JP2023065933A - 研削装置 - Google Patents

Abstract

【課題】チャックテーブルの保持面に保持されたウェーハを研削する研削装置において、ウェーハを保持面から離間させる際に、ウェーハの上面に加工屑が付着するのを防ぐ。【解決手段】保持面２１０においてウェーハ１０を吸引保持するポーラス部材２１と保持面２１０を露出させポーラス部材２１を収容する枠体２２とから構成されるチャックテーブル２と、チャックテーブル２の下面を支持する支持面２３０を備えるテーブル支持部２３と、保持面２１０が吸引保持したウェーハ１０を研削砥石によって研削する研削機構と、制御部と、を備える研削装置において、テーブル支持部２３に支持面２３０の中央から水を噴出する水噴出部２２３を備え、枠体２２はポーラス部材２１の下面中央に水を供給する供給孔２３１を備え、制御部は、水噴出部２２３及び供給孔２３１を介して水を保持面２１０の中央部分から噴出させ、保持面２１０からウェーハ１０を離間させる。【選択図】図４

Description

本発明は、チャックテーブルにおいて保持されたウェーハを研削する研削装置に関する。

ウェーハを研削する研削装置は、チャックテーブルの保持面においてウェーハを吸引保持し、研削水を供給しながら研削砥石によってウェーハを研削している（例えば特許文献１参照）。研削終了後は、チャックテーブルの保持面から水とエアとの混合流体を噴出することにより、ウェーハと保持面との間に進入した研削水の表面張力を破壊して保持面からウェーハを離間させている（例えば特許文献１参照）。保持面から噴出する混合流体は、ポーラス部材の内部を通るため、ポーラス部材内に進入した加工屑にエアと水とが衝撃を与えて保持面から噴出させるが、その加工屑は、ウェーハの下面側に付着する。そこで、ウェーハの下面全面を洗浄する洗浄機構が提案されている（例えば、特許文献２、３参照）。

また、チャックテーブルの保持面に保持されているウェーハの上面を保持パッドによって吸引保持して搬出する際に、保持面から噴出した加工屑がウェーハの上面側にも回り込んで保持パッドの吸引面に付着するという問題もある。そこで、研削後のウェーハを搬出する搬出機構に、吸引面の外側に環状に水を噴射するシャワーリングを備える構成も提案されている（例えば、特許文献４、５参照）。

特開２０１３－１４５７７６号公報 特開平１１－０３１６７４号公報 特開２０１０－０９４７８５号公報 特開２０００－２０８５９３号公報 特開２０１０－１１４３５３号公報

しかし、吸引面がウェーハの上面全面を吸引保持するタイプの保持パッドの場合は、シャワーリングから水を噴出しても、研削後に研削痕により凹凸があるウェーハの上面と保持パッドの吸引面の平面との間の隙間に水が進入し、これによって吸引面及びウェーハの上面に加工屑が付着することがある。研削後のウェーハの上面を洗浄するスピンナー洗浄ユニットを備えている研削装置においても、吸引面及びウェーハの上面に付着した加工屑を除去することが困難であるという問題がある。

本発明は、このような問題にかんがみなされたもので、チャックテーブルの保持面に保持されたウェーハを研削する研削装置において、ウェーハを保持面から離間させる際に、ウェーハの上面に加工屑が付着するのを防ぐことを課題とする。

本発明は、保持面においてウェーハを吸引保持するポーラス部材と該保持面を露出させ該ポーラス部材を収容する枠体とから構成されるチャックテーブルと、該チャックテーブルの下面を支持する支持面を備えるテーブル支持部と、該保持面が吸引保持したウェーハを研削砥石によって研削する研削機構と、制御部と、を備える研削装置であって、該テーブル支持部は、該支持面の中央から水を噴出する水噴出部を備え、該枠体は、該ポーラス部材の下面中央に該水を供給する供給孔を備え、該制御部は、該水噴出部及び該供給孔を介して該水を該保持面の中央部分から噴出させ、該保持面からウェーハを離間させる。
上記研削装置は、該保持面が保持したウェーハを保持する保持パッドを備え、該保持面からウェーハを搬出する搬出機構を備え、該制御部は、ウェーハを保持させることと、該水噴出部によって該保持面の中央から水を噴出させることと、ウェーハを保持した該保持パッドを該保持面から離間させる方向に移動させることとを制御し、該保持面からウェーハを離間させてもよい。

本発明に係る研削装置は、水噴出部及び供給孔を介して水を保持面の中央部分から噴出させて保持面からウェーハを離間させるため、保持面の外周部分に進入した加工屑が飛び散ってウェーハの上面や保持パッドの保持面に付着するおそれを低減することができる。
また、水噴出部から噴出する水によってウェーハの下面側の中央部分に加工屑が付着するおそれが低減するため、研削後のウェーハの下面の中央部分を洗浄せずに済む。

研削装置の例を示す斜視図である。 チャックテーブルの例を略示的に示す断面図である。 チャックテーブル並びに搬入機構及び搬出機構の例を略示的に示す断面図である。 チャックテーブルからウェーハを搬出する状態を略示的に示す断面図である。 ウェーハの下面及び保持パッドの吸引面を洗浄する下面洗浄機構の例を示す斜視図である。

図１に示す研削装置１は、チャックテーブル２において保持されたウェーハ１０を研削機構３によって研削する装置である。

研削装置１の前部には、ウェーハ１０を収容するカセット６１０、６２０が載置されるカセット載置領域６１、６２を備えている。カセット６１０には例えば研削前のウェーハ１０が収容され、カセット６２０には例えば研削後のウェーハ１０が収容される。

カセット載置領域の後方（＋Ｙ側）には、カセット６１０、６２０に対するウェーハ１０の搬出入を行うロボット６３が配設されている。ロボット６３は、ウェーハ１０を吸引保持するハンド６３１と、ハンド６３１の表裏を反転する反転駆動部６３２と、反転駆動部６３２に連結されハンド６３１を旋回及び昇降させるアーム部６３３とを備えている。

ハンド６３１の可動域には、研削前のウェーハ１０が一時的に置かれる仮置き機構６４が配設されている。仮置き機構６４には、ウェーハ１０が載置される載置テーブル６４１と、円弧状に配置され載置テーブル６４１の中心に向けて径方向に移動可能な複数の位置決めピン６４２とを備えており、載置テーブル６４１にウェーハ１０が載置された状態で複数の位置決めピン６４２が互いに近づく方向に移動することにより、ウェーハ１０を所定の位置に位置合わせすることができる。

ハンド６３１の可動域には、仮置き機構６４とＸ軸方向に並ぶ位置に、研削後のウェーハ１０を洗浄する洗浄機構６５が配設されている。洗浄機構６５は、研削後のウェーハ１０を吸引保持するスピンナーテーブル６５１と、スピンナーテーブル６５１に保持されたウェーハ１０に洗浄液を噴射する洗浄液ノズル６５２と、洗浄後のウェーハ１０に高圧エアを噴射して乾燥するエアノズル６５３とを備えている。

チャックテーブル２は、表面に保持面２１０を有しウェーハ１０を吸引保持するポーラス部材２１と、ポーラス部材２１を収容する枠体２２とを備えており、枠体２２の内周側からは保持面２１０が露出している。保持面２１０と枠体２２の上面２２０とは面一に形成されている。

チャックテーブル２の下方にはチャックテーブル２の下面を支持する支持面２３０を有するテーブル支持部２３を備えている。テーブル支持部２３の下部には回転軸２４０が連結され、回転軸２４０は、支持板２４１によって回転可能に支持されている。支持板２４１は、３つの支持軸２４２（図１では２つのみ示す）によって少なくとも３箇所が支持されている。このうち、少なくとも２つの支持軸２４２には、チャックテーブル２の高さを調整して保持面２１０の傾きを調整する機能を有している。

チャックテーブル２は、水平移動機構４によって駆動されてＹ軸方向に移動可能となっている。水平移動機構４は、Ｙ軸方向の回転軸を有するボールネジ４０と、ボールネジ４０を回転させるモータ４１と、ボールネジ４０と平行に配設された一対のガイドレール４２と、底部がガイドレール４２に摺接しボールネジ４０に螺合する図示しないナットを内部に有するスライド板４３とを備えている。スライド板４３の上部には支持軸２４２を備えている。ボールネジ４０が回転すると、スライド板４３がガイドレール４２にガイドされてＹ軸方向に移動し、スライド板４３のＹ軸方向の移動にともない、チャックテーブル２もＹ軸方向に移動する構成となっている。

チャックテーブル２のＹ軸方向の移動経路の側方には、ウェーハ１０の厚みを測定する厚み測定器６６が配設されている。厚み測定器６６は、チャックテーブル２の枠体２２の上面２２０に接触してその上面２２０の高さを測定する第１測定部６６１と、保持面２１０に保持されたウェーハ１０の上面１００に接触してその上面１００の高さを測定する第２測定部６６２とを備え、第１測定部６６１の測定値と第２測定部６６２の測定値との差によって、ウェーハ１０の厚みを算出する。

仮置き機構６４の近傍には、ウェーハ１０を載置テーブル６４１からチャックテーブル２に搬入する搬入機構７１が配設されている。搬入機構７１は、研削前のウェーハ１０の上面１００を吸引保持する保持部７４０と、保持部７４０が先端に連結されたアーム部７３１と、保持部７４０及びアーム部７３１を昇降させる昇降駆動部７３７と、保持部７４０及びアーム部７３１を旋回させる図示しない旋回駆動部とを備えている。

洗浄機構６５の近傍には、研削後のウェーハ１０をチャックテーブル２からスピンナーテーブル６５１に搬出する搬出機構７２が配設されている。搬出機構７２は、研削後のウェーハ１０の上面１００を吸引保持する保持部７４０と、保持部７４０が先端に連結されたアーム部７３１と、保持部７４０及びアーム部７３１を昇降させる昇降駆動部７３７と、保持部７４０及びアーム部７３１を旋回させる図示しない旋回駆動部とを備えている。

研削機構３は、Ｚ軸方向に延在する回転軸を有するスピンドル３０と、スピンドル３０を回転させるスピンドル回転機構３１と、スピンドル３０を回転可能に支持するスピンドルハウジング３２と、スピンドル３０の下端に連結されたマウント３３と、マウント３３に装着された研削ホイール３４とを備えている。スピンドル回転機構３１がスピンドル３０を回転させると、研削ホイール３４も回転する。研削ホイール３４は、マウント３３に固定される基台３４０と、基台３４０の下面に環状に固着された複数の研削砥石３４１とで構成されている。

研削機構３は、研削送り機構５によって昇降可能に支持されている。研削送り機構５は、Ｚ軸方向の回転軸を有するボールネジ５０と、ボールネジ５０を回転させるモータ５１と、ボールネジ５０と平行に配設された一対のガイドレール５２と、側部がガイドレール５２に摺接しボールネジ５０に螺合する図示しないナットを内部に有する昇降板５３と、昇降板５３に連結されスピンドルハウジング３２を支持するホルダ５４とを備えている。ボールネジ５０が回転すると、昇降板５３がガイドレール５２にガイドされてＺ軸方向に移動し、これにともない研削機構３もＺ軸方向に移動する。

研削装置１には、チャックテーブル２、研削機構３、水平移動機構４、研削送り機構５、ロボット６３、洗浄機構６５、厚み測定器６６、搬入機構７１、搬出機構７２等を制御する制御部８を備えている。

図２に示すように、回転軸２４０の下端は、軸支持部（ロータリージョイント）２４３によって回転可能に支持されている。回転軸２４０の周囲には従動プーリ２４４が配設され、従動プーリ２４４の側方には駆動プーリ２４５が配設されている。駆動プーリ２４５はモータ２４６によって駆動される。駆動プーリ２４５及び従動プーリ２４４にはベルト２４７が巻回されており、モータ２４６によって駆動されて駆動プーリ２４５が回転すると、ベルト２４７によってその回転力が従動プーリ２４４に伝達され、回転軸２４０が回転し、チャックテーブル２が回転する。

枠体２２、テーブル支持部２３、回転軸２４０、軸支持部２４３には、流体を通すための第１流路２５１及び第２流路２５２が貫通して形成されている。第１流路２５１の上端は、枠体２２の凹部２２２の中心に形成された供給孔２２３において開口している。供給孔２２３は、その上方のポーラス部材２１に連通しており、ポーラス部材２１の下面中央に水を供給する。また、第１流路２５１の途中には、テーブル支持部２３の支持面２３０の中心において水噴出部２３１が形成されている。第１流路２５１の下部は、軸支持部２４３を通って中央用バルブ２５３に接続されている。中央用バルブ２５３は、バルブ２５４、２５５、２５６を介して吸引源２６１、エア供給源２６２、水供給源２６３に接続されている。

第２流路２５２の上端は、枠体２２の凹部２２２の外周部に形成された環状流体噴出部２２４において開口している。第２流路２５２の途中には、水噴出部２３１の外周側において流体噴出部２３２が形成されている。第２流路２５２の下部は、軸支持部２４３を通って環状用バルブ２５７に接続されている。環状用バルブ２５７は、バルブ２５４、２５５、２５６を介して吸引源２６１、エア供給源２６２、水供給源２６３に接続されている。すなわち、第１流路２５１と第２流路２５２とは、中央用バルブ２５３及び環状用バルブ２５７の先の共通流路２５８において合流している。共通流路２５８には、共通流路２５８内の圧力を測定する圧力計２５９が接続されている。

ポーラス部材２１の内部には、ポーラス部材２１の下面から保持面２１０側に向けて起立し保持面２１０にまでは至らない円環状のバリア２２５が設けられている。バリア２２５は、ポーラス部材２１を中央領域２２６と環状領域２２７とに仕切っている。なお、バリア２２５は、保持面２１０にまで至るように形成してもよい。

図３に示すように、搬入機構７１及び搬出機構７２は、同様に構成されるため、同一の符号を付して説明する。搬入機構７１及び搬出機構７２は、アーム部７３１と、アーム部７３１を昇降させる昇降駆動部７３７と、アーム部７３１に固定された環状支持部材７３３と、拡径する頭部７３４を有し環状支持部材７３３に形成された貫通孔７３５に遊嵌する少なくとも３つのピン７３６と、ピン７３６の下端に連結された保持部７４０とを備えている。ピン７３６は、拡径した頭部７３４が環状支持部材７３３の上面に支持された状態で垂下している。
保持部７４０は、ピン７３６が連結された枠体７４１と、枠体７４１によって上方及び側方から保持された保持パッド７４２とを備えている。保持パッド７４２は、例えばポーラス部材によって形成され、その下面は、ウェーハ１０の上面１００を吸引保持する吸引面７４３となっている。
また、保持パッド７４２は、ウェーハ１０の外周を支持するエッジクランプでもよい。

環状支持部材７３３及び枠体７４１を貫通して、エア流路７５１が形成されており、エア流路７５１は、その上部が２つの経路に分岐し、一方にはバルブ７５２を介して吸引源７５３が接続され、他方にはバルブ７５４を介してエア供給源７５５が接続されている。

次に、図１に示す研削装置１においてウェーハ１０の上面１００を研削する場合の研削装置１の動作について説明する。ウェーハ１０は、図１に示すカセット６１０の内部に複数収容される。そして、アーム部６３３の旋回及び昇降によってロボット６３のハンド６３１がカセット６１０の内部に進入して１枚のウェーハ１０を吸引保持し、その後、ハンド６３１がカセット６１０の外に退避し、仮置き機構６４の載置テーブル６４１に載置する。そして、位置決めピン６４２が互いに近づく方向に移動し、ウェーハ１０が所定の位置に位置合わせされる。

次に、搬入機構７１のアーム部７３１が旋回して載置テーブル６４１に載置されたウェーハ１０の上方に保持部７４０を移動させる。そして、昇降駆動部７３７が保持部７４０を下降させ、図３に示したバルブ７５２を開放して保持パッド７４２の吸引面７４３に吸引力を作用させ、ウェーハ１０の上面１００を吸引保持する。次に、昇降駆動部７３７が保持部７４０を上昇させた後、旋回駆動部がアーム部７３１を旋回させ、あらかじめ－Ｙ方向側に位置させたチャックテーブル２の上方にウェーハ１０を移動させる。そして、昇降駆動部７３７が保持部７４０を下降させ、ウェーハ１０をチャックテーブル２の保持面２１０に載置する。チャックテーブル２においては、中央用バルブ２５３、環状用バルブ２５７及びバルブ２５４を開放することにより、第１流路２５１及び第２流路２５２を吸引源２６１に連通させ、保持面２１０に吸引力を作用させてウェーハ１０の下面１０１を保持面２１０において吸引保持する。次に、バルブ７５２を閉止して吸引面７４３の吸引力を解除した後、昇降駆動部７３７が保持部７４０を上昇させることにより、吸引面７４３をウェーハ１０の上面１００から離間させる。

次に、水平移動機構４がチャックテーブル２を＋Ｙ方向に移動させ、ウェーハ１０を研削機構３の下方に位置させる。そして、モータ２４６によって駆動されてチャックテーブル２が回転するとともに、図１に示したスピンドル回転機構３１がスピンドル３０を回転させて研削砥石３４１を回転させ、さらに研削送り機構５が研削機構３を下降させることにより、回転する研削砥石３４１をウェーハ１０の上面１００に接触させる。そうすると、ウェーハ１０の上面１００が研削される。研削中は、厚み測定器６６の第１測定部６６１の先端を枠体２２の上面２２０に接触させるとともに、厚み測定器６６の第２測定部６６２の先端をウェーハ１０の上面１００に接触させ、第１測定部６６１の測定値と第２測定部６６２の測定値との差によってウェーハ１０の厚みを算出する。そして、その算出値が所定の厚み値になると、研削送り機構５が研削機構３を上昇させて研削を終了する。

次に、水平移動機構４がチャックテーブル２を－Ｙ方向に移動させる。そして、制御部８による制御の下で搬出機構７２のアーム部７３１を旋回させて、保持部７４０をチャックテーブル２に保持されたウェーハ１０の上方に移動させる。そして、図３に示すように、制御部８による制御の下で昇降駆動部７３７が保持部７４０を下降させ、吸引面７４３をウェーハ１０の研削された上面１００に接近させていく。そして、吸引面７４３が上面１００に接触すると、制御部８による制御の下でバルブ７５２を開放して吸引面７４３においてウェーハ１０の上面１００を吸引保持する。なお、図３に示した例ではウェーハ１０の下面１０１には保護テープ１１が貼着されているが、保護テープ１１が貼着されていない場合もある。

次に、制御部８による制御の下で、バルブ２５４を閉止してチャックテーブル２の保持面２１０の吸引力を解除し、環状用バルブ２５７も閉止し、中央用バルブ２５３及びバルブ２５６を開放する。そうすると、水供給源２６３の水が共通流路２５８を通って第１流路２５１を上昇し、水噴出部２３１を通って供給孔２２３から水が噴出され、その水がポーラス部材２１の内部を通り、保持面２１０の中央部から噴出される。これにより、ウェーハ１０が保持面２１０から若干浮き上がる。ポーラス部材２１にはバリア２２５が形成されているため、ポーラス部材２１の内部において水が外周側に流れるのを阻止することができる。

このように、保持面２１０の中央部から水が噴出されることにより、保護テープ１１側が保持面２１０から離間する。そして、図４に示すように、制御部８による制御の下でウェーハ１０の上面１００を吸引面７４３において吸引保持した保持部７４０を昇降駆動部７３７が上昇させることにより、ウェーハ１０がチャックテーブル２から搬出される。
また、供給孔２２３から噴出する水によってウェーハ１０の下面側の保護テープ１１に加工屑が付着するおそれが低減するため、研削後の保護テープ１１の下面の中央部分を洗浄せずに済む。

ウェーハ１０の上面１００を研削することによって生じる研削屑は、ウェーハ１０の外周側から保持面２１０と保護テープ１１との間の隙間に進入するため、当該隙間の外周側に研削屑が溜まるが、研削装置１では、中央部分からのみ水を噴出する供給孔２２３を設け、ウェーハ１０を保持面２１０から離間させるための水は保持面２１０の中央部から噴出することとしたため、その水によって研削屑が飛び散って上面１００側に回り込むのを回避することができる。したがって、研削屑がウェーハ１０の上面１００に付着するおそれが低減される。
なお、保持面２１０から水を噴出したことによって保持面２１０からウェーハ１０を離間させ、保持面２１０とウェーハ１０の保護テープ１１の下面との間に水層が形成される。この水層による表面張力を破壊するために、水層の形成によって浮き上がった保持部７４０を旋回駆動部で旋回して、水層の水をチャックテーブル２の保持面２１０の外周から垂れ流して、水の表面張力を破壊した後、保持部７４０を昇降駆動部７３７が上昇させてチャックテーブル２からウェーハ１０を搬出するようにしてもよい。

こうして保持面２１０から離間したウェーハ１０は、アーム部７３１の旋回によって洗浄機構６５のスピンナーテーブル６５１の上方に移動する。そして、昇降駆動部７３７が保持部７４０を下降させて保護テープ１１側をスピンナーテーブル６５１に載置し、スピンナーテーブルにおいて吸引力を作用させた後、昇降駆動部７３７が保持部７４０を上昇させてウェーハ１０から離間する。その後、スピンナーテーブル６５１が回転するとともに、洗浄液ノズル６５２からウェーハ１０の上面１００に向けて洗浄液が噴射されて上面１００が洗浄される。上面１００が洗浄された後、スピンナーテーブル６５１を回転させながらエアノズル６５３からウェーハ１０の上面１００に向けて高圧エアを噴射することにより、上面１００の乾燥処理を行う。

ウェーハ１０の洗浄および乾燥が終了した後、ロボット６３のアーム部６３３を旋回及び昇降させてハンド６３１によってウェーハ１０の上面１００を吸引保持する。そして、ハンド６３１を旋回及び昇降させてカセット６２０内の所定のスロットに進入させ、ハンド６３１における吸引保持を解除することにより、研削後のウェーハ１０がカセット６２０に収容される。

なお、ウェーハ１０がチャックテーブル２の保持面２１０から離間しスピンナーテーブル６５１に搬送された後、中央用バルブ２５３を閉止するとともに環状用バルブ２５７を開放し、第２流路２５２を介して環状流体噴出部２２４から水を噴出させることにより、保持面２１０を洗浄してもよい。

図５に示すように、搬出機構７２の保持部７４０の可動域に、ウェーハ１０の下面１０１に貼着された保護テープ１１及び保持パッド７４２の吸引面７４３を洗浄する下面洗浄機構９を配設してもよい。この下面洗浄機構９は、第１洗浄部材９１と第２洗浄部材９２とが水平方向に交差しており、その交差部分の下部に軸部９３が接続され。軸部９３がモータ９４によって駆動される構成となっている。第１洗浄部材９１は、第２洗浄部材９２に対して独立して昇降可能となっている。また、第１洗浄部材９１と平行にノズル９５が配設され、ノズル９５の長手方向に整列して複数の噴出口９５１が上方にむけて開口して形成されている。第１洗浄部材９１は、例えば洗浄砥石によって構成され、第２洗浄部材９２は、例えばナイロン素材からなるブラシによって構成される。なお、第２洗浄部材９２には、スポンジを用いてもよい。

保持パッド７４２の吸引面７４３を洗浄する際は、ウェーハ１０を保持していない吸引面７４３の中心が軸部９３の上方に位置するように保持部７４０を位置づける。そして、第１洗浄部材９１の上面を第２洗浄部材９２のブラシの毛先よりも高い位置に位置させた状態で、モータ９４が第１洗浄部材９１及び第２洗浄部材９２を回転させる。また、ノズル９５に洗浄液を供給し、噴出口９５１から洗浄液を噴出させる。そして、保持部７４０を下降させて保持パッド７４２の吸引面７４３を回転する第１洗浄部材９１に接触させることにより、吸引面７４３に付着した加工屑をそぎ落としながら除去していく。

一方、ウェーハ１０の下面１０１に貼着された保護テープ１１を洗浄する際は、第１洗浄部材９１を下降させ、第２洗浄部材９２のブラシの毛先を第１洗浄部材９１の上面よりも高い位置に位置させる。そして、吸引面７４３に吸引保持されたウェーハ１０の中心が軸部９３の上方に位置するように保持部７４０を位置づけた状態で、モータ９４が第１洗浄部材９１及び第２洗浄部材９２を回転させる。また、ノズル９５に洗浄液を供給し、噴出口９５１から洗浄液を噴出させる。そして、保持部７４０を下降させて保護テープ１１を回転する第２洗浄部材９２に接触させることにより、第２洗浄部材９２によって吸引面７４３が洗浄され、加工屑が除去される。

なお、図２－４に示した枠体２２は、有底の凹部２２２を備える構成としたが、この枠体２２に代えて、底のない筒状の枠体を用いることもできる。その場合の枠体は、ポーラス部材２１の側面を支持するよう環状に形成される。

１：研削装置
２：チャックテーブル
２１：ポーラス部材 ２１０：保持面
２２：枠体 ２２０：上面 ２２２：凹部 ２２３：供給孔 ２２４：環状流体噴出部
２２５：バリア ２２６：中央領域 ２２７：環状領域
２３：テーブル支持部 ２３０：支持面 ２３１：水噴出部 ２３２：流体噴出部
２４０：回転軸 ２４１：支持板 ２４２：支持軸 ２４３：軸支持部
２４４：従動プーリ ２４５：駆動プーリ ２４６：モータ ２４７：ベルト
２５１：第１流路、２５２：第２流路 ２５３：中央用バルブ
２５４、２５５、２５６：バルブ ２５７：環状用バルブ ２５８：共通流路
２５９：圧力計
２６１：吸引源 ２６２：エア供給源 ２６３：水供給源
３：研削機構
３０：スピンドル ３１：スピンドル回転機構 ３２：スピンドルハウジング
３３：マウント ３４：研削ホイール ３４０：基台 ３４１：研削砥石
４：水平移動機構
４０：ボールネジ ４１：モータ ４２：ガイドレール ４３：スライド板
５：研削送り機構
５０：ボールネジ ５１：モータ ５２：ガイドレール ５３：昇降板 ５４：ホルダ
６１、６２：カセット載置領域 ６１０、６２０：カセット
６３：ロボット ６３１：ハンド ６３２：反転駆動部 ６３３：アーム部
６４：仮置き機構 ６４１：載置テーブル ６４２：位置決めピン
６５：洗浄機構 ６５１：スピンナーテーブル ６５２：洗浄液ノズル
６５３：エアノズル
６６：厚み測定器 ６６１：第１測定部 ６６２：第２測定部
７１：搬入機構 ７２：搬出機構
７２１：保持パッド ７２２：アーム部
７３１：アーム部 ７３３：環状支持部材 ７３４：頭部 ７３５：貫通孔
７３６：ピン ７３７：昇降駆動部
７４０：保持部 ７４１：枠体 ７４２：保持パッド ７４３：吸引面
７５１：エア流路 ７５２：バルブ ７５３：吸引源 ７５４：バルブ
７５５：エア供給源
８：制御部
９：下面洗浄機構
９１：第１洗浄部材 ９２：第２洗浄部材 ９３：軸部 ９４：モータ
９５：ノズル ９５１：噴出口
１０：ウェーハ １００：上面 １０１：下面
１１：保護テープ

Claims (2)

1. 保持面においてウェーハを吸引保持するポーラス部材と該保持面を露出させ該ポーラス部材を収容する枠体とから構成されるチャックテーブルと、該チャックテーブルの下面を支持する支持面を備えるテーブル支持部と、該保持面が吸引保持したウェーハを研削砥石によって研削する研削機構と、制御部と、を備える研削装置であって、
   該テーブル支持部は、該支持面の中央から水を噴出する水噴出部を備え、
   該枠体は、該ポーラス部材の下面中央に該水を供給する供給孔を備え、
   該制御部は、該水噴出部及び該供給孔を介して該水を該保持面の中央部分から噴出させ、該保持面からウェーハを離間させる研削装置。
2. 該保持面が保持したウェーハを保持する保持パッドを備え、該保持面からウェーハを搬出する搬出機構を備え、
   該制御部は、該保持パッドでウェーハの保持させることと、該水噴出部によって該保持面の中央から水を噴出させることと、ウェーハを保持した該保持パッドを該保持面から離間させる方向に移動させることとを制御し、該保持面からウェーハを離間させる請求項１記載の研削装置。

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