JP5159528B2 - 板状部材の支持装置および支持方法 - Google Patents
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さらに、吸引手段として内側吸引手段と外側吸引手段とを設け、これらの動作を板状部材のサイズに応じて切り替え制御することで、各種サイズの板状部材をより確実に吸引することができるうえ、無駄なエネルギー消費を抑制することができる。
図1は、本実施形態に係る板状部材の支持装置1を示す部分断面図である。なお、図1および図3は、それぞれ図2のA−A断面矢視図である。
図1において、支持装置1は、板状部材としてのウェハWを搬送する搬送装置の一部を構成するものであり、搬送に際してウェハWを吸引することで上方からウェハWを支持できるように構成されている。この支持装置1は、図示しない搬送装置の駆動部等に連結される搬送アーム2の先端に、アーム連結部2Aを介して取り付けられている。
以上の支持装置1において、各複数の内側吸引部材4A、外側吸引部材4B、内側規制突起64、外側規制突起7およびエア抜き孔5は、それぞれ吸引盤3の中心に対して同心円状に配置され、ウェハWがバランスよく吸引、支持されるようになっている。
すなわち、ウェハWの径寸法に応じて内側規制突起64の突没を切り替え、径小なウェハW1に対しては内側規制突起64を当接させ、径大なウェハW2に対しては外側規制突起7を当接させることで、いずれのウェハW1,W2も確実に支持することができる。従って、単一の支持装置1によって径寸法の異なるウェハW1,W2を支持できるので、ウェハW1,W2のサイズごとに支持装置1や吸引盤3を準備する必要がなく、部品点数が削減できるとともに、型換えの手間や時間が省略できて半導体製造工程全体の効率化を図ることができる。
また、前記実施形態では、二種の径寸法のウェハW1,W2を支持する支持装置1を示したが、本発明の支持装置は、三種以上の径寸法の板状部材を支持するものであってもよい。すなわち、前記実施形態の内側規制突起64と同様に吸引盤3から突没自在な他の内側規制突起を、内側規制突起64よりも内周側に設ければ、前記径小なウェハW1よりも径寸法の小さなウェハ(板状部材)にも対応でき、他の内側規制突起を内側規制突起64と外側規制突起7との中間位置に設ければ、前記径小なウェハW1と径大なウェハW2との中間サイズのウェハ(板状部材)にも対応させることができる。
また、前記実施形態では、内側規制突起64および外側規制突起7をそれぞれウェハW1,W2の上面に当接させる構成としたが、これに限らず、ウェハW(板状部材)の外周端縁に内側および外側の規制手段を当接させる構成であってもよい。さらに、内側および外側の規制手段としては、支持体から板状部材に向かって外側に傾斜した傾斜面を有して構成され、この傾斜面に板状部材の端縁を当接させるものであってもよい。
さらに、前記実施形態では、搬送装置の一部を構成する支持装置1について説明したが、本発明の支持装置は、搬送装置の一部を構成するものに限られない。そして、本発明の支持装置は、ウェハW(板状部材)を上方から吸引支持するものに限らず、支持テーブルのようにウェハ(板状部材)を下方から支持するものであってもよい。
また、外側規制突起7も内側規制突起64と同様に、直動モータ等を介して突没自在に構成されていてもよい。このような構成とすることで、内側吸引部材4A、外側吸引部材4Bの吸引力に応じて、内、外側規制突起64,7それぞれの突出量を個別に変更することが可能となり、ウェハW1,W2をより確実に支持できるようになる。
3 吸引盤(支持体)
4 吸引部材(吸引手段)
4A 内側吸引部材(内側吸引手段)
4B 外側吸引部材(外側吸引手段)
7 外側規制突起(外側規制手段)
64 内側規制突起(内側規制手段)
W,W1,W2 ウェハ(板状部材)
Claims (3)
- 板状部材に相対する支持体と、
前記支持体に設けられて前記板状部材を吸引する吸引手段と、
前記支持体から前記板状部材に向かって突没自在に設けられるとともに、当該板状部材に当接してその移動を規制可能な内側規制手段と、
前記内側規制手段よりも外側にて前記支持体から前記板状部材に向かって突出して設けられるとともに、当該板状部材に当接してその移動を規制可能な外側規制手段とを有して構成され、
前記吸引手段は、面内方向の寸法が異なる少なくとも二種の板状部材のうちの小なる板状部材に相対する位置に設けられる内側吸引手段と、この内側吸引手段よりも外側にて面内方向の寸法が大なる板状部材に相対する位置に設けられる外側吸引手段とを含んで構成され、前記支持体側から前記板状部材に向かって気体を噴出して負圧領域を形成し、
前記内側規制手段は、前記内側吸引手段よりも外側に設けられ、
前記外側規制手段は、前記外側吸引手段よりも外側に設けられ、
前記支持体の前記内側吸引手段と前記外側吸引手段との間には、当該支持体を貫通するエア抜き孔が設けられ、
前記小なる板状部材に対しては、前記内側規制手段を前記支持体から突出させた状態で前記吸引手段によって吸引することで、前記小なる板状部材に前記内側吸引手段よりも外側で前記内側規制手段を当接させて当該板状部材を支持し、
前記大なる板状部材に対しては、前記内側規制手段を前記支持体側に没入させた状態で前記吸引手段によって吸引することで、前記大なる板状部材に前記外側吸引手段よりも外側で前記外側規制手段を当接させて当該板状部材を支持することを特徴とする板状部材の支持装置。 - 前記小なる板状部材に対しては、前記内側吸引手段を作動させるとともに前記外側吸引手段を非作動として当該板状部材を吸引し、前記大なる板状部材に対しては、前記内側吸引手段および前記外側吸引手段の両方を作動させて当該板状部材を吸引することを特徴とする請求項1に記載の板状部材の支持装置。
- 板状部材に相対する支持体と、面内方向の寸法が異なる少なくとも二種の板状部材のうちの小なる板状部材に相対する位置に設けられる内側吸引手段およびこの内側吸引手段よりも外側にて面内方向の寸法が大なる板状部材に相対する位置に設けられる外側吸引手段を含んで構成され、前記支持体側から前記板状部材に向かって気体を噴出して負圧領域を形成する吸引手段と、前記内側吸引手段よりも外側に設けられ、前記支持体から前記板状部材に向かって突没自在に設けられる内側規制手段と、前記外側吸引手段よりも外側に設けられ、前記内側規制手段よりも外側にて前記支持体から前記板状部材に向かって突出して設けられる外側規制手段と、前記支持体の前記内側吸引手段と前記外側吸引手段との間に設けられ、当該支持体を貫通するエア抜き孔とを備えた装置を用いる板状部材の支持方法であって、
前記小なる板状部材に対しては、前記内側規制手段を前記支持体から突出させた状態で前記吸引手段から噴出する気体を前記エア抜き孔から排気しながら当該板状部材を前記支持体側に吸引することで、前記小なる板状部材に前記内側吸引手段よりも外側で前記内側規制手段を当接させて移動を規制しつつ当該板状部材を支持し、
前記大なる板状部材に対しては、前記内側規制手段を前記支持体側に没入させた状態で前記吸引手段から噴出する気体を前記エア抜き孔から排気しながら当該板状部材を前記支持体側に吸引することで、前記大なる板状部材に前記外側吸引手段よりも外側で前記外側規制手段を当接させて移動を規制しつつ当該板状部材を支持することを特徴とする板状部材の支持方法。
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