JP5776213B2 - フィルム吸着装置 - Google Patents
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Description
この構成を採用することによって、本発明では、膨出した吸着面を有する真空チャックを移動させて、フィルムを順次吸着しながら、フィルムを順次引き離すことができる。これにより、フィルム全体を一度に引き離すことなく、その一部を端から順次引き離すことができるので、大きな力を作用させずにフィルムの引き離しを行うことができる。
この構成を採用することによって、本発明では、吸着面の少なくとも一方の端部に対応する位置に設けられた圧力室の負圧が他の位置の圧力室の負圧よりも大きいので、最初にフィルム面と接触する当該一方の端部における吸着の安定性を高め、フィルムの端を脱落させることなく順次フィルムの引き離しを行うことができる。
この構成を採用することによって、本発明では、吸着面の少なくとも一方の端部に対応する位置に設けられた圧力室の幅が他の位置の圧力室の幅よりも小さいので、膨出した形状の吸着面であっても、最初にフィルム面と接触する当該一方の端部における負圧の立ち上りを確実に行うことができ、フィルムの端を脱落させることなく順次フィルムの引き離しを行うことができる。
この構成を採用することによって、本発明では、吸着面の少なくとも一方の端部に対応する位置に設けられた圧力室の容積が他の位置の圧力室の容積よりも小さいので、最初にフィルム面と接触する当該一方の端部における負圧の立ち上りの速応性を高めることができ、フィルムの端を脱落させることなく順次フィルムの引き離しを行うことができる。
この構成を採用することによって、本発明では、無数の微細な孔部によって吸着面が形成されるので、吸着したフィルムの引き込み変形等による窪みやシワよれを抑制できる。
この構成を採用することによって、本発明では、吸着面の少なくとも一方の端部に対応する位置に設けられた多孔質体の孔部の径が他の位置の多孔質体の孔部の径よりも大きいので、最初にフィルム面と接触する当該一方の端部における負圧の立ち上りの速応性を高めることができ、フィルムの端を脱落させることなく順次フィルムの引き離しを行うことができる。
したがって、本発明では、フィルムの引き離しを容易に行うことができる。
図4は、本発明の実施形態におけるフィルム吸着装置1の吸着動作を説明するための図である。
なお、所定の位置に搬送した後、フィルムAを置く場合は、上記の反対の動作をすれば良い。また、フィルムAが吸着面10aから剥がれ難いときは、各圧力室12を正圧として噴き付けるようにしても良い。
したがって、本実施形態では、フィルムAの引き離しを容易に行うことができる。
Claims (5)
- フィルムの一方のフィルム面を吸着するフィルム吸着装置であって、
長さ方向に複数の圧力室を有すると共に、前記複数の圧力室とそれぞれ独立して連通し且つ前記長さ方向の両端部の間において膨出した吸着面を有する真空チャックと、
前記吸着面を前記フィルム面に対して前記長さ方向の両端部のうち一方の端部から他方の端部まで順次接触させる移動装置と、を有し、
前記吸着面の前記両端部のうち少なくとも前記一方の端部に対応する位置に設けられた前記圧力室の前記長さ方向における幅は、前記両端部に対応する位置と異なる他の位置に設けられた前記圧力室の前記長さ方向における幅よりも小さいことを特徴とするフィルム吸着装置。 - フィルムの一方のフィルム面を吸着するフィルム吸着装置であって、
長さ方向に複数の圧力室を有すると共に、前記複数の圧力室とそれぞれ独立して連通し且つ前記長さ方向の両端部の間において膨出した吸着面を有する真空チャックと、
前記吸着面を前記フィルム面に対して前記長さ方向の両端部のうち一方の端部から他方の端部まで順次接触させる移動装置と、を有し、
前記吸着面の前記両端部のうち少なくとも前記一方の端部に対応する位置に設けられた前記圧力室の容積は、前記両端部に対応する位置と異なる他の位置に設けられた前記圧力室の容積よりも小さいことを特徴とするフィルム吸着装置。 - 前記吸着面は、多孔質体から形成されていることを特徴とする請求項1または2に記載のフィルム吸着装置。
- フィルムの一方のフィルム面を吸着するフィルム吸着装置であって、
長さ方向に複数の圧力室を有すると共に、前記複数の圧力室とそれぞれ独立して連通し且つ前記長さ方向の両端部の間において膨出した吸着面を有する真空チャックと、
前記吸着面を前記フィルム面に対して前記長さ方向の両端部のうち一方の端部から他方の端部まで順次接触させる移動装置と、を有し、
前記吸着面は、多孔質体から形成されており、
前記吸着面の前記両端部のうち少なくとも前記一方の端部に対応する位置に設けられた前記多孔質体の孔部の径は、前記両端部に対応する位置と異なる他の位置に設けられた前記多孔質体の孔部の径よりも大きいことを特徴とするフィルム吸着装置。 - 前記吸着面の前記両端部のうち少なくとも前記一方の端部に対応する位置に設けられた前記圧力室の負圧は、前記両端部に対応する位置と異なる他の位置に設けられた前記圧力室の負圧よりも大きいことを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載のフィルム吸着装置。
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