JP2009073660A - エア浮上搬送装置の空気吹出し構造体及び空気吹出しユニット、ならびにエア浮上搬送装置 - Google Patents

Abstract

【課題】メンテナンスが容易な浮上搬送装置の空気吹出し構造体を提供する。
【解決手段】薄板としてのガラス基板４を空気によって浮上させて搬送するエア浮上搬送装置の空気吹出し構造体において、浮上側の最上部に配置される織金網３と、該織金網３の下部に配置される多孔性を有する補強部材２とからなる。織金網３として、平織金網や、綾織金網、平畳織金網、綾畳織金網などを用いることができる。また、前記補強部材２には単層または多層構造がある。
【選択図】図１

Description

本発明は、液晶ディスプレイパネル用ガラス基板等の薄板を空気により浮上させて搬送するエア浮上搬送装置の空気吹出し構造体及び空気吹出しユニット、ならびにエア浮上搬送装置に関する。

従来、エア浮上搬送装置の空気吹出し構造体においては、エア浮上搬送装置の空気吹出し部（吹出し孔が所定の間隔で多数形成）からの流速または流量を全面にわたり均一にする為に、上壁材における吹出し孔の下面側に多孔質材料を配置している（特許文献１、図１、図２参照）。
この上壁材には、剛性と平面度を有しない多孔質材料に対する補強と保護の目的がある。
図１１は、従来の浮上搬送装置Ｆにおける空気室としてのチャンバ１０１と多孔質材料１０２、上壁材１０３の配置を示した模式図である。多孔質材料１０２の圧力損失によってチャンバ１０１内の圧力が均一化され、全面にわたり均一に吹出した空気によりガラス基板１０４が均一に浮上している状態を示している。
しかしながら、従来の多孔質材料１０２、上壁材１０３を使用した浮上搬送において、ガラス基板１０４が割れた場合、図１２のように破損基板の破片１０５の除去や上壁材１０３の清掃におけるメンテナンス作業が困難であるという問題があった。すなわち、特許文献１には、上壁材１０３としては、例えば、被浮上物を支持し得る強度を発揮し得る厚さで且つ小径、例えば、１〜１０ｍｍ程度の孔径で、空気噴出孔Ｈが所定間隔でもって千鳥状に多数形成された金属板が用いられる。したがって、図１２に示すように、従来の浮上搬送装置Ｆにおいては、破片１０５を除去する場合、ほうき１０６の掃除具で破片１０５の清掃を試みても、破片１０５が空気吹出し孔Ｈに入り込み完全に除去するのが難しい。
また、この浮上搬送装置においては、ガラス基板の両側に配置される複数個の搬送ローラにガラス基板の両端部を接触させて該基板の自重の一部を負荷させながら搬送ローラを回転させることにより、このガラス基板を浮上させた状態で搬送させている。
しかしながら、ガラス基板を浮上させることにより、搬送ローラに負荷する基板の自重が極めて低くなる。このため、搬送時間を短縮する場合、このローラによる搬送速度を上げたり、急に搬送速度を下げると、発進や停止時にすべりが発生し、基板の位置決め精度が低下することから、搬送ローラによる基板搬送の加減速度を向上（上昇）できず、搬送時間の短縮を図るのが難しいという問題がある。

特開２００４−３４５７４４号公報

本発明は、メンテナンスが容易な浮上搬送装置の空気吹出し構造体およびこの空気吹出し構造体を有するエア浮上搬送装置の空気吹出しユニット、ならびに搬送時間の短縮を図ることができるエア浮上搬送装置を提供することを目的とする。

本発明のエア浮上搬送装置の空気吹出し構造体は、薄板を空気によって浮上させて搬送するエア浮上搬送装置の空気吹出し構造体において、浮上側の最上部に配置される織金網と、該織金網の下部に配置される多孔性を有する補強部材とからなることを特徴とする。
前記織金網の下部に配置した補強部材が、前記織金網と接合されているのが好ましい。
前記織金網が、平畳織金網または綾畳織金網であるのが好ましい。
前記補強部材が、多層構造にされているのが好ましい。
前記補強部材の１つにパンチングメタルが用いられているのが好ましい。
前記織金網の織り目における有効な開口寸法が、１μｍ〜２００μmであるのが好ましい。

また、本発明のエア浮上搬送装置の空気吹出しユニットは、前記エア浮上搬送装置の空気吹出し構造体と、該空気吹出し構造体の下方に配設される該空気吹出し構造体の周辺部を固定する外壁に包囲された吹出しチャンバと、該吹出しチャンバに空気を送風する軸流ファンとを備えてなることを特徴とする。
前記空気の塵を除去するフィルタを前記吹出しチャンバに備えているのが好ましい。

さらに、本発明のエア浮上搬送装置は、前記空気吹出しユニットを複数併設したユニット群と、該ユニット群の両側部の位置における前記薄板の搬送方向に複数配列される搬送ローラと、該搬送ローラを駆動させる駆動手段と、前記ユニット群の両側端面と該搬送ローラとのあいだに前記薄板の両端部に対して吸引力を付与する吸引ユニットとを備えてなることを特徴としている。
前記吸引ユニットが、吸込み側の最上部に配置される織金網と該織金網の下部に配置される多孔性を有する補強部材とからなる空気吸込み構造体と、該空気吸込み構造体の下方に配設される該空気吸込み構造体の周辺部を固定する外壁に包囲された吸引チャンバと、前記吸引チャンバに備えられるとともに空気を吸引する軸流ファンとを具備しているのが好ましい。
前記軸流ファンに前記空気の塵を除去するフィルタが備えられているのが好ましい。

本発明によれば、最上部に大きな１ｍｍ以上の孔を有する材料を使用した従来の空気吹出し構造体に比べて、最上部に配置した織金網は織り目における有効な開口寸法が極めて小さい構造であるため、ガラス基板破片の除去清掃の際のメンテナンス作業が容易になる。

また、本発明の空気吹出しユニットを用いれば、従来のように配管を接続して容量の大きいブロアまたはコンプレッサーにより空気を供給する場合より、特別な空気配管を使用することが不要になり、エア浮上搬送装置の製造が容易になる。また、軸流ファンを備えると、低圧、低電力での流量確保が可能であるため、エア浮上搬送装置において省エネが可能になる。また、静音な運転ができる。

さらに、本発明のエア浮上搬送装置によれば、薄板の両端部に対して吸引力を付与する吸引ユニットを備えることにより、薄板の両端部を搬送ローラに確実に接触させることができる。このため、搬送ローラによる加減速度の向上が可能となって薄板の搬送時間を短縮することができる。

本発明のエア浮上搬送装置の空気吹出し構造体は、薄板を空気によって浮上させると共に搬送ローラによって搬送するエア浮上搬送装置に適用することができ、浮上側の最上部に配置される織金網と、該織金網の下部に配置される多孔性を有する補強部材とから構成されている。

ここで、本発明に用いる用語の意味を説明する。本発明において、エア浮上搬送装置とは、液晶ディスプレイパネルやプラズマディスプレイパネルなどのフラットパネルディスプレイに用いられる大型で非常に薄いガラス基板を非接触で浮上支持するユニットを備える装置や、これを備え搬送ローラによって搬送する装置をいう。
空気吹出し構造体とは、空気吹出しユニットのチャンバ内圧力空気をユニット上面部（薄板の下面側）へ供給することができるように多孔性を有した構造体をいう。
薄板とは、液晶ディスプレイパネル用のガラス基板や、プラズマディスプレイ用のガラス基板の様な、縦横寸法に対して極めて薄肉で撓みの大きい平板材料をいう。
搬送ローラとは、空気によって浮上支持されたガラス基板の両端部の下面を一部分支持して駆動搬送させる回転体をいう。

織金網とは、平織金網や、綾織金網、平畳織金網、綾畳織金網などをいう。多孔質材料に織金網を用いるのは、樹脂製及びセラミック製の多孔質材料と比べて安価でバリエーション（線径や織り目における有効な開口寸法）が豊富だからである。このため、浮上に必要な空気流量の設計が容易になる。
平織金網とは、縦線と横線が一定間隔を保ちながら、一本ずつ交差し織られている金網をいう。
綾織金網とは、縦線と横線が一定間隔を保ちながら、一本以上ずつ交差し織られている金網をいう。
平畳織金網とは、横線が相接するように並び、１本ずつ交差させた織り方で、縦方向のメッシュが横方向のメッシュより少なく、縦線が曲がらずまっすぐな状態で織られており、横線が畳表（たたみおもて）の様に隣り合い、織られている金網をいう。
綾畳織金網とは、横線が相接するように並び、交互に線２本以上ずつ乗越しさせた織り方で、縦方向のメッシュが横方向のメッシュより少なく、縦線が曲がらずまっすぐな状態で織られており、横線が畳表（たたみおもて）の様に隣り合い、織られている金網をいう。
多孔性を有する補強部材とは、浮上側の最上部に配置した織金網の強度をバックアップするための板厚方向に貫通する通気孔を多数有する網状体あるいは板状体をいう。例えば、エキスパンドメタル、パンチングメタル、金網をいう。
織り目における有効な開口寸法とは、縦線と横線とで形成される平面的な織り目と三次元形状の織り目に粒子を透過させる試験により粒子が、たとえば９５％通過するときの有効径をいう。

本発明において織金網と補強部材を結合する接合手段としては、接着剤や溶接による結合の他に、焼結加工により全面一体化する拡散接合等が挙げられる。拡散接合とは、真空または不活性ガス中で、母材を溶融せずに固相状態で塑性変形が生じない程度に加熱と加圧し、接合部の原子を拡散させることで接合する固相接合法である。この拡散接合の利点としては、溶接結合よりも美観良く、接着剤よりも結合が強固かつ均等であるので、結合の信頼性が高く、かつ、圧力損失のばらつきが小さく、全面にわたって空気の分散が均等に行なわれることが挙げられる。
「補強部材が、多層構造」とは、最上部の織金網より前記有効な開口寸法が大きい織金網や開口部が大きい金網を数枚（例えば２から５枚程度）重ね、接合されている構造、前記織金網を所定の枚数重ねた構造にパンチングメタルを組合わせた構造、前記金網を所定の枚数重ねた構造にさらにパンチングメタルを重ね合わせた構造、または前記織金網と金網を所定の枚数重ね合わせた構造にさらにパンチングメタルを重ね合わせた構造などをいう。多層構造を取ることによって、圧力損失のばらつきが小さく、空気の分散が均等に行なわれる。また、空気流の設計が容易になる。
「補強部材の１つにパンチングメタルが用いられている」とは、補強部材としてパンチングメタル単独で使用されることや、多層構造の補強部材の場合には、パンチングメタルと併せて最上部の織金網より、開口部が大きい金網が使用されることである。
「織金網の織り目における有効な開口寸法が、１μｍ〜２００μｍ」としたのは、１μm未満の場合、ガラス基板を浮上させるのに必要な流量の確保が困難であることと、その為に比較的高い圧力が必要であるからである。
織り目における有効な開口寸法が２００μｍを超える場合、ガラス基板が割れたときに、空気吹出し部の孔の中に細かいガラス破片がはいってしまい、割れたガラスを除去しづらい。またチャンバ内の圧力の均一化が困難である。
空気吹出しユニットとは、空気吹出し構造体を備えた、ガラス基板を浮上させるユニットをいう。また、この空気吹出しユニットに空気を送風する軸流ファン、またはこの軸流ファンと空気の塵を除去するフィルタを備える構成をいう。
空気の塵を除去するフィルタとは、クリーンルーム内で空気吹出しユニットのファン駆動によるダスト発生を抑制する為の対策であり、ＨＥＰＡフィルタ（Ｈｉｇｈ Ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ Ｐａｒｔｉｃｕｌａｔｅ Ａｉｒ Ｆｉｌｔｅｒ；０．３μｍの粒子を９９．７％以上除去することができるフィルタ）やＵＬＰＡフィルタ（Ｕｌｔｒａ Ｌｏｗ Ｐｅｎｅｔｒａｔｉｏｎ Ａｉｒ Ｆｉｌｔｅｒ；０．１μｍの粒子を９９．９９９％以上除去することができるフィルタ）が好ましい。なお、フィルタは、チャンバに外付けされていてもよく、内蔵されていてもよい。
チャンバとは、空気吹出しユニット内に供給する空気の流量を吹出し部全体に均一化する為の空気室または吸引ユニット内に吸引する空気室をいう。

以下、図面に基づき発明を説明する。図１は、本発明のエア浮上搬送装置Ｆの空気吹出しユニットＵの実施例を示す概略断面図である。図２は、図１の空気噴出し部の拡大図であり、本発明のエア浮上搬送装置Ｆの空気吹出し構造体を示す概略断面図である。
図１及び図２において、吹出しチャンバ１を画成する外壁Ｗの上面に固定される空気吹出し構造体には、薄板としてのガラス基板４を、空気導入口８から導入される空気（矢印でその流れを図示した）によって浮上させるようになっている。浮上側の最上部に織金網３を配置し、その下部に多孔性を有する補強部材２としてのパンチングメタルを配置している。

ここで、織金網３は、畳織金網を用いている。畳織金網は平織に比べ大きな曲率で湾曲した金属線材（例えば縦糸線材３ａ）が複数本の金属線材（横糸線材３ｂ）で支えられているため、通常の平織金網のような平面的な「網目の開口部」（織り目）はなく、空間域は縦糸線材３ａと横糸線材３ｂとの交差部の隙間が三次元的な開口部（織り目）となるので、剛性が高く変形しにくいという特徴をもっている。さらに、横糸線材３ｂが、縦糸線材３ａと２点接触で密着し、通常の畳織金網の２倍の密度があり、最も緻密で強固な金網である。

図３は、エア浮上搬送装置の空気吹出し構造体の別の構造を示す概略断面図である。図３において、浮上側の最上部に織金網３を配置し、その下部に多孔性を有する補強部材２を配置している。ここでの補強部材は、金網２Ａとパンチングメタル２Ｂの積層構造になっている。本実施の形態では、この金網２Ａとして、平織金網が用いられているが、本発明においては、これに限定されるものではない。
ここで、織金網と補強部材を結合する接合手段としては、焼結加工により全面一体化している。
これにより、溶接結合よりも美観良く、接着剤よりも結合が強固かつ均等であるので、圧力損失のばらつきが小さく、全面にわたって空気の分散が均等に行なわれる。

図４は本発明の実施の形態における空気吹出し構造体でのガラス基板の破片１５を除去する状態を示す。空気吹出し構造体の最上部に１ｍｍより大きな孔が無いため、ほうき１６等の掃除具でのガラス基板破片の除去清掃が従来よりも極めて容易になる。

以下、これらの構成を用いた場合の動きについて説明する。
図１において、吹出しチャンバ１を画成する外壁Ｗの上面に固定された空気吹出し構造体には、薄板としてのガラス基板４が、図５に示す搬送ローラＲにより搬送されてくる。
このとき、図１に示されるように、軸流ファン７により空気導入口８から空気を送風し、フィルタ６で空気の塵を除去し、吹出しチャンバ１、多孔性を有する補強部材２及び浮上側の最上部に配置した織金網３を通過する空気（矢印でその流れを図示した）は、ガラス基板４を浮上させるようになっている。

なお、本発明の浮上搬送装置における吹出しチャンバ１内の空気は、補強部材２としてのパンチングメタル及び織金網３の圧力損失によってチャンバ内の圧力が均一化され、全面にわたり均一に吹出した空気によりガラス基板が均一に浮上することになる。

以下、上述した空気吹出し構造体及び空気吹出しユニットＵを用いた、エア浮上搬送装置について説明する。図５は、本発明の空気吹出しユニットを用いたエア浮上搬送装置の実施の形態を示す概略側面図である。また、図６は、その概略平面図である。
図５において、空気吹出しユニットＵが設置フレーム（図示せず）に５個並んであり、それぞれ、図１に示した構成になっている。また、並んだユニットＵの両端には搬送ローラＲが備えられており、搬送ローラＲの回転によりガラス基板４が搬送される。ここで、空気吹出しユニットＵに各々備えられた軸流ファン７を駆動させると、軸流ファン７は空気を送風する。フィルタ６において塵を除去された空気は、吹出しチャンバ１、多孔性を有する補強部材２及び浮上側の最上部に配置した織金網３を通過し、ガラス基板４を浮上させるようになっている。矢印でその流れを図示した。

さらに、本発明の空気吹出しユニットを用いれば、特別な空気配管を使用することが不要になり、エア浮上搬送装置の製造が容易になるとともに低圧、低電力での流量確保が可能であるため、エア浮上搬送装置において省エネが可能になる。さらに、軸流ファンが備えられているので、空気流の調整は各ユニットの軸流ファンの回転数を変えるだけで容易にできる。
また、軸流ファンを用いると、１ｋＰａ以下の低い圧縮空気を用いることができるので、圧縮空気源の電力を抑えて安価にすることができる。また、軸流ファンを用いると、静音な運転ができる。

なお、本発明の薄板の対象となるガラス基板の大きさとしては、縦横３００ｍｍ程度から縦横３ｍ以上のサイズまであるが、本発明においては特に、縦横２ｍ以上の大型ガラス基板における用途に適用するのが好ましい。

つぎに前記空気吹出しユニットを用いた本発明のエア浮上搬送装置を図７〜１０に基づいて説明する。
本実施の形態にかかわるエア浮上搬送装置は、前記空気吹出しユニットＵを設置フレーム（図示せず）に５台併設したユニット群Ｇと、該ユニット群Ｇの両側部Ｇａ、Ｇｂの位置における前記薄板４の搬送方向Ｓに複数配列される搬送ローラＲと、該搬送ローラＲを駆動させる駆動手段Ｄと、前記ユニット群Ｇの両側端面Ｇ１ａ、Ｇ１ｂと該搬送ローラＲとのあいだに前記薄板４の両端部４ａ、４ｂに対して吸引力を付与する吸引ユニットＶとが備えられている。

この吸引ユニットＶは、薄板４の両端部４ａ、４ｂを吸引して搬送ローラＲとの接触力（摩擦力）を高める構造であれば、本発明においては、とくに限定されるものではないが、本実施の形態では、空気吸込み構造体Ｖ１と、該空気吸込み構造体Ｖ１の下方に配設される吸引チャンバ２１と、前記吸引チャンバ２１に備えられる吸引用軸流ファン２２とから構成されている。
前記空気吸込み構造体Ｖ１として、金網や通気孔を形成した板材などを用いることもできるが、本実施の形態では、前記空気吹出しユニットＵに用いられている空気吹出し構造体と同じ構成とすることができる。すなわち、この空気吸込み構造体Ｖ１は、吸込み側の最上部に配置される織金網３と該織金網３の下部に配置される多孔性を有する補強部材２とからなる構成にされている。
前記吸引チャンバ２１としては、前記空気吸込み構造体Ｖ１の周辺部を固定する外壁Ｗ１に包囲され、下部に吐出し口２１ａを形成した構造とすることができる。そして、この吐出し口２１ａに前記軸流ファン２２が組み付けられている。前記軸流ファン２２は、空気を吸引する構成であれば、とくに限定されるものではない。
さらに、本実施の形態では、前記空気吹出しユニットＵと同様に前記軸流ファン２２に前記空気の塵を除去するフィルタ２３が備えられている。

また、前記搬送ローラＲは、ローラ軸Ｒ１が固定フレーム２４に設けられる軸受２５に軸支されている。そして、外周溝に弾性体、たとえばＯリング２６が嵌着されており、薄板４との接触による摩擦力を高めるようにしている。そして、この搬送ローラＲの駆動手段Ｄとしては、本発明においては、とくに限定されるものではないが、本実施の形態では、クリーン度を保つために非接触式のマグネット駆動コンベヤＭが用いられている。
このマグネット駆動コンベヤＭは、各搬送ローラＲのローラピッチにマグネット３１が配置された１本のドライブシャフト３２をこの軸端に配置されるモータ３３で回転駆動させ、このドライブシャフト３２の上部に直交方向に配置される各搬送ローラＲのローラ軸Ｒ１に取付けたマグネット３４を従動回転させる構成にされている。
前記マグネット３１は、たとえば図１０に示されるように、Ｎ極とＳ極とに着磁された永久磁石が前記ドライブシャフト３２の外周に所定の傾斜角で螺旋状に設けられる構造をしている。また、前記マグネット３４は、前記ローラ軸Ｒ１の外周にこのマグネット３１と同じ構造にされている。
このマグネット３１とマグネット３４とのあいだには隙間があり、両マグネット間に発生する磁力により、ドライブシャフト３２を回転させると、搬送ローラＲはドライブシャフト３２に対して非接触で回転する。
以上説明したとおり、本実施の形態にかかわるエア浮上搬送装置は、吸引ユニットＶを備えているので、薄板４の両端部４ａ、４ｂを搬送ローラＲに確実に接触させ搬送時の摩擦力が高められているため、搬送ローラＲによる加減速度の向上が可能となって薄板４の搬送時間を短縮することができる。

本発明のエア浮上搬送装置の空気吹出しユニットの実施例を示す概略断面図である。 図１の空気噴出し部の拡大図であり、本発明のエア浮上搬送装置の空気吹出し構造体を示す概略断面図である。 エア浮上搬送装置の空気吹出し部の別の構造を示す概略断面図である。 本発明のエア浮上搬送装置の空気吹出し部の清掃時の断面概略図である。 本発明の空気吹出しユニットを用いたエア浮上搬送装置の実施例を示す概略側面図である。 本発明の空気吹出しユニットを用いたエア浮上搬送装置の実施例を示す概略平面である。 本発明の実施の形態にかかわるエア浮上搬送装置を示す概略平面である。 図７の概略側面図である。 図８の要部を拡大した断面図である。 図９の搬送ローラとドライブシャフトのマグネットを説明する図である。 従来のエア浮上搬送装置の空気吹出し部の断面概略図である。 従来のエア浮上搬送装置の空気吹出し部の清掃時の断面概略図である。

符号の説明

１ 吹出しチャンバ
２ 補強部材
３ 織金網
４ 薄板
４ａ、４ｂ 薄板の両端部
６、２３ フィルタ
７、２２ 軸流ファン
２１ 吸引チャンバ
２１ａ 吐出し口
２６ Ｏリング
３１、３４ マグネット
３２ ドライブシャフト
３３ モータ
Ｄ 駆動手段
Ｆ エア浮上搬送装置
Ｇ ユニット群
Ｇａ、Ｇｂ ユニット群の両側部
Ｇ１ａ、Ｇ１ｂ ユニット群の両側端面
Ｍ マグネット駆動コンベヤ
Ｒ 搬送ローラ
Ｒ１ 搬送ローラのローラ軸
Ｕ 空気吹出しユニット
Ｖ 吸引ユニット
Ｖ１ 空気吸込み構造体
Ｗ、Ｗ１ 外壁

Claims (11)

1. 薄板を空気によって浮上させて搬送するエア浮上搬送装置の空気吹出し構造体において、浮上側の最上部に配置される織金網と、該織金網の下部に配置される多孔性を有する補強部材とからなることを特徴とするエア浮上搬送装置の空気吹出し構造体。
2. 前記織金網の下部に配置した補強部材が、前記織金網と接合されている請求項１に記載のエア浮上搬送装置の空気吹出し構造体。
3. 前記織金網が、平畳織金網または綾畳織金網である請求項１または請求項２に記載のエア浮上搬送装置の空気吹出し構造体。
4. 前記補強部材が、多層構造にされている請求項１に記載のエア浮上搬送装置の空気吹出し構造体。
5. 前記補強部材の１つにパンチングメタルが用いられている請求項１または請求項４に記載のエア浮上搬送装置の空気吹出し構造体。
6. 前記織金網の織り目における有効な開口寸法が、１μｍ〜２００μmである請求項１または請求項２に記載のエア浮上搬送装置の空気吹出し構造体。
7. 請求項１から請求項６のいずれかに記載のエア浮上搬送装置の空気吹出し構造体と、該空気吹出し構造体の下方に配設される該空気吹出し構造体の周辺部を固定する外壁に包囲された吹出しチャンバと、該吹出しチャンバに空気を送風する軸流ファンとを備えてなるエア浮上搬送装置の空気吹出しユニット。
8. 前記空気の塵を除去するフィルタを前記吹出しチャンバに備えてなる請求項７に記載のエア浮上搬送装置の空気吹出しユニット。
9. 請求項７または８記載の空気吹出しユニットを複数併設したユニット群と、該ユニット群の両側部の位置における前記薄板の搬送方向に複数配列される搬送ローラと、該搬送ローラを駆動させる駆動手段と、前記ユニット群の両側端面と該搬送ローラとのあいだに前記薄板の両端部に対して吸引力を付与する吸引ユニットとを備えてなるエア浮上搬送装置。
10. 前記吸引ユニットが、吸込み側の最上部に配置される織金網と該織金網の下部に配置される多孔性を有する補強部材とからなる空気吸込み構造体と、該空気吸込み構造体の下方に配設される該空気吸込み構造体の周辺部を固定する外壁に包囲された吸引チャンバと、前記吸引チャンバに備えられるとともに空気を吸引する軸流ファンとを具備してなる請求項９に記載のエア浮上搬送装置。
11. 前記軸流ファンに前記空気の塵を除去するフィルタが備えられてなる請求項１０に記載のエア浮上搬送装置。