JP2015150642A - 研削研磨装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】研削研磨装置は、板状ワークWを回転可能に保持し、研削加工が実施される研削エリアおよび研磨加工が実施される研磨エリアに移動可能なチャックテーブル43を備え、チャックテーブルを研削エリアに移動させるときには、板状ワークの表面と研削手段51の研磨面とが平行になるようにチャックテーブルを傾け、チャックテーブルを研磨エリアに移動させるときには、板状ワークの表面を研磨手段71で均等な圧力で押圧するようにチャックテーブルを傾ける構成とした。
【選択図】図4
Description
図2に示すように、研磨エリアに板状ワークWが位置付けられると、研磨手段71(研磨パッド89)の回転軸は、チャックテーブル43の回転軸から偏心した位置に位置付けられる。このため、研磨手段71の回転軸近傍の回転速度が遅いことに起因する研磨量不足を解消することができ、板状ワークWの全面において研磨量にムラが生じるのを防止することができる。また、板状ワークWが仕上げ研削エリアから研磨エリアに位置付けられる間に、第2の記憶部99(図3参照)に記憶されたチャックテーブル43の回転軸の傾きを基にして、チャックテーブル43が研磨加工に適した傾きに変更される。この結果、板状ワークWの表面は均一な荷重で研磨される。
1 研削研磨装置
41 ターンテーブル
43 チャックテーブル
45 調整手段
451 可動支持部
452 固定支持部
51、61 研削手段
52、62 研削送り手段
58、68、81 スピンドル
71 研磨手段
72 研磨送り手段
89 研磨パッド
92 圧力シート
93 載置手段
94 制御手段
95 切換部(切換手段)
96 圧力認識部
97 記憶部(記憶手段)
98 第1の記憶部
99 第2の記憶部
Claims (2)
- 回転軸を備え板状ワークを回転可能に保持する回転中心を頂点とし外周が僅かに低い円錐の斜面の保持面を有するチャックテーブルと、
該チャックテーブルの該保持面に保持される板状ワークを研削する研削砥石を環状に配設する研削ホイールを回転可能に装着するスピンドルを有する研削手段と、
該研削手段を該チャックテーブルに接近および離反させる研削送り手段と、
該チャックテーブルに保持される板状ワークを研磨する板状ワークより大きい面積の研磨パッドを回転可能に装着するスピンドルを有する研磨手段と、
該研磨手段を該チャックテーブルに接近および離反させる研磨送り手段と、
該チャックテーブルを2つ以上配設して回転させ該研削手段と該研磨手段とに対応して位置づけるターンテーブルと、から少なくとも構成される研削研磨装置であって、
該ターンテーブルに配設される2つ以上の該チャックテーブルの該回転軸の傾きを調整する調整手段と、
該調整手段で該チャックテーブルの傾きが調整される角度を記憶する記憶手段と、を備え、
該記憶手段は、
該チャックテーブルの該保持面の半径で該研削手段の該研削砥石が接触する円弧の接触面と該保持面とを平行にさせた該チャックテーブルの該回転軸の傾きを記憶する第1の記憶部と、
該チャックテーブルの該保持面を該研磨パッドで均等な圧力で押圧するように該調整手段によって調整される該チャックテーブルの該回転軸の傾きを記憶する第2の記憶部と、を備え、
該チャックテーブルで保持される板状ワークを該研削手段で研削する時は、該第1の記憶部を選択して該調整手段を作動させ該第1の記憶部が記憶する傾きに該チャックテーブルを傾けて、該チャックテーブルで保持される板状ワークを該研磨手段で研磨する時は、該第2の記憶部を選択して該調整手段を作動させ該第2の記憶部が記憶する傾きに該チャックテーブルを傾ける切換手段を備え、
該ターンテーブルで該研削手段もしくは該研磨手段に位置づけられた該チャックテーブルは、該切換手段で該チャックテーブルの該回転軸の傾きを選択的に切換えることを特徴とする研削研磨装置。 - 該第1の記憶部に該チャックテーブルの回転軸の傾きを記憶させるために、
板状で両面から押圧された圧力分布を測定する圧力シートと、
該圧力シートを該チャックテーブルの該保持面に載置させる載置手段と、
該載置手段によって該チャックテーブルの該保持面に載置させた該圧力シートを該研磨送り手段で研磨送りさせ該研磨手段の該研磨パッドで押圧させた押圧力を認識する圧力認識部と、を備え、
該圧力認識部が認識した該圧力シート全面の圧力が均等な圧力分布になるよう該調整手段で該チャックテーブルの回転軸の傾きを調整させる請求項1記載の研削研磨装置。
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