CN103296149B - Led晶圆定位装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种吸入力被增强，且不用担心LED晶圆的上表面会被接触，可进行安全吸附的LED晶圆定位装置。该LED晶圆定位装置包括定位装置主体和导向部件。定位装置主体根据向上部提供的空气沿以流线型形成的放出面向两侧的排出来吸附下部的LED晶圆；导向部件被配置在所述放出面的下部，使空气能够沿所述放出面移动。其中，该LED晶圆定位装置的特征在于包括单一的中央孔和支撑单元。单一的中央孔被配备在所述导向部件的中央单元，位于与所述放出面对应的部位内；支撑单元被配备为向所述导向部件的下部方向突出延伸成一体来支撑所述LED晶圆。因此，可容易地吸附相对来说距离较远的LED晶圆，LED晶圆的上表面接触于导向部件，从而减少由异物污染而产生的劣质问题。

Description

LED晶圆定位装置
技术领域
本发明是涉及一种LED晶圆定位装置，特别是涉及一种用于为移送LED晶圆利用空气来非接触式吸附LED晶圆的LED晶圆定位装置。
背景技术
一般情况下，为了制造发光二极管LED(LightEmittingDiode)使用六方晶系晶圆，为了移送此类LED晶圆，使用拾取(Pickup)晶圆的定位装置(Picker)。
现有的LED晶圆定位装置通过吸入空气形成一定的真空来固定晶圆。但是，此类吸附方式，由于晶圆直接接触于吸附板，因此具有粘在吸附板上的异物质会污染晶圆的表面或损伤晶圆的问题。
为解决上述问题，利用伯努利(Bernoulli)原理不接触晶圆表面的非接触方式的LED晶圆定位装置被使用。现有的非接触式LED晶圆定位装置使压缩空气沿以流线型形成的放出面迅速地移动，从而LED晶圆从放出面以一定距离隔离的状态被吸附。
图1是现有的LED晶圆定位装置的剖面图，且图2是现有的LED晶圆定位装置的仰视图，且图3是示出现有的LED晶圆定位装置的运作范例的示图。
如图1至图3所示，现有的非接触式LED晶圆定位装置包括定位装置主体110和导向部件120。
定位装置主体110具备向上部空气被提供且向下部被放出的构造。在这种情况下，向下部放出的空气沿以流线型配备在定位装置110下端的放出面111向两侧排出。
导向部件120被配置在所述放出面111的下部，引导使空气能够沿所述放出面111移动。在导向部件120配备有多个上下贯通的细孔121。
由此，根据定位装置主体110的向上部提供的高压压缩空气沿以流线型形成的放出面111迅速地移动，放出面111的中央部位暂时形成真空状态。因此，在定位装置主体111的下部发生上部方向的负压时，位于定位装置主体110下部的LED晶圆199通过配备在导向部件120的细孔121被吸附。
但是，此类现有的LED晶圆定位装置，存在由于配备在导向部件120的细孔121，吸入LED晶圆199的吸入力被降低的问题。
此外，在吸附LED晶圆199时，LED晶圆199的上表面可能会与导向部件120接触，当LED晶圆199的上表面被接触时，会存在各种异物质被粘附从而发生劣质的问题。
发明内容
为解决如上所述的现有问题，在本发明中，提供一种吸入力被增强，且不用担心LED晶圆的上表面会被接触，可进行安全吸附的LED晶圆定位装置。
根据本发明的LED晶圆定位装置，其包括定位装置主体和导向部件。定位装置主体根据向上部提供的空气沿以流线型形成的放出面向两侧的排出来吸附下部的LED晶圆；导向部件被配置在所述放出面的下部，使空气能够沿所述放出面移动。其中，该LED晶圆定位装置的特征在于包括单一的中央孔和支撑单元。单一的中央孔被配备在所述导向部件的中央单元，位于与所述放出面对应的部位内；支撑单元被配备为向所述导向部件的下部方向突出延伸成一体来支撑所述LED晶圆。
在这种情况下，在所述支撑单元配备倾斜的锥拨，使其越向下则直径越大。
此外，在所述定位装置主体配备有用于在所述中央孔的直径范围内插入传感器的传感器孔。
此外，根据根发明的另一种形态的LED晶圆定位装置，其包括定位装置主体和导向部件。定位装置主体根据向上部提供的空气沿以流线型形成的放出面向两侧的排出来吸附下部的LED晶圆；导向部件被配置在所述放出面的下部，使空气能够沿所述放出面移动。其中，该LED晶圆定位装置的特征在于包括单一的中央孔和支撑单元。单一的中央孔被配备在所述导向部件的中央单元，位于与所述放出面对应的部位内；支撑单元被配备为向所述导向部件的侧面方向延伸成一体来支撑所述LED晶圆。
在这种情况下，在所述支撑单元配备倾斜的锥拨，使其越向下则直径越大。
此外，所述导向部件的特征在于与所述定位装置主体连接成一体。
根据本发明的LED晶圆定位装置，由于将中央孔配备在导向部件上来增强吸入力，因此，是一种可容易地吸附相对来说距离较远的LED晶圆的十分有用的发明。
此外，根据本发明的LED晶圆定位装置，由于将支撑单元配备在导向部件上，并将锥拨配备在支撑单元来防止LED晶圆的上表面接触于导向部件，因此可减少由于异物污染而产生的劣质问题。
此外，根据本发明的LED晶圆定位装置，是一种将导向部件一体化来减少成本并减少整体的零件数，以简单的构造使维修更容易的十分有用的发明。
附图说明
图1是现有的LED晶圆定位装置的剖面图。
图2是现有的LED晶圆定位装置的仰视图。
图3是示出现有的LED晶圆定位装置的运作范例的示图。
图4是根据本发明的一个实施例的LED晶圆定位装置的剖面图。
图5是根据本发明的一个实施例的LED晶圆定位装置的仰视图。
图6是示出根据本发明的一个实施例的LED晶圆定位装置的运作范例的示图。
图7是根据本发明的一个实施例的将LED晶圆定位装置的支撑单元扩大的剖面图。
图8是根据本发明的另一个实施例的LED晶圆定位装置的剖面图。
图9是根据本发明的另一个实施例的LED晶圆定位装置的仰视图。
图10是示出根据本发明的另一个实施例的LED晶圆定位装置的运作范例的示图。
图11是根据本发明的另一个实施例的将LED晶圆定位装置的支撑单元扩大的剖面图。
具体实施方式
以下，根据本发明的附图对LED晶圆定位装置的技术构成进行详细地说明。
图4是根据本发明的一个实施例的LED晶圆定位装置的剖面图，且图5是根据本发明的一个实施例的LED晶圆定位装置的仰视图，且图6是示出根据本发明的一个实施例的LED晶圆定位装置的运作范例的示图，且图7是根据本发明的一个实施例的将LED晶圆定位装置的支撑单元扩大的剖面图。
如图4至图7所示，LED晶圆定位装置包括定位装置主体10和导向部件20。
定位装置主体10根据向上部提供的空气沿以流线型形成的放出面11向两侧的排出来吸附下部的LED晶圆99。即，在定位装置主体10的上部配备有用于提供高压的压缩空气的引入单元12并可与软管或管等连接。
导向部件20配备在所述放出面11的下部，引导使空气能够沿所述放出面11移动。
配备在定位装置主体10的下部的放出面11，其截面以流线型形成。通过引入单元12提供的压缩空气向定位装置主体10的下部被排出，且被排出的压缩空气沿流线型的放出面11迅速地移动，同时在定位装置主体10的中央单元暂时形成真空。
如上所述，在定位装置主体10的下部中央形成的真空状态使位于定位装置主体10下部的LED晶圆99往上部方向，即往向定位装置主体10侧吸入的方向产生负压。
在这种情况下，在所述导向部件20的中央单元配备有单一的中央孔25。中央孔25位于与放出面11对应的部位内。即，所述中央孔25的直径被配备成不超出与所述放出面11对应的部位。当用于可吸附50mmLED晶圆的定位装置时，优选是，所述中央孔25的直径为40mm。
如上所述，由于在导向部件20的中央配备有单一的中央孔25，所以比起具备多个细孔的构造来说能够提高两部以上的吸附力。因此，可容易地吸附从导向部件20的下部以5mm至10mm被隔离的LED晶圆。
在这种情况下，使向定位装置10的下部排出并沿放出面11移动的压缩空气重新向上部排出。其理由在于，当压缩空气往LED晶圆99侧下移时会使周围的异物散发，从而异物粘附在LED晶圆99上发生劣质问题。
同时，在所述导向部件20的下部具备支撑单元30。支撑单元30被配备为向所述导向部件20的下部方向突出延伸成一体来支撑所述LED晶圆99。
如图所示，支撑单元30可与LED晶圆99的尺寸对应，以导向部件20的中心为基准被制备成具有圆周形状的单一的一个，也可沿LED晶圆99的圆周方向被制备成多个，在多个支点支撑LED晶圆99。
在这种情况下，在所述支撑单元30的下端配备倾斜的锥拨31，使其越向下则直径越大。
因此，如图7所示，通过LED晶圆99与锥拨31的接触，使LED晶圆99的上表面不与导向部件20接触，因此，LED晶圆99的上表面不会发生由于异物质粘附而引起的刮痕等劣质问题。
此外，在所述定位装置主体10可配备用于在所述中央孔25的直径范围内插入传感器的传感器孔15。
此外，所述导向部件20可与所述定位装置主体10结合成一体。因此，可减少定位装置整体的零件数使机构简易化，且更容易维修，从而可减少制造成本。
综上所述，LED晶圆定位装置，其将中央孔25配备在导向部件20的中央来增倍提高吸入力，并在导向部件20的下部配备具有锥拨31的支撑单元30来防止LED晶圆的上表面接触。
如上所述的LED晶圆定位装置，由于支撑单元30被制备成向导向部件20的下部突出，因此在用于2英尺(50mm)左右的相对来说尺寸较小的LED晶圆时是十分有利的。
此外，图8是根据本发明的另一个实施例的LED晶圆定位装置的剖面图，且图9是根据本发明的另一个实施例的LED晶圆定位装置的仰视图，且图10是示出根据本发明的另一个实施例的LED晶圆定位装置的运作范例的示图，且图11是根据本发明的另一个实施例的将LED晶圆定位装置的支撑单元扩大的剖面图。
如图8至图11所示，根据本发明的另一个实施例的LED晶圆定位装置包括定位装置主体310和导向部件320。
定位装置主体310根据向上部提供的空气沿以流线型形成的放出面311向两侧的排出来吸附下部的LED晶圆399。即，在定位装置主体310的上部配备有用于提供高压的压缩空气的引入单元312可与软管或管等连接。
导向部件320被配备在所述放出面311的下部，引导使空气能够沿所述放出面311移动。
配备在定位装置主体310的下部的放出面311，其断面以流线型形成。通过引入单元312提供的压缩空气向定位装置主体310的下部被排出，且被排出的压缩空气沿流线型的放出面311迅速地移动，同时在定位装置主体310的中央单元暂时形成真空。
如上所述，在定位装置主体310的下部中央形成的真空状态使位于定位装置主体310的下部的LED晶圆399往上部方向，即往向定位装置主体310侧吸入的方向产生负压。
在这种情况下，在所述导向部件320的中央单元配备单一的中央孔325。中央孔325位于与放出面311对应的部位内。即，所述中央孔325的直径被配备成不超出与所述放出面311对应的部位。当用于可吸附150mmLED晶圆的定位装置时，优选是，所述中央孔325的直径为40mm至60mm；更优选是，所述中央孔325的直径为40mm。
如上所述，由于在导向部件320的中央配备有单一的中央孔325，所以比起具备多个细孔的构造可提高两部以上的吸附力。因此，可容易地吸附从导向部件320的下部以5mm至10mm被隔离的LED晶圆。
在这种情况下，使向定位装置310的下部排出并沿放出面311移动的压缩空气重新向上部排出。其理由在于，当压缩空气往LED晶圆399侧下移时会使周围的异物散发，从而异物粘附在LED晶圆399上发生劣质问题。
同时，在所述导向部件320的侧面具备支撑单元330。支撑单元330被配备为向所述导向部件320的侧面方向突出延伸成一体来支撑所述LED晶圆399。
如图所示，支撑单元330可与LED晶圆399的尺寸对应，以导向部件320的中心为基准被制备成具有圆周形状的单一的一个，如图所示，也可沿LED晶圆399的圆周方向被制备成多个，在多个支点支撑LED晶圆399。虽然在图中示出支撑单元330被配备在4个位置，但个数可对应于LED晶圆的尺寸来适当地选择。
在这种情况下，在所述支撑单元30的下端配备倾斜的锥拨331，使其越向下则直径越大。在这种情况下，支撑单元330可由水平延伸单元333和弯曲单元334来构成。水平延伸单元333被制备成从导向部件320向侧面方向延伸成一体，则弯曲单元334被制备成从所述水平延伸单元333向下部方向弯曲，且锥拨331被制备在所述弯曲单元334的内侧。
因此，如图11所示，通过LED晶圆399与锥拨331的接触，使LED晶圆399的上表面不与导向部件320接触，因此，LED晶圆399的上表面不会发生由于异物质粘附而引起的刮痕等劣质的问题。
此外，在所述定位装置主体310可配备用于在所述中央孔325的直径范围内插入传感器的传感器孔315。
此外，所述导向部件320可与所述定位装置主体310结合成一体。因此，可减少定位装置整体的零件数使机构简易化，且更容易维修，从而可减少制造成本。在这种情况下，在导向部件320配备有用于与定位装置主体310连接的螺栓孔329。
综上所述，LED晶圆定位装置，其在导向部件320的中央配备有中央孔325来增倍提高吸入力，且在导向部件320的下部配备具有锥拨331的支撑单元330来防止LED晶圆的上表面接触。
如上所述的LED晶圆定位装置，由于支撑单元330被制备成向导向部件320的下部突出，因此在用于6英尺(150mm)左右的相对来说尺寸较大的LED晶圆时是十分有利的。
在此，参照附图中所示的实施例对本发明的LED晶圆定位装置进行了说明，但是本发明并不局限于所述实施例，在本发明所属领域中具备通常知识的人均可以从此记载中进行各种修改和变形。因此，本发明的范围不受说明的实施例的局限或定义，而是由后附的权利要求范围以及权利要求范围等同内容定义。

Claims (4)

1.一种LED晶圆定位装置，包括：
定位装置主体(10)，其根据向上部提供的空气沿以流线型形成的放出面(11)向两侧的排出来吸附下部的LED晶圆(99)；和
导向部件(20)，其被配置在所述放出面(11)的下部，使空气能够沿所述放出面(11)移动，
其中，该LED晶圆定位装置的特征在于包括：
单一的中央孔(25)，其被配备在所述导向部件(20)的中央单元，位于与所述放出面(11)对应的部位内；和
支撑单元(30)，其被配备为向所述导向部件(20)的下部方向突出延伸成一体来支撑所述LED晶圆(99),
其中，在所述支撑单元(30)的下端配备倾斜的锥拨(31)，使其越向下则直径越大。
2.如权利要求1所述的LED晶圆定位装置，其中，在所述定位装置主体(10)配备有用于在所述中央孔(25)的直径范围内插入传感器的传感器孔(15)。
3.一种LED晶圆定位装置，包括：
定位装置主体(310)，其根据向上部提供的空气沿以流线型形成的放出面(311)向两侧的排出来吸附下部的LED晶圆(399)；和
导向部件(320)，其被配置在所述放出面(311)的下部，使空气能够沿所述放出面(311)移动，
其中，该LED晶圆定位装置的特征在于包括：
单一的中央孔(325)，其被配备在所述导向部件(320)的中央单元，位于与所述放出面(311)对应的部位内；和
支撑单元(330)，其被配备为向所述导向部件(320)的侧面方向延伸成一体来支撑所述LED晶圆(399)，
其中，在所述支撑单元(330)配备倾斜的锥拨(331)，使其越向下则直径越大。
4.如权利要求3所述的LED晶圆定位装置，其中，所述导向部件(320)，其与所述定位装置主体(310)连接成一体。
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