室５の外の位置であって、ドレス部３がＸ軸方向に移動する際のＸ１側の端部位置である。第１位置Ｐ１は、ドレス部３の搬入出位置または待機位置とも称する。ドレス部３の第３位置Ｐ３は、加工室５の中の位置であって、図３に示すように、ドレス部３が研磨部２３２の研磨面２３３に接触してドレッシングを行う位置である。第３位置Ｐ３は、ドレス部３のドレス位置とも称する。なお、第２位置Ｐ２は、図２に示すように、ワーク１００の被研磨面が研磨機構２のスピンドルユニット２２により研磨加工される位置である。さらに、前述した移動機構（ドレス部移動ユニット）は、ドレス部３を第１位置Ｐ１（待機位置）と第３位置Ｐ３（ドレス位置）との間で移動可能に支持する。

基台１１の側方（Ｙ１側）にはコラム１５が設けられる。コラム１５に研磨機構２が設けられている。研磨機構２は、コラム１５の基台１１側（Ｙ２側）の取付け面１５１に設けられた鉛直移動機構２１と、鉛直移動機構２１によって昇降するスピンドルユニット２２と、スピンドルユニット２２に着脱自在に固定される研磨工具２３と、を備える。

コラム１５の取付け面１５１は、Ｘ軸方向及びＺ軸方向に沿った鉛直面であり、取付け面１５１には、Ｘ軸方向に離隔した一対のＺ軸ガイド１６が固定されている。それぞれのＺ軸ガイド１６は、Ｚ軸方向に延びる。一対のＺ軸ガイド１６にスライダ１７が固定される。スライダ１７は、Ｚ軸ガイド１６にＺ軸方向に昇降可能に取り付けられ、スライダ１７に、スピンドルユニット２２がホルダ１７１を介して固定されている。

鉛直移動機構２１は、ボールねじ２１１と、ボールねじ２１１を回転駆動するサーボモータ２１２と、を備える。ボールねじ２１１は、Ｚ軸方向に延びる。スライダ１７には、ボールねじ２１１が螺合した状態で連結している。スライダ１７は、鉛直移動機構２１によって昇降駆動する。

図１から図３に示すように、スピンドルユニット２２は、スピンドルハウジング２２１と、スピンドルシャフト２２２（回転支持軸）と、マウント２２３と、を備える。スピンドルハウジング２２１は、円筒状であり、軸方向がＺ軸方向に延びる。図２及び図３に示すスピンドルシャフト（回転支持軸）２２２は、スピンドルハウジング２２１の内部に回転可能な状態で収容される。スピンドルシャフト（回転支持軸）２２２は、スピンドルハウジング２２１と同軸である。

図１から図３に示すように、マウント２２３は、円板状のフランジであり、スピンドルシャフト２２２の下端に固定される。研磨工具２３は、マウント２２３の下面に着脱可能に設けられる。スピンドルユニット２２の上端部にはモータ部２２４が設けられ、モータ部２２４によってスピンドルシャフト２２２が回転する。スピンドルユニット２２は、マウント２２３を下方に配して軸方向をＺ軸方向にした状態で、スピンドルハウジング２２１がホルダ１７１を介してスライダ１７に固定されており、鉛直移動機構２１によってスライダ１７と一体に昇降する。

研磨工具２３は、マウント２２３の下面に着脱可能に設けられる。図２及び図３に示すように、研磨工具２３は、支持部材２３１と、研磨部２３２と、を有する。支持部材２３１及び研磨部２３２は、マウント２２３と同じ径の円板である。マウント２２３、支持部材２３１及び研磨部２３２の径は、ワーク１００の全面を覆う大きさを有している。研磨部２３２は、支持部材２３１の下面に固定されている。研磨部２３２は、例えば、フェルト等の柔軟な部材にジルコニア等からなる砥粒を含浸させボンド材で固めて成形されたものなどが好適に使用される。研磨部２３２の下面は、ワーク１００の被研磨面に押し付けられる研磨面２３３である。研磨面２３３は、スピンドルシャフト２２２の軸方向と直交し、チャックテーブル１３の保持面１３１と平行に配置される。また、スピンドルシャフト２２２とチャックテーブル１３の各軸心のＹ軸方向の位置は、同一位置に設定される。

図１に示す加工室５は、上板５１と、開閉扉５２と、複数の側板５３と、を備え、これらの上板５１、開閉扉５２及び側板５３で囲繞された内部空間を有している。上板５１は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に延びる平板である。側板５３は、本実施形態では３枚配置されており、加工室５のＹ２側、Ｙ１側及びＸ２側に配置される。加工室５のＸ１側には、開閉扉５２が設けられる。開閉扉５２は、図示しない開閉機構によって上下方向に開閉する。開閉扉５２を開くことにより、チャックテーブル１３が通過可能な進入口が形成され、開閉扉５２を閉じることにより、チャックテーブル１３が３枚の側板５３と開閉扉５２と上板５１とで囲繞される。上板５１には、図示しない円形の開口を介してスピンドルハウジング２２１が挿通されており、開口は蛇腹カバーによって封止されている。これにより、鉛直移動機構２１を介して研磨工具２３が上下移動しても蛇腹カバーが追従するため、上板５１の開口は封止状態が保たれる。

また、研磨装置１は、集塵ダクト６を有する。集塵ダクト６は、ダクト本体６００と、加工室用ダクト６１０と、ドレス部用ダクト６２０と、を備える。以下に具体的に説明する。基台１１の側方側（Ｙ２側）には、図示しない集塵機が配置され、集塵機には、ダクト本体６００、加工室用ダクト６１０及びドレス部用ダクト６２０を含む集塵ダクト６が接続されている。加工室用ダクト６１０及びドレス部用ダクト６２０は、ダクト本体６００の分岐部６３０から分岐して設けられている。加工室５の上板５１には、開口である排気口５１１が設けられている。加工室用ダクト６１０は、排気口５１１に接続されており、これにより、ダクト本体６００と、加工室用ダクト６１０と、加工室５の内部空間とが連通する。従って、ウェーハＷの研磨加工中、集塵機を常に稼働させておくことにより、加工室５の内部空間を負圧にして排気口５１１から加工室用ダクト６１０及びダクト本体６００を通じて粉塵（研磨屑）を吸引することができる。

また、ドレス部用ダクト６２０の先端６２１は、第１位置Ｐ１（搬入出位置、待機位置）に配置されたドレス部３に向けて配置される。換言すると、ドレス部用ダクト６２０の先端６２１は、第１位置Ｐ１（搬入出位置、待機位置）に配置されている。ドレス部用ダクト６２０は、研磨部２３２の研磨面２３３のドレッシング後に第１位置Ｐ１に戻ったドレス部３の周辺に堆積した粉塵（研磨屑）を吸引することができる。

図１から図３に示すように、テーブルベース１２におけるチャックテーブル１３の加工位置側（Ｘ２側）には、ドレス部３が設けられる。図２及び図３に示すように、ドレス部３は、テーブルベース１２に形成された凹所１２１内に設けられている。ドレス部３は、昇降機構３１と、ドレス工具３３と、を備える。昇降機構３１は、凹所１２１の底部に設置されたエアシリンダ等であり、本体部３１１と、昇降部３１２とを有する。即ち、昇降機構３１は、凹所１２１の底部に固定された本体部３１１から昇降部３１２が伸縮してＺ軸方向に昇降する。ドレス工具３３は、昇降機構３１にロードセル等からなる圧力検出部３２を介して取り付けられている。

図３に示すように、ドレス工具３３は、図１に示す第３位置Ｐ３（ドレス位置）において、研磨部２３２の研磨面２３３をドレッシングする。ドレス工具３３は、支持部材３３１と、工具本体３３２と、を有する。具体的には、支持部材３３１の上面に工具本体３３２が固着され、工具本体３３２によって研磨面２３３をドレッシングする。工具本体３３２は、研磨工具２３の研磨部２３２に応じたものが用いられ、例えばダイヤモンド砥粒等の砥粒をボンドによって固めて所望の形状に成形されたものなどが好適に使用される。

ドレス工具３３は、昇降機構３１が作動して昇降部３１２が昇降する。これにより、工具本体３３２の上端３３３がチャックテーブル１３の保持面１３１よりも下側に配置される下端位置（図２に示す高さ位置）から、工具本体３３２がチャックテーブル１３の保持面１３１よりも上側に突出して上端３３３が保持面１３１よりも上側に配置される上端位置（図３に示す高さ位置）まで昇降可能である。なお、ドレス工具３３のＹ軸方向の位置は、研磨工具２３の中心（スピンドルシャフト２２２の軸心と同じである）のＹ軸方向の位置と同一である。

研磨部２３２の研磨面２３３を工具本体３３２でドレッシングするには、図３に示すように、工具本体３３２の上端３３３に研磨面２３３を接触させて行われる。そのドレッシングの時に、工具本体３３２が研磨面２３３によって下向きに受ける圧力が圧力検出部３２によって検出される。圧力検出部３２での検出結果である圧力データは制御手段４に供給される。そして制御手段４は、供給された圧力データに基づいて鉛直移動機構２１の作動量、すなわち鉛直移動機構２１による研磨工具２３の鉛直方向の移動量を制御する。

次に、研磨装置１の全体の動作例を説明する。

はじめに、図１に示す第１位置Ｐ１（搬入出位置、待機位置）に配置されたチャックテーブル１３が真空運転され、ワーク１００が被研磨面を上側に露出した状態で保持面１３１に同心状に載置されると、ワーク１００が保持面１３１に吸着及び保持される。次いで、加工室５の開閉扉５２が開いて進入口が形成されたのち、テーブルベース１２が図１でのＸ２方向に移動すると、テーブルベース１２が進入口を介して加工室５の内部に入り、図１に示す第２位置Ｐ２（加工位置）で止まる。そして、図２に示すように、チャックテーブル１３及びワーク１００が回転する。この時点では、ドレス部３のドレス工具３３は、図２に示す下端位置に配置されている。そして、ワーク１００の上面である被研磨面が、上方で待機していた研磨機構２のスピンドルユニット２２により次のようにして研磨加工される。

すなわち、図２の矢印Ｒに示すようにスピンドルシャフト２２２が回転することにより研磨工具２３が回転しながら、鉛直移動機構２１が作動してスピンドルユニット２２が下降する。そして、図２に示すように研磨工具２３における研磨部２３２の研磨面２３３を所定荷重でワーク１００の上面に押し付ける。ワーク１００の上面は全面が研磨面２３３で覆われ、研磨面２３３によりワーク１００の被研磨面が乾式にて研磨される。

研磨時のチャックテーブル１３の回転方向および回転速度は、研磨部２３２の研磨面２３３がワーク１００の上面に対して相対的に摺動して研磨作用が効果的に得られる状態に設定される。研磨時においては、ドレス部３のドレス工具３３が下端位置に位置付けられ、工具本体３３２の上端３３３はチャックテーブル１３の保持面１３１よりも下方に位置していることにより、研磨工具２３が工具本体３３２に接触しない。

所定の研磨加工時間が経過したらスピンドルユニット２２が上昇して研磨部２３２がワーク１００から離れ、テーブルベース１２が図１でのＸ１方向に移動してチャックテーブル１３及びワーク１００が第１位置Ｐ１（搬入出位置、待機位置）まで戻される。この後、チャックテーブル１３の回転が停止し、研磨されたワーク１００がピックアップされて研磨工程が終了する。

前述した動作が、１枚のワーク１００に研磨加工を施す１サイクルである。このサイクルが多数のワーク１００に施されて研磨工具２３が長時間使用されると、研磨部２３２の研磨面２３３に摩耗や目詰まりが生じる。このような状況になると、再使用のために研磨面２３３を研磨するドレッシングが必要となる。本実施形態では、ドレッシングが次のようにしてドレス部３により行われる。

すなわち、テーブルベース１２を図１でのＸ２方向に移動させてドレス部３を第３位置Ｐ３（ドレス位置）に位置付ける。次いで、図３に示すように、昇降機構３１によってドレス工具３３を上昇させ、上方に退避していたスピンドルユニット２２のスピンドルシャフト２２２を矢印Ｒに示すように回転させて研磨工具２３を回転させながらスピンドルユニット２２を下降させ、研磨工具２３の研磨面２３３を工具本体３３２の上端３３３に接触させる。研磨面２３３が工具本体３３２の上端３３３に接触すると工具本体３３２は研磨面２３３によって下向きの荷重を受け、その荷重による圧力は圧力検出部３２によって検出され、圧力データとして制御手段４に供給される。

圧力検出部３２によって検出される圧力が所定値に達したことが制御手段４で検出されたら、制御手段４により鉛直移動機構２１が停止し、スピンドルユニット２２の下降が停止する。次いで、テーブルベース１２とともにドレス部３がＸ軸方向に移動し、これにより、回転する研磨部２３２の研磨面２３３が工具本体３３２に所定荷重で接触し、研磨面２３３が工具本体３３２によってドレッシングされる。ドレス部３は、工具本体３３２が研磨面２３３の中心を通って研磨面２３３の直径全域を通過するようにＸ軸方向に移動する。これにより、回転する研磨面２３３の全面が工具本体３３２でドレッシングされる。

ここで、ウェーハＷの研磨加工中、集塵機が常に稼働されるため、加工室５の内部空間においてドレッシングによって生じた粉塵（研磨屑）は、加工室５の排気口５１１から加工室用ダクト６１０及びダクト本体６００を通じて集塵機で吸引される。

研磨工具２３の研磨面２３３のドレッシングが完了したら、スピンドルユニット２２が上昇して研磨面２３３が工具本体３３２から離れ、ドレッシング工程が終了する。

その後、加工室５の開閉扉５２が開いて進入口が形成されたのち、テーブルベース１２が図１でのＸ１方向に移動すると、テーブルベース１２が進入口を介して加工室５の外部に排出され、図１に示す第１位置Ｐ１（搬入出位置、待機位置）で止まる。ドレス部用ダクト６２０の先端６２１は、第１位置Ｐ１に配置されている。ウェーハＷの研磨加工中、集塵機が常に稼働されているため、ドレス部用ダクト６２０は、研磨部２３２の研磨面２３３のドレッシング後に第１位置Ｐ１に戻ったドレス部３の周辺に堆積した粉塵（研磨屑）を吸引する。即ち、ドレス部用ダクト６２０の先端６２１からドレス部３の周辺に堆積した粉塵（研磨屑）が吸引される。

以上説明した本実施形態によれば、以下の作用効果を有する。
研磨装置１は、ワーク１００を保持する保持面１３１を有するチャックテーブル１３（保持手段）と、チャックテーブル１３に保持されたワーク１００に対し研磨面２３３を接触させて乾式でワーク１００を研磨加工する研磨工具２３と、研磨工具２３を鉛直方向を回転軸として回転可能に支持するスピンドルシャフト２２２（回転支持軸）と、研磨工具２３およびスピンドルシャフト２２２を鉛直方向に移動させる鉛直移動機構２１とを有する研磨機構２と、研磨工具２３の研磨面２３３に工具本体３３２の上端３３３（ドレス部３の上端）が接触して研磨面２３３をドレッシングするドレス部３と、ドレス部３を加工室５の外である第１位置Ｐ１（待機位置）と加工室５の中で研磨面２３３に接触する第３位置Ｐ３（ドレス位置）との間で移動可能に支持する移動機構（ドレス部移動ユニット）と、研磨工具２３によりワーク１００を研磨する加工領域を囲繞する加工室５に接続される加工室用ダクト６１０と、第１位置Ｐ１（待機位置）に設置され研磨面２３３のドレッシング後に第１位置Ｐ１（待機位置）に戻ったドレス部３の周辺に堆積した粉塵を吸引するドレス部用ダクト６２０と、を備える。

図３で説明したように、ドレス部３は下側から研磨工具２３の研磨面２３３をドレッシングする。このため、ドレス部３の周辺部には、ドレッシングによって生じた粉塵（研磨屑）が堆積する場合がある。加工室５には、加工室用ダクト６１０が接続されているため、加工室５の内部空間を負圧にして排気口５１１から加工室用ダクト６１０及びダクト本体６００を通じて粉塵（研磨屑）を吸引することができる。しかし、乾式研磨であると加工点に水を供給して研削屑を洗い流すことをしないため、加工点直下のドレス部の周辺部には研削屑が堆積しやすくなる。また、粉塵（研磨屑）の量が多いと、加工室用ダクト６１０のみからでは除去しきれずに、粉塵（研磨屑）がドレス部３の周辺部に堆積する場合がある。

ここで、ドレス部用ダクト６２０は、加工室５の外側であって、先端６２１がドレス部３に向けて設置されている。従って、加工室用ダクト６１０で吸引しきれなかった粉塵（研磨屑）であって、且つ、第１位置Ｐ１に戻ったドレス部３の周辺に堆積した粉塵（研磨屑）をドレス部用ダクト６２０によって吸引することができる。これにより、ドレス部３の周辺に堆積した粉塵（研磨屑）を、より多くの量回収することができる。

上記実施形態のドレス部３によれば、まず、圧力検出部３２で圧力が検出されることにより、研磨工具２３の研磨部２３２がドレス工具３３の工具本体３３２に接触していることが確認される。したがってドレッシングが確実になされていると判断することができ、ドレッシングが不十分のまま終了するといった不具合を防ぐことができる。

また、圧力検出部３２で検出される圧力に基づいて研磨工具２３の鉛直方向の移動量を制御することにより、工具本体３３２に接触する研磨工具２３の圧力の程度を調整するといったドレッシングの調整を行うことができる。このため、工具本体３３２の摩耗量や装置ごとの寸法の違いを正確に把握しなくても、過小、あるいは過剰にならない所望のドレッシングを常に安定して行うことができる。

なお、本発明は、前述した実施形態に限定されるものではない。例えば、実施形態では、ドレス部用ダクト６２０は、ダクト本体６００の分岐部６３０から分岐して設けられている。しかし、ドレス部用ダクト６２０と加工室用ダクト６１０とを２本の独立したダクトとして集塵機に直接接続するようにしてもよい。また、ドレス部用ダクト６２０の先端部を保持する保持部材を設けてもよい。保持部材は、ドレス部用ダクト６２０の先端６２１の位置及び向きを任意に変えることができるようにしてもよい。これによれば、粉塵（研磨屑）が溜まった位置や堆積量が変わっても、最も適切な位置及び方向にドレス部用ダクト６２０の先端６２を配置することができる。

１ 研磨装置
２ 研磨機構
３ ドレス部
５ 加工室
１３ チャックテーブル（保持手段）
２１ 鉛直移動機構
２３ 研磨工具
１００ ワーク
１３１ 保持面
２２２ スピンドルシャフト（回転支持軸）
２３３ 研磨面
３３３ 上端（ドレス部３の上端）
６１０ 加工室用ダクト
６２０ ドレス部用ダクト

Claims (1)

1. ワークを保持する保持面を有する保持手段と、
   該保持手段に保持された該ワークに対し研磨面を接触させて乾式で該ワークを研磨加工する研磨工具と、
   該研磨工具を鉛直方向を回転軸として回転可能に支持する回転支持軸と、
   該研磨工具および該回転支持軸を鉛直方向に移動させる鉛直移動機構とを有する研磨機構と、を備えた研磨装置であって、
   該研磨工具の該研磨面に上端が接触して該研磨面をドレッシングするドレス部と、
   該ドレス部を加工室の外である待機位置と、該加工室の中で該研磨面に接触するドレス位置と、の間で移動可能に支持するドレス部移動ユニットと、
   該研磨工具により該ワークを研磨する加工領域を囲繞する該加工室に接続される加工室用ダクトと、
   該待機位置に設置され、該研磨面のドレッシング後に該待機位置に戻った該ドレス部の周辺に堆積した粉塵を吸引するドレス部用ダクトと、を備えることを特徴とする研磨装置。

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