TW201440975A - 吸附裝置 - Google Patents

Abstract

一種吸附裝置(1)，其具有：吸附部(2)，抵接在吸附對象物(9)上，形成有複數吸引孔(8)；側壁(3)及頂壁(4)，形成與吸附部(2)協同動作而概略密閉之負壓室(10)；閥體(13)，呈銷狀，自負壓室(10)延伸至吸引孔(8)內；以及閉塞部(16)，藉閥體(13)在吸引孔(8)內滑動，閥體(13)局部與吸引孔(8)的內壁的局部相密接，以閉塞吸引孔(8)；閥體(13)具有位於負壓室(10)之做為一邊的端部之根部(13a)，根部(13a)被呈板狀之可撓體(17)固定，可撓體(17)係在負壓室內(10)，橫跨側壁(3)間以被固定，且具有可撓性，可撓體(17)具有複數之貫穿孔(19)。

Description

吸附裝置

本發明係關於一種用於吸附保持基板之吸附裝置。

當在基板製造程序中處理基板時，使用有吸附保持如基板之板材之吸附裝置(參照例如專利文獻1)。如專利文獻1之吸附裝置藉吸引空氣，利用負壓以吸附保持板材。具體說來，專利文獻1之吸附裝置，係具有在被吸引之孔內，可自由移動之閥體，前述閥體係利用藉重力而被作用之動作，謀求由對板材之負壓所做之保持。

【先行技術文獻】

【專利文獻】

【專利文獻1】日本特開2005-28489號公報

但是，當利用上述重力之作用時，僅在吸引孔朝下時才可使用。當使板材在上側時，閥體藉重力而下降，閥體會閉塞負壓室與板材之間，無法吸引保持板材。

本發明係考慮上述先前技術而研發出者，其目的在於提供一種對於做為吸附對象物之板材(基板)之空氣的吸引方向，不論朝向何種方向，都可確實吸引保持吸附對象物之 吸附裝置。

為達成上述目的，在本發明中，係提供一種吸附裝置，具有：吸附部，抵接在吸附對象物上，形成有複數吸引孔；側壁及頂壁，形成與前述吸附部協同動作而概略密閉之負壓室；閥體，呈銷狀，自前述負壓室延伸至前述吸引孔內；以及閉塞部，藉前述閥體在前述吸引孔內滑動，前述閥體局部與前述吸引孔的內壁的局部相接觸，以閉塞前述吸引孔；其特徵在於：前述閥體具有位於前述負壓室，且做為一邊的端部之根部，前述根部被呈板狀之可撓體固定，前述可撓體係在前述負壓室內，橫跨前述側壁間以被固定，且具有可撓性，前述可撓體具有複數之貫穿孔。

最好露出前述吸附對象物側之前述吸引孔的開口部的孔徑係小於2mm。

最好前述吸引孔的軸線間的間隔係小於3mm。

當依據本發明時，使閥體為銷形狀，其根部在負壓室內被固定，所以，閥體藉重力無法在吸引孔內自由移動。因此，對於做為吸附對象物之板材(基板)之空氣的吸引方向，不論朝向何種方向，可防止閥體藉重力移動，以閉塞部阻塞吸引孔。因此，可確實吸引保持吸附對象物。又，即使在吸附對象物有與吸引孔連通，而與吸附對象物的外部相連通之部分(連通部)，閥體的根部被固定在具有可撓性之可撓體上，所以，在吸引時，可撓體撓曲以移動閥體，以閉塞部閉塞該吸引孔，所以，可維持負壓室內的負壓，以確實吸引保持吸附對象 物。又，在可撓體設有複數個貫穿孔，所以，負壓室不被可撓體阻塞，可確實確保自吸引幫浦至吸引孔之吸引路徑，可確實吸引保持吸附對象物。

又，藉使開口部的孔徑小於2mm，可減少各吸引孔的吸附力。因此，即使吸附對象物重疊，吸引孔與位於更外側之其他吸附對象物係透過前述連通部而相通，也不會吸引其他之吸附對象物。因此，可提高處理性。又，確認到藉做成這樣的小直徑吸引孔，即使係很薄的玻璃基板，也不產生吸引孔造成之吸引痕跡。

又，藉使吸引孔的軸線間的間隔小於3mm，吸引孔變密。確認到藉這種間隔，即使在吸附對象物有較多之前述連通部，也可以適用到該吸附對象物而吸引保持之。

1‧‧‧吸附裝置

2‧‧‧吸附部

3‧‧‧側壁

4‧‧‧頂壁

5‧‧‧片材

6‧‧‧片材

7‧‧‧片材

8‧‧‧吸引孔

8a‧‧‧開口部

9‧‧‧基板(吸附對象物)

10‧‧‧負壓室

11‧‧‧螺栓

12‧‧‧連接管

13‧‧‧閥體

13a‧‧‧根部

13b‧‧‧尖端部

14‧‧‧擴徑部

15‧‧‧擴徑部

16‧‧‧閉塞部

17‧‧‧可撓部

18‧‧‧螺絲

19‧‧‧貫穿孔

20‧‧‧穿孔(連通部)

第1圖係表示本發明吸附裝置一例之示意圖。

第2圖係表示本發明吸附裝置一例之放大示意圖。

第3圖係吸附部之示意圖。

如第1圖及第2圖所示，本發明之吸附裝置1具有吸附部2、側壁3及頂壁4。在本例中，吸附部2成為重疊有片材5，6，7之三層構造。在各片材5，6，7形成貫穿該片材5，6，7之複數貫穿孔，這些貫穿孔係彼此連通以形成吸引孔8。因此，在吸附部2形成有複數個吸引孔8。片材5，6係例如以壓克力製之板材製成。片材7係抵接在必須吸引保持且 做為吸附對象物之基板9上，所以，最好其係橡膠製之橡膠片。

側壁3及頂壁4係形成有與吸附部2協同動作且略微密閉之負壓室10。具體說來，係使側壁3分別相向以形成四邊，在一邊的端部配置頂壁4，在另一邊的端部配置吸附部2，以形成箱體。頂壁4、側壁3及片材5，6，係例如藉螺栓11彼此鎖固固定。板材7例如被接著固定在片體6上。如此一來，被形成之箱體的內部成為負壓室10。在頂壁4貫穿有連接管12，透過此連接管12，負壓室10係與吸引幫浦(未圖示)連通。藉作動吸引幫浦，負壓室10內的空氣被吸引，可使負壓室10內成為負壓狀態。

在吸引孔8內配設有銷形狀之閥體13。閥體13可在吸引孔8內，於吸引孔8的軸向滑動。做為閥體13的一邊端部之根部13a被配設在負壓室10內。做為閥體13的另一邊端部之尖端部13b被配設在吸引孔8內。亦即，閥體13係自負壓室10延伸至吸引孔8內。尖端部13b具有往尖端逐漸擴徑之擴徑部14。另外，吸引孔8(在圖中，係被形成於片材5上之貫穿孔)係具有往閥體13的尖端部13側逐漸擴徑之擴徑部15。當閥體13滑動到根部13a側時，做為閥體13局部之擴徑部14與做為吸引孔8局部之擴徑部15密接。如此一來，藉擴徑部14，15密接，閉塞部16被形成，形成有閉塞部16之吸引孔8係被閉塞，而空氣的流通被遮斷。

在相向之側壁4間，可撓體17被橫跨架設而被固定。可撓體17具有可撓性，可使用例如橡膠板或板狀彈簧，或者，樹脂系之板材。可撓體17的兩端係例如對於側壁4，使 用螺絲18而被螺固。在可撓體17係以適當間隔，形成有複數個貫穿孔19。

當使用這種吸附裝置1，以吸引保持做為吸附對象物之基板9時，首先，抵接吸附部2的板材9到基板9上。在此狀態下，作動上述吸引幫浦，吸引負壓室10內的空氣。如第2圖所示，露出吸引孔8的基板9側之開口部8a藉基板9被阻塞，所以，藉吸引幫浦被吸引之空氣流成為箭頭A所示。亦即，自吸引孔8通過吸引孔8與閥體13之間，通過可撓體17的貫穿孔19，自負壓室10流出。藉此，負壓室10內成為負壓。此時，自吸引幫浦至基板9之吸引空氣的流路被確保，所以，可藉吸附裝置1吸引保持基板9。

而且，對於基板9之吸引孔8內的空氣的吸引方向，不論朝向何方，皆可吸引保持基板9。亦即，如第2圖所示，也可以使開口部8a朝向下方，也可以朝向橫向或朝上之任何角度。其係因為使閥體13成銷形狀，而且其根部13a在負壓室10內被固定，所以，閥體13不會因為重力而在吸引孔8內自由移動。閥體13不因為重力而被作用，所以，即使使開口部8a朝向上方以吸引，閥體不會因為重力而下降，不會形成閉塞部16。因此，不論對於做為吸引對象物之板材(基板9)之空氣的吸引方向朝向何方，皆可防止閥體13因為重力而移動，以藉閉塞部16阻塞吸引孔8。因此，可確實吸引保持基板9。而且，在吸引時，可撓體17些微撓曲，而閥體13移動到負壓室10側，但是，負壓室10內係真空狀態，所以，直到形成閉塞部16，閥體13不移動到負壓室10側。

另外，在基板9施加有種種加工。例如貫穿基板9之穿孔20(參照第1圖)。當有這種穿孔20時，如上所述，當閥體13被固定時，空氣自基板9的外部流入吸引孔8內，所以，無法維持負壓室10內的負壓，基板9的吸引保持變得不穩定。但是，可撓體17具有可撓性，所以，可撓體17藉吸引幫浦的吸引作用更加撓曲，使閥體13移動到負壓室10側。藉此，擴徑部14與擴徑部15密接而閉塞部16被形成。因此，負壓室10內被維持負壓狀態而成為真空狀態，可藉其他吸引孔8吸引保持基板9。

前述穿孔20係被施加形狀加工到基板9，以在連通部8與基板9的外部間，確保空氣的流通路徑之部分(連通部)之一例。這種連通部其他有在基板製造程序中，於分割基板之部分，切入至基板的半途深度之V切口。即使在前述V切口部分配置開口部8a，可撓體17也撓曲而形成閉塞部16，負壓室10內的負壓狀態被維持。如此一來，僅滑動被插入配設在連通部上之吸引孔8內之閥體13，所以，最好在固定有根部13a之周圍設置貫穿孔19。藉此，可僅確實滑動該閥體13。又，這種閥體13的移動係在吸引時自動進行，所以，無須考慮被形成在基板9上之連通部的位置，可進行吸引保持作業，非常有效率。又，藉改變可撓體17的材質等，可改變撓曲量。

如第3圖所示，具有吸附部2之片材7，係在做為吸附對象物之基板9側露出有吸引孔8的開口部8a。開口部8a的孔徑d最好小於2mm。藉使開口部8a的孔徑小於2mm，可減少各吸引孔8的吸附力。因此，即使做為吸附對象物之基 板9重疊，吸引孔8與更位於外側之其他吸附對象物，透過前述連通部20相通，也不會吸引其他的吸附對象物9。因此，可提高處理性。又，確認到藉使吸引孔8為小直徑，即使吸附對象物9係較薄的玻璃基板，也不會產生吸引孔8所造成之吸引痕跡。

又，如第3圖所示，最好吸引孔8的軸線間的間隔小於3mm。藉使吸引孔8的軸線間的間隔p小於3mm，吸引孔8變得較密。確認到藉做成這種間隔，即使在吸附對象物9具有多數個連通部20，也可以適用到該吸附對象物9而吸引保持之。

1‧‧‧吸附裝置

2‧‧‧吸附部

3‧‧‧側壁

4‧‧‧頂壁

5‧‧‧片材

6‧‧‧片材

7‧‧‧片材

8‧‧‧吸引孔

8a‧‧‧開口部

9‧‧‧基板(吸附對象物)

10‧‧‧負壓室

11‧‧‧螺栓

12‧‧‧連接管

13‧‧‧閥體

13a‧‧‧根部

13b‧‧‧尖端部

16‧‧‧閉塞部

17‧‧‧可撓部

18‧‧‧螺絲

19‧‧‧貫穿孔

20‧‧‧穿孔(連通部)

Claims (3)

1. 一種吸附裝置，具有：吸附部，抵接在吸附對象物上，形成有複數吸引孔；側壁及頂壁，形成與前述吸附部協同動作而概略密閉之負壓室；閥體，呈銷狀，自前述負壓室延伸至前述吸引孔內；以及閉塞部，藉前述閥體在前述吸引孔內滑動，前述閥體局部與前述吸引孔的內壁的局部相接觸，以閉塞前述吸引孔，其特徵在於：前述閥體具有位於前述負壓室，且做為一邊的端部之根部，前述根部被呈板狀之可撓體固定，前述可撓體係在前述負壓室內，橫跨前述側壁間以被固定，且具有可撓性，前述可撓體具有複數之貫穿孔。
2. 如申請專利範圍第1項所述之吸附裝置，其中，露出前述吸附對象物側之前述吸引孔的開口部的孔徑係小於2mm。
3. 如申請專利範圍第2項所述之吸附裝置，其中，前述吸引孔的軸線間的間隔係小於3mm。