JP2019199342A - 物品移動装置、作業装置及び物品移動方法 - Google Patents

Abstract

【課題】設計の自由度が高い物品移動装置、作業装置及び物品移動方法を提供する。【解決手段】物品移動装置２は、ステージ３を備える。ステージ３は、物品を配置可能な上面３７を有する。ステージ３は、上面３７上に気体を吹き出すことで、物品を移動する。ステージ３は、下層３１と、上層３２とを有する。上層３２は、下層３１上に位置している。下層３１は、複数の吹出孔３１０を有する。複数の吹出孔３１０は、上層３２に向けて気体を吹き出す。上層３２は、上面３７からの気体の吹出方向を制御する。【選択図】図５

Description

本開示は、物品移動装置、作業装置及び物品移動方法に関する。詳しくは、気体を吹き出して物品を移動する物品移動装置、この物品移動装置を備えた作業装置及び物品を移動する物品移動方法に関する。

特許文献１には、搬送装置が開示されている。この搬送装置は、搬送路本体と、導入管とを備えている。搬送路本体は、中空筒状に形成されている。搬送路本体の上壁には、複数の吹出孔が設けられている。搬送路本体の内部に加圧空気が導入されることにより、加圧空気が複数の吹出孔から斜め上方に噴出する。この加圧空気の噴出作用により、上壁上のウェーハは浮上した状態で搬送される。

実開昭６０−６７１８号公報

上述した搬送装置では、上壁に形成された複数の吹出孔が、加圧空気を吹き出す機能と、加圧空気の吹出方向を制御する機能との両方を有している。このため、例えば、吹出孔の形状、大きさ及び数等において、設計の自由度が高くない。

本開示は上記事由に鑑みてなされており、設計の自由度が高い物品移動装置、作業装置及び物品移動方法を提供することを目的とする。

本開示の一態様に係る物品移動装置は、以下に示す構成を有する。前記物品移動装置は、ステージを備える。前記ステージは、物品を配置可能な上面を有する。前記ステージは、前記上面上に気体を吹き出すことで前記物品を移動する。前記ステージは、下層と、上層とを有する。前記上層は、前記下層上に位置している。前記下層は、複数の吹出孔を有する。前記複数の吹出孔は、前記上層に向けて前記気体を吹き出す。前記上層は、前記上面からの前記気体の吹出方向を制御する。

また、本開示の一態様に係る作業装置は、以下に示す構成を有する。前記作業装置は、前記物品移動装置と、作業部とを備える。前記物品移動装置は、前記物品として基板を移動する。前記作業部は、前記基板に対して作業を行う。

また、本開示の一態様に係る物品移動方法は、下層とこの下層上に位置した上層とを有するステージの上面に物品が配置された状態で、前記ステージから前記上面上に気体を吹き出して前記物品を移動する工程を含む。前記工程において、前記下層が有する複数の吹出孔から前記上層に向けて前記気体を吹き出し、前記上層により前記上面からの気体の吹出方向を制御する。

本開示の一態様に係る物品移動装置、作業装置及び物品移動方法によれば、物品移動装置の設計の自由度を高くすることができる。

図１は、一実施形態に係る物品移動装置の斜視図である。 図２Ａは、同上の物品移動装置を備えた実装装置の平面図である。図２Ｂは、図２Ａのａ部の一部拡大図である。 図３Ａ，図３Ｃ，図３Ｅは、同上の物品移動装置により、基板を移動する様子を順に示した横断面図である。図３Ｂ，図３Ｄ，図３Ｆは、図３Ａ，図３Ｃ，図３Ｅにそれぞれ対応する平面図である。 図４Ａ及び図４Ｃは、同上の物品移動装置により、図３Ｅに示す位置に配置された基板を移動する様子を順に示した縦断面図である。図４Ｂ及び図４Ｄは、図４Ａ及び図４Ｃにそれぞれ対応する平面図である。 図５Ａは、図３ＢのＡ−Ａ線断面図である。図５Ｂは、図４ＢのＢ−Ｂ線断面図である。 図６は、同上の物品移動装置の概略を示した平面図である。 図７は、同上の物品移動装置のブロック図である。 図８は、変形例１の物品移動装置の斜視図である。 図９Ａ，図９Ｃ，図９Ｅ，図９Ｇ，図９Ｉは、同上の物品移動装置により、基板を移動する様子を順に示した横断面図である。図９Ｂ，図９Ｄ，図９Ｆ，図９Ｈ，図９Ｊは、図９Ａ，図９Ｃ，図９Ｅ，図９Ｇ，図９Ｉにそれぞれ対応する平面図である。 図１０は、同上の物品移動装置の概略を示した平面図である。 図１１Ａ，図１１Ｃ，図１１Ｅは、変形例２の物品移動装置により、基板を移動する様子を順に示した横断面図である。図１１Ｂ，図１１Ｄ，図１１Ｆは、図１１Ａ，図１１Ｃ，図１１Ｅにそれぞれ対応する平面図である。 図１２Ａ及び図１２Ｃは、同上の物品移動装置により、図１１Ｅに示す位置に配置された基板を移動する様子を順に示した縦断面図である。図１２Ｂ及び図１２Ｄは、図１２Ａ及び図１２Ｃにそれぞれ対応する平面図である。 図１３は同上の物品移動装置を概略的に示した平面図である。

（１）概要
図１に示す本実施形態の物品移動装置２は、物品としての基板９（図２Ａ参照）を部品が実装される所定位置まで搬送する搬送装置である。物品移動装置２は、図２Ａに示すように、実装装置１に組み込まれて用いられる。

なお、本実施形態の物品移動装置２は、例えば、印刷装置、ボンディング装置、検査装置又は塗布装置等、実装装置以外の作業装置にも適用可能である。また、本実施形態の物品移動装置２は、例えば、物品を移動する機能のみを有する装置にも適用可能である。また、本実施形態の物品移動装置２は、例えば、物品の位置決め等を行う際に、物品の姿勢を変更する装置にも適用可能である。また、物品移動装置２によって移動する物品は、基板９以外の物品であってもよい。

本実施形態の物品移動装置２は、ステージ３を備えている。ステージ３は、物品を配置可能な上面３７を有している。ステージ３は、上面３７上に気体を吹き出すことで物品を移動する。

図５Ａに示すように、ステージ３は、下層３１と、上層３２とを有している。上層３２は、下層３１上に位置している。下層３１は、複数の吹出孔３１０を有している。複数の吹出孔３１０は、上層３２に向けて気体を吹き出す。上層３２は、上面３７からの気体の吹出方向を制御する。

本実施形態の物品移動装置２では、下層３１の複数の吹出孔３１０から上層３２に吹き出される気体の吹出方向が、下層３１とは別の層である上層３２によって制御される。このため、下層３１と上層３２とを別々に設計することができ、設計の自由度が高い。

（２）構成
以下、図１〜図７に基づき、本実施形態の実装装置１の構成について説明する。なお、以下の実装装置１の説明では、実装装置１の設置状態を基準にした方向を用いて説明する。

図２Ａに示すように、実装装置１は、物品移動装置２と、作業部４とを備えている。本実施形態の物品移動装置２が移動する基板９は、可撓性を有するフレキシブル基板である。なお、基板９は、硬質なリジッド基板であってもよい。また、図２Ａに示す基板９は、矩形状であるが、基板９の形状は矩形状に限定されない。また、搬送可能な基板９の大きさも、限定されない。物品移動装置２は、例えば、３０ｍｍ角以下のフレキシブル基板を搬送可能である。

作業部４は、物品移動装置２によって所定位置に配置された基板９に、部品を実装する。なお、本実施形態の作業装置は、実装装置１であるため、部品を実装する作業部４を備えているが、作業部４が行う作業は、作業装置に応じて変わる。例えば、作業装置が印刷装置である場合、作業部は、物品移動装置２によって所定位置に配置された基板９に対して印刷を行う。

本実施形態の物品移動装置２は、例えば、図３Ａ〜図４Ｄに示すようにステージ３上に配置された基板９を、ステージ３上の所定位置まで搬送する。本実施形態のステージ３は、図５Ａ及び図５Ｂに示すように、ベース３０、下層３１及び上層３２を有している。ベース３０は、例えば金属製である。以下、ベース３０の長手方向を左右方向とし、ベース３０の短手方向を前後方向として説明する。また、ベース３０は、上方から見て矩形状で、上面に開口部を有する浅底の箱状に形成されているものとして説明するが、必ずしも箱状に形成されている必要はなく、下層３１及び上層３２と同様に板状に形成されていてもよい。

ベース３０は、底部３００と、周壁部３０１とを有している。底部３００は、上方から見て矩形の板状に形成されている。底部３００の長手方向は、左右方向と平行である。周壁部３０１は、底部３００の周縁から上方に向かって突出している。

下層３１及び上層３２は、ベース３０の内側に配置されている。上層３２は、下層３１の上方に位置している。下層３１は、長手方向が左右方向と平行な矩形状で、ベース３０の底部３００の上面に沿った板状に形成されている。下層３１は、ベース３０により、下方から支持されている。本実施形態の下層３１は、上方から見て、ベース３０の周壁部３０１で囲まれた領域の全体に亘っている。下層３１の上面は、水平である。

下層３１には、複数の吹出孔３１０が形成されている。複数の吹出孔３１０は、上層３２に向けて気体を吹き出し、上層３２を介してステージ３上に気体を吹き出す。本実施形態の下層３１は、多孔質層であり、下層３１には、全体に亘って多数の細孔が形成されている。これら多数の細孔は、一端が下層３１の上面に開口し、他端が下層３１の下面に開口した孔を含んでいる。本実施形態では、これら多数の細孔により、複数の吹出孔３１０が構成されている。なお、図５Ａ及び図５Ｂに示した吹出孔３１０の様子は、模式的なものであり、その形状及び大きさは、実際の吹出孔３１０の形状及び大きさとは異なる。

下層３１は、例えば、炭化ケイ素又はガラス等のセラミックスから形成される。なお、下層３１は、セラミックス製に限られず、カーボン、紙、繊維又は樹脂等から形成されてもよい。また、下層３１の各吹出孔３１０の断面形状は、円形状であってもよいし、四角形状又は四角形状以外の多角形状等であってもよい。また、複数の吹出孔３１０は、不織布又は織布等において全体に亘って形成される多数の空隙であってもよい。

上層３２は、下層３１の上面に沿って配置されており、下層３１によって下方から支持されている。上層３２は、長手方向が左右方向と平行な矩形状で、下層３１の上面に沿った板状に形成されている。上層３２は、上方から見て、下層３１の全体に亘っている。

図１に示すように、上層３２は、複数のシート３２０を有している。本実施形態の各シート３２０は、上方から見て、長手方向が前後方向と平行な矩形状に形成されている。上層３２は、複数のシート３２０として、複数の第１シート３２１と、複数の第２シート３２２とを有している。本実施形態の上層３２は、複数の第１シート３２１及び複数の第２シート３２２のみから構成されている。

複数のシート３２０は、同一平面内において隙間なく並べて配置されている。本実施形態の複数のシート３２０は、第１シート３２１と第２シート３２２とが左右方向において交互に一枚ずつ位置するように配置されている。なお、上層３２は、第１シート３２１を一枚のみ有してもよいし、第２シート３２２を一枚のみ有してもよい。

各シート３２０の上面は、水平であり、互いに面一である。複数の第１シート３２１の上面と、複数の第２シート３２２の上面とで、水平で平坦な上層３２の上面が構成されている。上層３２の上面は、ベース３０の周壁部３０１の上端面と面一であり、上層３２の上面と周壁部３０１の上端面とで、ステージ３の上面３７が構成されている。各シート３２０は、樹脂製である。なお、第１シート３２１及び第２シート３２２の各々は、樹脂製に限られず、セラミックス、カーボン、紙又は繊維等から形成されてもよい。

図５Ａ及び図５Ｂに示すように、各シート３２０は、隔壁３３と、複数の通気孔（孔）３４とを有している。本実施形態の隔壁３３は、図２Ｂに示すように、上方から見てマトリックス状に形成されており、シート３２０の全体に亘っている。隔壁３３は、複数の第１壁部３３１と、複数の第２壁部３３２とを有している。複数の第１壁部３３１は、左右方向に間隔をあけて並んでおり、各第１壁部３３１は、上方から見て前後方向に直線状に延びている。複数の第２壁部３３２は、前後方向に間隔をあけて並んでおり、各第２壁部３３２は、上方から見て左右方向に直線状に延びている。複数の第２壁部３３２は、上方から見て、複数の第１壁部３３１と交わっている。

各シート３２０には、複数の通気孔３４が、シート３２０の全体に亘って形成されている。上方から見て、複数の通気孔３４の間は、隔壁３３によって仕切られている。下層３１の複数の吹出孔３１０から上方に吹き出された気体は、上層３２の複数の通気孔３４を通過して、ステージ３上に吹き出される。

下層３１の吹出孔３１０は、上層３２の通気孔３４よりも、断面積が小さい孔である。本開示において、「断面積が小さい孔」とは、下層３１の吹出孔３１０の最大の断面積が、上層３２の通気孔３４の最大の断面積よりも小さいことを意味する。ここで、「最大の断面積」とは、孔を通過する気体の流れ方向において最大となる孔の断面積（前記流れ方向と直交する断面における面積）を意味する。

各シート３２０の各通気孔３４は、隣り合う二つの第１壁部３３１と、隣り合う二つの第２壁部３３２とで囲まれた空間であり、水平断面形状が矩形状である。なお、通気孔３４の水平断面形状は、矩形状に限定されず、例えば、矩形を除く四角形、四角形を除く多角形又は円形等であってもよい。各通気孔３４は、シート３２０の下面から上面に至るまで延びている。各通気孔３４の下端は、シート３２０の下面において開口し、各通気孔３４の上端は、シート３２０の上面において開口している。

下層３１の各吹出孔３１０は、下層３１全体において、気体の吹出量に大きな差が生じることを抑制するため、直径１０００μｍ以下の孔よりも断面積が小さい孔であることが好ましい。また、下層３１の吹出孔３１０は、直径１００μｍ以下の孔よりも断面積の小さい孔であることがより好ましく、直径１０μｍ以下の孔よりも断面積が小さい孔であることが更に好ましい。

各第１壁部３３１は、左右に隣接した通気孔３４にそれぞれ臨んだ左右の壁面３３１０を有している。各第２壁部３３２は、前後に隣接した通気孔３４にそれぞれ臨んだ前後の壁面３３２０を有している。

第１シート３２１における各第１壁部３３１の左右の壁面３３１０は、上下方向と平行である。対して、第１シート３２１における各第２壁部３３２は、上端に近い部分ほど前後方向のうちの一方の方向である前方に位置するように傾斜している。これにより、第１シート３２１の各第２壁部３３２の前後の壁面３３２０は、上端に近い部分ほど前方に位置するように傾斜している。したがって、各第１シート３２１の複数の通気孔３４からステージ３上に吹き出される気体の吹出方向は、左右方向と直交する前斜め上方となる。

図５Ｂに示す第２シート３２２における各第２壁部３３２の前後の壁面３３２０は、上下方向と平行である。対して、第２シート３２２における各第１壁部３３１は、上端に近い部分ほど左右方向のうちの一方の方向である右方に位置するように傾斜している。これにより、第２シート３２１の各第１壁部３３１の左右の壁面３３１０は、上端に近い部分ほど右方に位置するように傾斜している。したがって、第２シート３２２の複数の通気孔３４からステージ３上に吹き出される気体の吹出方向は、前後方向と直交する右斜め上方となる。

すなわち、本実施形態では、各シート３２０の隔壁３３が、ステージ３の上面３７上からの気体の吹出方向を制御する吹出方向制御部を構成している。また、第１シート３２１の隔壁３３の壁面３３２０と、第２シート３２２の隔壁３３の壁面３３１０とは、上下方向に対して異なる方向に傾いている。これにより、上層３２は、下層３１の複数の吹出孔３１０から供給された気体を、上方から見て、第１方向（前方）と、第１方向とは異なる第２方向（右方）との異なる２方向に制御する。なお、上層３２は、下層３１から吹き出される気体の吹出方向を制御できればよく、例えば、ルーバ等であってもよい。また、このルーバは、気体の吹出方向を変更できるように、回転可能であってもよい。

図６に示すように、下層３１は、複数のエリア３５を有している。複数のエリア３５は、上方から見て互いに異なる位置に存在している。本実施形態の下層３１は、複数のエリア３５で構成されている。すなわち、下層３１は、複数のエリア３５に分割されている。

複数のエリア３５は、上層３２の複数のシート３２０にそれぞれ一対一で対応している。下層３１の各エリア３５は、上方から見て、対応するシート３２０と重複している。下層３１は、複数のエリア３５として、複数の第１エリア３５１と、複数の第２エリア３５２とを有している。複数の第１エリア３５１は、複数の第１シート３２１にそれぞれ一対一で対応している。複数の第２エリア３５２は、複数の第２シート３２２にそれぞれ一対一で対応している。

本実施形態の物品移動装置２は、通気路２２を更に有している。下層３１の複数の吹出孔３１０（図５Ａ及び図５Ｂ参照参照）は、通気路２２を介して、気体供給源２４につながっている。また、本実施形態の下層３１の複数の吹出孔３１０は、通気路２２を介して、気体吸引源２５につながっている。なお、気体吸引源２５は、省略可能である。

気体供給源２４は、例えば、コンプレッサ等である。気体吸引源２５は、例えば、真空ポンプ又は真空発生器である。本実施形態の実装装置１は、装置外部の気体供給源２４及び気体吸引源２５を利用し、気体供給源２４及び気体吸引源２５を備えていない。なお、実装装置１は、気体供給源２４及び気体吸引源２５を備えていてもよい。

本実施形態のステージ３は、複数の接続部２００を有している。複数の接続部２００は、ベース３０に取り付けられている。複数の接続部２００は、下層３１の複数のエリア３５にそれぞれ一対一で対応している。

ステージ３は、複数の接続部２００として、複数の第１接続部２０１と、複数の第２接続部２０２とを有している。複数の第１接続部２０１は、複数の第１エリア３５１にそれぞれ一対一で対応している。複数の第２接続部２０２は、複数の第２エリア３５２にそれぞれ一対一で対応している。

各接続部２００は、複数のポート２０３で構成されている。各ポート２０３は、ベース３０の底部３００の下面に取り付けられており、対応するエリア３５の下方に位置している。

ベース３０は、複数の通気部３０２を更に有している。複数の通気部３０２は、複数の接続部２００にそれぞれ一対一で対応している。各通気部３０２は、複数の孔３０３で構成されている。複数の孔３０３は、対応する接続部２００の複数のポート２０３にそれぞれ一対一で対応している。各孔３０３は、ベース３０の底部３００（図３Ａ参照）を上下方向に貫通している。各孔３０３は、対応するポート２０３の上方に位置し、対応するポート２０３に通じている。

通気路２２は、複数の接続部２００と、気体供給源２４及び気体吸引源２５をつないでいる。気体供給源２４は、通気路２２を介して複数の接続部２００に気体を供給する。気体吸引源２５は、複数の接続部２００から通気路２２を介して気体（詳しくは、大気）を吸引する。

気体供給源２４から複数の接続部２００に供給される気体は、大気である。なお、気体供給源２４から複数の接続部２００に供給される気体は、大気に限られない。例えば、実装装置１がクリーンルームに設置される場合、気体供給源２４から複数の接続部２００に供給される気体（すなわち、ステージ３上に吹き出される気体）は、窒素であってもよい。

物品移動装置２は、切換部２３を更に有している。切換部２３は、通気路２２に設けられた複数の開閉弁２３０を有している。複数の開閉弁２３０の各々が、開閉されることにより、物品移動装置２は、以下に示す、第１吹出状態、第２吹出状態、第１吸引状態、第２吸引状態又は休止状態に切り換えられる。これにより、物品移動装置２は、エリア３５毎に独立して、気体を吹出可能となり、また、エリア３５毎に独立して、基板９を吸着可能となる。

物品移動装置２が第１吹出状態にあるとき、各第１接続部２０１は、気体供給源２４及び気体吸引源２５のうち、気体供給源２４にのみ通じる。このため、各第１接続部２０１には、気体供給源２４から通気路２２を介して気体が供給される。この気体は、下層３１の対応する第１エリア３５１が有する複数の吹出孔３１０（図５Ａ及び図５Ｂ参照）に供給され、この後、対応する第１シート３２１の複数の通気孔３４（図５Ａ及び図５Ｂ参照）を通って、第１シート３２１上に吹き出される。このとき、第１シート３２１の複数の通気孔３４を通過する気体は、第１シート３２１の第２壁部３３２の壁面３３２０に当たって、前方に制御される。これにより、各第１シート３２１上に吹き出される気体の吹出方向は、前斜め上方となる。なお、物品移動装置２が第１吹出状態にあるとき、各第２接続部２０２は、気体供給源２４及び気体吸引源２５のいずれにも通じない。このため、各第２シート３２２上には、気体が吹き出されず、また、各第２シート３２２上の気体は、吸引されない。

物品移動装置２が第２吹出状態にあるとき、各第２接続部２０２は、気体供給源２４及び気体吸引源２５のうち、気体供給源２４にのみ通じる。このため、各第２接続部２０２には、気体供給源２４から通気路２２を介して気体が供給される。この気体は、下層３１の対応する第２エリア３５２が有する複数の吹出孔３１０（図５Ｂ参照）に供給され、この後、対応する第２シート３２２の複数の通気孔３４（図５Ｂ参照）を通って、第２シート３２２上に吹き出される。このとき、第２シート３２２の複数の通気孔３４を通過する気体は、図５Ｂに示すように、第２シート３２１の第１壁部３３１の左右の壁面３３１０に当たって、右方に制御される。これにより、各第２シート３２２上に吹き出される気体の吹出方向は、右斜め上方となる。なお、物品移動装置２が第２吹出状態にあるとき、各第１接続部２０１は、気体供給源２４及び気体吸引源２５のいずれにも通じない。このため、各第１シート３２１上には、気体が吹き出されず、また、各第１シート３２１上の気体は、吸引されない。

すなわち、本実施形態のステージ３は、上層３２、下層３１及び複数の接続部２００で構成され、ステージ３の上面３７上に気体を吹き出す吹出構造を有している。

物品移動装置２が第１吸引状態にあるとき、各第１接続部２０１は、気体供給源２４及び気体吸引源２５のうち、気体吸引源２５にのみ通じる。このため、各第１接続部２０１の気体は、通気路２２を介して気体吸引源２５に吸引される。この場合、各第１シート３２１上の気体は、第１シート３２１の複数の通気孔３４及び下層３１の対応する第１エリア３５１が有する複数の吹出孔３１０を介して、対応する第１接続部２０１に吸引される。なお、物品移動装置２が第１吸引状態にあるとき、各第２接続部２０２は、気体供給源２４及び気体吸引源２５のいずれにも通じない。このため、各第２シート３２２上には、気体が吹き出されず、また、各第２シート３２２上の気体は、吸引されない。

物品移動装置２が第２吸引状態にあるとき、各第２接続部２０２は、気体供給源２４及び気体吸引源２５のうち、気体吸引源２５にのみ通じる。このため、各第２接続部２０２の気体は、通気路２２を介して気体吸引源２５に吸引される。この場合、各第２シート３２２上の気体は、第２シート３２２の複数の通気孔３４及び下層３１の対応する第２エリア３５２が有する複数の吹出孔３１０を介して、対応する第２接続部２０２に吸引される。なお、物品移動装置２が第２吸引状態にあるとき、各第１接続部２０１は、気体供給源２４及び気体吸引源２５のいずれにも通じない。このため、各第１シート３２１上には、気体が吹き出されず、また、各第１シート３２１上の気体は、吸引されない。

すなわち、本実施形態のステージ３は、上層３２、下層３１及び複数の接続部２００で構成され、ステージ３の上面３７に配置された物品を吸着する吸着構造を有している。

物品移動装置２が休止状態にあるとき、各第１接続部２０１及び各第２接続部２０２は、気体供給源２４及び気体吸引源２５のいずれにも通じない。この場合、ステージ３上には気体は吹き出されず、また、ステージ３上の気体は吸引されない。

図５Ａに示すように、本実施形態のステージ３は、ガイド部３６を更に有している。ガイド部３６は、ステージ３の上面３７に配置された基板９の左右方向の移動をガイドする。ガイド部３６は、ベース３０の前面（周壁部３０１の前面）に沿って配置されており、ベース３０に取り付けられている。ガイド部３６は、長手方向が左右方向と平行で、ステージ３の前面に沿った板状に形成されており、左右方向に延びている。ガイド部３６は、ステージ３の前面における左右方向の全長に亘っている。ガイド部３６は、ステージ３の上面３７から上方に突出した突出部分３６０を有している。突出部分３６０の後面は、左右方向に延びている。

実装装置１は、図７に示す制御部１０を更に備えている。制御部１０は、作業部４及び切換部２３を制御する。制御部１０は、例えば、プロセッサ及び記憶装置等を含むコンピュータである。プロセッサは例えばＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）等である。記憶装置は、例えば半導体メモリ又はハードディスク等である。制御部１０は、物品移動装置２が備えてもよいし、物品移動装置２とは別の装置であってもよい。

実装装置１によって基板９に部品を実装するにあたり、制御部１０は、例えば、以下に示すように切換部２３を制御して、基板９を部品が実装される所定位置まで搬送する。

基板９は、物品移動装置２によって搬送される前において、休止状態にある物品移動装置２におけるステージ３Ａの上面３７に沿って配置される。この状態で、制御部１０は、図３Ａに示すように、物品移動装置２を第１吹出状態とする。これにより、各第１シート３２１から、前斜め上方に向かって気体が吹き出され、この気体がステージ３上に配置された基板９に当たることにより、基板９は、図３Ａ及び図３Ｂに示すように、ステージ３上に浮上し、ステージ３上を前方に移動する。

上述した第１吹出状態は、ステージ３上の基板９が、図３Ｃ及び図３Ｄに示すように、ガイド部３６の突出部分３６０に当たるまで維持される。これにより、基板９は、前端面が突出部分３６０の後面に沿った状態で、ステージ３上に配置される。

次に制御部１０は、物品移動装置２を第１吸引状態とし、各第１シート３２１上の気体を、ステージ３によって吸引する。これにより、ステージ３上に配置された基板９は、図３Ｅに示すように、ステージ３に吸着され、上面３７と略平行な平面状となって、反りが抑制される。

次に制御部１０は、物品移動装置２を第２吹出状態とし、各第２シート３２２から右斜め上方に向かって気体を吹き出す。これにより、各第２シート３２２から吹き出された気体が、ステージ３上に配置された基板９に当たり、図４Ａ及び図４Ｂに示すように、基板９は浮上し、かつ、ステージ３上をガイド部３６の突出部分３６０の後面に沿って、右方に移動する。この場合、基板９の右方への移動がガイド部３６によってガイドされるので、基板９の向きが変わり難い。

上述した第２吹出状態は、ステージ３上において右方に移動する基板９が、図４Ｄに示すように、ステージ３上の所定位置に配置されるまで維持される。次に制御部１０は、物品移動装置２を第２吸引状態とする。これにより、各第２シート３２２上の気体は、ステージ３によって吸引され、ステージ３上に配置された基板９は、図４Ｃに示すように、ステージ３の上面３７に吸着され、ステージ３の上面３７と略平行な平面状となる。なお、上述した制御部１０による制御は、例えばタイマ又は基板９を検知するセンサーの検知結果等に基づいて行われる。

なお、上述した基板９の移動方法では、第２吹出状態に代えて、各第１接続部２０１及び各第２接続部２０２を同時に気体供給源２４に通じる状態にしてもよい。このようにすることで、基板９の右方への搬送の際にガイド部３６で基板９を確実に規制し、基板９の向きが変わることを抑制できる。

また、上述した基板９の移動方法では、第１吸引状態に代えて、各第１接続部２０１及び各第２接続部２０２が、同時に気体吸引源２５に通じる状態にしてもよい。これにより、各第１接続部２０１及び各第２接続部２０２の気体は同時に、通気路２２を介して気体吸引源２５に吸引される。このようにすることで、基板９が第１エリア３５１及び第２エリア３５２をまたがる大きさである場合であっても、基板９の全体がステージ３に吸着され、上面３７と略平行な平面状となって、反りが抑制される。また、同様の理由により、第２吸引状態に代えて、各第１接続部２０１及び各第２接続部２０２が、同時に気体吸引源２５に通じる状態にしてもよい。

上述したように、本実施形態の物品移動方法では、ステージ３の上面３７に基板９が配置された状態で、ステージ３から上面３７上に気体を吹き出して基板９を移動する工程を含む。そして、この工程において、下層３１の複数の吹出孔３１０から上層３２に向けて気体を吹き出し、上層３２により上面３７からの気体の吹出方向を制御する。このため、ステージ３における下層３１と上層３２とを別々に設計することができ、ステージ３の設計の自由度が高い。

制御部１０は、図４Ｃ及び図４Ｄに示すように、物品移動装置２により基板９を所定位置に移動した後、図２Ａに示す作業部４を制御して、基板９に部品を実装する。このとき、作業部４により部品を基板９に実装する実装工程は、図４Ｃに示すように、物品移動装置２が第２吸引状態にあり、基板９がステージ３に吸着された状態で行われる。このため、基板９を固定し、かつ、基板９の反りを抑制した状態で、基板９に対して部品が実装される。なお、基板９の固定が、例えば、クランプ機構を用いて行われた場合、基板９の形状及び大きさに合うクランプ機構が基板９毎に必要になるが、本実施形態では、このようなクランプ機構を省略できる点で有効である。なお、実装工程は、物品移動装置２が休止状態にあるときに、行われてもよい。

（３）変形例
次に上記実施形態の変形例について説明する。

（３−１）変形例１
図８に示す変形例１の物品移動装置２Ａは、上記実施形態の物品移動装置２（図１参照）と同じ構成を有している。このため、以下の説明では、上記実施形態の物品移動装置２と同じ構成については、同一の符号を付して説明を省略する。

物品移動装置２Ａは、上記実施形態のステージ３（図１参照）に代わるステージ３Ａを有している。図９Ａに示すように、ステージ３Ａは、下層３１を有している。なお、本実施形態のステージ３Ａは、ガイド部３６（図１参照）を有していない。

ステージ３Ａは、上記実施形態の上層３２（図１参照）に代わる上層３２Ａを有している。上層３２Ａは、上記実施形態の上層３２と同じ構成を有している。ただし、上層３２Ａは、一枚のシート３２０Ａで構成されている。シート３２０Ａは、上記実施形態の第１シート３２１と同様、樹脂製であり、隔壁３３（図５Ａ参照）と、複数の通気孔３４（図５Ａ参照）とを有している。

シート３２０Ａの各第１壁部３３１の左右の壁面３３１０（図５Ａ参照）は、上下方向と平行である。対して、シート３２０Ａの各第２壁部３３２（図５Ａ参照）は、上端に近い部分ほど前方に位置するように傾斜している。これにより、シート３２０Ａの各第２壁部３３２の前後の壁面３３２０は、上端に近い部分ほど前方に位置するように傾斜している。したがって、シート３２０Ａの複数の通気孔３４からステージ３Ａ上に吹き出される気体の吹出方向は、複数の第２壁部３３２の壁面３３２０によって、前方に制御される。これにより、上層３２Ａの全体に亘る複数の通気孔３４からは、左右方向と直交する前斜め上方に気体が吹き出される。

本変形例の物品移動装置２Ａは、図１０に示すように、通気路２２に代わる通気路２２Ａを有している。ステージ３Ａは、複数の接続部２００に代わる複数のポート２０３Ａと、ベース３０に代わるベース３０Ａを有している。ベース３０Ａは、上記実施形態のベース３０と同じ構成を有している。ただし、ベース３０Ａは、複数の通気部３０２（図６参照）に代わる、複数の孔３０３Ａを有している。

複数のポート２０３Ａは、ベース３０Ａの底部３００の下面に取り付けられており、下層３１の下方に位置している。複数の孔３０３Ａは、複数のポート２０３Ａにそれぞれ一対一で対応している。各孔３０３Ａは、ベース３０Ａの底部３００を上下方向に貫通している。各孔３０３Ａは、対応するポート２０３Ａの上方に位置し、対応するポート２０３Ａに通じている。

通気路２２Ａは、複数のポート２０３Ａと、気体供給源２４及び気体吸引源２５をつないでいる。気体供給源２４は、通気路２２Ａを介して複数のポート２０３Ａに気体を供給する。気体吸引源２５は、複数のポート２０３Ａから通気路２２Ａを介して気体を吸引する。

物品移動装置２Ａは、切換部２３に代わる切換部２３Ａを有している。切換部２３Ａは、通気路２２に設けられた複数の開閉弁２３０Ａを有している。複数の開閉弁２３０Ａの各々が開閉されることにより、物品移動装置２Ａは、以下に示す、吹出状態、吸引状態又は休止状態のいずれかの状態に切り換えられる。

物品移動装置２Ａが吹出状態にあるとき、各ポート２０３Ａは、気体供給源２４及び気体吸引源２５のうち、気体供給源２４にのみ通じる。このため、各ポート２０３Ａには、気体供給源２４から通気路２２Ａを介して気体が供給される。この気体は、下層３１が有する複数の吹出孔３１０（図５Ａ参照）に供給され、この後、上層３２Ａ（シート３２０Ａ）の複数の通気孔３４（図５Ａ参照）を通って、前斜め上方に向かって吹き出される。

物品移動装置２Ａが吸引状態にあるとき、各ポート２０３Ａは、気体供給源２４及び気体吸引源２５のうち、気体吸引源２５にのみ通じる。このため、各ポート２０３Ａの気体は、通気路２２Ａを介して気体吸引源２５に吸引される。この場合、上層３２Ａ上の気体は、上層３２Ａの複数の通気孔３４及び下層３１の複数の吹出孔３１０を介して複数のポート２０３Ａに吸引される。

物品移動装置２Ａが休止状態にあるとき、各ポート２０３Ａは、気体供給源２４及び気体吸引源２５のいずれにも通じない。この場合、ステージ３Ａ上には気体は吹き出されず、また、ステージ３Ａ上の気体は吸引されない。

図８に示すように、物品移動装置２Ａは、傾斜角度変更部５を更に有している。傾斜角度変更部５は、ステージ３Ａの上面３７の水平面に対する傾斜角度を変更する。本変形例の傾斜角度変更部５は、支持部５０と、駆動部５１とを有している。支持部５０は、ベース３０Ａの前端部を中心にして、ベース３０Ａの後端部が上下動できるように、ベース３０Ａを回転可能に支持している。

駆動部５１は、ベース３０Ａにおいて支持部５０で支持された部分よりも後方の部分を上下方向に移動する。駆動部５１は、例えば、ステージ３Ａの後部を上下方向に移動するエアシリンダーで構成される。なお、傾斜角度変更部５は、例えば、駆動部５１として油圧シリンダ又はモータ等を用いた機構であってもよい。駆動部５１がベース３０Ａを上方に向かって移動することにより、ベース３０Ａ（ステージ３Ａ）はベース３０Ａの前端部を中心にして上方に回転する。これにより、ステージ３Ａの上面３７は、前方に向かって下り傾斜した姿勢となる。すなわち、上層３２Ａによる気体の吹出方向を制御する方向（本例では、前方）を気体の制御方向としたとき、上面３７は、気体の制御方向と同じ方向に向かって下り傾斜するように傾けられる。このように上面３７が水平面に対して傾けられることにより、上面３７に配置された基板９は、気体がステージ３Ａから上方に吹き出された状態において、前方に移動しやすくなる。

物品移動装置２Ａは、搬送部６を更に有している。搬送部６は、ステージ３Ａの上面３７に配置された基板９（図９Ｅ参照）に接した状態で、基板９を搬送する。本変形例の搬送部６は、コンベアで構成されており、複数のプーリ６１、ベルト６０及びモータ６２を有している。複数のプーリ６１は、ステージ３Ａの前面（周壁部３０１の前面）に沿って前後方向に並べて配置されている。各プーリ６１の回転軸方向は、上下方向と平行である。ベルト６０は、複数のプーリ６１の周囲に位置し、複数のプーリ６１に掛けられている。ベルト６０は、ステージ３Ａの上面３７の前方に位置しており、上面３７の前端部に配置された基板９と接する位置に配置されている。

モータ６２は、プーリ６１を回転する動力を発生させる。モータ６２が駆動すると、プーリ６１が回転し、プーリ６１により、ベルト６０は、複数のプーリ６１の周囲を回転する。このベルト６０に基板９（図９Ｃ参照）が接することで、基板９は、ベルト６０によって右方に搬送される。

基板９に部品を実装するにあたり、制御部１０（図７参照）は、例えば、以下に示すように切換部２３Ａ（図１３参照）を制御して、基板９を部品が実装される所定位置まで搬送する。基板９が物品移動装置２Ａによって搬送される前、物品移動装置２Ａは休止状態にあり、基板９は、図９Ａ及び図９Ｂに示すように、ステージ３Ａの水平な上面３７に沿って配置される。この状態で、制御部１０は、物品移動装置２Ａを吹出状態とする。これにより、図９Ｃに示すように、上層３２Ａから、前斜め上方に向かって気体が吹き出される。また、この際、制御部１０は、傾斜角度変更部５（図８参照）を制御して、ステージ３Ａの上面３７を前下がりとなるように水平面に対して傾ける。これにより、ステージ３Ａの上面３７に配置された基板９は、ステージ３Ａ上に浮上し、この状態でステージ３Ａの上面３７に沿って前方に移動する。なお、この場合、制御部１０は、物品移動装置２Ａを吹出状態にした後に、ステージ３Ａの上面３７を前下がりの状態にしてもよいし、物品移動装置２Ａを吹出状態にする前に、ステージ３Ａの上面３７を前下がりの状態にしてもよい。

上述した基板９は、図９Ｅ及び図９Ｆに示すように、ステージ３Ａの上面３７の前端部に位置するまで、上面３７に沿って前方に移動する。この位置まで移動した基板９は、搬送部６のベルト６０に接し、ベルト６０によって右方に搬送される。このとき、基板９は、上層３２から前斜め上方に吹き出された気体により、ベルト６０側に押された状態で、搬送部６によって搬送される。なお、この場合、制御部１０は、基板９がベルト６０に接した後に、搬送部６の駆動を開始してもよいし、基板９がベルト６０に接した後に、搬送部６の駆動を開始してもよい。また、制御部１０は、搬送部６によって基板９を搬送しているとき、物品移動装置２Ａを休止状態にしてもよい。

上述した搬送部６による基板９の搬送は、基板９が、図９Ｈに示すように、ステージ３上の所定位置に配置されるまで行われ、この後、制御部１０は搬送部６を停止する。次に制御部１０は、図９Ｇに示すように、物品移動装置２Ａを吸引状態とし、上層３２上の気体をステージ３Ａに吸引する。これにより、ステージ３Ａの上面３７における所定位置に配置された基板９は、ステージ３Ａに吸着され、上面３７と略平行な平面状となる。

次に制御部１０は、物品移動装置２Ａの吸引状態を維持したまま、傾斜角度変更部５（図８参照）を制御して、図９Ｉに示すように、ステージ３Ａの上面３７を水平にする。これにより、ステージ３Ａの上面３７における所定位置に配置された基板９は、水平になる。なお、上述した、切換部２３Ａ及び搬送部６の制御は、例えばタイマ、又は基板９を検知するセンサーの検知結果等に基づいて行われる。

制御部１０は、図９Ｉ及び図９Ｊに示すように、物品移動装置２Ａにより、基板９を所定位置に移動した後、作業部４（図２Ａ参照）を制御して、基板９に部品を実装する。このとき、作業部４により部品を基板９に実装する実装工程は、物品移動装置２Ａが吸引状態にあって、基板９が図９Ｉに示すように、ステージ３Ａに吸着された状態で行われる。このため、基板９を固定し、かつ、基板９の反りを抑制した状態で、基板９に対して部品が実装される。なお、この実装工程は、例えば、物品移動装置２Ａが休止状態にあるときに行われてもよい。

なお、本変形例の傾斜角度変更部５は、ステージ３Ａの上面３７を、上層３２Ａによる気体の制御方向である前方と同じ方向に向かって下り傾斜させるが、例えば、上層３２Ａによる気体の制御方向とは異なる方向である右方に向かって下り傾斜させてもよい。また、本変形例の傾斜角度変更部５は、省略可能である。また、本変形例の上層３２Ａによる気体の制御方向は、前方の１方向であるが、上記実施形態と同様に、前方と右方の２方向であってもよい。この場合、搬送部６は省略可能である。

（３−２）変形例２
図１１Ａ〜図１３に示す変形例２の物品移動装置２Ｂは、上記実施形態の物品移動装置２（図１参照）と同じ構成を有している。このため、以下の説明では、上記実施形態の物品移動装置２と同じ構成については、同一の符号を付して説明を省略する。

図１１Ａに示すように、物品移動装置２Ｂは、上記実施形態のステージ３（図１参照）に代わるステージ３Ｂを有している。ステージ３Ｂは、下層３１と、ガイド部３６とを有している。

ステージ３Ｂは、上記実施形態の上層３２（図１参照）に代わる上層３２Ｂを有している。上層３２Ｂは、変形例１の上層３２Ａ（図８参照）と同様に、一枚のシート３２０Ｂで構成されている。シート３２０Ｂは、変形例１のシート３２０Ａと同じ構成を有している。ただし、シート３２０Ｂの各第２壁部３３２の前後の壁面３３２０（図５Ａ参照）は、上下方向と平行であり、シート３２０Ｂの各第１壁部３３１（図５Ａ参照）は、上端に近い部分ほど右方に位置するように傾斜している。これにより、シート３２０Ｂの各第１壁部３３１の左右の壁面３３１０は、上端に近い部分ほど右方に位置するように傾斜している。したがって、シート３２０Ｂの複数の通気孔３４（図５Ａ参照）からステージ３Ｂ上に吹き出される気体の吹出方向は、複数の第１壁部３３１の壁面３３１０によって、右方に制御される。これにより、複数の通気孔３４からは、前後方向と直交する右斜め上方に気体が吹き出される。

図１３に示すように、本変形例の物品移動装置２Ｂは、傾斜角度変更部５を有している。傾斜角度変更部５は、変形例１の傾斜角度変更部５（図８参照）と同じ構成を有している。なお、本変形例の傾斜角度変更部５は、ステージ３Ｂの上面３７を、上層３２Ｂによる気体の制御方向（右方）と異なる方向（前方）に向かって下り傾斜させる。

本変形例の物品移動装置２Ｂは、通気路２２Ａ、切換部２３Ａ、複数のポート２０３Ａ、ベース３０Ａ及び傾斜角度変更部５を有している。通気路２２Ａ、切換部２３Ａ、複数のポート２０３Ａ及びベース３０Ａは、それぞれ、変形例１の通気路２２Ａ、切換部２３Ａ、複数のポート２０３Ａ及びベース３０Ｂと同じ構成を有している。

基板９に部品を実装するにあたり、制御部１０（図７参照）は、例えば、以下に示すように切換部２３Ａを制御して、基板９を部品が実装される所定位置まで搬送する。

基板９は、物品移動装置２Ｂによって搬送される前において、図１１Ａ及び図１１Ｂに示すように、休止状態にある物品移動装置２Ｂにおけるステージ３Ｂの水平な上面３７に沿って配置される。この状態で、制御部１０は、傾斜角度変更部５（図１３参照）を制御して、ステージ３Ｂの上面３７を、図１１Ｃに示すように、前下がりとなるように水平面に対して傾ける。これにより、ステージ３Ｂの上面３７に配置された基板９は、ステージ３Ｂの上面３７に沿って前方に移動する。

上述した基板９は、図１１Ｅ及び図１１Ｆに示すように、ステージ３Ｂの上面３７の前端部に位置するまで、前方に移動する。次に制御部１０は、図１１Ｅに示すように、物品移動装置２Ｂを吸引状態とし、上層３２Ｂ上の気体をステージ３Ｂによって吸引する。これにより、ステージ３Ｂの上面３７前端部に配置された基板９は、ステージ３Ｂに吸着され、上面３７と略平行な平面状となる。

次に制御部１０は、図１２Ａに示すように、物品移動装置２Ｂを吹出状態とし、上層３２Ｂから、右斜め上方に向かって気体を吹き出す。これにより、ステージ３Ｂの上面３７に配置された基板９は、ステージ３Ｂ上に浮上し、かつ、図１２Ｂに示すように、ステージ３Ｂ上をガイド部３６の突出部分３６０の後面に沿って、右方に移動する。

上述した吹出状態は、ステージ３Ｂ上において右方に移動する基板９が、図１２Ｄに示すように、ステージ３Ｂ上の所定位置に配置されるまで維持される。次に制御部１０は、物品移動装置２を吸引状態とし、上層３２Ｂ上の気体をステージ３Ｂによって吸引する。これにより、ステージ３Ｂ上に配置された基板９は、図１２Ｃに示すように、ステージ３Ｂに吸着され、上面３７と略平行な平面状となる。なお、上述した制御部１０による制御は、例えばタイマ又は基板９を検知するセンサーの検知結果等に基づいて行われる。

制御部１０は、図１２Ｃ及び図１２Ｄに示すように、物品移動装置２Ｂにより基板９を所定位置に移動した後、作業部４（図２Ａ参照）を制御して、基板９に部品を実装する。このとき、作業部４により部品を基板９に実装する実装工程は、物品移動装置２Ｂが吸引状態にあって、基板９が図１２Ｃに示すように、ステージ３Ｂに吸着された状態で行われる。このため、基板９を固定し、かつ、基板９の反りを抑制した状態で、基板９に対して部品が実装される。なお、この実装工程は、例えば、物品移動装置２Ｂが休止状態にあるときに行われてもよい。

（４）まとめ
以上説明した、実施形態及び変形例から明らかなように、第１の態様の物品移動装置（２；２Ａ；２Ｂ）は、以下に示す構成を有する。物品移動装置（２；２Ａ；２Ｂ）は、ステージ（３；３Ａ；３Ｂ）を備える。ステージ（３；３Ａ；３Ｂ）は、物品を配置可能な上面（３７）を有する。ステージ（３；３Ａ；３Ｂ）は、上面（３７）上に気体を吹き出すことで物品を移動する。ステージ（３；３Ａ；３Ｂ）は、下層（３１）と、上層（３２；３２Ａ；３２Ｂ）とを有する。上層（３２；３２Ａ；３２Ｂ）は、下層（３１）上に位置している。下層（３１）は、複数の吹出孔（３１０）を有する。複数の吹出孔（３１０）は、上層（３２；３２Ａ；３２Ｂ）に向けて気体を吹き出す。上層（３２；３２Ａ；３２Ｂ）は、上面（３７）からの気体の吹出方向を制御する。

この態様によれば、下層（３１）の複数の吹出孔（３１０）から上層（３２；３２Ａ；３２Ｂ）に吹き出される気体の吹出方向が、下層（３１）とは別の層である上層（３２；３２Ａ；３２Ｂ）によって制御される。このため、下層（３１）と上層（３２；３２Ａ；３２Ｂ）とを別々に設計することができ、設計の自由度が高い。

第２の様態の物品移動装置（２；２Ａ；２Ｂ）は、第１の様態との組み合わせにより実現され得る。第２の様態の上層（３２；３２Ａ；３２Ｂ）は、複数の孔（通気孔（３４））を有する。複数の孔を、気体が通過する。複数の吹出孔（３１０）の各々は、複数の孔の各々よりも断面積が小さい孔である。

この態様によれば、下層（３１）の全体において、気体の吹出量に大きな差が生じることを抑制できる。

第３の態様の物品移動装置（２；２Ａ；２Ｂ）は、第２の態様との組み合わせにより実現され得る。第３の態様の下層（３１）は、多孔質層である。

この態様によれば、多孔質の下層（３１）が有する多数の細孔を、複数の孔（通気孔（３４））として利用できる。

第４の態様の物品移動装置（２；２Ａ；２Ｂ）は、第１〜第３のいずれか一つの態様との組み合わせにより実現され得る。第４の態様のステージ（３；３Ａ）は、上面（３７）に配置された物品を吸着する吸着機構を有する。

この態様によれば、気体によって移動したステージ（３；３Ａ）上の物品を、ステージ（３；３Ａ；３Ｂ）によって吸着して固定できる。

第５の態様の物品移動装置（２）は、第１〜第４のいずれか一つの態様との組み合わせにより実現され得る。第５の態様の上層（３２）は、気体の吹出方向を、上方から見て、少なくとも二つの異なる方向に制御する。

この態様によれば、上面（３７）に配置された物品を、上方から見て、少なくとも二つの異なる方向に移動することが可能になる。

第６の態様の物品移動装置（２；２Ａ；２Ｂ）は、第１〜第５のいずれか一つの態様との組み合わせにより実現され得る。第６の態様の上層（３２；３２Ａ；３２Ｂ）は、隔壁（３３）と、複数の通気孔（３４）とを有する。複数の通気孔（３４）には、気体が通過する。複数の通気孔（３４）の間が、隔壁（３３）で仕切られている。隔壁（３３）の壁面は、上下方向に対して傾斜している。

この態様によれば、隔壁（３３）の壁面（３３１０：３３２０）によって、気体の吹出方向を制御できる。

第７の態様の物品移動装置（２）は、第６の態様との組み合わせにより実現され得る。第７の態様の上層（３２）は、第１シート（３２１）と、第２シート（３２２）とを有する。第２シート（３２２）は、第１シート（３２１）と同一平面内に位置している。第１シート（３２１）及び第２シート（３２２）の各々は、隔壁（３３）と、複数の通気孔（３４）とを含む。第１シート（３２１）の隔壁（３３）の壁面（３２１０）と、第２シート（３２２）の隔壁（３３）の壁面（３２２０）とは、上下方向に対して異なる方向に傾いている。

この態様によれば、第１シート（３２１）の壁面（３２１０）の向きと、第２シート（３２２）の壁面（３２２０）の向きとを異ならせて、気体の吹出方向を異なる２方向に制御できる。

第８の態様の物品移動装置（２）は、第７の態様との組み合わせにより実現され得る。第８の態様の上層３２は、複数の第１シート（３２１）と、複数の第２シート（３２２）とを備える。複数の第１シート（３２１）及び複数の第２シート（３２２）は、第１シート（３２１）と第２シート（３２２）とが交互に位置するように配置されている。

この態様によれば、ステージ（３）の上面（３７）において広範囲に配置された物品を、複数の第１シート（３２１）及び複数の第２シート（３２２）から吹き出された気体により、移動できる。

第９の態様の物品移動装置（２；２Ｂ）は、第１〜第８のいずれか一つの態様との組み合わせにより実現され得る。第９の態様のステージ（３；３Ｂ）は、ガイド部（３６）を更に備える。ガイド部（３６）は、上面（３７）から上方に向かって突出し、上面（３７）に配置された物品の移動をガイドする。

この態様によれば、ガイド部（３６）によってステージ（３；３Ｂ）の上面（３７）に配置された物品の移動をガイドすることができる。

第１０の態様の物品移動装置（２Ａ）は、第１〜第９のいずれか一つの態様との組み合わせにより実現され得る。第１０の態様の物品移動装置（２Ａ；２Ｂ）は、傾斜角度変更部（５）を更に備える。傾斜角度変更部（５）は、上面（３７）の水平面に対する傾斜角度を変更する。

この態様によれば、ステージ（３Ａ；３Ｂ）から吹き出した気体と、上面（３７）の水平面に対する傾斜角度を変更することとにより、上面（３７）に配置された物品を移動できる。

第１１の態様の物品移動装置（２Ｂ）は、第１０の態様との組み合わせにより実現され得る。第１１の態様の傾斜角度変更部（５）は、上面（３７）を、気体の制御方向と異なる方向に向かって下り傾斜するように傾ける。

この態様によれば、ステージ（３Ｂ）の上面（３７）を、傾斜角度変更部（５）によって、気体の制御方向と異なる方向に向かって下り傾斜させることで、物品を気体の制御方向とは異なる方向に移動できる。

第１２の態様の物品移動装置（２Ａ）は、第１〜第１１のいずれか一つの態様との組み合わせにより実現され得る。第１２の態様の物品移動装置（２Ａ）は、搬送部（６）を更に備える。搬送部（６）は、上面（３７）に配置された物品に接した状態で、物品を搬送する。

この態様によれば、ステージ（３Ａ）の上面（３７）に配置された物品を、ステージ（３Ａ）から吹き出された気体と、搬送部（６）とによって移動できる。

第１３の態様の物品移動装置（２）は、第１〜第１２のいずれか一つの態様との組み合わせにより実現され得る。第１３の態様の下層（３１）は、複数のエリア（３５）を有する。複数のエリア（３５）は、上方から見て互いに異なる位置に配置される。複数のエリア（３５）は、エリア（３５）毎に、物品に対して気体を吹出可能又は物品を吸着可能である。

第１３の態様によれば、ステージ（３）の上面（３７）に配置された物品を、エリア（３５）毎に移動又は吸着することができる。

また、上記実施形態及び変形例から明らかなように、第１４の態様の作業装置は、以下に示す構成を有する。作業装置は、第１〜第１３のいずれか一つの態様の物品移動装置（２；２Ａ；２Ｂ）と、作業部（４）とを備える。物品移動装置（２；２Ａ；２Ｂ）は、物品として基板（９）を移動する。作業部（４）は、基板（９）に対して作業を行う。

この態様によれば、物品移動装置（２；２Ａ；２Ｂ）により移動した基板（９）に対して、作業部（４）により作業を行うことができる。

また、上記実施形態及び変形例から明らかなように、第１５の態様の物品移動方法は、工程を含む。この工程は、下層（３１）と、下層（３１）上に位置した上層（３２；３２Ａ；３２Ｂ）とを有するステージ（３；３Ａ；３Ｂ）の上面（３７）に物品が配置された状態で、ステージ（３；３Ａ；３Ｂ）から上面（３７）上に気体を吹き出して物品を移動する工程である。この工程において、下層（３１）が有する複数の吹出孔（３１０）から上層（３２；３２Ａ；３２Ｂ）に向けて気体を吹き出し、上層（３２；３２Ａ；３２Ｂ）により上面（３７）からの気体の吹出方向を制御する。

この態様によれば、下層（３１）の複数の吹出孔（３１０）から上層（３２；３２Ａ；３２Ｂ）に吹き出される気体の吹出方向が、下層（３１）とは別の層である上層（３２；３２Ａ；３２Ｂ）によって制御される。このため、下層（３１）と上層（３２；３２Ａ；３２Ｂ）とを別々に設計することができ、設計の自由度が高い。

１ 実装装置（作業装置）
２，２Ａ、２Ｂ 物品移動装置
３，３Ａ，３Ｂ ステージ
３１ 下層
３１０ 吹出孔
３２，３２Ａ，３２Ｂ 上層
３２１ 第１シート
３２２ 第２シート
３３ 隔壁
３３１０ 壁面
３３２０ 壁面
３４ 通気孔（孔）
３５ エリア
３６ ガイド部
３７ 上面
４ 作業部
５ 傾斜角度変更部
６ 搬送部

Claims (15)

1. 物品を配置可能な上面を有し、前記上面上に気体を吹き出すことで前記物品を移動するステージを備え、
   前記ステージは、
   下層と、
   前記下層上に位置した上層とを有し、
   前記下層は、
   前記上層に向けて前記気体を吹き出す複数の吹出孔を有し、
   前記上層は、前記上面からの前記気体の吹出方向を制御する、
   物品移動装置。
2. 前記上層は、
   前記気体が通過する複数の孔を有し、
   前記複数の吹出孔の各々は、前記複数の孔の各々よりも断面積が小さい孔である、
   請求項１に記載の物品移動装置。
3. 前記下層は、多孔質層である、
   請求項２に記載の物品移動装置。
4. 前記ステージは、
   前記上面に配置された前記物品を吸着する吸着機構を有する、
   請求項１〜３のいずれか１項に記載の物品移動装置。
5. 前記上層は、前記気体の吹出方向を、上方から見て、少なくとも二つの異なる方向に制御する、
   請求項１〜４のいずれか１項に記載の物品移動装置。
6. 前記上層は、
   隔壁と、
   前記気体が通過する複数の通気孔とを有し、
   上記複数の通気孔の間が前記隔壁で仕切られており、
   前記隔壁の壁面は、上下方向に対して傾斜した、
   請求項１〜５のいずれか１項に記載の物品移動装置。
7. 前記上層は、
   第１シートと、
   前記第１シートと同一平面内に位置した第２シートとを有し、
   前記第１シート及び前記第２シートの各々は、
   前記隔壁と、
   前記複数の通気孔とを含み、
   前記第１シートの前記隔壁の前記壁面と前記第２シートの前記隔壁の前記壁面とは、上下方向に対して異なる方向に傾いた、
   請求項６に記載の物品移動装置。
8. 前記上層は、
   複数の前記第１シートと、
   複数の前記第２シートとを備え、
   前記複数の第１シート及び前記複数の第２シートは、前記第１シートと前記第２シートとが交互に位置するように配置された、
   請求項７に記載の物品移動装置。
9. 前記ステージは、
   前記上面から上方に向かって突出し、前記上面に配置された前記物品の移動をガイドするガイド部を更に備えた、
   請求項１〜８のいずれか１項に記載の物品移動装置。
10. 前記上面の水平面に対する傾斜角度を変更する傾斜角度変更部を更に備えた、
    請求項１〜９のいずれか１項に記載の物品移動装置。
11. 前記傾斜角度変更部は、前記上面を、前記気体の制御方向と異なる方向に向かって下り傾斜するように傾ける、
    請求項１０に記載の物品移動装置。
12. 前記上面に配置された前記物品に接した状態で、前記物品を搬送する搬送部を更に備えた、
    請求項１〜１１のいずれか１項に記載の物品移動装置。
13. 前記下層は、
    上方から見て互いに異なる位置に配置された複数のエリアを有し、
    前記複数のエリアは、前記エリア毎に、前記気体を吹出可能又は前記物品を吸着可能である、
    請求項１〜１２のいずれか１項に記載の物品移動装置。
14. 請求項１〜１３のいずれか１項に記載の物品移動装置と、
    作業部とを備え、
    前記物品移動装置は、前記物品として基板を移動し、
    前記作業部は、前記基板に対して作業を行う、
    作業装置。
15. 下層とこの下層上に位置した上層とを有するステージの上面に物品が配置された状態で、前記ステージから前記上面上に気体を吹き出して前記物品を移動する工程を含み、
    前記工程において、前記下層が有する複数の吹出孔から前記上層に向けて前記気体を吹き出し、前記上層により前記上面からの気体の吹出方向を制御する、
    物品移動方法。

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