JP2021125581A

JP2021125581A - 洗浄装置

Info

Publication number: JP2021125581A
Application number: JP2020018687A
Authority: JP
Inventors: 大輔川越; Daisuke Kawagoe
Original assignee: Disco Abrasive Systems Ltd
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2020-02-06
Filing date: 2020-02-06
Publication date: 2021-08-30
Anticipated expiration: 2040-02-06
Also published as: JP7384687B2

Abstract

【課題】電力を消費せずに保持面を洗浄する。【解決手段】洗浄具５０と、洗浄具５０に連結された回転軸５５、回転軸５５を回転可能に支持するベアリング５２、及び回転軸５５に連結される水車５３、並びに水車５３を収容する第１ケーシング５４を有する回転手段５１とを備える洗浄装置５を用いて、保持面２００に洗浄具５０の下面５０２が接触している状態で、水供給源８から第１ケーシング５４の第１入口５６に水８０を供給して、水車５３の羽５３０を流水による押力で旋回させることにより、水車５３に連結されている回転軸５５、及び回転軸５５に連結されている洗浄具５０を回転させるとともに、第１ケーシング５４の第１出口５７から水８０を排出し、洗浄具５０の下面５０２に伝達して、保持面２００に供給することにより、保持面２００を洗浄する。【選択図】図２

Description

本発明は、洗浄装置に関する。

研削砥石を用いて被加工物を研削して薄化する研削装置は、チャックテーブルのポーラス部材等からなる保持面に被加工物を吸引保持している。研削砥石を用いた被加工物の研削により生じる研削屑は、保持面の外周縁部分に吸引され、該部分に付着してしまう。そして、研削加工後、被加工物を保持面から離間させると、該部分には研削屑が付着したままになる場合がある。

そのため、研削装置は、特許文献１に開示のように洗浄砥石を保持面に接触させて、保持面に付着している研削屑を削り落とす保持面洗浄装置を備えている。

特開２０１７−１４０６６３号公報

保持面洗浄装置は、モータを用いて洗浄砥石を回転させている。モータを用いて洗浄砥石を回転させて保持面を洗浄しているため、電力を消費する。したがって、電力を用いずに、保持面を洗浄する洗浄装置が必要とされている。

本発明は、洗浄水を供給しながら、回転手段を用いて洗浄具を回転させ、該洗浄具を用いて被洗浄物を洗浄する洗浄装置であって、該回転手段は、該洗浄具に連結する回転軸と、該回転軸を回転可能に支持するベアリングと、該洗浄具と離間し該回転軸に連結される水車と、該水車を収容するケーシングと、該ケーシングの内部に水を進入させる入口と、該ケーシングの内部から水を排出させる出口とを備え、該入口から進入する水によって該ケーシングの内部に配設されている該水車を回転させ、該回転軸を介して回転する該洗浄具を被洗浄物に当接させて被洗浄物を洗浄する、洗浄装置である。
上記の洗浄装置は、該ケーシングの該出口から排出された該水を該洗浄水として少なくとも被洗浄物に供給することが望ましい。
上記の洗浄装置は、該ベアリングとして、該回転軸を囲繞する軸受け部に水を供給することによって形成される水ベアリングを用いることが望ましい。

洗浄装置を用いた保持面の洗浄においては、モータ等を用いて洗浄具を回転させないため、電力を消費せずに保持面の洗浄を行うことができる。
また、洗浄装置が洗浄具を回転させるためのモータ等を備えないため、加工装置を小型化することができる。
さらには、水ベアリングを用いることにより、ベアリングからゴミや油等が排出されるのを抑制することができ、保持面の汚染を防止できる。

加工装置全体を表した斜視図である。第１洗浄装置を用いて保持面を洗浄する様子を表した断面図である。第１洗浄装置のうち特に水車、連結部材、マウント、及び第１洗浄具を表した分解斜視図である。第２洗浄装置を用いて保持面を洗浄する様子を表した断面図である。第２洗浄装置のうち特に水車、連結部材、マウント、及び第２洗浄具を表した分解斜視図である。

図１に示す加工装置１は、加工手段３を用いて半導体ウェーハ等の被加工物１７を加工する加工装置である。
加工装置１は、図１に示すように、Ｙ軸方向に延設されたベース１０と、ベース１０の＋Ｙ方向側に立設されたコラム１１とを備えている。

コラム１１の−Ｙ方向側の側面には、加工手段３を昇降可能に支持する加工送り手段４が配設されている。加工手段３は、Ｚ軸方向の回転軸３５を有するスピンドル３０と、スピンドル３０を回転可能に支持するハウジング３１と、回転軸３５を軸にしてスピンドル３０を回転駆動するスピンドルモータ３２と、スピンドル３０の下端に接続された円環状のマウント３３と、マウント３３の下面に着脱可能に装着された加工具３４とを備えている。
加工具３４は、例えば研削ホイールであり、ホイール基台３４１と、ホイール基台３４１の下面に環状に配列された略直方体形状の複数の研削砥石３４０とを備えている。研削砥石３４０の下面は、被加工物１７に接触する研削面３４２となっている。

加工送り手段４は、Ｚ軸方向の回転軸４５を有するボールネジ４０と、ボールネジ４０に対して平行に配設された一対のガイドレール４１と、回転軸４５を軸にしてボールネジ４０を回転させるＺ軸モータ４２と、内部のナットがボールネジ４０に螺合して側部がガイドレール４１に摺接する昇降板４３と、昇降板４３に連結され加工手段３を支持するホルダ４４とを備えている。

Ｚ軸モータ４２によってボールネジ４０が駆動されて、ボールネジ４０が回転軸４５を軸にして回転すると、これに伴って、昇降板４３がガイドレール４１に案内されてＺ軸方向に昇降移動するとともに、ホルダ４４に保持されている加工手段３の加工具３４がＺ軸方向に移動することとなる。

ベース１０の上には、チャックテーブル２が配設されている。チャックテーブル２は円板状の吸引部２０と吸引部２０を支持する環状の枠体２１とを備えている。吸引部２０の上面は被加工物１７が保持される保持面２００であり、枠体２１の上面２１０は保持面２００に面一に形成されている。
保持面２００には図示しない吸引手段が接続されている。保持面２００に被加工物１７が載置されている状態で、図示しない吸引手段を用いて吸引力を発揮させることにより、生み出された吸引力が保持面２００に伝達されて、保持面２００に被加工物１７を吸引保持することができる。

チャックテーブル２の周囲にはカバー２７及びカバー２７に伸縮自在に連結された蛇腹２８が配設されている。例えば、チャックテーブル２がＹ軸方向に移動すると、カバー２７がチャックテーブル２とともにＹ軸方向に移動して蛇腹２８が伸縮することとなる。

ベース１０の−Ｙ方向側には、カセット載置部１２が設けられている。
カセット載置部１２には、カセット７０が載置されている。カセット７０には、研削加工前の被加工物１７が収容されている。また、カセット７０には、研削加工後の被加工物１７を収容することができる。

カセット７０の＋Ｙ方向側には、ロボット７１が配設されている。ロボット７１は、保持手段７１０と保持手段７１０を旋回可能に支持する軸部７１１とを備えている。保持手段７１０の上面は、被加工物１７が保持される保持面７１２となっている。保持手段７１０を用いてカセット７０に収容されている被加工物１７をカセット７０から取り出して、軸部７１１を軸にして保持手段７１０を旋回させることにより、被加工物１７を搬送することができる。

保持手段７１０の可動域における＋Ｘ方向側には、研削加工前の被加工物１７が仮置きされる仮置き領域１３が配設されており、保持手段７１０の可動域における−Ｘ方向側には、研削加工後の被加工物１７を洗浄する洗浄領域１４が設けられている。

仮置き領域１３には、位置合わせ手段７２が配設されている。カセット７０から搬出されて仮置き領域１３に載置された被加工物１７は、位置合わせ手段７２によって所定の位置に位置合わせされることとなる。

洗浄領域１４には、スピンナ洗浄手段７３が配設されている。スピンナ洗浄手段７３は、被加工物１７が保持される保持手段７３０と、保持手段７３０に保持された被加工物１７に向けて洗浄水を噴出する洗浄水供給ノズル７３１とを備えている。保持手段７３０の上面は、被加工物１７が保持される保持面７３２となっている。
例えば、保持手段７３０の保持面７３２に研削加工後の被加工物１７が載置されている状態で、洗浄水供給ノズル７３１から洗浄水を供給することにより被加工物１７を洗浄することができる。

仮置き領域１３に隣接する位置には、位置合わせ手段７２によって位置合わせされた被加工物１７をチャックテーブル２に搬入する搬入手段６０８が配設されている。
搬入手段６０８は、円板状のパッド６０及びパッド６０を吊持するアーム６１を備えている。アーム６１の端部には、Ｚ軸方向の回転軸６５を有する筒状の軸部６１０が連結されている。例えば、軸部６１０には、回転軸６５を軸にして軸部６１０を回転させる図示しない回転手段等が接続されている。

搬入手段６０８の−Ｘ方向側には、研削加工後の被加工物１７をチャックテーブル２の保持面２００から搬出させる搬出手段６０９が配設されている。搬出手段６０９は、搬入手段６０８と同様の構成を有しているため、同様の符号を付して、その説明を省略する。

ベース１０の上には、チャックテーブル２の移動経路（Ｙ軸方向）に跨るように架設された門型コラム１５が備えられている。門型コラム１５には、被洗浄物の一例である保持面２００を洗浄する第１洗浄装置５が支持されている。第１洗浄装置５は、例えば、図示しないＸ軸方向への移動手段等により、Ｘ軸方向に往復移動可能に構成されていてもよい。

第１洗浄装置５は、図２に示すように、第１洗浄具５０と第１洗浄具５０を回転させる回転手段５１とを備えている。
回転手段５１は、第１洗浄具５０に連結された回転軸５５と、回転軸５５を回転可能に支持する水ベアリング５２と、第１洗浄具５０と離間されて配設され回転軸５５に連結されている円環状の水車５３と、水車５３を収容する第１ケーシング５４とを備えている。

第１ケーシング５４は、水車５３及び回転軸５５を収容している。第１ケーシング５４は、第１ケーシング５４の内部に水を進入させる第１入口５６と、第１ケーシング５４の内部から水を排出させる第１出口５７とを備えている。第１入口５６には、水供給源８が接続されている。

回転軸５５は、Ｚ軸方向に延びる部材であり、Ｚ軸方向の軸心５０５を有している。回転軸５５は、例えば、その−Ｚ方向側の部分である小径部５５０と、小径部５５０の＋Ｚ方向側に連結された大径部５５１とを備えている。

水ベアリング５２は、軸部５２０と軸部５２０を囲繞する軸受け部５２１とを備えており、軸部５２０の一部及び軸受け部５２１は、第１ハウジング５２２に収容されている。軸部５２０は、第１ハウジング５２２の下部の開口５２５を貫通しており、軸部５２０の−Ｚ方向側の端部は、第１ケーシング５４の開口５４０を貫通して、水車５３に連結されている。
第１ケーシング５４と軸部５２０との間には、両者の間の隙間を埋めるシール８１が貼着されており、第１ケーシング５４と軸部５２０とはシール８１を介して連結されている。第１ハウジング５２２には、例えば、第１給水口５２３と第１排水口５２４とが形成されており、第１給水口５２３には、水供給源８が接続されている。水ベアリング５２は、水供給源８から第１ハウジング５２２の内部の流路５２６に供給され、流路５２６から軸受け部５２１に向けて水を噴出することにより、軸受け部５２１を非接触状態で回転可能に支持する。
水供給源８から第１ハウジング５２２の内部の流路５２６に供給された水は第１排水口５２４から排出されて、保持面２００に供給されることとなる。
なお、回転手段５１は、上記の水ベアリング５２にかえて、例えばエアベアリング、ボールベアリング等を備えるものであってもよい。

第１洗浄具５０の中心部には、表裏を貫通する流路５８が形成されている。第１洗浄具５０には、マウント５００が連結されており、マウント５００には連結部材５０１を介して回転軸５５が連結されている。マウント５００には、表裏を貫通する貫通孔５９が形成されている。第１ケーシング５４と連結部材５０１との間には、両者の間の隙間を埋めるシール８２が貼着されており、第１ケーシング５４と連結部材５０１とはシール８２を介して連結されている。

図３に示すように、連結部材５０１の中心部には、図２に示した小径部５５０が連結される。また、小径部５５０が連結された部分の周囲には、表裏を貫通する複数の流入口５０３が形成されている。

図２に示すように、連結部材５０１は、マウント５００に接続されている。流入口５０３は、図２に示したマウント５００の貫通孔５９と連通し、第１出口５７から排出される水は、流入口５０３及び貫通孔５９を通り、第１洗浄具５０に形成された流路５８に流入する。
水供給源８を用いて、第１入口５６から第１ケーシング５４の内部に水８０を供給すると、供給された水８０は、貫通孔５９及び流路５８を通って、洗浄水として第１洗浄具５０に供給されることとなる。

第１洗浄具５０は、例えば洗浄砥石、スポンジ等を有している。

水車５３は、図２及び図３に示すように、円形薄板状の円板部５３１を備えている。円板部５３１の−Ｚ方向側の面である下面５３１０の中央には、筒状の収容部５３２が−Ｚ方向に延ばされて配設されている。
また、円板部５３１の下面５３１０における収容部５３２の周りには、略直方体状の複数の羽５３０が下面５３１０から−Ｚ方向に延ばされて配設されている。例えば、羽５３０は、いわゆる放射状プロペラのブレードの如く、下面５３１０の中心をその放射中心として放射状に配設されている。
水車５３は、羽５３０が水供給源８から供給される流水による押力を受けることによって回転可能である。水供給源８から第１ケーシング５４の内部に水を供給することにより、羽５３０が流水による押力を受けて水車５３が回転すると、水車５３に連結されている回転軸５５が軸心５０５を軸にして回転する構成となっている。

例えば、図２に示すように、第１洗浄具５０の下面５０２が保持面２００に接触している状態で、水供給源８から第１ケーシング５４の内部に水を供給しながら、軸心５０５を軸にして水車５３を回転させることにより、保持面２００と第１洗浄具５０の下面５０２との間に水が供給されるとともに、水車５３に連結されている回転軸５５、及び回転軸５５に連結されている第１洗浄具５０が軸心５０５を軸にして回転して、保持面２００が洗浄されることとなる。
なお、第１洗浄装置５は、図１に示した加工装置１に配設されるものに限定されず、加工装置１から独立した単一の洗浄装置としてその作用効果を発揮できるものであってもよい。

加工装置１を用いて被加工物１７の研削加工を行う際には、まず、図１に示したロボット７１を用いてカセット７０に収容されている被加工物１７のうちの一枚を引き出して、仮置き領域１３に載置する。被加工物１７が仮置き領域１３に載置されると、位置合わせ手段７２による被加工物１７の位置合わせが行われる。

位置合わせ手段７２によって被加工物１７の位置合わせを行った後、搬入手段６０８を用いて被加工物１７をチャックテーブル２の保持面２００に載置して、図示しない吸引手段等を作動させる。これにより、生み出された吸引力が保持面２００に伝達されて、被加工物１７が保持面２００に吸引保持される。

そして、被加工物１７が保持面２００に吸引保持されている状態で、チャックテーブル２を＋Ｙ方向に移動させて、加工手段３の下方に位置付ける。
次いで、回転手段２４を用いて回転軸２５を軸にしてチャックテーブル２を回転させることにより、保持面２００に保持されている被加工物１７を回転させるとともに、スピンドルモータ３２を用いて回転軸３５を軸にして研削砥石３４０を回転させる。

被加工物１７が回転軸２５を軸にして回転しており、かつ、研削砥石３４０が回転軸３５を軸にして回転している状態で、加工送り手段４を用いて研削砥石３４０を−Ｚ方向に下降させて、研削砥石３４０の研削面３４２を被加工物１７の上面１７０に接触させる。
研削面３４２が被加工物１７の上面１７０に接触している状態で、さらに研削砥石３４０を−Ｚ方向に下降させることにより被加工物１７が研削される。

被加工物１７の研削加工中には、図示しない厚み測定手段を用いて被加工物１７の厚みが測定される。被加工物１７が所定の厚みまで研削されたら研削加工を終了する。
被加工物１７の研削加工の終了後、搬出手段６０９を用いて被加工物１７をチャックテーブル２の保持面２００から搬送して、洗浄領域１４に位置づけるとともに、スピンナ洗浄手段７３を用いて上面１７０を洗浄する。そして、ロボット７１を用いてカセット７０に収容する。

次に、第１洗浄装置５を用いて被洗浄物たるチャックテーブル２の保持面２００を洗浄する。
具体的には、まず、チャックテーブル２を−Ｙ方向に移動させて、図２に示すように、第１洗浄具５０の下面５０２を保持面２００に接触させる。

そして、水供給源８を作動して、水８０を第１入口５６及び第１給水口５２３から第１ケーシング５４及び第１ハウジング５２２の内部の流路５２６にそれぞれ供給する。
これにより、水車５３の羽５３０が流水に押圧されて旋回し、水車５３が軸心５０５を軸に回転すると共に、水車５３に連結されている回転軸５５及び回転軸５５に連結されている第１洗浄具５０が軸心５０５を軸に回転する。

また、第１ハウジング５２２の内部の流路５２６に水８０が供給されることにより、水ベアリング５２が作用して、軸部５２０の滑らかで安定的な回転が促される。

水供給源８から第１ケーシング５４の内部に供給された水８０は、第１ケーシング５４の第１出口５７から第１ケーシング５４の外側へと排出され、洗浄水として第１洗浄具５０の下面５０２から、保持面２００に供給される。
保持面２００と第１洗浄具５０の下面５０２との間に洗浄水が供給されている状態で、第１洗浄具５０が回転しながら保持面２００に当接することにより、保持面２００が洗浄される。
なお、第１洗浄具５０を用いて、保持面２００に保持された被加工物１７を洗浄してもよい。

本洗浄装置は、上記の第１洗浄装置５に限定されず、例えば、図４に示す第２洗浄装置９であってもよい。
第２洗浄装置９は、第２洗浄具９０と第２洗浄具９０をＸ軸方向の軸心９０５を軸にして回転させる回転手段９１とを備えている。
回転手段９１は、第２洗浄具９０に連結された回転軸９５と、第２洗浄具９０と離間されて配設され回転軸９５に連結されている円環状の水車９３と、水車９３の−Ｘ方向側に配設された水ベアリング９２０１及び第２洗浄具９０の＋Ｘ方向側に配設された水ベアリング９２０２と、水車９３を収容する第２ケーシング９４とを備えている。

第２ケーシング９４は、水車９３及び回転軸９５を収容している。第２ケーシング９４は、第２ケーシング９４の内部に水を進入させる第２入口９６と、第２ケーシング９４の内部から水を排出させる第２出口９７とを備えている。第２入口９６には、水供給源８が接続されている。

回転軸９５は、Ｘ軸方向に延びる部材であり、Ｘ軸方向の軸心９０５を有している。回転軸９５は、例えば、＋Ｘ方向側の部分である小径部９５０と、小径部９５０の−Ｘ方向側に連結された大径部９５１とを備えている。

回転軸９５の＋Ｘ方向側の端部には、中空円筒状の回転支持部９００が連結されている。回転支持部９００の内部には、例えば大径流路９０１がＸ軸方向に延ばされて形成されている。大径流路９０１の−Ｘ方向側の端部は、第２ケーシング９４の第２出口９７から排出される水が流れ込む流入口９０３を形成している。
また、回転支持部９００の内部には、大径流路９０１から分岐して、大径流路９０１の延在方向（Ｘ軸方向）に対して略垂直な方向に回転支持部９００の側面９０４まで延ばされた複数の分岐流路９０２が形成されている。分岐流路９０２の大径流路９０１に接続されていない側の端部は、大径流路９０１から分岐流路９０２に流れ込んだ水が回転支持部９００の外側に流れ出す流出口９０６となっている。
水供給源８から第２ケーシング９４の内部に供給されて、第２ケーシング９４の第２出口９７から排出された水は、流入口９０３から大径流路９０１に流れ込んで分岐流路９０２を通り、流出口９０６から回転支持部９００の外側へと流出することとなる。

第２洗浄具９０は、環状の洗浄砥石、またはスポンジ等であり、回転支持部９００の側面９０４を巻回するように配設されている。
流出口９０６から回転支持部９００の外側へと流出した水は、第２洗浄具９０に吸収されていき、第２洗浄具９０の外側面９９から第２洗浄具９０の外側へと流出することとなる。

第２ケーシング９４と回転支持部９００の−Ｘ方向側の底面との間には、両者の間の隙間を埋めるシール８４が貼着されており、第２ケーシング９４と回転支持部９００とはシール８４を介して連結されている。

水ベアリング９２０１は、軸部９２０と、軸部９２０を囲繞する軸受け部９２１とを備えており、軸部９２０の一部及び軸受け部９２１は、第２ハウジング９２２に収容されている。軸部９２０は、第２ハウジング９２２のＸ軸方向側部の開口９２５を貫通しており、軸部９２０の−Ｘ方向側の端部は、第２ケーシング９４の貫通孔９４０に貫通して、水車９３に連結されている。
第２ハウジング９２２には、例えば、第２給水口９２３と第２排水口９２４とが形成されており、第２給水口９２３には、水供給源８が接続されている。水ベアリング９２０１は、水供給源８から第２ハウジング９２２の内部の流路９２６に供給される水により、軸受け部９２１を非接触状態で支持する。
第２ケーシング９４と軸部９２０との間には、両者の間の隙間を埋めるシール８３が貼着されており、第２ケーシング９４と軸部９２０との間にはシール８３が配置されている。

水ベアリング９２０２は、回転支持部９００の＋Ｘ方向側に回転可能に接続された軸部９２０を有している。水ベアリング９２０２のその他の部分は、水ベアリング９２０１と同様に構成されているため、同様の符号を付してその説明を省略する。
なお、回転手段９１は、上記の水ベアリング９２０１及び９２０２にかえて、例えばエアベアリング、ボールベアリング等を備えるものであってもよい。

水車９３は、図４及び図５に示すように、円形薄板状の円板部９３１を備えている。円板部９３１の＋Ｘ方向側の面である下面９３１０の中央には、大径部９５１を収容する収容部９３２が＋Ｘ方向に延ばされて形成されている。
また、円板部９３１の下面９３１０における収容部９３２の周りには、複数の羽９３０が下面９３１０から＋Ｘ方向に延ばされて配設されている。例えば、羽９３０は、いわゆるうず巻き型プロペラのブレードの如く、下面９３１０の中心をその渦中心としてうず巻き状に配設されているものとする。
水車９３は、それぞれの羽９３０が水供給源８から供給される流水による押力を受けることにより軸心９０５を軸にして回転可能である。
水供給源８から第２ケーシング９４の内部に水を供給することにより、羽９３０が流水の押圧を受け、水車９３及び水車９３に連結されている回転軸９５が回転する構成となっている。

第２洗浄装置９を用いて保持面２００を洗浄する際には、図４に示すように、まず、第２洗浄具９０の外側面９９を保持面２００に接触させる。
第２洗浄具９０の外側面９９が保持面２００に接触している状態で、水供給源８から第２ケーシング９４の内部に水８０を供給するとともに、軸心９０５を軸にして水車９３を回転させる。これにより、水供給源８から第２ケーシング９４の内部に供給された水８０は、第２出口９７から流出し、流入口９０３から回転支持部９００の内部の大径流路９０１を通じて複数の分岐流路９０２に流れていき、流出口９０６から回転支持部９００の外側に流出する。そして、水８０は洗浄水として、第２洗浄具９０の内部を通って、第２洗浄具９０の外側面９９から保持面２００に供給される。
また、水車９３に連結されている回転軸９５、及び回転軸９５に連結されている第２洗浄具９０が軸心９０５を軸にして回転する。
保持面２００と第２洗浄具９０の外側面９９との間に洗浄水が供給されている状態で、第２洗浄具９０が回転しながら保持面２００に当接することにより、保持面２００が洗浄される。
なお、第２洗浄具９０を用いて、保持面２００が保持する被加工物１７を洗浄してもよい。また、第２洗浄具９０の上に保持面２００または保持面２００が保持する被加工物１７を配置して、保持面２００または保持面２００が保持する被加工物１７を洗浄してもよい。

第１洗浄装置５を用いた保持面２００の洗浄、及び第２洗浄装置９を用いた保持面２００の洗浄においては、モータ等を用いて第１洗浄具５０を回転させないため、電力を消費せずに保持面２００の洗浄を行うことができる。
また、第１洗浄装置５、及び第２洗浄装置９は第１洗浄具５０を回転させるためのモータ等を要しないため、加工装置１を小型化することができる。
さらには、水ベアリング５２を用いることにより、ベアリングからゴミや油等が排出されるのを抑制することができ、保持面２００の汚染を防止できる。

１：加工装置１０：ベース１１：コラム
２：チャックテーブル２０：保持手段２００：保持面
２１：枠体２１０：枠体の上面２２：基台２４：回転手段２５：回転軸
３：加工手段３０：スピンドル３１：ハウジング３２：スピンドルモータ
３３：マウント３４：研削ホイール３４０：研削砥石３４２：研削面
３４１：ホイール基台３５：回転軸
４：上下移動手段４０：ボールネジ４１：ガイドレール４２：Ｚ軸モータ
４３：昇降板４４：ホルダ４５：回転軸
５：第１洗浄装置５０：第１洗浄具５０２：下面
５００：マウント５０１：連結部材５１：回転手段５０５：軸心
５２：水ベアリング５２０：軸部５２１：軸受け部５２２：第１ハウジング
５２３：第１給水口５２４：第１排水口５２５：開口５２６：流路
５３：水車５３０：羽５３１：円板部５３１０：下面５３２：収容部
５４：第１ケーシング５４０：開口
５５：回転軸５５０：小径部５５１：大径部５６：第１入口５７：第１出口
５８：流路５９：貫通孔５０３：流入口
６０：パッド６１：アーム６１０：軸部６５：回転軸
７０：カセット７１：ロボット７１０：保持手段７１２：保持面
７１１：軸部７２：位置合わせ手段
７３：洗浄手段７３０：保持手段７３２：保持面７３１：洗浄水供給ノズル
８：水供給源９：第２洗浄装置９０：第２洗浄具９９：外側面
９００：回転支持部９０４：側面９０５：軸心
９０１：大径流路９０３：流入口９０２：分岐流路９０６：流出口
９１：回転手段９２０１、９２０２：水ベアリング
９２０：軸部９２１：軸受け部９２２：第２ハウジング
９２３：第２給水口９２４：第２排水口９２５：開口９２６：流路
９３：水車９３０：羽９３１：円板部９３１０：下面９３２：収容部
９４：第２ケーシング９４０：開口９５：回転軸
９５０：小径部９５１：大径部９６：第２入口９７：第２出口
１７：被加工物１７０：被加工物の上面８０：水８１〜８４：シール

Claims

洗浄水を供給しながら、回転手段を用いて洗浄具を回転させ、該洗浄具を用いて被洗浄物を洗浄する洗浄装置であって、
該回転手段は、該洗浄具に連結する回転軸と、該回転軸を回転可能に支持するベアリングと、該洗浄具と離間し該回転軸に連結される水車と、該水車を収容するケーシングと、該ケーシングの内部に水を進入させる入口と、該ケーシングの内部から水を排出させる出口とを備え、
該入口から進入する水によって該ケーシングの内部に配設されている該水車を回転させ、該回転軸を介して回転する該洗浄具を被洗浄物に当接させて被洗浄物を洗浄する、洗浄装置。
該ケーシングの該出口から排出された該水を該洗浄水として少なくとも被洗浄物に供給する請求項１記載の洗浄装置。
該ベアリングは、該回転軸を囲繞する軸受け部に水を供給することによって形成される水ベアリングを用いる請求項１または請求項２記載の洗浄装置。