CN104053917A - 空气滑动设备 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种空气滑动设备结构，所述空气滑动设备结构高度抵抗滑板载荷变动，并且借助所述空气滑动设备可以减小设备的尺寸和重量。该空气滑动设备(1)配备有磁性轨道(2)和滑动器(3)，所述滑动器在不接触轨道(2)的情况下沿着轨道(2)的纵向方向X运动。滑动器(3)配备有：L状滑动器板(31)；和第一和第二磁力产生单元(6A，6B)以及多个相应的第一和第二空气支承装置(4A，4B)，所述多个相应的第一和第二空气支承装置附装到滑板(31)，使得插置于滑板(31)和轨道(2)之间。第一和第二空气支承装置(4A，4B)配备有支撑面(40)，所述支撑面定位成与相应的第一和第二磁力产生单元(6A，6B)的磁力产生面处于同一平面中或定位成比磁力产生面更接近轨道(2)的表面，并且第一和第二空气支承装置布置成使得在第一和第二空气支承装置之间夹持第一和第二磁力产生单元(6A，6B)。

Description

空气滑动设备

技术领域

本发明涉及一种空气滑动设备，所述空气滑动设备设有以非接触的方式在轨道上运动的滑块，并且尤其涉及一种空气滑动设备的结构，所述空气滑动设备的结构具有较高的、在轨道上行进的稳定性，并且适于减小尺寸和重量。

背景技术

专利文献1公开了一种静压气体支承装置，所述静压气体支承装置可以甚至以非接触的方式稳定地支撑待支撑的重量轻的物体。该静压气体支承装置包括支撑面，所述支撑面与待以非接触的方式支撑的物体相对，并且支撑面包括：第一多孔面和第二多孔面，所述第一多孔面和第二多孔面中的每个都具有大量的细孔；和分隔壁的端面，所述分隔壁的端面将第二多孔面与第一多孔面分离。第一多孔面的小孔连接到压缩空气供给泵，用于通过开口喷射压缩空气。而且，第二多孔面的小孔连接到吸气泵，用于将空气吸入开口中。第二多孔面与第一多孔面基本齐平。

根据以上结构，在专利文献1中说明的静压气体支承装置可以甚至以非接触的方式稳定地支撑重量轻的物体，这是因为在通过压缩空气供给泵从第一多孔面喷射空气、通过吸气泵将空气吸入第二多孔面中以及物体的重量之间的平衡。

引用文献列表

专利文献

专利文献1：日本未经审查的专利申请特开No.2005-214290

发明内容

技术问题

已知这样一种空气滑动设备，即，在所述空气滑动设备中空气支承装置附装到滑动器，所述滑动器具有滑板，所述滑板用于安装待支撑的物体，并且空气支承装置的支撑面与轨道面相对，以便使滑动器以非接触的方式在轨道上运动。在专利文献1中说明的静压气体支承装置用于这种空气滑动设备的情况下，产生如下问题。

也就是说，因为在专利文献1中说明的静压气体支承装置由于将空气吸入第二多孔面中而吸引滑板，所以不能通过比大气压大的力将滑板吸引到轨道面。结果，在专利文献1中说明的静压气体支承装置具有较低的硬度。例如，当外力施加到滑板而引起负荷变动时，滑动器在轨道上的行进会变得不稳定。

另外，在专利文献1中说明的静压气体支承装置中，在具有第一多孔面的空气支承装置的顶部上形成第二多孔面，所述第一多孔面用于通过喷射压缩空气而使滑板浮在轨道面上，所述第二多孔面由于吸气而将滑板吸引到轨道面。结果，在空气支承装置附装到滑板而使得在空气支承装置和滑板之间设置有间隙从而吸收轨道的尺寸精度的影响的情况下，在滑板的自重用作用于吸收间隙的力时，用于将滑板吸引到轨道面的第二多孔面的力没有用作用于吸收间隙的力。因此，当施加比滑板的自重大的力时，滑板会对轨道面反冲。

另外，当滑动器沿着竖直方向运动时，与当滑动器沿着水平方向运动时的情况相比，用于吸收间隙的滑板的自重的力变得较小。这增大了滑板对轨道面反冲的可能性。

因而，根据在专利文献1中说明的静压气体支承装置，在滑板的自重用于消除间隙的使用环境下，滑动器可以在一定程度上在轨道上稳定地行进。然而，在滑板的自重没有用于消除间隙的使用环境下，滑动器在轨道上的行进会变得不稳定。

另外，在专利文献1中说明的静压气体支承装置除了需要用于从第一多孔面喷射压缩空气的压缩空气供给泵以外，还需要用于将空气吸入第二多孔面中的吸气泵。结果，使用该静压气体支承装置的空气滑动设备变得较大和较重。

本发明已经考虑到以上情况。本发明的目的是提供一种空气滑动设备，所述空气滑动设备具有这样的结构，即，所述结构可以使滑动器以较高的准确度和较高的稳定性行进并且适于减小尺寸和重量。

解决问题的方案

为了解决以上问题，根据本发明，使用具有磁化的滑动器导引面的相对构件，并且沿着滑动器导引面行进的滑动器设有磁力产生装置，用于产生磁力以朝向滑动器相对地吸引滑动器导引面，并且滑动器还与磁力产生装置分离地设有静压气体支承装置。

例如，本发明提供一种空气滑动设备，所述空气滑动设备包括滑动器，所述滑动器经由气体层以非接触的方式相对于相对构件运动，其中：

相对构件具有磁化的滑动器导引面，所述磁化的滑动器导引面经由气体层与滑动器相对；

滑动器包括：

磁力产生装置，所述磁力产生装置产生磁力以用于朝向滑动器相对地吸引滑动器导引面；和

静压气体支承装置，所述静压气体支承装置与磁力产生装置分离并且具有支撑面，所述支撑面经由气体层以非接触的方式面对滑动器导引面；并且

静压气体支承装置包括压缩空气供给装置，所述压缩空气供给装置供给压缩空气以用于在滑动器导引面与支撑面之间形成气体层。

本发明的有利效果

根据本发明，具有磁化的滑动器导引面的构件用作用于静压气体支承装置的相对构件。并且，磁化的滑动器导引面通过磁力朝向静压气体支承装置的支撑面被相对地吸引，所述磁力由与静压气体支承装置分离的磁力产生装置产生。因而，能够实现这样的静压气体支承装置，即，与将吸引相对构件的力限制到大气压以下的吸气情况相比，所述静压气体支承装置具有更高的硬度以用于允许减小突然的负荷变动的影响。因而，即使导致滑动器或静压气体支承装置突然负荷变动，也能够保持滑动器在滑动器导引面上的行进稳定性。

另外，本发明提供磁力产生装置，所述磁力产生装置中的每个都与静压气体支承装置分离。因此，磁力产生装置可以在没有间隙的情况下例如通过将磁力产生装置直接固定在滑动器上而安装在滑动器上。结果，能够防止滑动器相对于相对构件的滑动器导引面反冲。因而，即使在将静压气体支承装置安装在滑动器上时具有结构间隙，也可以在较高的准确度下保持滑动器在滑动器导引面上的行进稳定性。

另外，本发明不需要吸气泵，并且空气滑动设备总体上可以减小尺寸和重量。

附图说明

图1是示出根据本发明的一个实施例的空气滑动设备1的外观图；

图2(A)、图2(B)和图2(C)是滑动器3的前视图、底视图和右视图，并且图2(D)是在代替第二磁力产生部件6B使用变型6’B的情况下的C部分的放大图；

图3(A)和图3(B)是第二空气支承装置4B的外观图；

图4(A)和图4(B)是第二空气支承装置4B的前视图和后视图；

图5(A)是图4(A)中所示的第二空气支承装置的右视图，并且图5(B)是图4(A)中所示的第二空气支承装置4A的A-A剖视图；和

图6是用于解释本发明的一个实施例的空气滑动设备1的操作原理的视图。

具体实施方式

以下，将参照附图说明本发明的实施例。

图1是示出根据本发明的一个实施例的空气滑动设备1的外观图。图2(A)、图2(B)和图2(C)是滑动器3的前视图、底视图和右视图。

如图中所示，本实施例的空气滑动设备1包括：轨道2，所述轨道2的上表面(一个滑动器导引面)211以及与上表面211相邻的一个侧表面(另一个滑动器导引面)212被磁化；和滑动器3，所述滑动器3沿着轨道2的纵向方向(沿着图1中的X方向)以非接触的方式在轨道2的滑动器导引面211和212上运动。

例如，轨道2包括：由铝等形成的框架21；两个轨道板22，例如，磁性钢板，其通过内六角螺栓51和梯形螺母55固定到框架21的两个相邻的表面(轨道2的滑动器导引面211和212)。轨道2的滑动器导引面211和212通过两个轨道板22的表面211和212形成。

滑动器3包括：滑板31，其具有L状的横截面；两组第一空气支承装置4A，其安装在滑板31上，从而位于滑板31与轨道2的一个滑动器导引面211之间；和两组第二空气支承装置4B，其安装在滑板31上，从而位于滑板31与轨道2的另一个滑动器导引面212之间。滑动器3还包括第一磁力产生部件6A和第二磁力产生部件6B，它们安装在滑板31上，从而位于滑板31与轨道2的相应的滑动器导引面211和212之间。这里，第一磁力产生部件6A放置在两组第一空气支承装置4A之间，并且第二磁力产生部件6B放置在两组第二空气支承装置4B之间。本实施例示出使用两组第一空气支承装置4A和两组第二空气支承装置4B以及一组第一磁力产生部件6A和一组第二磁力产生部件6B的示例。然而，可以根据空气滑动设备的用法等提供两组或更多组的第一空气支承装置4A和两组或更多组的第二空气支承装置4B。并且，可以提供这样的第一磁力产生部件6A，即，所述第一磁力产生部件6A的数量可以使其布置成与第一空气支承装置4A有上述位置关系，并且可以提供这样的第二磁力产生部件6B，即，所述第二磁力产生部件6B的数量可以使其布置成与第二空气支承装置4B有上述位置关系。

滑板31包括：第一表面311，所述第一表面311与轨道2的一个滑动器导引面211相对，所述第一表面311作为用于两组第一空气支承装置4A和一组第一磁力产生部件6A的安装面；和第二表面312，所述第二表面312与轨道2的另一个滑动器导引面212相对，所述第二表面312作为用于两组第二空气支承装置4B和一组第二磁力产生部件6B的安装面。这样的滑板31可以例如通过将两个板32A和32B组装成L形状并且通过用内六角螺栓52固定板32A和32B而制成。

在滑板31中，形成有与第一空气支承装置4A的数量相对应的数量的埋头孔314，所述埋头孔314用于将第一空气支承装置4A通过螺栓固定在第一表面311的一侧上，从而将第一表面311与表面313连接，所述表面313沿着其厚度方向与第一表面311相对。另外，形成有与第二空气支承装置4B的数量相对应的数量的螺纹孔316，所述螺纹孔316用于将第二空气支承装置4B通过螺栓固定在第二表面312的一侧上，从而将第二表面312与表面315连接，所述表面315沿着其厚度方向与第二表面312相对(参见图6)。

另外，在滑板31中，形成有埋头孔318，所述埋头孔318用于将放置在两组第一空气支承装置4A之间的第一磁力产生部件6A通过螺栓固定在第一表面311上，从而将第一表面311与表面313连接，所述表面313沿着其厚度方向与第一表面311相对。而且，形成有螺纹孔319，所述螺纹孔319用于将放置在两组空气支承装置4B之间的第二磁力产生部件6B通过螺栓固定在第二表面312上，从而将第二表面312与表面315连接，所述表面315沿着其厚度方向与第二表面312相对。

另外，在滑板31中，形成有多个空气通道317A、317B。空气通道317A由与第一表面311相邻的侧表面331形成，并且空气通道317B由沿着其厚度方向与第二表面312相对的表面315形成。虽然图中未示出，至少一个空气通道317B穿透第二表面312并且在与第二表面312相对的表面315的一侧上与联接器配合，所述联接器用于将压缩空气供给泵的软管与连接相应的第二空气支承装置4B的软管连接。另一方面，空气通路317B中的每个都穿透第一表面311并且在第一表面311的一侧上与以下将说明的第一空气支承装置4A的压缩空气供给通路426连接。而且，在与第一表面311相邻的侧表面331上，另一种空气通道317A中的每个都与联接器配合，所述联接器用于连接压缩空气供给泵的软管(参见图6)。

第一磁力产生部件6A被放置在滑板31的第一表面311上的两组第一空气支承装置4A之间，并且在第一磁力产生部件6A的磁力产生面61面对轨道2的一个滑动器导引面211的状态下被通过螺栓固定在滑板31的第一表面311上。类似地，第二磁力产生部件6B被放置在滑板31的第二表面312的两组第二空气支承装置4B之间，并且在第二磁力产生部件6B的磁力产生面62面对轨道2的另一个滑动器导引面212的状态下被通过螺栓固定在滑板31的第二表面312上。第一磁力产生部件6A的磁力产生面61布置在与以下将说明的第一空气支承装置4A的支撑面40处于同一表面的位置处或与支撑面40相比处于离轨道2的一个滑动器导引面211更远的位置处。类似地，第二磁力产生部件6B的磁力产生面62布置在与第二空气支承装置4B的支撑面40处于同一表面的位置处或离轨道2的另一个滑动器导引面212更远的位置处。至于第一磁力产生部件6A和第二磁力产生部件6B，例如，使用诸如钕磁体的永磁体。虽然在本实施例中，作为第一磁力产生部件6A和第二磁力产生部件6B中的每个都使用永磁体，可以适当地改变永磁体的数量。例如，多个永磁体可以如第一磁力产生部件6A放置在第一表面311上的第一空气支承装置4A之间，并且多个永磁体可以如第二磁力产生部件6B放置在第二表面312上的第二空气支承装置4B之间。

第二空气支承装置4B被通过螺栓固定在滑板31的第二表面312的一侧上，以非接触的方式将载荷支撑在轨道2的另一个滑动面212上，并且沿着轨道2可滑动地保持滑板31。

图3(A)和3(B)是第二空气支承装置4B的外观图。并且图4(A)和4(B)和图5(A)是第二空气支承装置4B的前视图、后视图和右视图，并且图5(B)是图4(A)的A-A剖视图。

如图中所示，第二空气支承装置4B包括：盘状压缩空气供给部件42，其喷射压缩空气；基板43，其附装有压缩空气供给部件42；和球窝接头44，其可摆动地保持空气支承装置主体48，所述空气支承装置主体48包括压缩空气供给部件42和基板43。

压缩空气供给部件42的一个端面421构成支撑面40，所述支撑面40以非接触的方式经由压缩空气层面对轨道2的另一个滑动器导引面212。在该端面421中，形成环形槽424。在槽424的底板中，沿着槽424的圆周方向以规则的间距形成许多固有限制类型的压缩空气喷射孔425。

在压缩空气供给部件42的另一个端面422中，环形槽426形成为压缩空气供给通路426，所述环形槽426与形成在一个端面421中的多个压缩空气喷射孔425连接。在压缩空气供给通路426的外边缘上，形成有O型环槽428。O型环槽428容纳有O型环47以用于防止从压缩空气供给通路426漏气。另外，在压缩空气供给部件42的另一个端面422中，形成用于紧固内六角螺栓53的螺纹孔427，所述螺纹孔427将压缩空气供给部件42固定到基板43。

基板43是盘状构件，其具有与压缩空气供给部件42的直径几乎相同的外径。在基板43中，在与压缩空气供给部件42的螺纹孔427相对应的位置处形成有从一个端面431延伸到另一个端面432的埋头孔433。在基板43的另一个端面432与压缩空气供给部件42的另一个端面422接触的状态下，通过将内六角螺栓53插入埋头孔433中和通过将内六角螺栓53拧到压缩空气供给部件42的螺纹孔427中而将压缩空气供给部件42固定到基板43。

在基板43的一个端面431中，形成用于紧固内六角螺栓54的螺纹孔434，所述内六角螺栓54紧固到螺纹孔434以将球窝接头44固定到基板43。

基板43的另一个端面432与容纳在O型环槽428中的O型环47接触，所述O型环槽428形成在压缩空气供给部件42的压缩空气供给通路426的外边缘上。通过该布置，防止填充在压缩空气供给部件42的压缩空气供给通路426中的压缩空气从除了压缩空气供给部件42的压缩空气喷射孔425以外的区域泄漏，即，防止所述空气从压缩空气供给部件42的另一个端面422与基板43的另一个端面432之间的接触部分泄漏。

另外，在基板43中，形成有空气通道437，所述空气通道437与压缩空气供给部件42的压缩空气供给通路426连接。在基板43的侧表面436中形成空气通道437的开口438。虽然图中未示出，该开口438配合联接器。联接器通过滑板31的空气通道317B将空气通道437与连接压缩空气供给泵的软管连接。借此，压缩空气从压缩空气供给泵经由滑板31的空气通道317B和基板43的空气通道437供给到压缩空气供给部件42的压缩空气供给通路426，并且从压缩空气供给部件42的压缩空气喷射孔425朝向轨道2的另一个滑动器导引面212喷射。

球窝接头44包括：球头柱螺栓441，其具有球头442；球窝443，其用于可转动地容纳球头442；固定板444，其与球窝443成一体地形成；和固定螺母445，其用于将第二空气支承装置4B固定到滑板31(参见图6)。

球头柱螺栓441包括：柱螺栓部分449，其中形成有外螺纹部分448；和球头442，其与柱螺栓部分449的一个端面4492成一体地形成。

在柱螺栓部分449的另一个端面4491中，形成用于六角扳手的六角承窝4493。另外，在球头442的一侧上在柱螺栓部分449的外圆周上(即，在外螺纹部分448和球头442之间)形成从外圆周突出的法兰4494。在将第二空气支承装置4B安装在滑板31上之前，固定螺母445被拧到柱螺栓部分449的外螺纹部分448上，以便使固定螺母445与法兰4494接触。在将第二空气支承装置4B在第二表面312的一侧上安装在滑板31上时，柱螺栓部分449的螺纹部分448从第二表面312的一侧拧到形成在滑板31中的螺纹孔316中，并且此后，固定螺母445一直转动到螺母445与滑板31的第二表面312接触为止，而同时通过将六角扳手插入六角承窝4493中来防止柱螺栓部分449转动。借此，第二空气支承装置4B在第二表面312的一侧上安装在滑板31上(参见图6)。

例如，球窝443如下形成。球头柱螺栓441的球头442插入与固定板444成一体地形成的圆筒形构件内，使得圆筒形构件的一个端面被固定板444封闭。在该状态下，圆筒形构件的开口侧被封堵。在球窝443中放置有分段4431，并且分段4431支撑容纳在球窝443中的球头442。

在固定板444中，在与基板43的螺纹孔434相对应的位置处形成有用于插入螺栓的通孔4441。通过将内六角螺栓54插入通孔4441中和通过将内六角螺栓54拧到基板43的螺纹孔434中，将球窝接头44固定到基板43。

另一方面，如以下将说明的，第一空气支承装置4A中的每个都仅由压缩空气供给部件42构成，第一空气支承装置4A在没有球窝接头44的情况下在滑板31的一侧上被直接通过螺栓固定在第一表面311上，并且第一空气支承装置4A在不与轨道2的一个滑动导引面212接触的情况下沿着轨道2可滑动地支撑滑板31。

第一空气支承装置4A中的每个都与图3至图5中所示的第二空气支承装置4B的不同之处在于，支撑面40以非接触的方式与轨道2的一个滑动器导引面211相对，第一空气支承装置4A在不使用基板43和球窝接头44的情况下被直接固定到滑动器3，并且滑板31的空气通道317A被直接连接到压缩空气供给通路426(参见图6)。

以下，通过为第一空气支承装置4A的部件添加符号“A”和为第二空气支承装置4B的部件添加符号“B”而区分出用于指示第一空气支承装置4A和第二空气支承装置4B所共有的部件的附图标记。

滑板31中的埋头孔314形成在与第一空气支承装置4A的压缩空气供给部件42A中的螺纹孔427A相对应的位置处。另外，在滑板31中的多个空气通道317A、317B之中，除了用于将压缩空气供给到第二空气支承装置4B的空气通道317B以外，空气通道317A形成在使空气通路317A与第一空气支承装置4A的压缩空气供给部件42A的压缩空气供给通路426A连接的位置处。通过将内六角螺栓55从沿着其厚度方向与滑板31的第一表面311相对的表面313插入相应的埋头孔314中，并且通过将内六角螺栓55拧到压缩空气供给部件42A中的相应的螺纹孔427A中，将第一空气支承装置4A固定到滑板31的第一表面311。在该状态下，滑板31的空气通道317A与相关的第一空气支承装置4A的压缩空气供给部件42的压缩空气供给通路426A连接。因而，当开始从连接到滑板31的每个空气通道317A的压缩空气供给泵供给压缩空气时，压缩空气经由滑板31的空气通道317A被供给到相关的压缩空气供给部件42A的压缩空气供给通路426A，并且从压缩空气供给部件42A的压缩空气喷射孔425A朝向轨道2的一个滑动器导引面211喷射。此时，O型环47与滑板31的第一表面311接触，所述O型环47被容纳在形成在压缩空气供给部件42A的压缩空气供给通路426A的外边缘上的O型环槽428A中。因此，防止填充在压缩空气供给部件42A的压缩空气供给通路426A中的压缩空气从除了压缩空气供给部件42A的压缩空气喷射孔425A以外的区域泄漏，即，防止所述空气从压缩空气供给部件42A的另一个端面422A和滑板31的第一表面311之间的邻接部分泄漏。

接下来，将说明具有上述结构的空气滑动设备1的操作原理。图6是用于解释本实施例的空气滑动设备1的操作原理的视图。虽然在图6中未示出，但是压缩空气供给泵分别从与第一表面311相邻的侧表面331和从与第二表面312相对的表面315提前连接到滑板31的空气通路317A、317B。

在不供给压缩空气的状态下，当滑板31运动成越来越接近轨道2而使得安装在滑板31的第一表面311和第二表面312上的第一空气支承装置4A的支撑面40A和第二空气支承装置4B的支撑面40B分别与轨道2的一个滑动器导引面211和另一个滑动器导引面212相对时，滑板31通过第一磁力产生部件6A和第二磁力产生部件6B的磁力m被吸引到轨道2的滑动器导引面211和212，并且第一空气支承装置4A的支撑面40A和第二空气支承装置4B的支撑面40B分别接触轨道2的一个滑动器导引面211和另一个滑动器导引面212。结果，滑板31被稳定地保持在轨道2上。

在该状态下，当压缩空气通过未示出的压缩空气供给泵供给时，压缩空气通过滑板31的空气通路317A供给到第一空气支承装置4A的压缩空气供给部件42A的压缩空气供给通路426A，并且通过滑板31的空气通道317B和通过基板43的空气通路437供给到第二空气支承装置4B的压缩空气供给部件42B的压缩空气供给通路426B。结果，第一空气支承装置4A的压缩空气供给部件42A的压缩空气供给通路426A和第二空气支承装置4B的压缩空气供给部件42B的压缩空气供给通路426B用压缩空气填充，并且压缩空气a从压缩空气喷射孔425A、425B朝向轨道的滑动器导引面211和212喷射。而且，第一和第二空气支承装置4A、4B与轨道2的滑动器导引面211和212分离，并且置于使压缩空气的压力a、第一磁力产生部件6A和第二磁力产生部件6B的磁力m、滑动器3的重量等平衡的相应位置中(即，如就第一空气支承装置4A而言，使在支撑面40和轨道2的一个滑动器导引面211之间的空隙成为t1的位置，并且如就第二支承装置4B而言，使支撑面40和轨道2的另一个滑动器导引面212之间的空气成为t2的位置)。结果，第一空气支承装置4A和第二空气支承装置4B在不与轨道2接触的情况下支撑来自滑动器3的载荷，并且沿着轨道2的纵向方向(图1和图6中的X方向)可滑动地保持滑动器3。

此时，第一空气支承装置4A被直接固定到滑板31的第一表面311，并且第一空气支承装置4A的支撑面40A和轨道2的一个滑动器导引面211之间的空隙保持为t1。因此，滑板31以非接触的方式在轨道2上运动，而同时使滑板31的第一表面311和轨道2的一个滑动器导引面211之间的空隙保持为t3。

另一方面，第二空气支承装置4B中的每个都通过球窝接头44安装在滑板31的第二表面312上。并且因而，甚至在例如轨道2的尺寸精度降低且轨道2的另一个滑动器导引面212略微从正确位置朝向一个滑动器导引面211倾斜的情况下，球窝接头44使基板43和压缩空气供给部件42B作为一个单元沿着围绕球头142的中心的方向d摆动以调节支撑面40B相对于球头柱螺栓441的倾斜。结果，实现对准，使得第二空气支承装置4B的支撑面40B和轨道2的另一个滑动器导引面212之间的空隙均匀保持为t2。另外，由于第二磁力产生部件6B被直接固定到滑板31的第二表面312，滑板31的第二表面312自身朝向轨道2的另一个表面212吸引。因此，能够防止滑板31沿着球头柱螺栓441的轴向方向o(图6中的Z方向)反冲。

以上，已经说明了本发明的实施例。

根据上述实施例，第一磁力产生部件6A和第二磁力产生部件6B的磁力m朝向轨道2的磁化的滑动器导引面211和212吸引第一空气支承装置4A的支撑面40A和第二空气支承装置4B的支撑面40B。因此，与通过朝向轨道吸气来吸引滑板的类型(即，将朝向空气支承装置的支撑面吸引轨道的力限制为小于大气压的类型)的空气滑动设备相比，能够通过更大的力朝向第一空气支承装置4A的支撑面40A和第二空气支承装置4B的支撑面40B相对地吸引轨道2。结果，抵抗负荷变动的硬度增大，并且甚至当在滑动器3中突然引起负荷变动时，滑板31可以在轨道2上稳定地行进。另外，由于变得不必使用吸气泵，因此能够总体上实现空气滑动设备1的尺寸和重量减小。另外，如图6中所示，滑动器3可以更加正确地设置在轨道2上的期望的位置处，并且因而能够改进空气滑动设备1的定位功能。

另外，在本实施例中，第一磁力产生部件6A定位在第一表面311上，所述第一磁力产生部件6A产生朝向轨道2的一个滑动器导引面211吸引滑板31的第一表面311的力；并且多个第一支承装置4A定位成使得第一磁力产生部件6A定位在第一空气支承装置4A之间，所述多个第一支承装置4A产生将第一表面311与轨道2的一个滑动器导引面211分离的力。类似地，第二磁力产生部件6B定位在第二表面312上，所述第二磁力产生部件6B产生朝向轨道2的另一个滑动器导引面212吸引滑板31的第二表面312的力；并且多个第二空气支承装置4B定位成使得第二磁力产生部件6B定位在第二空气支承装置4B之间，所述多个第二空气支承装置4B产生将第二表面312与轨道2的另一个滑动器导引面212分离的力。因此，甚至当例如沿着使滑板31的第一表面311和第二表面312相对于轨道2的一个滑动器导引面211和另一个滑动器导引面212倾斜的方向的外力施加到滑动器3时，用于将第一空气支承装置4A的支撑面40A和第二空气支承装置4B的支撑面40B与轨道2的滑动器导引面211和212分离的力起作用以消除在第一磁力产生部件6A和第二磁力产生部件6B的两侧上的倾斜。因此，在第一空气支承装置4A的支撑面40A和第二空气支承装置4B的支撑面40B与轨道2的滑动器导引面211和212之间保持空隙t。结果，滑动器3可以在维持姿态的同时在轨道2的滑动器导引面211和212上稳定地行进。在本实施例中，第一空气支承装置4A定位在第一表面311上，以便使第一磁力产生部件6A定位在第一空气支承装置4A之间；并且第二空气支承装置4B定位在第二表面312上，以便使第二磁力产生部件6B定位在第二空气支承装置4B之间。然而，多个第一空气支承装置4A和多个第二空气支承装置4B可以分别定位成包围第一磁力产生部件6A和第二磁力产生部件6B。

另外，在本实施例中，第二空气支承装置4B定位在滑板31的第二表面312上，以便使第二磁力产生部件6B定位在第二空气支承装置4B之间，并且因而，在第二磁力产生部件6B的每个侧上，仅需要一组第二空气支承装置4B(总共两个第二空气支承装置4B)。然而，在本发明中，可以使用三组或更多组的第二空气支承装置4B，以便使第二磁力产生部件6B由那些第二空气支承装置4B包围。类似地，在本实施例中，两组第一空气支承装置4A定位在滑板31的第一表面311上，以便使第一磁力产生部件6A定位在第一空气支承装置4A之间。然而，可以使用三组或更多组的第一空气支承装置4，以便使第一磁力产生部件6A由那些第一空气支承装置4A包围。

另外，作为第一磁力产生部件6A和第二磁力产生部件6B，本实施例使用永磁体。就朝向轨道吸引滑板的吸气类型的空气滑动设备而言，当泵由于故障等而停止时，不但将滑板与轨道分离的力不起作用，而且将滑板吸引到轨道的力不起作用。结果，可能使滑动器从轨道退出来。因而，必要的是例如设计这样的结构，即，在所述结构中通过将三个滑板组合成U状而制成滑动器，以便使轨道的两个侧表面定位在滑动器内以防止滑动器退出。这导致滑动器的尺寸和重量增大。与此相反，根据本实施例，永磁体总是施加朝向轨道2吸引滑板31的磁力m。并且因而，即使泵停止，滑板31也朝向轨道2被吸引。因此，在不采取特定措施来防止退出的情况下，能够将滑动器3保持在轨道2上。因而，滑动器3可以被制成已经减小尺寸和重量的L形状。另外，可以减少对于构成滑动器3所需要的滑板31的数量，并且因而可以限制成本。

另外，在本实施例中，球窝接头44调节第二空气支承装置4B的支撑面40B相对于球头柱螺栓441的倾斜d，从而保持支撑面40B和轨道2的另一个滑动器导引面212之间的空隙t2均匀，并且因而，能够将第二空气支承装置4B相对于轨道2的另一个滑动器导引面212的倾斜自动地对准。

另外，在本实施例中，第二磁力产生部件6B被直接固定到滑板31的第二表面312，并且因而，滑板31的第二表面312自身朝向轨道2的另一个滑动器导引面212被吸引，并且能够防止滑板31沿着球头柱螺栓441的轴向方向o(图6中的Z方向)反冲。因而，即使在将第二空气支承装置4B安装在滑板31上时由于球窝接头44的结构问题而有间隙，滑动器3也可以在轨道2上稳定地行进。

本发明不限于上述实施例，并且可以在本发明的范围内进行各种改变。

例如，作为第一空气支承装置4A的压缩空气供给部件42A和第二空气支承装置4B的压缩空气供给部件42B，以上实施例使用这样的压缩空气供给部件，即，在所述压缩空气供给部件中的每个中都形成有许多固有限制类型的压缩空气喷射孔425A、425B，但是本发明不限于此。代替这样的压缩空气供给部件42A、42B，能够采用这样的压缩空气供给部件，即，在所述压缩空气供给部件中在制成支撑面40A、40B的表面421中形成有许多孔口限制类型的、表面限制类型的或其它类型的压缩空气喷射孔。或者，能够使用这样的压缩空气供给部件，即，在所述压缩空气供给部件中在制成支撑面40A、40B的表面中形成有与压缩空气供给通路426A、426B连接的多孔烧结层。

另外，虽然上述实施例使用永磁体作为第一和第二磁力产生部件6A、6B，但是可以代替地使用电磁铁。

另外，作为用于第二空气支承装置4B的对准机构，上述实施例使用球窝接头44，本发明不限于此。可以使用另一种机构，只要该机构可以自动地调节第二空气支承装置4B的支撑面40B的倾斜以保持支撑面40B和轨道2的一个滑动器导引面212之间的空隙t2均匀即可。例如，第二空气支承装置4B可以经由弹性体安装在滑板31的第二表面312上，从而保持第二空气支承装置4B的支撑面40B和轨道2的另一个滑动器导引面212之间的空隙t2均匀。

在上述实施例中，第一空气支承装置4A的支撑面40A在没有球窝接头44的情况下与轨道2的上表面侧上的滑动器导引面211相对，并且具有球窝接头44的第二空气支承装置4B的支撑面40B与轨道2的侧表面侧上的滑动器导引面212相对。然而，依据空气滑动设备1的用法等，能够将第一空气支承装置4A的支撑面40A在没有球窝接头44的情况下与在轨道2的侧表面侧上的滑动器导引面212相对，并且具有球窝接头44的第二空气支承装置4B的支撑面40B与轨道2的上表面侧上的滑动器导引面211相对。另外，安装在滑动器3上的所有空气支承装置可以是具有相应的球窝接头44的第二空气支承装置4B。

另外，在上述实施例中，第一磁力产生部件6A被直接固定到滑板31的第一表面311。然而，能够提供用于调节第一磁力产生部件6A和滑动器导引面211之间的距离的距离调节机构。类似地，尽管第二磁力产生部件6B被直接固定到滑板31的第二表面312，也能够提供用于调节第二磁力产生机构6B和滑动器导引面212之间的距离的距离调节机构。

例如，如图2(D)中所示，在滑板31中形成螺纹孔321，使其在第二表面312和与第二表面312相对的表面315之间穿通。第二磁力产生部件6’B固定到双头螺栓的一个端部，所述双头螺栓将被拧到螺纹孔321中。然后，双头螺栓63从双头螺栓63的另一个端部插入螺纹孔321中并被拧到螺纹孔321中。螺母64被设置在双头螺栓63的、从相对侧上的表面315突出的另一个端部上。并且，通过调节双头螺栓63拧入螺母64中的程度，调节第二磁力部件6’B的磁力产生面62’至第二表面312的距离h。

通过该布置，能够调节相关的从第一或第二磁力产生部件6A、6B的磁力产生面61、62至滑动器导引面211、212的距离，从而能够调节将滑动器3和轨道2朝向彼此相对地吸引的力。

工业适用性

已经将空气滑动设备1作为示例说明了以上实施例，在所述空气滑动设备1中滑动器3以非接触的方式在轨道2上运动。然而，本发明不限于具有轨道2的空气滑动设备，而是可以应用于这样的空气滑动设备，即，所述空气滑动设备包括具有用于导引滑动器3的滑动器导引面的部件(例如，台)。

另外，已经采用其中滑动器3使用空气支承装置4A和4B的示例说明了以上实施例，所述空气支承装置4A和4B中的每个都在空气支承装置和轨道2之间的空隙中形成空气层，并且滑动器3经由空气层以非接触的方式运动。然而，只要静压气体支承装置用于滑动器3，就可以应用本发明，并且静压气体支承装置在静压气体支承装置和轨道2之间的空隙中形成气体层，使得滑动器3经由气体层以非接触的方式运动。

附图标记列表

1：空气滑动设备；2：轨道；3：滑动器；4A：第一空气支承装置；4B：第二空气支承装置；6A：第一磁力产生部件；6B：第二磁力产生部件；21：框架；22：轨道板；31：滑板；32A，32B：板；40，40A，40B：支撑面；42，42A，42B：压缩空气供给部件；43：基板；44：球窝接头；47：O型环；48：空气支承装置主体；51，52，53，54：内六角螺栓；55：梯形螺母；61：第一磁力产生部件6A的磁力产生面；62，62’：第二磁力产生部件6B的磁力产生面；63：双头螺栓；64：螺母；211：轨道2的滑动器导引面(轨道2的上表面)；212：轨道2的滑动器导引面(轨道2的一个侧表面)；311：滑板31的第一表面；312：滑板31的第二表面；313：与第一表面311相对的表面；314：滑板31中的螺纹孔；315：与第二表面312相对的表面；316：滑板31中的螺纹孔；317A，317B：滑板31中的空气通道；318：滑板31中的螺纹孔；321：滑板31中的螺纹孔；331：与第一表面311相邻的侧表面；421，422，422A：压缩空气供给部件42的端面；424：压缩空气供给部件42中的槽；425，425A，425B：压缩空气喷射孔；426：压缩空气供给部件42中的压缩空气供给通路(环形槽)；427，427A：压缩空气供给部件42、42A中的螺纹孔；428：O型环槽；431，432：基板43的端面；433：基板43中的埋头孔；434：基板43中的螺纹孔；436：基板43的侧表面；437：基板43的空气通道；438：空气通道437的开口；441：球头柱螺栓；442：球头；443：球窝；444：固定板；445：固定螺母；448：柱螺栓部分449的外螺纹部分：449：球头柱螺栓141的柱螺栓部分；4431：分段；4441：固定板444中的螺纹孔；4491，4492：柱螺栓部分449的端面；4493：球头柱螺栓441的六角承窝；和4494：球头柱螺栓441的法兰。

Claims (7)

1.一种空气滑动设备，所述空气滑动设备包括滑动器，所述滑动器经由气体层以非接触的方式相对于相对构件运动，其中：

所述相对构件具有磁化的滑动器导引面，所述磁化的滑动器导引面经由所述气体层与所述滑动器相对；

所述滑动器包括：

磁力产生装置，所述磁力产生装置产生磁力以用于朝向所述滑动器相对地吸引所述滑动器导引面；和

静压气体支承装置，所述静压气体支承装置与所述磁力产生装置分离并且具有支撑面，所述支撑面经由所述气体层以非接触的方式面对所述滑动器导引面；并且

所述静压气体支承装置包括压缩空气供给装置，所述压缩空气供给装置供给压缩空气以用于在所述滑动器导引面与所述支撑面之间形成所述气体层。

2.根据权利要求1所述的空气滑动设备，其中：

所述磁力产生装置包括至少一个永磁体。

3.根据权利要求1和2中任一项所述的空气滑动设备，还包括：

位置调节装置，所述位置调节装置调节所述磁力产生装置和所述滑动器导引面之间的距离。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的空气滑动设备，其中：

所述空气滑动设备包括多个磁力产生装置和多个静压气体支承装置；

所述相对构件包括沿着彼此不同的相应方向的两个滑动器导引面；

所述滑动器包括：第一表面，所述第一表面与所述两个滑动器导引面中的一个相对；和第二表面，所述第二表面与另一个滑动器导引面相对；

所述多个磁力产生装置包括：

至少一个第一磁力产生装置，所述至少一个第一磁力产生装置安装在所述第一表面上，以便与所述一个滑动器导引面相对；和

至少一个第二磁力产生装置，所述至少一个第二磁力产生装置安装在所述第二表面上，以便与所述另一个滑动器导引面相对；并且

所述多个静压气体支承装置包括：

多个第一静压气体支承装置，所述多个第一静压气体支承装置中的每个都与所述第一磁力产生装置分离并且安装在所述第一表面上，以便使所述支撑面与所述一个滑动器导引面相对；和

多个第二静压气体支承装置，所述多个第二静压气体支承装置中的每个都与所述第二磁力产生装置分离并且安装在所述第二表面上，以便使所述支撑面与所述另一个滑动器导引面相对。

5.根据权利要求4所述的空气滑动设备，其中：

所述第二静压气体支承装置中的每个都包括对准装置，所述对准装置保持所述第二静压气体支承装置的支撑面和所述另一个滑动器导引面之间的空隙均匀。

6.根据权利要求5所述的空气滑动设备，其中：

所述对准装置是球窝接头，用于将所述第二静压气体支承装置以自由的角安装在所述第二表面上。

7.根据权利要求4至6中任一项所述的空气滑动设备，其中：

所述第一静压气体支承装置固定至所述第一表面。