JP2000126960A - 被加工物の真空吸着装置 - Google Patents
被加工物の真空吸着装置Info
- Publication number
- JP2000126960A JP2000126960A JP31700798A JP31700798A JP2000126960A JP 2000126960 A JP2000126960 A JP 2000126960A JP 31700798 A JP31700798 A JP 31700798A JP 31700798 A JP31700798 A JP 31700798A JP 2000126960 A JP2000126960 A JP 2000126960A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum suction
- workpiece
- vacuum
- base
- compressed air
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
- Auxiliary Devices For Machine Tools (AREA)
- Jigs For Machine Tools (AREA)
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明の目的は、多数の真空吸着孔を上面に
形成した基台上に、被加工物を載置して吸引固着すると
きに、その基台上に載置した被加工物の外側に真空吸着
孔が存在しようとも、被加工物の外側に位置する真空吸
着孔のそれぞれを一つずつ塞ぐ必要が全くなく、しかも
被加工物の外側に真空吸着孔が多数存在しようとも被加
工物に対する基台上での真空吸着能が阻害されることが
なくしっかりと基台上に吸引固定することにある。 【解決手段】 本発明に係る被加工物の真空吸着装置
は、各側面が平坦な平面矩形状の基台に、一方の側面か
ら圧搾空気を送り、他方の側面から排出される圧搾空気
通路を形成し、該圧搾空気通路と連通する連通孔を介し
て真空吸着孔を上面に多数穿設し、該真空吸着孔の途中
に空気が僅かに通過し得る微細空隙を残して充填物を充
填したものである。
形成した基台上に、被加工物を載置して吸引固着すると
きに、その基台上に載置した被加工物の外側に真空吸着
孔が存在しようとも、被加工物の外側に位置する真空吸
着孔のそれぞれを一つずつ塞ぐ必要が全くなく、しかも
被加工物の外側に真空吸着孔が多数存在しようとも被加
工物に対する基台上での真空吸着能が阻害されることが
なくしっかりと基台上に吸引固定することにある。 【解決手段】 本発明に係る被加工物の真空吸着装置
は、各側面が平坦な平面矩形状の基台に、一方の側面か
ら圧搾空気を送り、他方の側面から排出される圧搾空気
通路を形成し、該圧搾空気通路と連通する連通孔を介し
て真空吸着孔を上面に多数穿設し、該真空吸着孔の途中
に空気が僅かに通過し得る微細空隙を残して充填物を充
填したものである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、主として、超硬合
金、セラミックス等の非磁性体の薄物加工品を研磨機用
テーブルに取付けて研磨作業を行うための被加工物の真
空吸着装置に関する。
金、セラミックス等の非磁性体の薄物加工品を研磨機用
テーブルに取付けて研磨作業を行うための被加工物の真
空吸着装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のこの種の被加工物の真空吸着装置
は、真空エジェクターを使用し、該エジェクターと連通
して基台上に、同心円状の溝を多数箇形成し、その溝上
に加工物を載置して吸引固着する構造である。しかし、
被加工物を基台上に載置固定する場合、被加工物より大
きい同心円状の溝が存在するときは、被加工物からはみ
出した同心円状の溝は真空吸着効果を高めるために、そ
のはみ出した同心円状の溝をＯリングや環状ゴムパッキ
ングによってその溝を塞いで真空効果を高めるようにし
ていた。
は、真空エジェクターを使用し、該エジェクターと連通
して基台上に、同心円状の溝を多数箇形成し、その溝上
に加工物を載置して吸引固着する構造である。しかし、
被加工物を基台上に載置固定する場合、被加工物より大
きい同心円状の溝が存在するときは、被加工物からはみ
出した同心円状の溝は真空吸着効果を高めるために、そ
のはみ出した同心円状の溝をＯリングや環状ゴムパッキ
ングによってその溝を塞いで真空効果を高めるようにし
ていた。
【０００３】上記従来の被加工物の真空吸着装置は、被
加工物を基台上に載置して吸引固着するときに、被加工
物からはみ出した同心円状の溝部分をゴムパッキング等
により充填して塞がなければ、吸引効果が低下し、被加
工物を基台上にしっかりと吸引固着することができない
という欠点があった。また、上記従来の被加工物の真空
吸着装置は、同心円状の溝が形成されている基台を常に
上面に位置させて取付けなければならないために、研磨
機の砥石を水平方向に移動させて研磨することはできて
も上下方向のいわゆる垂直方向に砥石を移動させて被加
工物を研磨することはできないという難点があった。さ
らに、同心円状の溝が形成されている基台の上面に被加
工物を載置するときに、該被加工物を吸着以外の手段で
把持固定する事はできないという難点があった。
加工物を基台上に載置して吸引固着するときに、被加工
物からはみ出した同心円状の溝部分をゴムパッキング等
により充填して塞がなければ、吸引効果が低下し、被加
工物を基台上にしっかりと吸引固着することができない
という欠点があった。また、上記従来の被加工物の真空
吸着装置は、同心円状の溝が形成されている基台を常に
上面に位置させて取付けなければならないために、研磨
機の砥石を水平方向に移動させて研磨することはできて
も上下方向のいわゆる垂直方向に砥石を移動させて被加
工物を研磨することはできないという難点があった。さ
らに、同心円状の溝が形成されている基台の上面に被加
工物を載置するときに、該被加工物を吸着以外の手段で
把持固定する事はできないという難点があった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、多数
の真空吸着孔を上面に形成した基台上に、被加工物を載
置して吸引固着するときに、その基台上に載置した被加
工物の外側に真空吸着孔が存在しようとも、被加工物の
外側に位置する真空吸着孔のそれぞれを一つずつ塞ぐ必
要が全くなく、しかも被加工物の外側に真空吸着孔が多
数存在しようとも被加工物に対する基台上での真空吸着
能が阻害されることがなくしっかりと基台上に吸引固定
することができるようにしたものである。
の真空吸着孔を上面に形成した基台上に、被加工物を載
置して吸引固着するときに、その基台上に載置した被加
工物の外側に真空吸着孔が存在しようとも、被加工物の
外側に位置する真空吸着孔のそれぞれを一つずつ塞ぐ必
要が全くなく、しかも被加工物の外側に真空吸着孔が多
数存在しようとも被加工物に対する基台上での真空吸着
能が阻害されることがなくしっかりと基台上に吸引固定
することができるようにしたものである。
【０００５】また本発明の他の目的は、研磨機の砥石を
水平方向に移動させて研磨する事ができることは勿論の
事、上下方向のいわゆる垂直方向に砥石を移動させて被
加工物を研磨することができるように、基台の側面を取
付け面とした、いわゆる縦おきを可能とすることであ
る。
水平方向に移動させて研磨する事ができることは勿論の
事、上下方向のいわゆる垂直方向に砥石を移動させて被
加工物を研磨することができるように、基台の側面を取
付け面とした、いわゆる縦おきを可能とすることであ
る。
【０００６】さらに本発明の他の目的は、基台の上面に
被加工物を載置するときに、該被加工物を吸着以外の手
段で所望する位置で把持固定する事を可能とした被加工
物の真空吸着装置を提供することにある。
被加工物を載置するときに、該被加工物を吸着以外の手
段で所望する位置で把持固定する事を可能とした被加工
物の真空吸着装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明に係る被加工物の
真空吸着装置は、各側面が平坦な平面矩形状の基台に、
一方の側面から圧搾空気を送り、他方の側面から排出さ
れる圧搾空気通路を形成し、該圧搾空気通路の途中にエ
ジェクター作用を行う狭窄通路を形成し、前記圧搾空気
通路と連通する連通孔を介して真空吸着孔を上面に多数
穿設し、該真空吸着孔の途中に空気が僅かに通過し得る
微細空隙を残して充填物を充填したものである。
真空吸着装置は、各側面が平坦な平面矩形状の基台に、
一方の側面から圧搾空気を送り、他方の側面から排出さ
れる圧搾空気通路を形成し、該圧搾空気通路の途中にエ
ジェクター作用を行う狭窄通路を形成し、前記圧搾空気
通路と連通する連通孔を介して真空吸着孔を上面に多数
穿設し、該真空吸着孔の途中に空気が僅かに通過し得る
微細空隙を残して充填物を充填したものである。
【０００８】また本発明に係る被加工物の真空吸着装置
は、前記真空吸着孔の途中に微細空隙を残して充填する
充填物が、真空吸着孔の途中に形成しためねじと、該め
ねじに螺合するおねじとの間に形成される螺旋状の微細
空隙にて形成されているものである。
は、前記真空吸着孔の途中に微細空隙を残して充填する
充填物が、真空吸着孔の途中に形成しためねじと、該め
ねじに螺合するおねじとの間に形成される螺旋状の微細
空隙にて形成されているものである。
【０００９】さらに本発明に係る被加工物の真空吸着装
置は、基台の上面に多数穿設した真空吸着孔にて吸引固
定された被加工物がスライド可能な押さえ板にて挟持さ
れるとともに被加工物と非接触の真空吸着孔部分は閉塞
することなく露出状態にある構造である。
置は、基台の上面に多数穿設した真空吸着孔にて吸引固
定された被加工物がスライド可能な押さえ板にて挟持さ
れるとともに被加工物と非接触の真空吸着孔部分は閉塞
することなく露出状態にある構造である。
【００１０】
【作用】本発明に係る被加工物の真空吸着装置は、基台
の一方の側面から圧搾空気通路に向けて圧搾空気を送
り、基台の他方の側面から該圧搾空気を排出させる。こ
のとき真空吸着孔の空気は連通孔を介して圧搾空気通路
の途中に形成した狭窄路のエジェクター作用を利用して
真空吸引されることとなる。真空吸着孔の途中には空気
が僅かに通過し得る微細空隙を残して充填物が充填され
ているために、空気を吸引する通路は真空吸引孔の大き
さに比べて極端に狭くなっているが、これによって各真
空吸着孔の吸引能力が劣るものではない。したがって、
多数の真空吸着孔を形成した基台上に被加工物を載置す
るときに、被加工物によって塞がれた真空吸着孔部分は
真空状態となって被加工物を基台上に吸引固着すること
となる。一方、被加工物からはみ出した真空吸着孔部分
は何ら塞がれることなく、露出状態となっているが、上
述したように真空吸着孔の途中で空気が僅かに通過し得
る微細空隙で吸引する構造としているために、露出状態
で放置しても被加工物と接している真空吸着孔の吸引能
力に影響を及ぼすことはない。
の一方の側面から圧搾空気通路に向けて圧搾空気を送
り、基台の他方の側面から該圧搾空気を排出させる。こ
のとき真空吸着孔の空気は連通孔を介して圧搾空気通路
の途中に形成した狭窄路のエジェクター作用を利用して
真空吸引されることとなる。真空吸着孔の途中には空気
が僅かに通過し得る微細空隙を残して充填物が充填され
ているために、空気を吸引する通路は真空吸引孔の大き
さに比べて極端に狭くなっているが、これによって各真
空吸着孔の吸引能力が劣るものではない。したがって、
多数の真空吸着孔を形成した基台上に被加工物を載置す
るときに、被加工物によって塞がれた真空吸着孔部分は
真空状態となって被加工物を基台上に吸引固着すること
となる。一方、被加工物からはみ出した真空吸着孔部分
は何ら塞がれることなく、露出状態となっているが、上
述したように真空吸着孔の途中で空気が僅かに通過し得
る微細空隙で吸引する構造としているために、露出状態
で放置しても被加工物と接している真空吸着孔の吸引能
力に影響を及ぼすことはない。
【００１１】また真空吸着孔の途中で空気が僅かに通過
し得る微細空隙を残した状態で充填物により充填する構
造であるために、被加工物の研磨作業時に出る粉塵は充
填物により阻止されることとなり、真空吸着孔の目詰ま
りが解消される。しかも、乾式の研磨機の場合は勿論、
水等を使用する湿式の研磨機の場合でも水等の液体は真
空吸着孔、連通孔及び圧搾空気通路を通って外部に排出
される。
し得る微細空隙を残した状態で充填物により充填する構
造であるために、被加工物の研磨作業時に出る粉塵は充
填物により阻止されることとなり、真空吸着孔の目詰ま
りが解消される。しかも、乾式の研磨機の場合は勿論、
水等を使用する湿式の研磨機の場合でも水等の液体は真
空吸着孔、連通孔及び圧搾空気通路を通って外部に排出
される。
【００１２】さらに本発明に係る被加工物の真空吸着装
置は、基台の各側面が平坦な平面矩形状に形成されてい
るために、研磨機用テーブル上のマグネット盤上に強力
な磁石により基台底面を吸着させて使用する、いわゆる
横置き状態で、円形砥石を高速回転させ、該砥石を水平
方向に前後させて研磨作業をすることができることは勿
論のこと、基台の側面のうち圧搾空気を送る側の面と圧
搾空気を排出する側の面を除く基台の側面をマグネット
盤に吸着させる、いわゆる縦置きも可能であるため、高
速回転する砥石を上下の垂直方向に移動させて研磨作業
を行うことができ、研磨作業の能率化が図られる。
置は、基台の各側面が平坦な平面矩形状に形成されてい
るために、研磨機用テーブル上のマグネット盤上に強力
な磁石により基台底面を吸着させて使用する、いわゆる
横置き状態で、円形砥石を高速回転させ、該砥石を水平
方向に前後させて研磨作業をすることができることは勿
論のこと、基台の側面のうち圧搾空気を送る側の面と圧
搾空気を排出する側の面を除く基台の側面をマグネット
盤に吸着させる、いわゆる縦置きも可能であるため、高
速回転する砥石を上下の垂直方向に移動させて研磨作業
を行うことができ、研磨作業の能率化が図られる。
【００１３】また本発明に係る被加工物の真空吸着装置
は、被加工物が基台の上面に多数穿設した真空吸着孔に
て吸引固定されるだけでなく、該被加工物はスライド可
能な押さえ板にて挟持することとしたので、被加工物が
非磁性体の薄物板材であろうとも真空吸引と相まって機
械的な把持固定がなされ、薄物の被加工物を安定した状
態で固定でき、研磨作業が一層容易となる。さらに高価
な真空ポンプは一切不要であり、エアーコンプレッサー
のみで足りる。
は、被加工物が基台の上面に多数穿設した真空吸着孔に
て吸引固定されるだけでなく、該被加工物はスライド可
能な押さえ板にて挟持することとしたので、被加工物が
非磁性体の薄物板材であろうとも真空吸引と相まって機
械的な把持固定がなされ、薄物の被加工物を安定した状
態で固定でき、研磨作業が一層容易となる。さらに高価
な真空ポンプは一切不要であり、エアーコンプレッサー
のみで足りる。
【００１４】
【発明実施の形態】以下、本発明の一実施例を図面に基
づいて説明する。図１は本発明の一実施例を示す被加工
物の真空吸着装置を示す斜視図である。１は各側面が平
坦な平面矩形状の基台で、第１基台２と、その第１基台
２の上に重ねて設けた第２基台３とよりなり、第１基台
２と第２基台３の各側面はそれぞれ同一面上に位置する
ように積層しボルト、ナット等により固定されている。
図２（ａ）は第１基台の平面図、図２（ｂ）は第１基台
の側面図、図２（ｃ）は第１基台に形成した圧搾空気通
路の位置関係を示す平面図である。第１基台２の一側面
４にコンプレッサー（図示せず）から送られる圧搾空気
投入口５を設ける。この圧搾空気投入口５に接続するよ
うにして第１基台２に圧搾空気通路６を形成し、圧搾空
気通路６の終端に排気口７を設ける。排気口７の位置は
圧搾空気投入口５を形成した一側面４と直交する隣接側
面８に形成する。また圧搾空気通路６の途中（本例では
圧搾空気通路６のほぼ中央部付近）にエジェクター効果
を持たせるための狭窄路９を形成するに当たっては例え
ば圧搾空気通路６に形成した螺子部に、軸心に貫通孔を
設けた中空ねじ１０を螺合させ、その中空ねじ１０の頭
部を大きな圧搾空気通路６の垂直壁面に密着させる構造
とする。そして中空ねじ１０の端末側の外周面の螺子山
を落とし細径に形成する。その細径に形成した環状隙間
と垂直方向に形成した連通孔１１とが連通し、さらに環
状隙間と中空ねじ１０端末以降の圧搾空気通路６とが連
通する構造とする（図４（ａ）（ｂ）参照）。しかし
て、狭窄路９を通った後の空気のエジェクター作用によ
り後述する連通溝１３内の空気は連通孔１１及び環状隙
間を通って排気側の圧搾空気通路６へと真空吸引され
る。
づいて説明する。図１は本発明の一実施例を示す被加工
物の真空吸着装置を示す斜視図である。１は各側面が平
坦な平面矩形状の基台で、第１基台２と、その第１基台
２の上に重ねて設けた第２基台３とよりなり、第１基台
２と第２基台３の各側面はそれぞれ同一面上に位置する
ように積層しボルト、ナット等により固定されている。
図２（ａ）は第１基台の平面図、図２（ｂ）は第１基台
の側面図、図２（ｃ）は第１基台に形成した圧搾空気通
路の位置関係を示す平面図である。第１基台２の一側面
４にコンプレッサー（図示せず）から送られる圧搾空気
投入口５を設ける。この圧搾空気投入口５に接続するよ
うにして第１基台２に圧搾空気通路６を形成し、圧搾空
気通路６の終端に排気口７を設ける。排気口７の位置は
圧搾空気投入口５を形成した一側面４と直交する隣接側
面８に形成する。また圧搾空気通路６の途中（本例では
圧搾空気通路６のほぼ中央部付近）にエジェクター効果
を持たせるための狭窄路９を形成するに当たっては例え
ば圧搾空気通路６に形成した螺子部に、軸心に貫通孔を
設けた中空ねじ１０を螺合させ、その中空ねじ１０の頭
部を大きな圧搾空気通路６の垂直壁面に密着させる構造
とする。そして中空ねじ１０の端末側の外周面の螺子山
を落とし細径に形成する。その細径に形成した環状隙間
と垂直方向に形成した連通孔１１とが連通し、さらに環
状隙間と中空ねじ１０端末以降の圧搾空気通路６とが連
通する構造とする（図４（ａ）（ｂ）参照）。しかし
て、狭窄路９を通った後の空気のエジェクター作用によ
り後述する連通溝１３内の空気は連通孔１１及び環状隙
間を通って排気側の圧搾空気通路６へと真空吸引され
る。
【００１５】連通孔１１の上部には連通孔１１と直交す
る方向で、第１基台２の上面の後述する多数の真空吸着
孔１２を形成する位置に連通溝１３を図２（ａ）に示す
ように所定間隔をおいて形成する。各連通溝１３はいず
れも連通孔１１と連通している。連通溝１３と連通する
真空吸着孔１２を第２基台３に垂直方向に貫通形成す
る。なお、各連通溝１３は第２基台３の底面によってシ
ールされた状態で塞がれ、閉空間が形成される。
る方向で、第１基台２の上面の後述する多数の真空吸着
孔１２を形成する位置に連通溝１３を図２（ａ）に示す
ように所定間隔をおいて形成する。各連通溝１３はいず
れも連通孔１１と連通している。連通溝１３と連通する
真空吸着孔１２を第２基台３に垂直方向に貫通形成す
る。なお、各連通溝１３は第２基台３の底面によってシ
ールされた状態で塞がれ、閉空間が形成される。
【００１６】第２基台３の上面には上記各連通溝１３の
形成位置、例えば３４ｍｍ×６５ｍｍの面積に直径２ｍ
ｍの真空吸着孔１２を１０４個貫通形成した場合を示し
たが、形成位置の面積や真空吸着孔１２の孔径、孔の数
等はこれらの数値に限定されるものではなく、適宜用途
等において変えることができる。本発明で重要な事は、
各真空吸着孔１２の途中に空気が僅かに通過し得る微細
空隙１２ａを残した状態で充填物１６を充填するように
したことである。真空吸着孔１２の途中に微細空隙１２
ａを残して充填する充填物１６の例としては、真空吸着
孔１２の途中に形成しためねじ１２ｂと、該めねじ１２
ｂに螺合するおねじ１６ａとの間に形成される螺旋状の
微細空隙１２ａにて形成される。このようにすることと
したのは、被加工物からはみ出した真空吸着孔１２部分
が何ら塞がれることなく、露出状態となっていようと
も、上述したように真空吸着孔１２の途中で空気が僅か
に通過し得る微細空隙１２ａで吸引する構造としている
ために、被加工物と接している真空吸着孔１２の吸引能
力には何ら影響を及ぼすことがないためである。
形成位置、例えば３４ｍｍ×６５ｍｍの面積に直径２ｍ
ｍの真空吸着孔１２を１０４個貫通形成した場合を示し
たが、形成位置の面積や真空吸着孔１２の孔径、孔の数
等はこれらの数値に限定されるものではなく、適宜用途
等において変えることができる。本発明で重要な事は、
各真空吸着孔１２の途中に空気が僅かに通過し得る微細
空隙１２ａを残した状態で充填物１６を充填するように
したことである。真空吸着孔１２の途中に微細空隙１２
ａを残して充填する充填物１６の例としては、真空吸着
孔１２の途中に形成しためねじ１２ｂと、該めねじ１２
ｂに螺合するおねじ１６ａとの間に形成される螺旋状の
微細空隙１２ａにて形成される。このようにすることと
したのは、被加工物からはみ出した真空吸着孔１２部分
が何ら塞がれることなく、露出状態となっていようと
も、上述したように真空吸着孔１２の途中で空気が僅か
に通過し得る微細空隙１２ａで吸引する構造としている
ために、被加工物と接している真空吸着孔１２の吸引能
力には何ら影響を及ぼすことがないためである。
【００１７】１４は突き当て部１４ａを備えたスライド
取付け板で、第２基台３の上部に取付けられている。す
なわち第２基台３の上面の真空吸着孔１２形成面を除い
た部分に平面門型形状の凹部３ａを形成し、その凹部３
ａにスライド取付け板１４を取付ける。スライド取付け
板１４の全側面は基台１の全側面と面一となるように形
成する。突き当て部１４ａの板はスライド取付け板１４
と分離して螺子止め等によって着脱自在な取付け構造と
してもよい。スライド取付け板１４にはスライド可能な
押え板１５が嵌合し、第２基台３の真空吸着孔１２形成
面上をスライドしながら移動できるように押え板１５に
形成した長孔１５ａの範囲で移動でき、所望する位置で
ボルト１５ｂによって固定するようにしている。しかし
て、この押え板１５により被加工物を左右位置で把持固
定するものである。
取付け板で、第２基台３の上部に取付けられている。す
なわち第２基台３の上面の真空吸着孔１２形成面を除い
た部分に平面門型形状の凹部３ａを形成し、その凹部３
ａにスライド取付け板１４を取付ける。スライド取付け
板１４の全側面は基台１の全側面と面一となるように形
成する。突き当て部１４ａの板はスライド取付け板１４
と分離して螺子止め等によって着脱自在な取付け構造と
してもよい。スライド取付け板１４にはスライド可能な
押え板１５が嵌合し、第２基台３の真空吸着孔１２形成
面上をスライドしながら移動できるように押え板１５に
形成した長孔１５ａの範囲で移動でき、所望する位置で
ボルト１５ｂによって固定するようにしている。しかし
て、この押え板１５により被加工物を左右位置で把持固
定するものである。
【００１８】図７は使用状態を示す概略説明図で、超硬
質合金、セラミックス等の非磁性体の薄物等の被加工物
を真空吸着した本発明に係る真空吸着装置を研磨機用テ
ーブル上のマグネットに対し横方向に磁気的吸着作用に
より取付けた場合を示し、高速回転する円形砥石は水平
方向に移動して研磨作業を行う。図８は別の使用状態を
示す概略説明図で、被加工物を真空吸着した本発明に係
る真空吸着装置を研磨機用テーブル上のマグネットに対
し縦方向に磁気的吸着作用により取付けた場合を示し、
高速回転する円形砥石は上下する垂直方向に移動して研
磨作業を行う。
質合金、セラミックス等の非磁性体の薄物等の被加工物
を真空吸着した本発明に係る真空吸着装置を研磨機用テ
ーブル上のマグネットに対し横方向に磁気的吸着作用に
より取付けた場合を示し、高速回転する円形砥石は水平
方向に移動して研磨作業を行う。図８は別の使用状態を
示す概略説明図で、被加工物を真空吸着した本発明に係
る真空吸着装置を研磨機用テーブル上のマグネットに対
し縦方向に磁気的吸着作用により取付けた場合を示し、
高速回転する円形砥石は上下する垂直方向に移動して研
磨作業を行う。
【００１９】
【発明の効果】本発明に係る被加工物の真空吸着装置
は、基台の一方の側面から圧搾空気通路に向けて圧搾空
気を送り、基台の他方の側面から該圧搾空気を排出させ
るとき、真空吸着孔の空気は連通孔を介して圧搾空気通
路の途中に形成した狭窄路によるエジェクター作用によ
って真空吸引されることとなるため、被加工物を迅速に
基台上に真空吸着させる事ができる。また真空吸着孔の
途中には空気が僅かに通過し得る微細空隙を残して充填
物が充填されているために、空気を吸引する通路は真空
吸引孔の大きさに比べて極端に狭くなっているが、これ
によって各真空吸着孔の吸引能力が劣るものではなく、
十分な吸引力が確保される。したがって、多数の真空吸
着孔を形成した基台上に被加工物を載置するときに、被
加工物によって塞がれた真空吸着孔部分は真空状態とな
って被加工物を基台上に吸引固着することとなるが、被
加工物からはみ出した真空吸着孔部分は何ら塞ぐ必要が
なく、露出状態となっていようとも、上述したように真
空吸着孔の途中で空気が僅かに通過し得る微細空隙で吸
引する構造としているために、露出状態で放置しても被
加工物と接している真空吸着孔の吸引能力に影響を及ぼ
すことはない。
は、基台の一方の側面から圧搾空気通路に向けて圧搾空
気を送り、基台の他方の側面から該圧搾空気を排出させ
るとき、真空吸着孔の空気は連通孔を介して圧搾空気通
路の途中に形成した狭窄路によるエジェクター作用によ
って真空吸引されることとなるため、被加工物を迅速に
基台上に真空吸着させる事ができる。また真空吸着孔の
途中には空気が僅かに通過し得る微細空隙を残して充填
物が充填されているために、空気を吸引する通路は真空
吸引孔の大きさに比べて極端に狭くなっているが、これ
によって各真空吸着孔の吸引能力が劣るものではなく、
十分な吸引力が確保される。したがって、多数の真空吸
着孔を形成した基台上に被加工物を載置するときに、被
加工物によって塞がれた真空吸着孔部分は真空状態とな
って被加工物を基台上に吸引固着することとなるが、被
加工物からはみ出した真空吸着孔部分は何ら塞ぐ必要が
なく、露出状態となっていようとも、上述したように真
空吸着孔の途中で空気が僅かに通過し得る微細空隙で吸
引する構造としているために、露出状態で放置しても被
加工物と接している真空吸着孔の吸引能力に影響を及ぼ
すことはない。
【００２０】また真空吸着孔の途中で空気が僅かに通過
し得る微細空隙を残して充填物により充填する構造であ
るために、被加工物の研磨作業時に出る粉塵は充填物に
より阻止されることとなり、真空吸着孔の目詰まりが解
消される。そして、乾式の研磨機の場合は勿論、水等を
使用する湿式の研磨機の場合でも水等の液体は真空吸着
孔、連通孔及び圧搾空気通路を通って外部に排出される
こととなる。
し得る微細空隙を残して充填物により充填する構造であ
るために、被加工物の研磨作業時に出る粉塵は充填物に
より阻止されることとなり、真空吸着孔の目詰まりが解
消される。そして、乾式の研磨機の場合は勿論、水等を
使用する湿式の研磨機の場合でも水等の液体は真空吸着
孔、連通孔及び圧搾空気通路を通って外部に排出される
こととなる。
【００２１】さらに本発明に係る被加工物の真空吸着装
置は、基台の各側面が平坦な平面矩形状に形成されてい
るために、研磨機用テーブル上のマグネット盤上に強力
な磁石により基台底面を吸着させて使用する、いわゆる
横置き状態で、円形砥石を高速回転させ、該砥石を水平
方向に前後させて研磨作業をすることができることは勿
論のこと、基台の側面のうち圧搾空気を送る側の面と圧
搾空気を排出する側の面を除く基台の側面をマグネット
盤に吸着させる、いわゆる縦置きも可能であるため、高
速回転する砥石を上下の垂直方向に移動させて研磨作業
を行うことができ、研磨作業の能率化が図られる。
置は、基台の各側面が平坦な平面矩形状に形成されてい
るために、研磨機用テーブル上のマグネット盤上に強力
な磁石により基台底面を吸着させて使用する、いわゆる
横置き状態で、円形砥石を高速回転させ、該砥石を水平
方向に前後させて研磨作業をすることができることは勿
論のこと、基台の側面のうち圧搾空気を送る側の面と圧
搾空気を排出する側の面を除く基台の側面をマグネット
盤に吸着させる、いわゆる縦置きも可能であるため、高
速回転する砥石を上下の垂直方向に移動させて研磨作業
を行うことができ、研磨作業の能率化が図られる。
【００２２】また本発明に係る被加工物の真空吸着装置
は、被加工物が基台の上面に多数穿設した真空吸着孔に
て吸引固定されるだけでなく、該被加工物はスライド可
能な押さえ板にて挟持することとしたので、被加工物が
非磁性体の薄物板材であろうとも真空吸引と相まって機
械的な把持固定がなされ、薄物の被加工物を安定した状
態で固定でき、研磨作業が一層容易となる。さらに高価
な真空ポンプは一切不要であり、エアーコンプレッサー
のみで足りることとなる。
は、被加工物が基台の上面に多数穿設した真空吸着孔に
て吸引固定されるだけでなく、該被加工物はスライド可
能な押さえ板にて挟持することとしたので、被加工物が
非磁性体の薄物板材であろうとも真空吸引と相まって機
械的な把持固定がなされ、薄物の被加工物を安定した状
態で固定でき、研磨作業が一層容易となる。さらに高価
な真空ポンプは一切不要であり、エアーコンプレッサー
のみで足りることとなる。
【図１】図１は本発明の一実施例を示す被加工物の真空
吸着装置を示す斜視図である。
吸着装置を示す斜視図である。
【図２】図２（ａ）は第１基台の平面図、図 ２（ｂ）
は第１基台の側面図、図２（ｃ）は第１基台に形成した
圧搾空気通路の位置関係を示す平面図である。
は第１基台の側面図、図２（ｃ）は第１基台に形成した
圧搾空気通路の位置関係を示す平面図である。
【図３】図３（ａ）は第２基台の平面図、図 ３（ｂ）
は第２基台の側面図、図３（ｃ）は第２基台の右側面図
である。
は第２基台の側面図、図３（ｃ）は第２基台の右側面図
である。
【図４】図４（ａ）は第１基台、第２基台およびスライ
ド取付け板の組立て状態を示す側面図で、圧搾空気の流
れ状態及び真空吸引状態を示す。図４（ｂ）は圧搾空気
の狭窄部のエジェクター作用により真空吸引状態を示す
拡大側面図である。
ド取付け板の組立て状態を示す側面図で、圧搾空気の流
れ状態及び真空吸引状態を示す。図４（ｂ）は圧搾空気
の狭窄部のエジェクター作用により真空吸引状態を示す
拡大側面図である。
【図５】図５（ａ）はスライド取付け板の平面図、図５
（ｂ）はスライド取付け板の側面図である。
（ｂ）はスライド取付け板の側面図である。
【図６】図６（ａ）は押え板の平面図、図６（ｂ）は押
え板の側面図、図６（ｃ）突き当て部の平面図、図６
（ｄ）突き当て部の側面図である。
え板の側面図、図６（ｃ）突き当て部の平面図、図６
（ｄ）突き当て部の側面図である。
【図７】図７は使用状態を示す概略説明図である。
【図８】図８は別の使用状態を示す概略説明図である。
１ 基台 ２ 第１基台 ３ 第２基台 ４ 一側面 ５ 圧搾空気投入口 ６ 圧搾空気通路 ７ 排気口 ８ 隣接側面 ９ 狭窄路 １０ 中空ねじ １１ 連通孔 １２ 真空吸着孔 １２ａ 微細空隙 １２ｂ めねじ １３ 連通溝 １４ スライド取付け板 １４ａ 突き当て部 １５ 押え板 １５ａ 長孔 １５ｂ ボルト １６ 充填物 １６ａ おねじ
Claims (3)
- 【請求項１】 各側面が平坦な平面矩形状の基台に、一
方の側面から圧搾空気を送り、他方の側面から排出され
る圧搾空気通路を形成し、該圧搾空気通路の途中にエジ
ェクター作用を行う狭窄通路を形成し、前記圧搾空気通
路と連通する連通孔を介して真空吸着孔を上面に多数穿
設し、該真空吸着孔の途中に空気が僅かに通過し得る微
細空隙を残して充填物を充填したことを特徴とする被加
工物の真空吸着装置。 - 【請求項２】 前記真空吸着孔の途中に微細空隙を残し
て充填する充填物は、真空吸着孔の途中に形成しためね
じと、該めねじに螺合するおねじとの間に形成される螺
旋状の微細空隙にて形成されていることを特徴とする請
求項１記載の被加工物の真空吸着装置。 - 【請求項３】 基台の上面に多数穿設した真空吸着孔に
て吸引固定された被加工物はスライド可能な押さえ板に
て挟持するとともに被加工物と非接触の真空吸着孔部分
は閉塞することなく露出状態にあることを特徴とする請
求項２記載の被加工物の真空吸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31700798A JP2000126960A (ja) | 1998-10-21 | 1998-10-21 | 被加工物の真空吸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31700798A JP2000126960A (ja) | 1998-10-21 | 1998-10-21 | 被加工物の真空吸着装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000126960A true JP2000126960A (ja) | 2000-05-09 |
Family
ID=18083379
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31700798A Withdrawn JP2000126960A (ja) | 1998-10-21 | 1998-10-21 | 被加工物の真空吸着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000126960A (ja) |
Cited By (19)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100825860B1 (ko) | 2007-02-12 | 2008-04-28 | 주식회사 케이엔제이 | 평판 디스플레이 패널의 제조장치 |
| JP2010017799A (ja) * | 2008-07-09 | 2010-01-28 | Nakao Technica Kk | バイス内蔵型吸着テーブルおよびこれを備えるマシニングセンタ |
| CN103302522A (zh) * | 2012-03-14 | 2013-09-18 | 发那科株式会社 | 使用工件夹紧夹具的工件加工方法以及工件夹紧夹具 |
| JP2014507290A (ja) * | 2011-01-12 | 2014-03-27 | サンドビック インテレクチュアル プロパティー アクティエボラーグ | 少なくとも１つの加工部品を処理するための方法及び装置 |
| CN104191312A (zh) * | 2014-09-11 | 2014-12-10 | 宁波艾格玛机电科技有限公司 | 高效除尘加工中心 |
| CN105881222A (zh) * | 2016-06-16 | 2016-08-24 | 江苏永尚能源科技有限公司 | 一种用于密封件加工的净化装置 |
| CN107971786A (zh) * | 2017-12-31 | 2018-05-01 | 无锡威孚精密机械制造有限责任公司 | 一种泵体镗铣夹具 |
| CN108088657A (zh) * | 2018-01-31 | 2018-05-29 | 深圳市南极光电子科技有限公司 | 一种led背光产品的真空吸附治具 |
| CN108972095A (zh) * | 2018-10-29 | 2018-12-11 | 安徽捷运矿山机械有限公司 | 一种金属矿石加工用固定夹具 |
| CN109605072A (zh) * | 2018-12-12 | 2019-04-12 | 成都飞机工业（集团）有限责任公司 | 一种基于磁力基座的移动组合工装及其使用方法 |
| CN109973778A (zh) * | 2019-03-08 | 2019-07-05 | 福建信息职业技术学院 | 一种基于云计算的大数据处理器用多级支撑装置 |
| CN110774103A (zh) * | 2019-11-05 | 2020-02-11 | 徐州巨业机械制造有限公司 | 一种机械加工用打磨装置 |
| CN111152125A (zh) * | 2020-01-14 | 2020-05-15 | 新昌县维斯机械有限公司 | 一种不规则零件加工用珩床工作台 |
| CN111360733A (zh) * | 2020-04-01 | 2020-07-03 | 深圳市联得自动化装备股份有限公司 | 通用治具和组装设备 |
| CN111482842A (zh) * | 2020-04-26 | 2020-08-04 | 利科机电设备(深圳)有限公司 | 一种清洗系统及高精密加工中心 |
| CN111843572A (zh) * | 2020-08-25 | 2020-10-30 | 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 | 一种用于圆形平面薄片加工的负压吸具 |
| CN112091685A (zh) * | 2020-09-16 | 2020-12-18 | 合肥明鸿汽车配件有限公司 | 一种汽车配件用固定夹具 |
| CN112518501A (zh) * | 2020-11-11 | 2021-03-19 | 蒙正欢 | 一种安全性高的打磨设备 |
| CN115781356A (zh) * | 2022-11-17 | 2023-03-14 | 广东领丰智能科技股份有限公司 | 一种手机生产用自动夹持治具及方法 |
-
1998
- 1998-10-21 JP JP31700798A patent/JP2000126960A/ja not_active Withdrawn
Cited By (27)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100825860B1 (ko) | 2007-02-12 | 2008-04-28 | 주식회사 케이엔제이 | 평판 디스플레이 패널의 제조장치 |
| JP2010017799A (ja) * | 2008-07-09 | 2010-01-28 | Nakao Technica Kk | バイス内蔵型吸着テーブルおよびこれを備えるマシニングセンタ |
| KR101860591B1 (ko) * | 2011-01-12 | 2018-05-23 | 산드빅 인터렉츄얼 프로퍼티 에이비 | 적어도 하나의 작업편을 처리하는 방법 및 장치 |
| JP2014507290A (ja) * | 2011-01-12 | 2014-03-27 | サンドビック インテレクチュアル プロパティー アクティエボラーグ | 少なくとも１つの加工部品を処理するための方法及び装置 |
| CN103302522A (zh) * | 2012-03-14 | 2013-09-18 | 发那科株式会社 | 使用工件夹紧夹具的工件加工方法以及工件夹紧夹具 |
| DE102013102459A1 (de) | 2012-03-14 | 2013-09-19 | Fanuc Corporation | Einspannschablone für Werkstücke und Verfahren zu deren Bearbeitung |
| US8800128B2 (en) | 2012-03-14 | 2014-08-12 | Fanuc Corporation | Workpiece clamping jig and workpiece machining method using workpiece clamping jig |
| DE102013102459B4 (de) * | 2012-03-14 | 2015-02-26 | Fanuc Corporation | Einspannschablone für Werkstücke und Verfahren zu deren Bearbeitung |
| CN104191312A (zh) * | 2014-09-11 | 2014-12-10 | 宁波艾格玛机电科技有限公司 | 高效除尘加工中心 |
| CN105881222A (zh) * | 2016-06-16 | 2016-08-24 | 江苏永尚能源科技有限公司 | 一种用于密封件加工的净化装置 |
| CN107971786A (zh) * | 2017-12-31 | 2018-05-01 | 无锡威孚精密机械制造有限责任公司 | 一种泵体镗铣夹具 |
| CN107971786B (zh) * | 2017-12-31 | 2023-07-14 | 无锡威孚精密机械制造有限责任公司 | 一种泵体镗铣夹具 |
| CN108088657A (zh) * | 2018-01-31 | 2018-05-29 | 深圳市南极光电子科技有限公司 | 一种led背光产品的真空吸附治具 |
| CN108972095A (zh) * | 2018-10-29 | 2018-12-11 | 安徽捷运矿山机械有限公司 | 一种金属矿石加工用固定夹具 |
| CN109605072B (zh) * | 2018-12-12 | 2021-01-05 | 成都飞机工业（集团）有限责任公司 | 一种基于磁力基座的移动组合工装及其使用方法 |
| CN109605072A (zh) * | 2018-12-12 | 2019-04-12 | 成都飞机工业（集团）有限责任公司 | 一种基于磁力基座的移动组合工装及其使用方法 |
| CN109973778A (zh) * | 2019-03-08 | 2019-07-05 | 福建信息职业技术学院 | 一种基于云计算的大数据处理器用多级支撑装置 |
| CN110774103A (zh) * | 2019-11-05 | 2020-02-11 | 徐州巨业机械制造有限公司 | 一种机械加工用打磨装置 |
| CN111152125A (zh) * | 2020-01-14 | 2020-05-15 | 新昌县维斯机械有限公司 | 一种不规则零件加工用珩床工作台 |
| CN111152125B (zh) * | 2020-01-14 | 2021-09-10 | 新昌县维斯机械有限公司 | 一种不规则零件加工用珩床工作台 |
| CN111360733A (zh) * | 2020-04-01 | 2020-07-03 | 深圳市联得自动化装备股份有限公司 | 通用治具和组装设备 |
| CN111482842A (zh) * | 2020-04-26 | 2020-08-04 | 利科机电设备(深圳)有限公司 | 一种清洗系统及高精密加工中心 |
| CN111843572A (zh) * | 2020-08-25 | 2020-10-30 | 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 | 一种用于圆形平面薄片加工的负压吸具 |
| CN112091685A (zh) * | 2020-09-16 | 2020-12-18 | 合肥明鸿汽车配件有限公司 | 一种汽车配件用固定夹具 |
| CN112518501A (zh) * | 2020-11-11 | 2021-03-19 | 蒙正欢 | 一种安全性高的打磨设备 |
| CN115781356A (zh) * | 2022-11-17 | 2023-03-14 | 广东领丰智能科技股份有限公司 | 一种手机生产用自动夹持治具及方法 |
| CN115781356B (zh) * | 2022-11-17 | 2023-06-23 | 广东领丰智能科技股份有限公司 | 一种手机生产用自动夹持治具及方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2000126960A (ja) | 被加工物の真空吸着装置 | |
| US6345616B1 (en) | Cutting machine | |
| TWI515819B (zh) | Keep the table | |
| KR100709457B1 (ko) | 반도체 웨이퍼의 연삭방법 | |
| JPH09260314A (ja) | 半導体ウェーハ製造方法 | |
| EP3795288A1 (en) | Chuck table and method of manufacturing chuck table | |
| JP3865872B2 (ja) | 真空吸着保持装置 | |
| JP2019063944A (ja) | 研磨装置 | |
| KR20200038852A (ko) | 직사각형 기판의 연삭 방법 | |
| JP2001252853A (ja) | 平面加工装置 | |
| TW202224839A (zh) | 輔助裝置 | |
| JP2000021952A (ja) | ウェ―ハの平面加工装置 | |
| JP2005066798A (ja) | 加工装置のチャックテーブル | |
| JP2009095952A (ja) | ウェハの製造方法 | |
| JP2019118982A (ja) | 被加工物の切削方法及び切削装置のチャックテーブル | |
| JP4480813B2 (ja) | 加工方法 | |
| US6086464A (en) | CMP platen plug | |
| JP2005169592A (ja) | 非磁性ワ−クのチャック機構 | |
| JP2018094671A (ja) | 保持テーブルの保持面形成方法 | |
| JP2000021959A (ja) | 真空吸着盤 | |
| JP2004356357A (ja) | 切削方法 | |
| CN110867398B (zh) | 卡盘工作台和晶片的加工方法 | |
| JP2004221175A (ja) | プラズマエッチング方法及びプラズマエッチング装置 | |
| JP2019111634A (ja) | 被加工物の研削方法 | |
| JP2003303797A (ja) | 研磨装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20060110 |