JP5743682B2 - 球状体吸着ヘッド製造方法、球状体吸着ヘッドおよび球状体搭載装置 - Google Patents
球状体吸着ヘッド製造方法、球状体吸着ヘッドおよび球状体搭載装置 Download PDFInfo
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Description
11 吸着ヘッド
14 搬送装置
21 本体部
21a 先端部
22 多孔質体
22a 外面
23 整列シート
24 シート体
33 端面
34 突出部
42 内部空間
42a 開口部
51 挿通孔
71 中央部
72 側部
300 半田ボール
400 基板
401 端子
500 レーザー
Claims (7)
- 先端部側に開口部を有する箱状に形成された本体部と、前記開口部を閉塞するように前記本体部に配設された板状の多孔質体と、球状体を整列させる挿通孔が形成されて前記多孔質体の外面側に配設される整列シートとを備えて、前記本体部と前記多孔質体とによって形成される内部空間が減圧されたときに当該多孔質体を介して行われる吸気によって前記挿通孔の形成部位に前記球状体を吸着する球状体吸着ヘッドを製造する球状体吸着ヘッド製造方法であって、
前記本体部に前記多孔質体を配設した状態で前記内部空間を減圧して、前記多孔質体の前記外面にシート体を吸着させ、当該吸着させた状態のシート体に前記挿通孔を形成することによって前記整列シートを作製して前記球状体吸着ヘッドを製造する球状体吸着ヘッド製造方法。 - 前記シート体に対してレーザーを照射して前記挿通孔を形成する請求項1記載の球状体吸着ヘッド製造方法。
- 柔軟性を有する樹脂シートを前記シート体として用いる請求項1または2記載の球状体吸着ヘッド製造方法。
- 前記多孔質体の前記外面と前記シート体との間に接着剤を塗布して当該シート体を当該外面に吸着させて固定する請求項1から3のいずれかに記載の球状体吸着ヘッド製造方法。
- 先端部側に開口部を有する箱状に形成された本体部と、前記開口部を閉塞するように前記本体部に配設された板状の多孔質体と、球状体を整列させる挿通孔が形成されて前記多孔質体の外面側に配設される整列シートとを備えて、前記本体部と前記多孔質体とによって形成される内部空間が減圧されたときに当該多孔質体を介して行われる吸気によって前記挿通孔の形成部位に前記球状体を吸着する球状体吸着ヘッドであって、
前記整列シートは、前記本体部に前記多孔質体を配設した状態で前記内部空間を減圧することで前記多孔質体の前記外面にシート体を吸着させた状態で当該シート体に前記挿通孔を形成することによって作製されている球状体吸着ヘッド。 - 前記多孔質体は、一部分が前記整列シート側に突出するように他の部分よりも肉厚に形成され、
前記本体部は、当該本体部の先端部側の端面との間で段差を有して前記多孔質体をはめ込み可能な段部が前記開口部の縁部に形成されると共に、当該段部に前記多孔質体がはめ込まれた状態において前記先端部側の端面と当該多孔質体の前記外面とが面一となるように構成され、
前記整列シートは、前記段部にはめ込まれた前記多孔質体の前記外面および当該多孔質体と前記本体部との境界部分を覆うように前記シート体を配置して作製されている請求項5記載の球状体吸着ヘッド。 - 請求項5または6記載の球状体吸着ヘッドと、前記球状体を吸着させる吸着位置に前記球状体吸着ヘッドを搬送すると共に前記球状体を吸着している前記球状体吸着ヘッドを搭載対象体の配置位置まで搬送する搬送装置とを備えて、前記球状体を前記搭載対象体に搭載する球状体搭載装置。
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