CN100362643C - 基板吸附装置 - Google Patents

Abstract

在壳体(1)的开口部(1b)内的管部件(15)上载置吸附基座(16)，该吸附基座(16)设有吸附部(16a)以及与壳体(1)的开口部内壁至少在三点上进行点接触的、弯曲形成为半球面状的接触面部(16c)，该吸附基座(16)和滑动部件(9)之间架设有细丝(24)。

Description

基板吸附装置

技术领域

本发明涉及对例如在平板显示器(以下省略为FPD)上使用的玻璃基板或半导体晶片等薄板基板进行吸附并加以保持的基板吸附装置。

背景技术

在吸附并保持大型薄板状的玻璃基板时，即使玻璃基板产生翘曲或弯曲，也必须可靠地进行吸附。因此要求吸附部能够模仿玻璃基板的翘曲或弯曲，而自由度较高地进行操作。在日本特开平10-86086号公报公开的吸附装置中，吸附基座(pad)和按压框体之间具有间隙，通过该间隙能够使吸附基座倾斜。如果增大该吸附基座的倾斜度，则由于吸附基座和按压框体之间的间隙，在吸附玻璃基板时会沿水平方向移动。如果吸附基座水平移动，则会导致玻璃基板错位。因此，不能高精密度地对玻璃基板进行定位，同时，在搬运中由于玻璃基板摆动，而不能进行稳定的搬运。

如果为了高精密度地对玻璃基板进行定位，使玻璃基板在搬运中不再摆动，而使吸附工具和收容孔之间的间隙减小，则吸附工具向倾斜方向的移动受到限制。因此，吸附基座难以模仿玻璃基板的翘曲或弯曲进行倾斜。

发明内容

根据本发明的主要观点，能够提供一种基板吸附装置，其包括：壳体，其形成为中空状且在顶端部具有开口部；吸附基座支撑部件，设置在壳体的中空形状内，并且设有抽吸空气的空气引导通路；吸附基座，其在从壳体的开口部突出的状态下被载置在吸附基座支撑部件上，与壳体的开口部至少在3点上进行点接触且能够摆头，并且设有与空气引导通路气密地连通的空气抽吸孔；以及吸附基座保持装置，其将吸附基座保持在壳体的开口部。

附图说明

图1是表示本发明的基板吸附装置的第1实施方式的结构图。

图2是表示相同装置中的吸附基座的吸附部的另外一个例子的结构图。

图3是表示相同装置中的第1以及第2支撑板的结构图。

图4A是表示相同装置中的吸附基座开始模仿弯曲的玻璃基板的状态的图。

图4B是表示相同装置中的吸附基座吸附弯曲的玻璃基板的状态的图。

图4C是表示通过相同装置中的吸附基座矫正玻璃基板的动作的图。

图5是表示使用相同装置的空气悬浮搬运装置的俯视结构图。

图6是表示相同装置的侧视结构图。

图7是表示使用相同装置的大型基板检查装置的检查台(stage)的结构图。

图8是表示本发明的基板吸附装置的第2实施方式的特征部分的结构图。

图9A是表示在相同装置中使用金属丝(wire)的变形例的结构图。

图9B是表示在相同装置中使用金属丝的变形例的结构图。

图10是表示在相同装置中的吸附基座的变形例的结构图。

图11是表示本发明的基板吸附装置的第3实施方式的结构图。

图12A是表示相同装置的吸附基座开始吸附玻璃基板的动作的图。

图12B是表示相同装置的吸附基座与玻璃基板抵接状态的图。

图12C是表示相同装置的吸附基座吸附玻璃基板的状态的图。

图13是表示本发明的基板吸附装置的第4实施方式的结构图。

图14是使用相同装置的大型基板自动搬运用装置的臂部的结构图。

图15是表示本发明的在空气悬浮搬运装置上使用第1以及第2基板吸附装置的第5实施方式的结构图。

图16是表示在相同基板吸附装置上使用的空气真空抽吸系统的图。

图17是表示本发明的在空气悬浮搬运装置上使用基板吸附装置的第6实施方式的结构图。

图18是表示本发明的在空气悬浮搬运装置上使用基板吸附装置的第6实施方式的结构图。

图19是表示本发明的基板吸附装置中的空气真空抽吸系统的变形例的图。

图20A是表示吸附基座的接触面部的形状的变形例的图。

图20B是表示吸附基座的接触面部的形状的变形例的图。

图20C是表示吸附基座的接触面部的形状的变形例的图。

图20D是表示吸附基座的接触面部的形状的变形例的图。

图20E是表示吸附基座的接触面部的形状的变形例的图。

具体实施方式

以下参照附图对本发明的第1实施方式进行说明。

图1是基板吸附装置E₁的结构图。壳体1用金属制成、形成为中空形状的圆筒状，在其内部形成中空部2。在该壳体1的一端的顶端侧形成具有圆形端部1a的开口部1b。在该壳体1的另一端的底部开口部内壁设置螺纹部1c。该壳体1的底部被安装在装置主体(unit body)4上，该装置主体4被安装在基板吸附装置E₁用的安装台3上。

装置主体4具有与壳体1的内径大体一致的外径，并且形成为内部设有空气引导通路5的中空形状。在该装置主体4的外周面上设置螺纹部4a。由此，通过螺纹部1c与螺纹部4a的螺合，使壳体1相对于装置主体4可以安装、拆卸。在装置主体4的下部突出设置有螺纹部4b，以相对于基板吸附装置E₁用的安装台3进行安装。通过将螺纹部4b与基板吸附装置E₁用的安装台3的螺纹部螺合，该装置主体4相对于安装台3可以安装、拆卸。

在该装置主体4的中空形状内部设置螺纹部4c。并且，在装置主体4的外周面上设置螺纹部4d。在该螺纹部4d上螺合螺母6。该螺母6通过螺紧在螺纹部4d上而对装置主体4相对于壳体1的安装位置进行固定。

在壳体1的下部的内壁面的周向上设置槽7。该槽7的位置与装置主体3的顶端部相对应。在该槽7内和装置主体3的顶端部之间夹持有防止空气泄露用的O型环8。

在壳体1的中空部2内且在装置主体3的顶端部一侧设置滑动部件9。该滑动部件9可以沿着中空部2的方向在壳体1的中空部2内滑动。该滑动部件9是将厚壁圆筒部10和薄壁圆筒部11一体地形成而构成的部件。

厚壁圆筒部10形成有与壳体1的中空部2的内径大体一致的直径，其外周面紧贴在壳体1的中空部2的内面上。在该厚壁圆筒部10的外周面上设置槽12，在该槽12内设置V字密封垫13。该V字密封垫13在从装置主体4的空气引导通路5进行真空抽吸时打开成V字，能够防止壳体1的中空部2与滑动部件9之间的空气泄露，以保持气密性。

薄壁圆筒部11形成有与装置主体4的空气引导通路5的内径大体一致的直径，其外周面紧贴在装置主体4的空气引导通路5内。该薄壁圆筒部11相对空气引导通路5内部可插脱地进行设置。

在厚壁圆筒部10以及薄壁圆筒部11的内部设置空气引导通路14，该空气引导通路14与装置主体4的空气引导通路5相连通。

在滑动部件9的上部设置作为吸附基座支撑部件的管部件15。该管部件15通过弹性材料形成为圆筒状，并且在上部形成紧贴在吸附基座16上的折皱状的弯曲部17。该管部件15通过螺纹部18螺合安装在滑动部件9中的空气引导通路14内。在该管部件15的内部形成空气引导通路19。该空气引导通路19与滑动部件9的空气引导通路14气密地连通。

吸附基座16被载置在管部件15的上部。该吸附基座16从壳体1的开口端1a突出。该吸附基座16、例如由工程塑料等树脂制成。该吸附基座16通过被载置在管部件15上，能够在管部件15上摆头。该吸附基座16具有：吸附部16b，其在表面上具有平面形状的吸附面16a；以及接触面部16c，其具有在该吸附部16b的背面下垂并一体地形成的曲面。在该吸附部16b的中央部设置空气抽吸孔16d。吸附部16b形成有与壳体1相同的外径。吸附基座16下降到壳体1内时，该吸附部16b背面的外周边缘16e与壳体1的开口端1a进行面接触，使下降停止。因此，壳体1的开口端1a成为吸附基座16下降的止挡件，同时成为将吸附基座16的吸附面16a的倾斜维持成水平的基准平面。

吸附部16b形成与壳体1大致相同的外径即可，但如图2所示，也可以形成为从壳体1的外周面向外周侧长出长度D。如果是这样的吸附部16b，则吸附面16a的面积变大，即使吸附面16a的任何部分与玻璃基板接触，在接触时所施加力的作用点与吸附部16b的中心位置P的距离变长，由此通过稍微加力就使吸附基座16在管部件15上摆头。

接触面部16c呈圆筒状，其外周面弯曲形成为在上下方向的中间部具有最大直径的半球面状。该接触面部16c形成为最大外径尺寸稍微小于壳体1的中空部2(开口端1a)的内径尺寸，沿上下方向可移动地插入壳体1的开口部1b内。该接触面部16c相对于壳体1的中空部2的内壁2a被支撑为至少在三点处进行点接触。该接触面部16c与壳体1的中空部2的内壁2a之间的接触不必只限定于至少三点，通过吸附基座16的摆头，在接触面部16c的同一周向的线上多个点处进行接触，或者在同一周向的线上进行线接触。通过这种接触面部16c与壳体1的中空部2的内壁2a之间的接触，能够减少接触面部16c与壳体1的内壁2a之间的摩擦阻力，吸附基座16a能够进行平稳的摆头动作。

在吸附基座16的空气抽吸孔16d内设置环状的台阶差20。在该台阶差20上设置如图3所示的第1支撑板21。该第1支撑板21形成为圆板状，设有用于使空气流通的两个孔21a、21b。

在滑动部件9的空气引导通路14内设置环状的台阶差22。在该台阶差22上设置与第1支撑板21形状相同的第2支撑板23。

在第1支撑板21与第2支撑板23之间，利用作为连结部件的线材例如细丝24进行连接。作为张力不会伸长、并且抗切断的强度较大的、柔软的线材，细丝24例如通过尼龙树脂来制成。该细丝24借助管部件15，使第1与第2支撑板21、23之间的间隔始终保持一定，并且通过将可以解除吸附基座16的摆头状态而恢复成水平姿势的作用力(付势力)赋予管部件15的张力而被张紧。并且，通过该细丝24的张力使管部件15的弯曲部17不会从吸附部16a上脱离，且可以随着吸附部16a的倾斜进行摆头动作。该细丝24的张力可以在第1与第2支撑板21、23之间张紧时进行调整，例如可以通过将细丝24缠在第1和第2支撑板21、23上时的缠绕状态进行调整。第1支撑板21、第2支撑板23以及细丝24构成吸附基座保持装置。

在滑动部件9中的薄壁圆筒部11内的空气引导通路14以及装置主体4的空气引导通路5的内部设置弹性部件即弹簧25。该弹簧25从壳体1的中空部2内的滑动部件9向壳体1的开口端1a侧对吸附基座16、管部件15以及滑动部件9整体赋予作用力。该弹簧25的下侧被卡止在弹簧调节部件26上。

在弹簧调节部件26的外周面上设置螺纹部26a。该弹簧调节部26通过使螺栓部26a与装置主体4的空气引导通路5的螺纹部4c螺合，而被安装在空气引导通路5内。该弹簧调节部件26形成为环状，在其中空部设置空气引导通路26b。该弹簧调节部件26通过螺纹部26a与螺纹部4c的螺合而旋转，由此在空气引导通路5内上下移动从而调整弹簧25的作用力。

在壳体1的中空部2内设置吸附基座高度调整机构27。该吸附基座高度调整机构27具有与在壳体1的中空部2内形成的螺纹部28螺合的调整用环状部件29。该调整用环状部件29通过相对于螺纹部28旋转而在壳体1的中空部2内上下移动。与该调整用环状部件29的上下移动相对应，吸附基座16、管部件15以及滑动部件9一体地在壳体1的中空部2内上下移动。由此，能够调整吸附基座16相对于壳体1开口端1a的高度位置A。

接着，参照图4A～图4C对上述那样构成的装置E₁吸附玻璃基板S的动作进行说明。

将玻璃基板S搬运至基板吸附装置E₁的上方时，该基板吸附装置E₁通过升降机构上升。玻璃基板例如产生翘曲或者弯曲而倾斜。通过基板吸附装置的上升，如图4A所示，吸附基座16的吸附面16a的一部分与产生翘曲或者弯曲的玻璃基板40的背面抵接。

吸附基座16被载置在管部件15上，并且通过细丝24被向壳体1的下方侧拉引。由此，在吸附基座16上施加作用力，该作用力能够使其在管部件15上摆头，并且只要不加外力就不进行摆头动作，而恢复为静止的姿势、即吸附面16a成为水平方向的姿势。

从而，由于通过从玻璃基板S的下方轻微抵接加力，吸附基座16与玻璃基板S的背面接触，所以如图4B所示，吸附基座16变成摆头状态，以模仿由于玻璃基板S的翘曲或者弯曲而形成的倾斜。即，由于吸附基座16一边使接触面部16c插入壳体1的开口部1b内，一边进行摆头，所以最大能够倾斜至吸附部16b的背面的外周边缘16e与壳体1的端部1a抵接的摆头角度。

由于吸附基座16一边使接触面部16c与壳体1的开口部1b的内壁至少在三点上进行点接触，一边进行摆头动作，所以接触面部16c与壳体1的开口部1b的内壁之间的摩擦阻力小。其结果是，即使玻璃基板S的翘曲或者弯曲较大，吸附基座16的吸附面16a也能够模仿玻璃基板S的翘曲或者弯曲而紧贴在玻璃基板S的背面上。

由于吸附部16a形成有与壳体1相同的外径，所以玻璃基板S接触吸附部16a的外周边缘时加力的作用点与吸附部16a的中心位置的距离变长。由此，通过与玻璃基板S的接触稍微向吸附部16a的外周边缘施加接触力时，该接触力通过杠杆作用成为使吸附基座16摆头的较大的旋转力。

在该状态下，从装置主体4的空气引导通路5经过滑动部件9的空气引导通路14、管部件15的空气引导通路19以及吸附基座16的空气抽吸孔16d对空气进行真空抽吸时，这些空气引导通路5、14、19以及空气抽吸孔16内被密封并通过真空抽吸而成为负压。由此，吸附基座16的吸附面16a吸附在玻璃基板S的背面上。此时，即使玻璃基板S产生翘曲或者弯曲，由于吸附基座16的吸附面16a也能够模仿地紧贴在玻璃基板S的背面上，所以空气不会泄漏，可靠地对玻璃基板S进行真空抽吸。

与此同时，由于各空气引导通路5、14、19以及空气抽吸孔16内通过真空抽吸而成为负压，所以通过该负压，吸附基座16、管部件15以及滑动部件9能够抵抗弹簧25的弹力，自然地在壳体1的中空部2内下降。由此，如图4C所示，吸附基座16的背面的外周边缘16e的整个面在壳体1的开口端1a上进行面接触。由于壳体1的开口端1a是基准平面，所以能够将吸附基座22的吸附面16a配置在水平方向上。其结果是，能够将玻璃基板S保持在水平方向上。

由于接触面部16c与壳体1的开口部内壁接触，所以能够限制吸附基座16横向的移动。通过该限制，即使在吸附基座16吸附在玻璃基板S的背面上的状态下，玻璃基板S也不会错位，能够保持高精度定位状态。

根据上述第1实施方式，由于在壳体1的开口部1b内的管部件15上载置吸附基座16，该吸附基座16形成有吸附部16a；以及弯曲成半球面状并至少在三点上与壳体1的开口部内壁进行点接触的接触面部16c，并且在该吸附基座16和滑动部件9之间架设细丝24，所以吸附基座16能够以较大的倾斜角度进行倾斜，并且由于即使倾斜时，接触面部16c也与壳体1的开口部内壁接触，所以吸附基座16不会在横向错位。

吸附基座16的摆头角度大，并且通过稍微施加外力就能够以较小的摩擦阻力圆滑平稳地进行摆头动作，能够模仿玻璃基板S因较大的翘曲或者弯曲而形成的倾斜，而紧贴在玻璃基板S的背面上，从而不会泄漏空气，能够可靠地吸附玻璃基板S。

由于使接触玻璃基板S时的吸附部16b上的接触力的作用点和吸附部16b的中心位置之间的距离变长，所以可通过较小的接触力使吸附基座16进行摆头动作，能够立即模仿玻璃基板S的较大的翘曲或者弯曲。

吸附基座16吸附玻璃基板S时，各空气导通路5、14、19以及空气抽吸孔16d内的负压克服弹簧25的弹力，吸附基座16下降，并与壳体1的开口端1a进行面接触，从而将吸附面16a限制在水平状态。通过该限制，能够将由吸附基座16吸附的玻璃基板S的翘曲或弯曲矫正至水平状态，并且能够高精度地将其保持在基准平面上。

由于吸附基座16通过细丝24被连接，所以不会脱离壳体1的开口端1a。

由于设置吸附基座高度调整机构27，所以能够按照玻璃基板S被保持的高度位置调整吸附基座16从壳体1的端部1a开始的高度位置A。

接着，参照图5及图6所示的空气悬浮搬运装置的结构图对将上述第1实施方式说明的基板吸附装置E₁用于空气悬浮搬运装置时的实施例进行说明。并且，图5是俯视图，图6是侧视图。

在悬浮搬运台30的上面设置多个空气吹出孔31。从这些空气吹出孔31以均一的空气压力吹出空气。通过该空气的吹出，在悬浮搬运台30和玻璃基板S之间形成空气层，使玻璃基板S在悬浮搬运台30上悬浮。在悬浮搬运台30的两个侧面上分别设置直线状的各导轨32、33。在这些导轨32、33上分别设置能够同步移动的各搬运部34、35。在这些搬运部34、35上隔着各升降支撑部件36设置吸附载置台37。各升降支撑部件36使吸附载置台37在上下方向(Z方向)升降。

在该吸附载置台37上，在与玻璃基板S的搬运方向T相同的方向上并列设置多个、例如5个上述基板吸附装置E₁。另外基板吸附装置E₁的个数不限于5个，可以设置任意个。这些基板吸附装置E₁通过分别调整各吸附基座16的高度位置，而被配合在相同的高度位置。

在这种空气悬浮搬运装置中，在悬浮搬运台30上进行空气悬浮或者载置玻璃基板S。在该状态下，使各搬运部34、35在玻璃基板S的前端部的两端移动。这些搬运部34、35的各升降支撑部件36分别使各吸附载置台37上升。由此，各基板吸附装置E₁的各吸附基座16与玻璃基板S的背面接触。这些吸附基座16与玻璃基板S的背面接触时，与上述第1实施方式相同，通过与玻璃基板S抵接并施力，各吸附基座16进行摆头，使吸附面16a模仿玻璃基板S的背面的倾斜。与此同时，通过空气的真空抽吸，吸附面16a紧贴着玻璃基板S的背面进行吸附保持。

之后，如果各搬运部34、35分别在各导轨32、33上进行同步移动，则进行空气悬浮的玻璃基板S被各搬运部34、35的移动牵引，沿着搬运方向T在搬运台30上以高速进行空气搬运。

如果这样将基板吸附装置E₁用于空气悬浮搬运装置，则即使在通过空气悬浮对产生了翘曲或弯曲的玻璃基板S进行搬运的情况下，也能够模仿玻璃基板S的翘曲或弯曲，使各基板吸附装置E₁的吸附基座16可靠地吸附在玻璃基板S的背面上。由于吸附基座16不会错位，所以吸附保持玻璃基板S的背面时不会使玻璃基板S错位。因此，例如将空气悬浮搬运装置设置在液晶显示器生产线上，对液晶显示器的玻璃基板S进行空气搬运的情况下，在生产线中的调整部及检查部上，能够使调整过的玻璃基板S不错位地、高精度地进行吸附保持。即使多个吸附基座16的高度位置具有偏差，也能够通过各吸附基座高度调整机构27将各吸附基座16的高度位置调整至同一高度的位置。

接着，参照图7所示的检查台的结构图对将上述第1实施方式说明的基板吸附装置E₁用在大型基板检查装置的检查台上时的实施例进行说明。

检查台40具有：台主体41，其形成中空结构的框架形，且是长方形；以及多个弯曲防止横档43，在该台主体41的中空部42内隔开预定的间隔平行地进行设置。在台主体41的中空部42的内周边缘部按预定的间隔埋设多个基板吸附装置E₁。在各弯曲防止横档43上竖起设置多个支撑销44。

如果在这种检查台40上载置产生了翘曲的玻璃基板S，则各基板吸附装置E₁的各吸附基座16与玻璃基板S的背面接触。与上述第1实施方式相同，这些吸附基座16进行摆头动作，使吸附面16a模仿玻璃基板S的背面，通过空气的真空抽吸紧贴在玻璃基板S的背面，可靠地吸附保持玻璃基板S。因此，即使将产生了翘曲或弯曲的玻璃基板S载置在检查台40上，也能够可靠地吸附保持玻璃基板S。并且通过各吸附基座高度调整机构27可以调整各吸附面16a的高度位置，同时通过使吸附基座16的高度位置A变高，即使玻璃基板S上产生较大的翘曲或弯曲，也能够对这些翘曲或弯曲进行矫正，将玻璃基板S吸附保持在检查台40上并提高其平面度。

接着，对本发明的第2实施方式进行说明。并且，与图1相同的部分使用相同符号表示，省略其详细说明。

图8是表示基板吸附装置E₁的特征部分的结构图。金属丝45系止(係止)在第1支撑板21和第2支撑板23之间。该金属丝45具有扭转刚性，例如由金属材料等制成。该金属丝45包括：棒状的金属丝主体46；在该金属主体46的一端设置的钩形的第1系止部(係止部)47；以及在金属主体47的另一端设置的J字形状的第2系止部48。第1系止部47通过从第1支撑板21的各孔21a、21b中穿过的例如丝等的线性材料49来系住。第2系止部被系止在第2支撑板23的各孔21a、21b中。

例如在对玻璃基板S进行空气悬浮搬运时，通过基板吸附装置E₁吸附产生了翘曲或弯曲的玻璃基板S时，使基板吸附装置E₁迎向玻璃基板S进行吸附。此时，基板吸附装置E₁的吸附基座16有时会稍微旋转。吸附基座16的旋转累积时，保持吸附基座16的机构的在第1支撑板21和第2支撑板23之间牵引的细丝24的扭转量逐渐变大。于是，细丝24的张力变大，使得吸附基座16逐渐下降，吸附基座16从壳体1的端部1a突出的量变小。因此，在吸附产生了翘曲或弯曲的玻璃基板S时，使得本来的使吸附基座16模仿玻璃基板S的背面的倾斜进行倾斜并加以吸附的吸附动作难以进行。

根据上述第2实施方式，即使在吸附基座16上施加旋转力，也能够通过金属丝45限制该吸附基座16的旋转。因此，吸附基座16的旋转不会随时间而积累，能够对从壳体1的端部1a开始的高度位置A进行维持。

并且，上述第1及第2实施方式也可如下形成。

图9A是表示金属丝45的变形例的结构图。例如，该金属丝45在金属丝主体46的例如第1系止部47侧设置细径部49a。该细径部49a形成小于金属丝主体46的直径，虽然该细径49a的上部通过较小的外力自由地倾斜，但是抑制吸附基座16的旋转力。

图9B也是表示金属丝45的变形例的结构图。该金属丝45的第1系止部47与金属丝主体46分离，在该第1系止部47的下端设置球部49b。金属丝主体46在与第1系止部47分离的端部设置球部49b的承受部49c。该承受部49c保持球部49b且使其能够旋转。因此，即使在金属丝45上施加扭转力，球部49b也是在承受部49c内旋转。由此，即使吸附基座16旋转，金属丝45也不会扭转。

管部件15，例如也可以使用图10所示那样形成折皱的管部件15a。

接着，对本发明的第3实施方式进行说明。

图11是基板吸附装置E₂的结构图。壳体50，例如通过铝等具有刚性的材料形成为圆筒状。在该壳体50的顶端部设置圆筒状的基座用的保持孔51。在该保持孔51内以从该保持孔51的开口端51a稍微突出的状态可以旋转地保持着吸附基座52。

该吸附基座52利用树脂形成为圆筒状，其基座侧面即接触面部52a形成为球面状。在吸附基座52的内部设置下方敞开的圆筒状的中空部53。在该吸附基座52的上部设置平面状的吸附面54。在该吸附面54上设置略有深度的基座凹部54a，同时在中央部设置连通中空部53的真空抽吸用的空气抽吸孔54b。

壳体50的保持孔51形成比吸附基座52的接触面部52a的尺寸稍微小的内径。在保持孔51的开口部设置有模仿吸附基座52的接触面部52a的球面形状的曲率进行收拢(絞る)的挤拢形状部(絞り形状部)55。该挤拢形状部55构成为在保持孔51内保持吸附基座52的吸附基座保持装置。

壳体50的保持孔51和吸附基座52的接触面部52a成为使吸附基座52在壳体50的保持孔51内能够旋转的精密间隙配合的结构。因此，在保持孔51内容纳吸附基座52时，吸附基座52的接触面部52a和保持孔51的内壁面至少在三点上进行点接触。吸附基座52的接触面部52a和保持孔51的内壁面之间的接触不必只限于至少三点接触，通过吸附基座52的摆头，在接触面部52a的同一周向的线上的多个点进行接触，或者在同一周向的线上进行线接触。通过这样的接触面部52a和保持孔51的内壁之间的接触，接触面部52a和保持孔51的内壁面之间的摩擦阻力变得很小，吸附基座52被保持在保持孔51内，并且稍加外力吸附基座52就能够沿整个周向例如箭头F的方向旋转，从而能够进行平稳的摆头动作。

在壳体50的保持孔51内的底部设置支撑吸附基座52的承受面56。该承受面56由平面部57和在该平面部57的外周边缘设置的锥形部58构成。平面部57通过与吸附基座52的底部抵接而限制吸附基座52相对于箭头F方向的倾斜角度。吸附基座52倾斜时，吸附基座52的倾斜角度是吸附面54不被隐藏在保持孔51内的范围。锥形部58形成为模仿吸附基座52的接触面部52a的球面形状的曲率的角度。该锥形部58在保持孔51内与下降的吸附基座52抵接以限制吸附基座52向下方移动。

在壳体50中设置中空孔59。该中空孔59的内径小于保持孔51的内径。在该中空孔59内以及吸附基座52的中空部53内设置吸附基座支撑部件60。

该吸附基座支撑部件60通过橡胶等弹性材料形成为中空的形状，在其内部设置空气引导通路61。在该吸附基座支撑部件60的顶端部形成具有较小弹力的波纹部(bellows)60a。该波纹部60a的顶端部的厚度形成为比底部薄，并且形成为折皱状可以伸缩。该波纹部60a气密地紧贴在吸附基座52的空气抽吸孔54b上。吸附基座支撑部件60的底部与装置主体62的顶端面气密地进行连结。

壳体50通过螺纹部63与装置主体62相螺合。使壳体50相对装置主体62旋转，来改变波纹部60a的伸缩量，调整吸附基座52的旋转力。该调整是在受到吸附基座52与玻璃基板S抵接时作用的外力，吸附基座52所能够旋转的范围内的微调整。

通过壳体50相对装置主体62旋转能够调整吸附基座52的高度位置。如此，在进行调整波纹部60a的伸缩量(弹力)或者吸附基座52的高度位置时的壳体50通过螺合在螺纹部63上的锁定螺母64的螺紧而被固定在装置主体62上。

在装置主体62设置空气引导通路65。该空气引导通路65与吸附基座支撑部件60的空气引导通路61连通。空气抽吸孔54b、各空气引导通路61、65形成真空抽吸通路。

接着，参照图12A～图12C对上述结构的基板吸附装置E₂对玻璃基板S的吸附动作进行说明。

图12A是表示将玻璃基板S搬运至基板吸附装置E₂的上方的状态。吸附基座52，例如在壳体50的保持孔51内倾斜，吸附面54相对玻璃基板S的背面偏离平行状态。在该状态下基板吸附装置E₂通过升降机构上升时，使倾斜的吸附基座52的吸附面54的作为顶点的一部分与玻璃基板S的背面抵接。

由于吸附基座52在壳体50的保持孔51内以点接触被保持，所以与保持孔51的内壁面之间的摩擦阻力很小，对玻璃基板S的背面轻微抵接加力就能够使吸附基座52在保持孔51内沿箭头F方向旋转。

因此，从玻璃基板S的下方轻微抵接加力使基板吸附装置E₂与玻璃基板S的背面接触时，吸附基座52旋转，如图2B所示，吸附面54进行模仿，从而成为与玻璃基板S的背面的方向相同。此时，即使吸附基座52倾斜或者玻璃基板S产生了翘曲或弯曲，吸附基座52也能够旋转，使吸附面54紧贴在玻璃基板S的背面。

在该状态下，如果经由各空气引导通路61、65以及空气抽吸孔54b对空气进行真空抽吸，则吸附基座52的基座凹部54a、空气抽吸孔54b以及各空气引导通路61、65内在气密状态下通过真空抽吸成为负压。由此，吸附基座52的吸附面54吸附在玻璃基板S的背面上。即使玻璃基板S上产生了翘曲或弯曲，但由于吸附基座52模仿地紧贴在玻璃基板S的背面，所以空气不会泄漏，该吸附面54可靠地对玻璃基板S进行真空抽吸。

与此同时，基座凹部54a、空气抽吸孔54b以及各空气引导通路61、65内形成负压时，由弹性材料制成的吸附基座支撑部件60主要使波纹部60a收缩。通过波纹部60a的收缩，吸附基座52在保持孔51内下降，如图12C所示，其底部与锥形部58抵接触后停止。由此，吸附基座52被固定在保持孔51内。

根据上述第3实施方式，由于通过精密间隙配合结构的点接触将具有形成为球面形状的接触面部52a的吸附基座52保持在壳体50的保持孔51内，使吸附基座52能够沿着保持孔51内的整个周向旋转，所以吸附基座52在保持孔51内的摩擦阻力很小，稍微施加外力就能够沿着整个周向旋转。因此，通过从玻璃基板S的下方以轻微的抵接附加力与玻璃基板S的背面接触，吸附基座52就能够模仿玻璃基板S的背面的倾斜方向，通过不会泄漏空气的真空抽吸，而可靠地吸附在玻璃基板S的背面上。由此，即使玻璃基板S产生翘曲或弯曲，吸附基座52也能模仿这些进行倾斜，可靠地进行吸附。

由于吸附基座52通过精密间隙配合的结构保持在壳体50的保持孔51内，所以吸附基座52在保持孔51内的错位非常小。由此，吸附保持玻璃基板S时，能够高精密度地进行定位。

吸附基座52吸附在玻璃基板S的背面时，由于通过吸附基座支撑部件60内的负压使波纹部60a收缩，吸附基座52与锥形部58抵接而限制其向下方的移动，所以在吸附玻璃基板S的状态下能够固定在正确的高度位置。

由于使壳体50相对装置主体62旋转，从而调整波纹部60a的伸缩量，所以能够将吸附基座52相对于玻璃基板S的抵接附加力调整到最适值，同时能够调整吸附基座52的高度位置。

由于在壳体50上设置挤拢形状部55，所以球状的吸附基座52不会从保持孔51内飞出脱落。

上述基板吸附装置E₂可以代替上述图5及图6所示的空气悬浮搬运装置的基板吸附装置E₁。如果将基板吸附装置E₂使用在空气悬浮搬运装置上，则与上述第1实施方式相同，能够模仿玻璃基板S的翘曲或弯曲，将各基板吸附装置E₂的吸附基座52可靠地吸附在玻璃基板S的背面上，并且不会使玻璃基板S错位。

接着，对本发明的第4实施方式进行说明。并且，与图11相同的部分使用相同符号表示，省略其详细说明。

图13是表示基板吸附装置E₃的结构图。该基板吸附装置E₃可以代替图7所示的大型基板检查装置的检查台上的基板吸附装置E₁进行设置。壳体50与形成于各凹部70底部的螺纹部71螺合，并通过锁定螺母72与螺纹部71进行螺紧而被固定。由此，如果使壳体50相对螺纹部71旋转，则能够调整波纹部60的伸缩量。该被调整的状态通过螺紧锁定螺母72被固定。在台主体41和各弯曲防止横档43的各底座73上设置与吸附基座支撑部件60内的空气引导通路61连通的空气抽吸通路74。

如果是设置了这种基板吸附装置E₃的检查台，则能够可靠地吸附保持具有翘曲或弯曲的玻璃基板S，并且通过调整吸附基座52的高度位置，可以矫正玻璃基板S的翘曲或弯曲，并能够提高平面度地吸附保持玻璃基板S。

基板吸附装置E₃可以在图14所示的大型基板自动搬运用装置的臂部R上使用。该臂部R在臂支撑部80上隔开预定间隔相互平行地设置有多个、例如4个臂81。在这些臂81上设置多个基板吸附装置E₃。

该大型基板自动搬运装置使臂支撑部80插入容纳部，取出大型的玻璃基板S，将其搬运至检查部的检查台或者搬运线上。将玻璃基板S载置在各臂81上时，玻璃基板S产生弯曲。此时，吸附基座52的吸附面54模仿玻璃基板S的背面的倾斜，通过空气的真空抽吸紧贴在玻璃基板S的背面，可靠地吸附固定玻璃基板S。

根据上述第4实施方式，可以使壳体50的高度降低，使其小型化，适用于大型基板检查装置的检查台或者大型基板自动搬运用装置的臂部等，不会使玻璃基板S错位，能够模仿玻璃基板S的翘曲或弯曲，可靠地进行吸附保持。

接着，参照附图对本发明的第5实施方式进行说明。并且，与图1、图11、图5以及图6相同的部分使用相同符合表示，省略其详细说明。

该第5实施方式是在图5及图6所示的空气悬浮搬运装置上使用上述第1实施方式的基板吸附装置(以下称为第1基板吸附装置)E₁和第3实施方式的基板吸附装置(以下称为第2基板吸附装置)E₂。

图15表示在各吸附载置台57上设置的第1基板吸附装置E₁和第2基板吸附装置E₂。并且，由于在相同的图中使用符号会变得繁琐复杂，因此，只表示必要部分的符号。在与玻璃基板S的搬运方向T相同的方向上并列设置多个第1和第2基板吸附装置E₁、E₂。在沿着玻璃基板S的搬运方向T的玻璃基板S的顶端部侧设置多个、例如两个第1基板吸附装置E₁。相对于第1基板吸附装置E₁在后端侧设置多个、例如六个第2基板吸附装置E₂。这些第1和第2基板吸附装置E₁、E₂在吸附玻璃基板S的状态下进行高度调整，使得各吸附基座16、52的各吸附面16a、54的高度位置与基准平面H保持一致。对各第1基板吸附装置E₁进行高度调整，使得吸附基座16下降到壳体1内而与端部1a进行面接触时的吸附面16a的高度位置与基准平面H保持一致。由于第1和第2基板吸附装置E₁、E₂各自的高度不同，所以在吸附载置台57上设置台阶差G。

图16是表示空气真空抽吸系统的图。相对玻璃基板S的搬运方向T，在左侧的各第1基板吸附装置E₁上分别通过另一系统的各空气抽吸路连接各调节器90、91，并且在右侧的各第1基板吸附装置E₁上分别连接各调节器92、93。这些调节器90、91、…、93分别将各第1基板吸附装置E₁单独地控制为预先设定的各空气抽吸力。

另一方面，相对玻璃基板S的搬运方向T，在左侧的第2基板吸附装置E₂上分别连接各调节器94-1、94-2、…、94-n，并且在右侧的第2基板吸附装置E₂上也连接各调节器95-1、95-2、…、95-n。这些调节器94-1、94-2、…、94-n，95-1、95-2、…、95-n分别将各第2板吸附装置E₂单独地控制为预先设定的各空气抽吸力。

相对玻璃基板S的搬运方向T，在左侧的各调节器90、91上共同地连接真空阀96，相同地在左侧的各调节器94-1、94-2、…、94-n上共同地连接真空阀97。另外，在各真空阀96、97的各调节器90、91、94-1、94-2、…、94-n侧分别设置各空气压力计98、99。

空气压力计98测定从各调节器90、91抽吸的空气抽吸力，在该空气抽吸力不低于设定抽吸力时，将中断信号送至真空阀96，使该真空阀96关闭。空气压力计99测定从各调节器94-1、…、94-n抽吸的空气压力，在该空气抽吸力不低于设定抽吸力时，将中断信号送至真空阀97，使该真空阀97关闭。同样，相对玻璃基板S的搬运方向T，在右侧的各调节器92、93上共同地连接真空阀100，相同地在右侧的各调节器95-1、…、95-n上共同地连接真空阀101。在这些真空阀100、101的各调节器92、93、95-1、…、95-n侧分别设置各空气压力计102、103。这些空气压力计102、103分别测定从各调节器92、93、95-1、…、95-n抽吸的各空气抽吸力，在该空气抽吸力不低于设定抽吸力时，将中断信号送至真空阀96而使之关闭。

各第1基板吸附装置E₁侧的各真空阀96、100共同地与主调节器104a连接，并且主调节器104a与空气抽吸源105连接。同样，各第2基板吸附装置E₂侧的各真空阀97、101共同地与主调节器104b连接，并且主调节器104b与空气抽吸源105连接。另外，在各调节器104a、104b的各真空阀96、97、100、101侧连接有空气压力计106a、106b。

下面，对如上述结构的装置吸附玻璃基板S的动作进行说明。

在将玻璃基板S悬浮或者载置在悬浮搬运台30上的状态下，使各吸附载置台57上升时，如图15所示，各第1及第2基板吸附装置E₁、E₂的各吸附基座16、52向玻璃基板S的背面上升。相对玻璃基板S的搬运方向T在前端侧产生翘曲或弯曲时，首先，第1基板吸附装置E₁的吸附基座16的一端与玻璃基板S的背面接触。虽然相对搬运方向T、玻璃基板S越到前端侧翘曲或弯曲越变大，但是通过相对搬运方向T在前端侧设置可以调整各吸附基座16的高度的第1基板吸附装置E₁，可以使各吸附基座16接触在产生了翘曲或弯曲的玻璃基板S的背面上。通过从玻璃基板S的下方轻微抵接加力，使这些吸附基座16与玻璃基板S的背面接触，并模仿玻璃基板S的翘曲或弯曲的倾斜进行摆头，从而吸附面36紧贴在玻璃基板S的背面上。

在该状态下，如果空气抽吸源105开始进行空气抽吸动作，则相对各第1及第2基板吸附装置E₁、E₂，从各调节器90、91、…、93以及各调节器94-1、94-2、…、94-n、95-1、95-2、…、95-n通过各真空阀96、97、100、101、主调节器104进行空气抽吸。由此，第1基板吸附装置E₁与上述第1实施方式相同，吸附基座16的吸附面16a对产生翘曲或弯曲的玻璃基板S的背面进行模仿并与之紧贴，从而空气不会泄漏地可靠地对玻璃基板S进行真空吸附。与此同时，吸附基座16的背面的外周边缘16e与壳体1的端部1a面接触而停止，并将玻璃基板S的翘曲或弯曲矫正为平面状。

此时，玻璃基板S的背面与多个第2基板吸附装置E₂的各吸附基座52接近。这些第2基板吸附装置E₂通过从玻璃基板S的下方以轻微的抵接附加力与玻璃基板S的背面接触，使各吸附基座52旋转并进行模仿，以使得吸附面54的面方向与玻璃基板S的背面的方向相同。

在该状态下，如果经过基座凹部54a、空气抽吸孔54b以及各空气引导通路61、65对空气进行真空抽吸，则吸附基座52的吸附面54吸附在玻璃基板S的背面上。与此同时，由于通过空气真空抽吸，波纹部60进行收缩，所以吸附基座52在保持孔51内下降，与锥形部58抵接后停止。其结果是，如果通过第1及第2基板吸附装置E₁、E₂吸附保持玻璃基板S的背面，则能够矫正玻璃基板S的翘曲或弯曲，并将其水平地保持在基准平面H上。

之后，如果使各搬运部34、35分别在各导轨32、33上同步移动，则进行空气悬浮的玻璃基板S被各搬运部34、35的移动牵引而沿着搬运方向T在搬运台30上被快速地搬运。

根据上述第5实施方式，即使在玻璃基板S的搬运方向T的前端侧翘曲或弯曲量较大，也可以通过吸附基座16可靠地吸附保持玻璃基板S的背面。由于通过各第1基板吸附装置E₁吸附保持翘曲或弯曲量较大的玻璃基板S的前端侧使其向基准平面H下降，所以能够使玻璃基板S的背面逐渐接近各第2基板吸附装置E₂，通过各第2基板吸附装置E₂能够可靠地吸附保持玻璃基板S的背面。

由于第1及第2基板吸附装置E₁、E₂分别通过不同系统的各调节器90、91、…、95-n进行空气的抽吸，所以即使一处吸附基座16或52没有吸附在玻璃基板S的背面上而使空气泄漏，也只需对与该泄漏空气的吸附基座16或52相对应的第1基板吸附装置E₁或第2基板吸附装置E₂停止空气供给，而不必使LCD的生产线紧急停止，直到处理结束，其他的第1基板吸附装置E₁和第2基板吸附装置E₂都能够维持各自的吸附基座16或52的吸附动作。由此，玻璃基板S的吸附保持在中途不会停止，能够提高安全性，并且只需修理泄漏空气的吸附基座16或者52的第1或第2基板吸附装置E₁、E₂的系统即可，在修理方面也具有优势。并且，通过将对各第1基板吸附装置E₁和各第2基板吸附装置E₂的空气供给形成为两个系统，即使一方的主调节器104a或者104b发生故障，由于另一方的主调节器104b或者104a正常运行，所以能够解决全部的各第1基板吸附装置A以及各第2基板吸附装置B都不能进行空气抽吸的问题。

在上述第5实施方式中，使用了第1及第2基板吸附装置E₁、E₂，但是也可以全部使用第1基板吸附装置E₁。在该情况下，通过调整机构27调整吸附基座16的高度，使得各第1基板吸附装置E₁的吸附基座16的高度朝向玻璃基板S的搬运方向T依次变高。

接着，对本发明的第6实施方式进行说明。并且，与图5及图6相同的部分使用相同的符号表示，省略其详细说明。

图17是可以作为检查台使用的空气悬浮搬运装置的结构图。设置有多个、例如3个吸附载置台37a、37b、37c。这些吸附载置台37a、37b、37c分别设置在相对玻璃基板S的搬运方向T的前端部侧、后端部侧和中间部。在这些吸附载置台37a、37b、37c上分别并列设置多个第1基板吸附装置E₁或第2基板吸附装置E₂。在吸附玻璃基板S的状态下，对这些第1基板吸附装置E₁或第2基板吸附装置E₂进行高度调整，使得各吸附基座16、52的各吸附面16a、54的高度位置与基准平面H保持一致。与上述第5实施方式相同，这些第1基板吸附装置E₁或第2基板吸附装置E₂分别通过不同的系统的各自的空气抽吸路与各调节器连接，例如即使在1个第1基板吸附装置E₁或第2基板吸附装置E₂上发生空气泄漏，而在其他的第1基板吸附装置E₁或第2基板吸附装置E₂上能够维持吸附动作，所以玻璃基板S的吸附保持不会在中途停止，能够提高安全性。

对这些第1基板吸附装置E₁或第2基板吸附装置E₂的吸附控制方法是，首先，使设置在中央部的吸附载置台37c上的各第1基板吸附装置E₁或第2基板吸附装置E₂开始进行吸附动作。接着，使设置在前端部或后端部的吸附载置台37a或37b上的各第1基板吸附装置E₁或第2基板吸附装置E₂开始进行吸附动作。

如果使用这种吸附控制方法，在对空气悬浮在悬浮搬运台30上的玻璃基板S进行吸附保持时，通过从设置在翘曲较小的中间部的吸附载置台37c上的各第1基板吸附装置E₁或第2基板吸附装置E₂开始进行吸附动作，而能够通过各第1基板吸附装置E₁或第2基板吸附装置E₂对玻璃基板S的中央部可靠地进行吸附保持。此时，由于玻璃基板S通过中间部的各第1基板吸附装置E₁或第2基板吸附装置E₂被吸附保持，所以玻璃基板S的翘曲或弯曲减小。

接着，设置在前端部或后端部的吸附载置台37a或37b上的各第1基板吸附装置E₁或第2基板吸附装置E₂开始进行吸附动作。由此，前端部的各第1基板吸附装置E₁或第2基板吸附装置E₂从中央部侧开始向前端部侧依次与玻璃基板S的背面接触，进行吸附保持。

由于这样从翘曲较小的玻璃基板S的中间部开始向翘曲较大的玻璃基板S的前端部或后端部依次进行吸附，所以能够一边矫正玻璃基板S的翘曲或弯曲，一边可靠地进行吸附保持。并且，吸附载置台不限于中央部、前端部、后端部三处，可以根据玻璃基板S的尺寸增加，并且也可以从中央部以外的翘曲较小的部分到翘曲较大的区域进行设置。

接着，对本发明的第7实施方式进行说明。与图5及图6相同的部分使用相同的符号表示，省略其详细说明。

图18是空气悬浮搬运装置的结构图。在悬浮搬运台1的两个侧面上分别设置1台吸附载置台37。在该吸附载置台37上沿着与玻璃基板S的搬运方向相同的方向并列设置多个第1基板吸附装置E₁或第2基板吸附装置E₂。与上述第5实施方式相同，这些第1基板吸附装置E₁或第2基板吸附装置E₂分别通过不同的系统的各自的空气抽吸路与各调节器连接。

对于这些第1基板吸附装置E₁或第2基板吸附装置E₂的吸附控制方法是，使各第1基板吸附装置E₁或第2基板吸附装置E₂从玻璃基板S的翘曲较小的中央部侧开始向翘曲较大的端部侧顺次地开始吸附动作。

如果使用这种吸附控制方法，则对空气悬浮在悬浮搬运台30上的玻璃基板S进行吸附保持时，各第1基板吸附装置E₁或第2基板吸附装置E₂从玻璃基板S的中间部侧开始向前端部侧依次地接触玻璃基板S的背面，进行吸附保持。通过这种吸附保持，能够从中间部侧到端部侧依次地矫正玻璃基板S的翘曲，各第1基板吸附装置E₁或第2基板吸附装置E₂从中间部侧开始向端部侧可靠地对玻璃基板S进行吸附保持。

并且，即使各第1基板吸附装置E₁或第2基板吸附装置E₂同时进行吸附动作，由于从玻璃基板S的翘曲较小的部分开始向翘曲较大的部分顺次地开始吸附，所以能够将玻璃基板S的翘曲或弯曲在基准平面H上矫正成水平。

根据上述第7实施方式，即使是吸附基座52的突出高度较小的第2基板吸附装置E₂或众所周知的基板吸附装置，也可以可靠地吸附保持翘曲较大的玻璃基板S。

另外，本发明不限于上述各实施方式，也可以如下述那样进行变形。

例如，上述各实施方式可以用于玻璃基板S的空气悬浮搬运，但也可以在玻璃基板S的检查部上将玻璃基板S吸附保持在检查台上的情况下使用。

如图19所示，使多个基板吸附装置E₁或E₂组成一组来作为组合件(block)H₁～H₄，同时也可以对每个组合件H₁～H₄形成空气真空抽吸系统。各第1基板吸附装置组H₁～H₄分别沿着玻璃基板S的搬运方向T排列多个基板吸附装置组E₁。其中各第1基板吸附装置组H₁～H₄相邻设置，各第1基板吸附装置组H₃、H₄相邻设置。并且，这些第1基板吸附装置组H₁、H₂也可以使用第2基板吸附装置E₂。

这些第1基板吸附装置H₁～H₄中的各第1基板吸附装置E₁与各调节器110连接，并且按照各第1基板吸附装置组H₁～H₄共同连接，再与真空阀111～114连接。与第1基板吸附装置组H₁和H₃对应的各真空阀111、113共同地进行连接，并连接在主调节器115a上。并且，与第1基板吸附装置组H₂和H₄对应的各真空阀112、114共同地连接，并连接在主调节器115b上。

如果使用这种空气真空抽吸系统，与上述第5实施方式相同，即使在一个第1或第2基板吸附装置E₁、E₂上发生空气泄漏，也能够维持对玻璃基板S的吸附动作，可提高安全性。并且，第1基板吸附装置组H₁和H₂、H₃和H₄相邻地设置，其中一方的第1基板吸附装置组H₁、H₃和另一方的第1基板吸附装置组H₂、H₄分别构成各自的空气真空抽吸系统，由此，即使相邻一方的第1基板吸附装置组H₁、H₃不能进行抽吸，也可以通过相邻的另一基板吸附装置H₂可靠地吸附保持玻璃基板S。例如，即使第1基板吸附装置组H₁全部发生空气泄漏，通过相邻的第1基板吸附装置组H₂也能够维持对玻璃基板S的吸附动作。

并且，上述第1实施方式中的吸附基座16的接触面部16c的形状可以变形为图20A乃至图20D所示的部分剖面图以及图20E所示的俯视图的形状。图20A所示的接触面部16c使各倾斜面120、121交叉，形成例如具有钝角的顶点122。该顶点122在接触面部16c的整个周向上形成。如果是这种吸附基座16的接触面部16c，则接触面部16c的顶点122相对壳体1的内壁2a在整个周向进行线接触。

图20B所示的接触面部16c，形成例如具有钝角的顶点123的凸状体124。该接触面部16c也使凸状体124的顶点123相对壳体1的内壁2a在整个周向进行线接触。

图20C所示的接触面部16c在筒状的曲面主体125上形成半球状的凸状体126。如果是这种接触面部16c，则凸状体126相对壳体1的内壁2a在整个周向进行线接触。

图20D所示的接触面部16c在筒状的曲面主体125上形成突起体127。如果是这种接触面部16c，则突起体127相对壳体1的内壁2a在整个周向进行线接触。

图20E所示的接触面部16c在筒状的曲面主体125的外周面上至少形成3个以上，例如4个突起体128。如果是这种接触面部16c，则各突起体128相对壳体1的内壁2a分别进行点接触。

如果是这些吸附基座16的接触面部16c的形状，则吸附基座16不会在横向错位，并且能够以较小的摩擦阻力圆滑平稳地进行摆头动作。

上述各实施方式对利用空气悬浮搬运玻璃基板S的情况进行了说明，但不限于空气悬浮，也适用于通过静电悬浮、超声波悬浮使玻璃基板S悬浮起来的搬运。

以下，对本发明的其他特征进行说明。

本发明的第一方面是一种基板吸附方法，通过沿基板的侧缘部排列的多个基板吸附装置吸附保持所述基板，其特征在于，在所述各基板吸附装置中，对于所述基板的前端侧，利用突出的高度较大的第1基板吸附装置吸附保持所述基板，将所述基板矫正成水平状态，在通过所述第1基板吸附装置将所述玻璃基板矫正成水平的状态下，使用突出高度较小的第2基板吸附装置吸附保持所述玻璃基板。

本发明的第二方面，在本发明第一方面的基础上，其特征在于，使所述第1基板吸附装置开始进行吸附动作，接着使所述第2基板吸附装置开始进行吸附动作。

本发明的的第三方面，在本发明的第一方面的基础上，其特征在于，所述第1基板吸附装置和所述第2基板吸附装置同时开始吸附动作。

本发明的第四方面是一种基板吸附方法，通过沿基板的侧缘部排列的多个基板吸附装置吸附保持所述基板，其特征在于，从与所述基板的翘曲较小的部分相对应的所述基板吸附装置向与所述基板的翘曲较大的部分相对应的所述基板吸附装置依次开始吸附动作。

本发明的第五方面是一种基板吸附方法，通过沿基板的侧缘部排列的多个基板吸附装置吸附保持所述基板，其特征在于，在所述基板吸附装置的一个和多个组合件的每一个上设置各自空气真空抽吸系统，使所述各空气真空抽吸系统同时运行，从所述基板的翘曲较小的部分向翘曲较大的部分，使所述各基板吸附装置对所述基板依次吸附，矫正所述基板的翘曲。

产业上利用的可能性

本发明适用于、例如LCD生产线中的液晶显示器的玻璃基板的搬运，半导体生产线中的半导体晶片或各种部件的搬运的领域。

Claims (9)

1.一种基板吸附装置，其特征在于，包括：

筒状的壳体，其形成为中空状；

吸附基座，其设置成在所述壳体的顶端中空部中可以沿上下方向移动，并可以沿着与所述壳体的轴交叉的方向摆头；

吸附基座支撑部件，其设置在所述壳体内，弹性地支撑着所述吸附基座，并且具有空气引导通路；

抽吸装置，其与所述吸附基座支撑部件的所述空气引导通路连接进行抽吸动作；以及

止挡件，其用于限制在所述抽吸装置的抽吸动作时引起的所述吸附基座的下降，

所述止挡件在限制在所述抽吸装置的抽吸动作时引起的所述吸附基座的下降时，将所述吸附基座的倾斜矫正为水平状态；并且

所述吸附基座设有空气抽吸孔，该空气抽吸孔与所述吸附基座支撑部件的所述空气引导通路气密地连通。

2.根据权利要求1所述的基板吸附装置，其特征在于，所述吸附基座具有吸附部，该吸附部形成有大于所述壳体的开口部的外径，

在利用所述壳体的开口端限制在所述抽吸装置的抽吸动作时引起的所述吸附基座的下降的同时，通过使所述吸附部面接触在所述壳体的所述开口端上，将所述吸附基座矫正为水平状态。

3.根据权利要求1所述的基板吸附装置，其特征在于，所述止挡件在所述壳体内设有承受所述吸附基座的底部的平面状的承受面，在利用所述承受面限制在所述抽吸装置的抽吸动作时引起的所述吸附基座的下降的同时，通过使所述吸附基座的底部抵接在所述承受面上，而将所述吸附基座的倾斜矫正为水平状态。

4.根据权利要求1所述的基板吸附装置，其特征在于，所述吸附基座通过吸附基座保持装置被保持在所述顶端中空部内，以使其不会从所述壳体的所述顶端中空部中脱出；所述吸附基座保持装置包括：设置在所述吸附基座上的第一支撑部；经过所述吸附基座支撑部件的所述空气引导通路，设置在所述壳体内的第二支撑部；以及连接在所述第1支撑部和所述第2支撑部之间的线状连接部件。

5.根据权利要求4所述的基板吸附装置，其特征在于，所述连接部件由调整所述第1支撑部和所述第2支撑部之间的距离的细丝构成，通过所述细丝的缠绕状态对配置在所述第1支撑部和所述第2支撑部之间的所述吸附基座支撑部件的作用力进行调整，以使所述吸附基座恢复成水平姿势。

6.根据权利要求4所述的基板吸附装置，其特征在于，所述连接部件由具有防止所述吸附基座旋转的扭转刚性的金属丝构成，将所述金属丝的两端系止在所述第一以及第二支撑部上。

7.根据权利要求1所述的基板吸附装置，其特征在于，在所述壳体上设置有高度调整装置，用于使所述吸附基座与所述吸附基座支撑部一体地沿着所述壳体内部移动，来调整从所述壳体的端面突出的所述吸附基座的吸附面的高度。

8.根据权利要求7所述的基板吸附装置，其特征在于，所述高度调整装置包括：在所述壳体的中空部内壁上形成的螺纹部；以及，通过螺合在所述螺纹部上进行旋转，而使所述吸附基座支撑部与所述吸附基座一体地在所述壳体内上下移动的环状部件。

9.根据权利要求1所述的基板吸附装置，其特征在于，所述吸附基座支撑部件由橡胶制的管部件构成，在该管部件的上部形成有折皱状的弯曲部，该弯曲部紧贴在所述吸附基座具有的吸附部的背面，并且可以随着所述吸附部的倾斜进行摆头动作，该吸附部形成为外径大于所述壳体的开口部，

通过所述抽吸装置的抽吸动作时的负压，使所述折皱状的弯曲部收缩，由此使吸附了应吸附的对象基板的吸附基座下降到所述壳体内，并将所述吸附对象基板定位在基准平面上。

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