JP7460475B2 - 加工装置 - Google Patents
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Description
さらに、研削装置は、吸引保持する搬送パッドを用いて研削後の被加工物を吸引保持して搬出する搬出手段を備えている。
搬出手段を用いて保持面から被加工物を搬出させる際に、保持面に保持された被加工物を搬送パッドが吸引保持した状態で、保持面から水とエアとの混合液を噴出させ保持面から被加工物を離間させて、搬送パッドを保持面から遠ざける方向に移動させることにより保持面から被加工物を搬出している。
したがって、洗浄水等を用いて被加工物を加工する加工装置は、次工程に搬送するために被加工物を乾燥させるという課題がある。
図1に示す加工装置1は、加工手段3を用いてチャックテーブル20に保持された被加工物14を研削加工する加工装置である。被加工物14は、例えば円板状の半導体ウェーハ等である。以下、加工装置1の構成について説明する。
加工装置1は、図1に示すようにY軸方向に延設されたベース10と、ベース10の+Y方向側に立設されたコラム11とを備えている。
流路243は、例えば、枠体22、基台23、従動軸266、及びロータリジョイント267の内部を貫通するように形成されており、ロータリジョイント267の側面からロータリジョイント267の外部に突き出て、吸引路2430、エア流路2431、及び水流路2432に分岐している。
例えば、被加工物14が保持面210に載置されている状態で、吸引バルブ2400を開いて、吸引源240を作動させることにより、保持面210に被加工物14を吸引保持することができる。
また、エアバルブ691が閉じており、かつ吸引バルブ681が開いている状態で吸引源680を作動させることにより、生み出された吸引力がエア流路601を通って搬送パッド60の下面600に伝達される。例えば、搬送パッド60の下面600に被加工物14の上面140が接触している状態で、吸引源680によって生み出された吸引力を搬送パッド60の下面600に伝達することにより、搬送パッド60の下面600に被加工物14を吸引保持することができる。ここで、搬送パッド60は被加工物14よりも小径に形成されているため、搬送パッド60を用いて被加工物14を吸引保持する際には、搬送パッド60の外周から被加工物14がはみ出ることとなる。
また、エア供給路610にはエアバルブ62が配設されている。搬送パッド60に被加工物14が吸引保持されており、かつエアバルブ62を開いている状態で、エア供給源63からエアを供給することにより、供給されたエアがエア供給路610を通ってリングエアノズル61の下面611から被加工物14の上面140の搬送パッド60からはみ出した部分1400に噴射される。これにより、被加工物14の上面140を乾燥させることができる。
連結部材603には軸部604に連結されている。軸部604の上端には水平移動手段66が連結されており、水平移動手段66は昇降手段67に支持されている。また、昇降手段67は図1に示した門型コラム12に連結されている。すなわち、搬送パッド60は、水平移動手段66及び昇降手段67を介して門型コラム12に支持されている。
なお、軸部604が昇降手段67に連結されていて、昇降手段67を水平移動手段66が支持する構成でもよい。
また、昇降手段67はその内部に図示しないボールネジ機構等と備えており、該ボールネジ機構を作動させることにより、搬送パッド60をZ軸方向に昇降移動させることができる。
例えば、搬送パッド60に吸引保持された被加工物14がロールスポンジ82の上方に位置づけられている状態で洗浄水ノズル84からロールスポンジ82の内部に洗浄水を供給するとともにモータ83を用いてロールスポンジ82を回転させることにより、被加工物14の下面141を洗浄することができる。
また、ロールスポンジ82の下方には排水口85が設けられている。ロールスポンジ82から飛散された洗浄水は、排水口85から加工装置1の外部へと排出されることとなる。
(被加工物の研削加工)
加工装置1を用いて被加工物14を研削加工する際の加工装置1の動作について説明する。加工装置1を用いて被加工物14を研削加工する際には、まず、図1に示したチャックテーブル20の保持面210に被加工物14を載置して保持面210に接続された図示しない吸引源を作動させることにより被加工物14を保持面210に吸引保持する。
被加工物14の研削加工の際には、例えばチャックテーブル20の近傍に設けられた図示しないハイトゲージ等を有する厚み測定手段等を用いて被加工物14の厚みを測定し、被加工物14が所定の厚みに研削加工されたら被加工物14の研削加工を終了する。
被加工物14の研削加工が終了した後、搬出手段6を用いてチャックテーブル20の保持面210に保持されている被加工物14を搬出する。搬出手段6を用いて被加工物14を搬出する際には、まず、水平移動手段66を用いて搬送パッド60を水平方向に移動させることにより、図2に示すように搬送パッド60を保持面210の上方に位置づけるとともに、昇降手段67を用いて搬送パッド60を-Z方向に下降させて搬送パッド60の下面600を被加工物14に接触させる。
ここで、搬送パッド60は被加工物14よりも小径に形成されており、搬送パッド60の下面600を被加工物14の上面140に接触させると被加工物14が搬送パッド60の外周からはみ出る。
なお、下面エアノズル8のみの構成では、洗浄時と同様にエアの流れによって被加工物14の外周面を伝って上面140に洗浄水が付着する。
また、加工装置1は被加工物14を乾燥させる乾燥ユニットを別途備える必要がなく好適である。
モータ700を用いてボールネジ702を回転させると、可動部703がボールネジ702に摺接しながらZ軸方向に昇降移動し、これに伴って可動部703に連結されている軸部71、軸部71に連結されているアーム72及びアーム72に支持されている搬送パッド60が一体的にZ軸方向に昇降移動する構成となっている。
また、エアノズル80から被加工物14の下面141にエアを噴射して被加工物14の下面141を乾燥させているときに、エアバルブ62を開いてエア供給源63からエアを供給して、リングエアノズル61から被加工物14の上面140にエアを噴射して被加工物14の上面140を乾燥させることにより、被加工物14の搬出中に被加工物14の上面140と下面141とを乾燥させることができる。
なお、研削手段3を水平方向に移動させてもよい。
14:被加工物 140:上面 141:下面
1400:搬送パッドからはみ出た部分 19:制御手段
2:保持手段 20:チャックテーブル 21:吸引部 210:保持面 22:枠体
220:枠体の上面 23:基台 25:回転軸 26:回転手段
260:モータ 262:駆動軸 263:駆動プーリ
264:伝動ベルト 265:従動プーリ 266:従動軸
267:ロータリジョイント 29:連結部材 290:支持板 291:支持柱
243:流路 2400:吸引バルブ 2410:エアバルブ
2420:水バルブ 2430:吸引路 2431:エア流路 2432:水路
28:カバー 29:蛇腹 3:研削手段 30:スピンドル 31:ハウジング
32:スピンドルモータ 33:マウント 34:研削ホイール 340:研削砥石
341:ホイール基台 342:下面 35:回転軸
4:研削送り手段 40:ボールネジ 41:ガイドレール 42:Z軸モータ
420:エンコーダ 43:昇降板 44:ホルダ 45:回転軸
5:水平移動手段 50:ボールネジ 51:ガイドレール 52:Y軸モータ
53:可動板 55:回転軸
6:搬出手段 60:搬送パッド 600:下面 601:エア流路
602:支持部材 603:連結部材 6020:つば部 6030:貫通穴
604:軸部 6000:上面
61:リングエアノズル 610:エア供給路 62:エアバルブ 63:エア供給源
66:水平移動手段 67:昇降手段
7:第2搬出手段 70:昇降手段 702:ボールネジ 703:可動部
700:モータ 701:エンコーダ 71:軸部 72:アーム
8:下面エアノズル 80:エアノズル 81:エア供給源 82:ロールスポンジ
83:モータ 84:洗浄水ノズル 85:排水口
18:離間手段 180:吸引機構 181:エア供給機構 182:水供給機構
27:カバー 28:蛇腹
Claims (1)
- 保持面に被加工物を保持するチャックテーブルを有する保持手段と、加工水を供給し該保持面に保持された被加工物を加工する加工手段と、該保持面に保持されている被加工物を該保持面から搬出する搬出手段と、該保持手段と該搬出手段とを相対的に該保持面に平行な方向に移動させる水平移動手段と、制御手段と、を備える加工装置であって、
さらに、該保持面から水とエアとの混合液を噴出させ該保持面から被加工物を離間させる離間手段と、被加工物の下面に向かってエアを噴射する下面エアノズルと、を備え、
該搬出手段は、被加工物の上面を吸引保持する被加工物より小径の搬送パッドと、該搬送パッドからはみ出した被加工物の上面にエアを吹きかけるリングエアノズルと、を備え、
該制御手段は、該搬送パッドに吸引保持され該保持面から離間した被加工物の下面に、該下面エアノズルからエアを噴出させ、該保持手段と該搬出手段とを相対的に水平方向に移動させ該下面を乾燥させると共に、該リングエアノズルからエアを噴出させ該被加工物の上面を乾燥させる加工装置。
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JP2010177228A (ja) | 2009-01-27 | 2010-08-12 | Disco Abrasive Syst Ltd | 研削装置 |
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