JP2018094671A - 保持テーブルの保持面形成方法 - Google Patents
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Abstract
Description
11 研削手段
12 基台
20 保持テーブル
21 ポーラス板
21a 保持面
21b 側面
22 枠体
23 円形凹部
23a 底面(底部)
24 吸引源
25 流体供給源
26 連通路
27 切換弁(切換手段)
28 送気源
29 送水源
31 研削送り手段
33 昇降テーブル
41 スピンドルユニット
42 研削ホイール
43 スピンドル軸
45 研削砥石
45a 研削面
50 制御手段
W ウエーハ
Claims (3)
- 保持テーブルの保持面で吸引保持したウエーハを円環状に研削砥石を配置した研削ホイールを回転させ該保持面に向かって研削送りされる該研削砥石で研削する研削装置において、該保持テーブルの該保持面を該研削砥石の研削面で研削して該保持面と該研削面とを平行にする保持テーブルの保持面形成方法であって、
該保持テーブルは、上面が該保持面となるポーラス板と、該保持面を露出させ少なくとも該ポーラス板の側面を封鎖する凹部を有する枠体と、切換手段と、該切換手段で該保持面を吸引源と流体供給源とを切り換え可能に連通する連通路と、を備え、
該連通路を該流体供給源に連通させ該保持面から流体を噴出させながら該研削砥石を研削送りして該保持面を該研削砥石で研削することを特徴とする保持テーブルの保持面形成方法。 - 該保持面から噴出させる流体は、気体と液体を混合させた混合流体を用いる請求項1記載の保持テーブルの保持面形成方法。
- ウエーハは、矩形の基板であって、該基板を保持する矩形の保持面を有する請求項1または請求項2のいずれかに記載の保持テーブルの保持面形成方法。
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