JP5280171B2 - 吸着ヘッドおよび球状粒体移送装置 - Google Patents
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Description
2 ヘッド本体
3 バネ
4 半田ボール
11 空隙
12 底壁
12a 外面(吸着面)
13 吸気孔
21 半田ボール移送装置
22 移動機構
23 負圧機構
24 制御部
Claims (3)
- 内部に空隙が形成されたヘッド本体に当該ヘッド本体の吸着面に開口すると共に前記空隙と連通する吸気孔が形成されて、当該空隙が負圧にされることによって前記吸着面における前記吸気孔の開口部分に球状粒体を吸着する吸着ヘッドであって、
前記吸気孔の内周面における前記吸着面の近傍に、前記吸着される前記球状粒体が当接可能に配設されると共に、当該球状粒体によって押動されて当該吸気孔の内側に弾性変形するバネが配設されている吸着ヘッド。 - 前記バネは、平板状のスパイラルコイルで構成されて、外周側が前記吸気孔の前記内周面に固定されている請求項1記載の吸着ヘッド。
- 請求項1または2記載の吸着ヘッドと、
当該吸着ヘッドを移動させる移動機構と、
前記吸着ヘッドの前記空隙を負圧にする負圧機構と、
前記移動機構を制御して前記吸着ヘッドを前記球状粒体の吸着位置に移動させる処理、前記負圧機構を制御して前記空隙を負圧にさせる処理、当該空隙が負圧にされることによって前記吸着面における前記吸着孔の前記開口部分に前記球状粒体が吸着された前記吸着ヘッドを前記移動機構を制御して目標位置まで移動させる処理、および当該目標位置において前記負圧機構を制御して前記空隙の負圧を解除することによって前記吸着ヘッドによる前記球状粒体の吸着を解除する処理を実行する制御部とを備えている球状粒体移送装置。
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