JP2011108879A - ワーク搬送装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】気体案内面14を有する凹部13が形成された搬送ヘッド11には、環状の気体噴出口16が形成されたノズル15が凹部13内に突出して取り付けられており、気体噴出口16から噴出された気体は気体案内面14に沿って径方向外方に案内される。搬送ヘッド11に装着される保持プレート25には、気体案内面14に案内された気体を保持プレート25の前面外周部に向けて噴出する複数の気体噴出孔31a,31bが形成されるとともに気体噴出孔31a,31bから噴出された気体の一部を凹部13内に逆流させる気体戻し孔32がノズル15の外周面15bにオーバーラップさせて形成されている。
【選択図】図3
Description
11 搬送ヘッド
12 取付面
13 凹部
14 気体案内面
14a 平坦部
14b 湾曲部
15 ノズル
16 気体噴出口
17 噴出口形成面
18 ポケット溝
19 気体供給孔
21 給気ポート
25 保持プレート
27 突起
31a,31b 気体噴出孔
32 気体戻し孔
Claims (5)
- シート状のワークを吸引搬送するワーク搬送装置であって、
先端面に気体案内面を有する凹部が形成された搬送ヘッドと、
前記搬送ヘッドに前記凹部内に突出して取り付けられ、前記凹部の前記気体案内面に対向して前記気体案内面との間で気体を前記気体案内面に向けて噴出する環状の気体噴出口を形成するノズルと、
ワークの形状に対応した形状を有し、前記搬送ヘッドの先端にその外周部外方に迫り出して装着される保持プレートとを有し、
前記気体案内面に案内された気体を前記保持プレートの前面外周部に向けて噴出する複数の気体噴出孔を前記保持プレートに形成し、
前記気体噴出孔から噴出された気体の一部を凹部内に前記ノズルの外周面側から逆流させる気体戻し孔を、前記ノズルの外周面にオーバーラップさせて前記保持プレートに形成し、
ワークの外周エッジに当接してワーク搬送時に前記ワークの前記保持プレートに対する横滑りを防止する突起を前記保持プレートの外周縁部に設けることを特徴とするワーク搬送装置。 - 請求項1記載のワーク搬送装置において、前記気体噴出孔は、それぞれ前記ノズルの中心から同一の半径位置に円周方向に間隔を隔てて形成され、前記気体案内面の外周端にまで流れた気体を前記保持プレートの前面外周部に向けて噴出する外側の気体噴出孔と、前記半径位置よりも小さい半径位置に円周方向に間隔を隔てて形成され、前記気体案内面の中間部にまで流れた気体を前記保持プレートの前面外周部に向けて噴出する内側の気体噴出孔とを有すること特徴とするワーク搬送装置。
- 請求項1または2記載のワーク搬送装置において、前記気体戻し孔は、前記保持プレートの中心部に形成され前記ノズルの外径よりも大径であることを特徴とするワーク搬送装置。
- 請求項1または2記載のワーク搬送装置において、前記気体戻し孔を円周方向に間隔を隔てて前記保持プレートに複数形成することを特徴とするワーク搬送装置。
- 請求項1〜4のいずれか1項に記載のワーク搬送装置において、前記保持プレートは四辺形であることを特徴とするワーク搬送装置。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2017017750A1 (ja) * | 2015-07-27 | 2017-02-02 | 株式会社ニレコ | 青果物把持具 |
JP2019034359A (ja) * | 2017-08-10 | 2019-03-07 | 株式会社前川製作所 | 食品用ロボットハンド |
CN113277302A (zh) * | 2020-02-19 | 2021-08-20 | Smc 株式会社 | 非接触输送装置 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58143989A (ja) * | 1982-02-15 | 1983-08-26 | 株式会社日立製作所 | 搬送装置 |
JPH02305740A (ja) * | 1989-05-17 | 1990-12-19 | Sony Corp | 基板搬送装置 |
JPH10181879A (ja) * | 1996-12-26 | 1998-07-07 | Koganei Corp | 搬送装置 |
JP2000191137A (ja) * | 1998-12-28 | 2000-07-11 | Nippon Electric Glass Co Ltd | 板状物の非接触搬送装置 |
JP2002231786A (ja) * | 2001-02-01 | 2002-08-16 | Koganei Corp | 搬送装置 |
JP2005219922A (ja) * | 2004-02-09 | 2005-08-18 | Koganei Corp | 非接触搬送装置 |
JP2006160434A (ja) * | 2004-12-06 | 2006-06-22 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 非接触搬送装置 |
JP2007067054A (ja) * | 2005-08-30 | 2007-03-15 | Fluoro Mechanic Kk | ベルヌーイチャック |
JP2009032981A (ja) * | 2007-07-27 | 2009-02-12 | Ihi Corp | 非接触搬送装置 |
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Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58143989A (ja) * | 1982-02-15 | 1983-08-26 | 株式会社日立製作所 | 搬送装置 |
JPH02305740A (ja) * | 1989-05-17 | 1990-12-19 | Sony Corp | 基板搬送装置 |
JPH10181879A (ja) * | 1996-12-26 | 1998-07-07 | Koganei Corp | 搬送装置 |
JP2000191137A (ja) * | 1998-12-28 | 2000-07-11 | Nippon Electric Glass Co Ltd | 板状物の非接触搬送装置 |
JP2002231786A (ja) * | 2001-02-01 | 2002-08-16 | Koganei Corp | 搬送装置 |
JP2005219922A (ja) * | 2004-02-09 | 2005-08-18 | Koganei Corp | 非接触搬送装置 |
JP2006160434A (ja) * | 2004-12-06 | 2006-06-22 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 非接触搬送装置 |
JP2007067054A (ja) * | 2005-08-30 | 2007-03-15 | Fluoro Mechanic Kk | ベルヌーイチャック |
JP2009032981A (ja) * | 2007-07-27 | 2009-02-12 | Ihi Corp | 非接触搬送装置 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2017017750A1 (ja) * | 2015-07-27 | 2017-02-02 | 株式会社ニレコ | 青果物把持具 |
JPWO2017017750A1 (ja) * | 2015-07-27 | 2017-07-27 | 株式会社ニレコ | 青果物把持具 |
JP2019034359A (ja) * | 2017-08-10 | 2019-03-07 | 株式会社前川製作所 | 食品用ロボットハンド |
CN113277302A (zh) * | 2020-02-19 | 2021-08-20 | Smc 株式会社 | 非接触输送装置 |
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